JP2020098156A - キャリブレーション方法および分析装置 - Google Patents
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Abstract
Description
試料に一次線を照射することによって試料で発生する信号を分光する分光素子と、
前記分光素子で分光された前記信号を検出する検出器と、
を含み、
前記検出器は、エネルギー分散方向に並んだ複数の検出領域を有し、
前記検出器で前記信号を検出して前記信号のスペクトルを取得する分析装置におけるキャリブレーション方法であって、
前記試料と前記分光素子との間の位置関係、および前記分光素子と複数の前記検出領域の各々との間の位置関係に基づいて、複数の前記検出領域の各々で検出される前記信号のエネルギーを求める工程を含む。
試料に一次線を照射することによって前記試料で発生する信号を分光する分光素子と、
前記分光素子で分光された前記信号を検出する検出器と、
前記検出器の出力信号に基づいて、前記信号のスペクトルを生成するスペクトル生成部と、
を含み、
前記検出器は、エネルギー分散方向に並んだ複数の検出領域を有し、
前記スペクトル生成部は、前記試料と前記分光素子との間の位置関係、および前記分光素子と複数の前記検出領域の各々との間の位置関係に基づいて、複数の前記検出領域の各々で検出される前記信号のエネルギーを求める処理を行う。
まず、本実施形態に係る分析装置について図面を参照しながら説明する。図1は、本実施形態に係る分析装置100の構成を示す図である。
り合う複数の画素で構成されていてもよい。
次に、本実施形態に係るキャリブレーション方法を説明する。以下では、複数の検出領域2の各々で検出されるX線のエネルギーを求めて、スペクトルのエネルギー軸のキャリブレーションを行う手法について説明する。
および回折格子30と複数の検出領域2の各々との間の位置関係に基づいて、複数の検出領域2の各々で検出されるX線のエネルギーを求める工程を含む。
分析装置100を用いて、標準試料を測定してスペクトルを取得する。分析装置100において、電子線照射部10によって試料Sに電子線が照射されると、試料SからX線が発生する。試料Sから発生したX線は、X線集光ミラー20で集光され、回折格子30に入射する。回折格子30に入射したX線は、波長(エネルギー)に応じた出射角で出射されて、撮像素子42の検出面43に入射する。検出面43に入射したX線は、エネルギー分散方向Aに並んだ複数の検出領域2で検出される。撮像素子42の出力信号から、複数の検出領域2の各々で検出されたX線の強度の情報を得ることができる。
図5は、試料Sと回折格子30との間の位置関係、回折格子30と撮像素子42との間の位置関係を説明するための図である。なお、図5では、便宜上、分析装置100を構成する部材のうち、試料S、回折格子30、および撮像素子42のみを図示している。
ただし、dは、回折格子30の格子定数(格子周期)である。mは回折次数である。なお、回折次数mは基本的に1である。λはX線の波長である。αは回折格子30に入射するX線の入射角である。βは回折格子30で回折されたX線の出射角である。
ギー分散方向Aにおける検出領域2のピッチ(ピクセルピッチ)が、例えば、13.5μmであり、エネルギー分散方向Aにおける検出領域2aの位置がPピクセルである場合、検出領域2aの高さHは次式(1)で表される。
ただし、hは、回折格子30の回折面31に対する検出面43(撮像素子42)の高さである。
上記式(2)では、入射角α、距離D、高さHの最適解を得ることによって、エネルギー分散方向Aに並ぶ複数の検出領域2の各々で検出されるX線のエネルギー(波長)を一義的に求めることができる。
次に、分析装置100の処理部60の処理について説明する。まず、スペクトルのエネルギー軸のキャリブレーションを行う処理について説明する。図7は、分析装置100の処理部60のキャリブレーション処理の一例を示すフローチャートである。
強度の情報に基づいて、スペクトルを生成する(S202)。このとき、スペクトル生成部62は、ステップS104で求められた、複数の検出領域2の各々で検出されるX線のエネルギーに基づいて、スペクトルのエネルギー軸を設定する。
本実施形態に係るキャリブレーション方法は、例えば、以下の特徴を有する。
検出領域2の各々で検出されるX線のエネルギーを求める処理を行う。そのため、分析装置100によれば、例えば、多項式近似を用いてキャリブレーションする場合と比べて、精度よくエネルギー軸をキャリブレーションすることができる。
なお、本発明は上述した実施形態に限定されず、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。
上記式(2)を用いることによって、設定されたエネルギー軸を補正して新たにエネルギー軸を設定することができる。すなわち、エネルギー軸の再キャリブレーションができる。
第1変形例に係るキャリブレーション方法を説明する。以下では、試料Sを測定して得られた試料Sのスペクトルについて、当該スペクトルのエネルギー軸を、再度、キャリブレーションする手法について説明する。
分析装置100を用いて、試料Sを測定してスペクトルを取得する。これにより、横軸がエネルギー分散方向Aにおける検出領域2の位置、縦軸が検出領域2で検出されたX線の強度で表されるスペクトルが得られる。
試料Sのスペクトルのエネルギー軸を設定する。すなわち、スペクトルの横軸を、検出領域2の位置を表す軸から、エネルギー軸に変換する。このとき、ステップS14(図3参照)で求められた、複数の検出領域2の各々で検出されるX線のエネルギーに基づいて、スペクトルのエネルギー軸を設定する。
試料Sのスペクトルに基づいて、試料Sと回折格子30との間の位置関係、すなわち、入射角αを求める。
(図5参照)のずれである。そのため、上記式(2)において、試料Sの高さHsに関わるパラメーターである入射角αを再設定することで、エネルギー軸を補正することができる。なお、距離Dおよび高さHは、固定とし、ステップS14で求められた値を用いる。
次に、ステップS24で求めた入射角αを用いて、上記式(2)から、再度、複数の検出領域2の各々で検出されるX線のエネルギーを求める。
再度、求められた複数の検出領域2の各々で検出されるX線のエネルギーに基づいて、図10に示すスペクトルのエネルギー軸を補正する。
次に、スペクトルのエネルギー軸を補正する処理について説明する。図13は、処理部60のエネルギー軸を補正する処理の一例を示すフローチャートである。
上述した実施形態では、図1に示すように、試料Sで発生したX線を回折格子30で分光していたが、試料Sで発生したX線を分光する分光素子はこれに限定されず、X線を連続的にエネルギー分散可能な分光素子であればよい。このような分光素子としては、例えば、ゾーンプレートなどが挙げられる。このように回折格子以外の分光素子を用いた場合であっても、回折格子の場合と同様に、理論式を用いて、複数の検出領域2の各々で検出されるX線のエネルギーを求めることができる。
上述した実施形態では、標準試料のスペクトルを用いて、エネルギー軸のキャリブレーションを行う場合について説明した。ここで、例えば、未知試料のスペクトルであっても、データベースから一致するスペクトルを検索することで、標準試料のスペクトルと同様に、スペクトル中のピークの理論的または経験的に決定されたエネルギー値の情報を得ることができる。したがって、未知試料のスペクトルを用いて、上述した実施形態と同様に、エネルギー軸のキャリブレーションを行うことができる。
図14は、回折格子30と撮像素子42との間の位置関係を説明するための図である。
Claims (6)
- 試料に一次線を照射することによって前記試料で発生する信号を分光する分光素子と、
前記分光素子で分光された前記信号を検出する検出器と、
を含み、
前記検出器は、エネルギー分散方向に並んだ複数の検出領域を有し、
前記検出器で前記信号を検出して前記信号のスペクトルを取得する分析装置におけるキャリブレーション方法であって、
前記試料と前記分光素子との間の位置関係、および前記分光素子と複数の前記検出領域の各々との間の位置関係に基づいて、複数の前記検出領域の各々で検出される前記信号のエネルギーを求める工程を含む、キャリブレーション方法。 - 請求項1において、
前記信号は、X線であり、
前記分光素子は、X線を分光する回折格子である、キャリブレーション方法。 - 請求項2において、
次式を用いて複数の前記検出領域の各々で検出される前記信号のエネルギーを求める、キャリブレーション方法。
d(sinα−sin(tan−1(H/D)))=λ
ただし、dは前記回折格子の格子定数であり、αは前記回折格子に入射するX線の入射角であり、Hは前記回折格子の回折面に対する前記検出領域の高さであり、Dは前記回折格子と前記検出器の検出面との間の水平距離であり、λはX線の波長である。 - 請求項1ないし3のいずれか1項において、
前記分析装置を用いて標準試料を測定し、前記標準試料のスペクトルを取得する工程と、
取得した前記標準試料のスペクトルに基づいて、前記試料と前記分光素子との間の位置関係および前記分光素子と複数の前記検出領域の各々との間の位置関係を求める工程と、をさらに含む、キャリブレーション方法。 - 請求項1ないし4のいずれか1項において、
前記分析装置を用いて前記試料を測定し、前記試料のスペクトルを取得する工程と、
複数の前記検出領域の各々で検出される前記信号のエネルギーを求める工程で求められた、複数の前記検出領域の各々で検出される前記信号のエネルギーを用いて、前記試料のスペクトルのエネルギー軸を設定する工程と、
前記試料のスペクトルに基づいて、前記試料と前記分光素子との間の位置関係を求める工程と、
求められた前記試料と前記分光素子との間の位置関係に基づいて、再度、複数の前記検出領域の各々で検出される前記信号のエネルギーを求める工程と、
再度、求められた複数の前記検出領域の各々で検出される前記信号のエネルギーに基づいて、前記試料のスペクトルのエネルギー軸を補正する工程と、
をさらに含む、キャリブレーション方法。 - 試料に一次線を照射することによって前記試料で発生する信号を分光する分光素子と、
前記分光素子で分光された前記信号を検出する検出器と、
前記検出器の出力信号に基づいて、前記信号のスペクトルを生成するスペクトル生成部と、
を含み、
前記検出器は、エネルギー分散方向に並んだ複数の検出領域を有し、
前記スペクトル生成部は、前記試料と前記分光素子との間の位置関係、および前記分光素子と複数の前記検出領域の各々との間の位置関係に基づいて、複数の前記検出領域の各々で検出される前記信号のエネルギーを求める処理を行う、分析装置。
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