JP7170177B2 - 光源測定装置 - Google Patents
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Description
複数の発光点を有する光源の一例として、LDバーを挙げる。図1に、LDバー15の概略図を示す。
図2に、ビーム評価装置の外観模式図を示す。
Y=M×F1×sinθy
X=M×F1×sinθx
で表される。
第1反射型減衰フィルタ16および第2反射型減衰フィルタ17の配置の模式図を図3に示す。
空間フィルタ21の概略図を図4に示す。
(1.3×Lf×F2)/F1
か、
0.2×F1
のうち値の大きい方の±10%の範囲で規定すればよい。
また、SLOW方向寸法は、
(1.3×Ls×F2)/F1
か、
F1
のうち値の大きい方の±10%の範囲で規定すればよい。
F1>F2
である。すなわち、対物レンズ5は、集光レンズ19より倍率が大きい。
NFP用撮像素子23によって取得されたNFP測定画像の模式図を図5に示す。
演算機27によって角度座標系に変換されたFFP測定画像の模式図を図6に示す。
SMILE測定画像の模式図を図7に示す。
F2/F1×sinΔθx、
Y軸方向は、
F2/F1×sinΔθy
と表せる。
本開示の測定フローについて、図9および図2を参照して説明する。図9は実施の形態1における測定フロー図である。
以上の光源測定装置について、以下、その作用効果を説明する。
空間フィルタのスリット部のFAST方向寸法は、(1.3×Lf×F2)/F1、もしくは0.2×F1のうち値の大きい方から±10%の範囲である。
5 対物レンズ
6 ハーフミラー
8 フィールドレンズ
9 リレーレンズ
15 LDバー
16 第1反射型減衰フィルタ
17 第2反射型減衰フィルタ
18 ビームダンパー
19 第1集光レンズ
20 第2集光レンズ
21 空間フィルタ
22 結像レンズ
23 NFP用撮像素子
24 FFP用撮像素子
25 SMILE測定用結像レンズ
26 SMILE測定用撮像素子
27 演算機
28 ステージ部
29 パワー減衰・発光点選択部
30 NFP測定部
31 FFP測定部
32 SMILE測定部
33 遮光部
34 通過部
35 発光素子
36 発光点
37 FAST方向発光点幅
38 SLOW方向発光点幅
39 FAST方向拡がり角
40 SLOW方向拡がり角
41 NFP発光点像
42 FAST方向角度ずれ
43 SLOW方向角度ずれ
44 FFP発光点像
45 修正前SMILE像
46 修正後SMILE像
Claims (6)
- 複数の発光点を有する光源から発光される光を入射させる対物レンズと、
前記対物レンズから出射した光を通過させる第1反射型減衰フィルタと、
前記第1反射型減衰フィルタを透過した光を通過させる第2反射型減衰フィルタと、
前記第2反射型減衰フィルタを透過した光を入射させる集光レンズと、
前記集光レンズで集光された光の集光位置に配される空間フィルタと、
を含み、
前記第1反射型減衰フィルタと、前記第2反射型減衰フィルタとは、偏光方向が直交するよう配置され、
前記空間フィルタは、前記複数の発光点のうち計測対象である発光点のFAST方向に一致する方向が、前記計測対象である発光点のSLOW方向に一致する方向より長いスリット部を有し、
前記スリット部を通過した光を分岐させる分岐光学系と、
前記分岐光学系によって分岐された一方の光の画像に基づき、前記計測対象である発光点のNFPを測定するNFP測定部と、
前記分岐光学系によって分岐された他方の光の画像に基づき、前記計測対象である発光点のFFPを測定するFFP測定部と、を有する、
光源測定装置。 - X軸、Y軸、Z軸の3軸のうち、前記対物レンズから出射した光の進行方向と一致する軸をA軸、その他の軸をそれぞれB軸、C軸としたとき、
前記第1反射型減衰フィルタは、透過光の進む方向がA軸となり、反射光の進む方向がB軸となるよう配置され、
前記第2反射型減衰フィルタは、透過光の進む方向がA軸となり、反射光の進む方向がC軸となるよう配置される、
請求項1に記載の光源測定装置。 - 前記対物レンズは、前記集光レンズよりも倍率が大きい、
請求項1または2に記載の光源測定装置。 - 前記計測対象である発光点の発光素子のFAST方向の寸法をLf、前記対物レンズの焦点距離をF1、前記集光レンズの焦点距離をF2としたとき、
前記空間フィルタのスリット部のFAST方向寸法は、(1.3×Lf×F2)/F1、
もしくは0.2×F1のうち値の大きい方から±10%の範囲である、
請求項1~3のいずれかに記載の光源測定装置。 - 前記発光素子のSLOW方向の寸法をLsとしたとき、
前記空間フィルタのスリット部のSLOW方向寸法は、(1.3×Ls×F2)/F1、
もしくはF1のうち値の大きい方から±10%の範囲である、
請求項4に記載の光源測定装置。 - 前記複数の発光点のすべてを含む画像を撮影する発光点測定部と、
演算部と、
をさらに有し、
前記演算部は、
前記FFP測定部での画像に基づき、前記計測対象である発光点の照射角度のずれ量を算出し、
前記ずれ量を補正するよう、前記発光点測定部での画像の画像処理を行う、
請求項1に記載の光源測定装置。
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