JP7137783B2 - Wick sheet for vapor chamber, vapor chamber and method for manufacturing vapor chamber - Google Patents

Description

本発明は、作動液が密封された密封空間を有するベーパーチャンバ用のウィックシート、ベーパーチャンバおよびベーパーチャンバの製造方法に関する。 The present invention relates to a wick sheet for a vapor chamber having a sealed space in which hydraulic fluid is sealed, a vapor chamber, and a method for manufacturing the vapor chamber.

携帯端末やタブレット端末といったモバイル端末等で使用される中央演算処理装置（ＣＰＵ）や発光ダイオード（ＬＥＤ）、パワー半導体等の発熱を伴うデバイスは、ヒートパイプ等の放熱用部材によって冷却されている（例えば、特許文献１参照）。近年では、モバイル端末等の薄型化のために、放熱用部材の薄型化も求められており、ヒートパイプよりも薄型化を図ることができるベーパーチャンバの開発が進められている。ベーパーチャンバ内には、作動液が封入されており、この作動液がデバイスの熱を吸収して外部に放出することで、デバイスの冷却を行っている。 Devices that generate heat such as central processing units (CPUs), light emitting diodes (LEDs), and power semiconductors used in mobile terminals such as mobile terminals and tablet terminals are cooled by heat dissipating members such as heat pipes ( For example, see Patent Document 1). In recent years, in order to reduce the thickness of mobile terminals and the like, there has been a demand for thinner heat dissipating members, and the development of vapor chambers that can be made thinner than heat pipes is underway. A working fluid is sealed in the vapor chamber, and the working fluid absorbs the heat of the device and releases it to the outside, thereby cooling the device.

より具体的には、ベーパーチャンバ内の作動液は、デバイスに近接した部分（蒸発部）でデバイスから熱を受けて蒸発して蒸気になり、その後蒸気が、蒸発部から離れた位置に移動して冷却され、凝縮して液状になる。ベーパーチャンバ内には、毛細管構造（ウィック）としての液流路部が設けられており、液状になった作動液は、この液流路部を通過して蒸発部に輸送され、再び蒸発部で熱を受けて蒸発する。このようにして、作動液が、相変化、すなわち蒸発と凝縮とを繰り返しながらベーパーチャンバ内を還流することによりデバイスの熱を移動させ、熱輸送効率を高めている。 More specifically, the working fluid in the vapor chamber receives heat from the device at the portion (evaporation section) close to the device and evaporates into vapor, and then the vapor moves to a position away from the vaporization section. It cools down and condenses into a liquid. The vapor chamber is provided with a liquid flow path as a capillary structure (wick), and the liquefied working fluid passes through this liquid flow path and is transported to the evaporator, where it is again transported to the evaporator. Evaporate under heat. In this way, the working fluid circulates in the vapor chamber while repeating phase changes, that is, evaporation and condensation, thereby transferring heat in the device and increasing heat transport efficiency.

ところで、ベーパーチャンバとして、第１金属シートと、第１金属シートに接合された第２金属シートとを備えたものが知られている。この第１金属シートの第２金属シートの側の面には、作動液の蒸気が通る蒸気流路部が設けられ、第２金属シートの第１金属シートの側の面には、液状の作動液が通る液流路部が設けられている。 By the way, as a vapor chamber, one is known that includes a first metal sheet and a second metal sheet joined to the first metal sheet. The surface of the first metal sheet on the side of the second metal sheet is provided with a vapor passage portion through which the vapor of the hydraulic fluid passes, and the surface of the second metal sheet on the side of the first metal sheet is provided with a liquid operating fluid. A liquid flow path is provided through which liquid flows.

特開２０１５－５９６９３号公報JP 2015-59693 A

このように、各々の金属シートに、蒸気流路部や液流路部を設ける場合、各金属シートに、このような流路部を設けるための加工が行われる。このため、ベーパーチャンバの製造工程が煩雑化するという問題がある。また、２つの金属シートを接合する際には、一方の金属シートに設けられた流路部と、他方の金属シートに設けられた流路部との位置合わせ精度が要求される。このため、ベーパーチャンバの製造の簡易化が困難になっている問題もある。 In this way, when each metal sheet is provided with a vapor channel portion and a liquid channel portion, each metal sheet is processed to provide such channel portions. Therefore, there is a problem that the manufacturing process of the vapor chamber is complicated. Also, when joining two metal sheets, alignment accuracy is required between the flow path provided in one metal sheet and the flow path provided in the other metal sheet. For this reason, there is also the problem that it is difficult to simplify the manufacture of the vapor chamber.

本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、簡易に製造することができるベーパーチャンバ用のウィックシート、ベーパーチャンバおよびベーパーチャンバの製造方法を提供することを目的とする。 SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in consideration of such points, and an object of the present invention is to provide a wick sheet for a vapor chamber, a vapor chamber, and a method for manufacturing the vapor chamber, which can be manufactured easily.

本発明は、
第１シートと第２シートとの間に介在され、作動液が封入された密封空間を有するベーパーチャンバ用のウィックシートであって、
前記第１シートに当接する第１面と、
前記第１面とは反対側に設けられ、前記第２シートに当接する第２面と、
前記第１面に設けられ、前記密封空間の一部を構成し、液状の前記作動液が通る液流路部と、
前記第２面に設けられ、前記液流路部と連通して前記密封空間の一部を構成し、前記作動液の蒸気が通る蒸気流路部と、を備えた、ベーパーチャンバ用のウィックシート、
を提供する。 The present invention
A wick sheet for a vapor chamber interposed between a first sheet and a second sheet and having a sealed space in which a hydraulic fluid is enclosed,
a first surface in contact with the first sheet;
a second surface provided opposite to the first surface and in contact with the second sheet;
a liquid flow path portion provided on the first surface, forming a part of the sealed space, and through which the liquid working fluid passes;
a wick sheet for a vapor chamber, provided on the second surface, communicating with the liquid flow path to constitute a part of the sealed space, and through which the vapor of the working fluid passes. ,
I will provide a.

なお、上述したベーパーチャンバ用のウィックシートにおいて、
前記蒸気流路部は、前記ウィックシートの前記第２面に凹状に形成され、
前記蒸気流路部と前記液流路部とを連通した連通部を更に備えた、
ようにしてもよい。 In addition, in the wick sheet for the vapor chamber described above,
the steam channel portion is formed in a concave shape on the second surface of the wick sheet,
further comprising a communicating portion that communicates the vapor channel portion and the liquid channel portion;
You may do so.

また、上述したベーパーチャンバ用のウィックシートにおいて、
前記液流路部は、液状の前記作動液が通る複数の主流溝を有し、
前記連通部は、複数の前記主流溝に接して連通している、
ようにしてもよい。 Further, in the wick sheet for the vapor chamber described above,
the liquid flow path portion has a plurality of main grooves through which the liquid working fluid passes,
The communicating portion is in contact with and communicates with the plurality of main grooves,
You may do so.

また、上述したベーパーチャンバ用のウィックシートにおいて、
前記連通部は、前記ウィックシートの前記第１面に凹状に形成され、
前記蒸気流路部を画定する壁面と前記連通部を画定する壁面は、貫通部を介して連通され、前記貫通部に向かって湾曲している、
ようにしてもよい。 Further, in the wick sheet for the vapor chamber described above,
The communicating portion is formed in a concave shape on the first surface of the wick sheet,
A wall surface defining the steam flow path portion and a wall surface defining the communicating portion communicate with each other through a through portion, and are curved toward the through portion.
You may do so.

また、上述したベーパーチャンバ用のウィックシートにおいて、
前記蒸気流路部内に、前記蒸気流路部の底部から突出して前記第２シートに当接する複数の流路突出部が設けられ、
前記貫通部の両側で当該貫通部に隣り合う一対の前記流路突出部の中心を含む断面において、前記貫通部の幅は、当該一対の流路突出部の間のギャップおよび／または対応する前記連通部の幅よりも小さい、
ようにしてもよい。 Further, in the wick sheet for the vapor chamber described above,
a plurality of flow path protrusions protruding from the bottom of the steam flow path and contacting the second sheet are provided in the steam flow path,
In a cross section including the centers of the pair of flow passage protrusions adjacent to the penetration portion on both sides of the penetration portion, the width of the penetration portion is the gap between the pair of flow passage protrusions and/or the corresponding smaller than the width of the communicating part,
You may do so.

また、上述したベーパーチャンバ用のウィックシートにおいて、
前記蒸気流路部内に、前記蒸気流路部の底部から突出して前記第２シートに当接する複数の流路突出部が設けられている、
ようにしてもよい。 Further, in the wick sheet for the vapor chamber described above,
A plurality of flow path protrusions are provided in the steam flow path section, projecting from a bottom portion of the steam flow path section and contacting the second sheet,
You may do so.

また、上述したベーパーチャンバ用のウィックシートにおいて、
複数の前記流路突出部は、平面視で、千鳥状に配置されている、
ようにしてもよい。 Further, in the wick sheet for the vapor chamber described above,
The plurality of flow path protrusions are arranged in a zigzag pattern in a plan view,
You may do so.

また、上述したベーパーチャンバ用のウィックシートにおいて、
前記連通部は、平面視で、互いに隣り合う前記流路突出部の間に配置されている、
ようにしてもよい。 Further, in the wick sheet for the vapor chamber described above,
The communication portion is arranged between the flow path protrusions adjacent to each other in a plan view,
You may do so.

また、上述したベーパーチャンバ用のウィックシートにおいて、
前記蒸気流路部は、前記第２面から前記第１面に延びている、
ようにしてもよい。 Further, in the wick sheet for the vapor chamber described above,
the steam channel portion extends from the second surface to the first surface,
You may do so.

また、上述したベーパーチャンバ用のウィックシートにおいて、
前記液流路部は、前記第２面にも設けられている、
ようにしてもよい。 Further, in the wick sheet for the vapor chamber described above,
The liquid flow path portion is also provided on the second surface,
You may do so.

また、上述したベーパーチャンバ用のウィックシートにおいて、
前記液流路部は、第１方向に延び、液状の前記作動液が通る複数の主流溝と、互いに隣り合う主流溝同士を連通する連絡溝と、を有し、
前記蒸気流路部は、前記連絡溝に接して連通している、
ようにしてもよい。 Further, in the wick sheet for the vapor chamber described above,
The liquid flow path portion extends in a first direction and has a plurality of main grooves through which the liquid working fluid passes, and a communication groove that communicates the adjacent main grooves,
The steam flow path portion is in contact with and communicates with the communication groove,
You may do so.

また、上述したベーパーチャンバ用のウィックシートにおいて、
前記液流路部は、第１方向に延び、液状の前記作動液が通る複数の主流溝と、互いに隣り合う主流溝同士を連通する連絡溝と、を有し、
前記第１面に設けられた前記主流溝と、前記第２面に設けられた前記主流溝は、平面視で重なっている、
ようにしてもよい。 Further, in the wick sheet for the vapor chamber described above,
The liquid flow path portion extends in a first direction and has a plurality of main grooves through which the liquid working fluid passes, and a communication groove that communicates the adjacent main grooves,
The main groove provided on the first surface and the main groove provided on the second surface overlap in plan view,
You may do so.

また、上述したベーパーチャンバ用のウィックシートにおいて、
前記液流路部は、第１方向に延び、液状の前記作動液が通る複数の主流溝と、互いに隣り合う主流溝同士を連通する連絡溝と、を有し、
前記第１面に設けられた前記主流溝と、前記第２面に設けられた前記主流溝は、平面視で少なくとも部分的に重なっていない、
ようにしてもよい。 Further, in the wick sheet for the vapor chamber described above,
The liquid flow path portion extends in a first direction and has a plurality of main grooves through which the liquid working fluid passes, and a communication groove that communicates the adjacent main grooves,
The main groove provided on the first surface and the main groove provided on the second surface do not overlap at least partially in a plan view,
You may do so.

また、上述したベーパーチャンバ用のウィックシートにおいて、
前記蒸気流路部は、前記連絡溝に接して連通している、
ようにしてもよい。 Further, in the wick sheet for the vapor chamber described above,
The steam flow path portion is in contact with and communicates with the communication groove,
You may do so.

また、上述したベーパーチャンバ用のウィックシートにおいて、
平面視で内側に前記蒸気流路部を画定する枠体部と、
前記蒸気流路部内に設けられたランド部と、を更に備えた、
ようにしてもよい。 Further, in the wick sheet for the vapor chamber described above,
a frame portion defining the steam channel portion inside in a plan view;
A land portion provided in the steam flow path portion,
You may do so.

また、上述したベーパーチャンバ用のウィックシートにおいて、
前記ランド部は、前記第１面を構成する第１ランド面と、前記第２面を構成する第２ランド面と、を有し、
前記液流路部は、前記第１ランド面に設けられた第１ランド液流路部を含んでいる、
ようにしてもよい。 Further, in the wick sheet for the vapor chamber described above,
The land portion has a first land surface that constitutes the first surface and a second land surface that constitutes the second surface,
The liquid flow path includes a first land liquid flow path provided on the first land surface,
You may do so.

また、上述したベーパーチャンバ用のウィックシートにおいて、
前記液流路部は、前記第２ランド面に設けられた第２ランド液流路部を更に含んでいる、
ようにしてもよい。 Further, in the wick sheet for the vapor chamber described above,
The liquid flow path further includes a second land liquid flow path provided on the second land surface,
You may do so.

また、上述したベーパーチャンバ用のウィックシートにおいて、
前記液流路部は、第１方向に延び、液状の前記作動液が通る複数の主流溝と、互いに隣り合う主流溝同士を連通する連絡溝と、を有し、
前記蒸気流路部は、前記連絡溝に接して連通している、
ようにしてもよい。 Further, in the wick sheet for the vapor chamber described above,
The liquid flow path portion extends in a first direction and has a plurality of main grooves through which the liquid working fluid passes, and a communication groove that communicates the adjacent main grooves,
The steam flow path portion is in contact with and communicates with the communication groove,
You may do so.

また、上述したベーパーチャンバ用のウィックシートにおいて、
前記液流路部は、第１方向に延び、液状の前記作動液が通る複数の主流溝と、互いに隣り合う主流溝同士を連通する連絡溝と、を有し、
前記第１ランド面に設けられた前記主流溝と、前記第２ランド面に設けられた前記主流溝は、平面視で重なっている、
ようにしてもよい。 Further, in the wick sheet for the vapor chamber described above,
The liquid flow path portion extends in a first direction and has a plurality of main grooves through which the liquid working fluid passes, and a communication groove that communicates the adjacent main grooves,
The main groove provided on the first land surface and the main groove provided on the second land surface overlap in plan view,
You may do so.

また、上述したベーパーチャンバ用のウィックシートにおいて、
前記液流路部は、第１方向に延び、液状の前記作動液が通る複数の主流溝と、互いに隣り合う主流溝同士を連通する連絡溝と、を有し、
前記第１ランド面に設けられた前記主流溝と、前記第２ランド面に設けられた前記主流溝は、平面視で少なくとも部分的に重なっていない、
ようにしてもよい。 Further, in the wick sheet for the vapor chamber described above,
The liquid flow path portion extends in a first direction and has a plurality of main grooves through which the liquid working fluid passes, and a communication groove that communicates the adjacent main grooves,
the main groove provided on the first land surface and the main groove provided on the second land surface do not at least partially overlap in plan view;
You may do so.

また、上述したベーパーチャンバ用のウィックシートにおいて、
前記蒸気流路部は、前記連絡溝に接して連通している、
ようにしてもよい。 Further, in the wick sheet for the vapor chamber described above,
The steam flow path portion is in contact with and communicates with the communication groove,
You may do so.

また、上述したベーパーチャンバ用のウィックシートにおいて、
前記蒸気流路部内に、前記ランド部を前記枠体部に支持する第１支持部が設けられている、
ようにしてもよい。 Further, in the wick sheet for the vapor chamber described above,
A first support portion for supporting the land portion on the frame portion is provided in the steam flow path portion,
You may do so.

また、上述したベーパーチャンバ用のウィックシートにおいて、
前記蒸気流路部内に、複数の前記ランド部が設けられ、
前記蒸気流路部内に、互いに隣り合う前記ランド部同士を支持する第２支持部が設けられている、
ようにしてもよい。 Further, in the wick sheet for the vapor chamber described above,
A plurality of the land portions are provided in the steam flow path portion,
A second support portion is provided in the steam flow path portion to support the land portions adjacent to each other.
You may do so.

また、上述したベーパーチャンバ用のウィックシートにおいて、
前記枠体部は、前記第１面を構成する第１枠体面と、前記第２面を構成する第２枠体面と、を有し、
前記液流路部は、前記第１枠体面に設けられた第１枠体液流路部を含んでいる、
ようにしてもよい。 Further, in the wick sheet for the vapor chamber described above,
The frame body portion has a first frame body surface that constitutes the first surface and a second frame body surface that constitutes the second surface,
The liquid flow path section includes a first frame liquid flow path section provided on the first frame surface.
You may do so.

また、上述したベーパーチャンバ用のウィックシートにおいて、
前記液流路部は、前記第２面に設けられた第２枠体液流路部を更に含んでいる、
ようにしてもよい。 Further, in the wick sheet for the vapor chamber described above,
The liquid flow path further includes a second frame liquid flow path provided on the second surface,
You may do so.

また、上述したベーパーチャンバ用のウィックシートにおいて、
前記液流路部は、各々が第１方向に延びて液状の前記作動液が通る複数の主流溝を有し、
互いに隣り合う一対の主流溝の間に、連絡溝を介して前記第１方向に配列された複数の凸部を含む凸部列が設けられ、
前記主流溝は、前記連絡溝と連通する交差部と、前記第１方向において前記交差部とは異なる位置に位置するとともに、互いに隣り合う一対の前記凸部の間に位置する主流溝本体部と、を含んでいる、
ようにしてもよい。 Further, in the wick sheet for the vapor chamber described above,
the liquid flow path portion has a plurality of main flow grooves each extending in a first direction through which the liquid working fluid passes;
Between a pair of adjacent main grooves, a projection row including a plurality of projections arranged in the first direction via a communication groove is provided,
The main groove includes an intersection portion communicating with the communication groove, and a main groove body portion positioned between the pair of adjacent protrusions and positioned at a position different from the intersection portion in the first direction. , contains
You may do so.

また、上述したベーパーチャンバ用のウィックシートにおいて、
前記主流溝の前記交差部の深さは、前記主流溝本体部の深さよりも深い、
ようにしてもよい。 Further, in the wick sheet for the vapor chamber described above,
the depth of the intersecting portion of the main groove is greater than the depth of the main groove main body;
You may do so.

また、上述したベーパーチャンバ用のウィックシートにおいて、
前記主流溝の前記交差部の深さは、前記連絡溝の深さよりも深い、
ようにしてもよい。 Further, in the wick sheet for the vapor chamber described above,
the depth of the intersecting portion of the main groove is deeper than the depth of the communication groove,
You may do so.

また、上述したベーパーチャンバ用のウィックシートにおいて、
前記連絡溝は、対応する一対の前記主流溝を連通し、
前記連絡溝の幅は、前記主流溝の幅よりも大きい、
ようにしてもよい。 Further, in the wick sheet for the vapor chamber described above,
The communication groove communicates with the corresponding pair of main grooves,
The width of the communication groove is greater than the width of the main groove,
You may do so.

また、上述したベーパーチャンバ用のウィックシートにおいて、
前記連絡溝の深さは、前記主流溝の深さよりも深い、
ようにしてもよい。 Further, in the wick sheet for the vapor chamber described above,
the depth of the communication groove is deeper than the depth of the main groove,
You may do so.

また、上述したベーパーチャンバ用のウィックシートにおいて、
前記凸部は、千鳥状に配置されている、
ようにしてもよい。 Further, in the wick sheet for the vapor chamber described above,
The convex portions are arranged in a zigzag pattern,
You may do so.

また、本発明は、
作動液が封入された密封空間を有するベーパーチャンバであって、
第１シートと、
第２シートと、
前記第１シートと前記第２シートとの間に介在された、上述のウィックシートと、を備えた、ベーパーチャンバ、
を提供する。 In addition, the present invention
A vapor chamber having a sealed space in which a hydraulic fluid is enclosed,
a first sheet;
a second sheet;
a wick sheet as described above interposed between said first sheet and said second sheet;
I will provide a.

また、上述したベーパーチャンバにおいて、
前記第１シートは、平面視で、前記ウィックシートの外側に設けられた第１周縁部を有し、
前記第２シートは、平面視で、前記ウィックシートの外側に設けられた第２周縁部を有し、
前記第１周縁部と前記第２周縁部との間に、スペーサ部材が介在され、
前記第１周縁部と前記第２周縁部は、前記スペーサ部材を介して拡散接合されている、
ようにしてもよい。 Also, in the vapor chamber described above,
The first sheet has a first peripheral portion provided outside the wick sheet in plan view,
The second sheet has a second peripheral edge provided outside the wick sheet in plan view,
A spacer member is interposed between the first peripheral edge portion and the second peripheral edge portion,
The first peripheral edge portion and the second peripheral edge portion are diffusion-bonded via the spacer member,
You may do so.

また、上述したベーパーチャンバにおいて、
前記第１シートは、前記ウィックシートの側の面のうち平面視で前記ウィックシートの外側に設けられた第１熱融着層を有し、
前記第２シートは、前記ウィックシートの側の面のうち平面視で前記ウィックシートの外側に設けられた第２熱融着層を有し、
前記第１熱融着層と前記第２熱融着層が、ヒートシールされている、
ようにしてもよい。 Also, in the vapor chamber described above,
The first sheet has a first heat-sealable layer provided outside the wick sheet in plan view on the surface on the wick sheet side,
The second sheet has a second heat-sealing layer provided outside the wick sheet in plan view on the surface on the wick sheet side,
The first heat sealing layer and the second heat sealing layer are heat-sealed.
You may do so.

また、上述したベーパーチャンバにおいて、
前記第１シートの前記ウィックシートの側の面は、平坦状に形成されている、
ようにしてもよい。 Also, in the vapor chamber described above,
A surface of the first sheet on the side of the wick sheet is formed flat,
You may do so.

また、上述したベーパーチャンバにおいて、
前記第１シートと前記ウィックシートは拡散接合されているとともに、前記第２シートと前記ウィックシートは拡散接合されている、
ようにしてもよい。 Also, in the vapor chamber described above,
The first sheet and the wick sheet are diffusion-bonded, and the second sheet and the wick sheet are diffusion-bonded,
You may do so.

また、上述したベーパーチャンバにおいて、
前記第１シートは、前記ウィックシートの側に設けられた第１本体シートと、前記第１本体シートに対して前記ウィックシートの側とは反対側に設けられた第１補強シートと、を有し、
前記第１補強シートは、前記第１本体シートよりも高い機械的強度を有している、
ようにしてもよい。 Also, in the vapor chamber described above,
The first sheet has a first body sheet provided on the wick sheet side, and a first reinforcing sheet provided on the opposite side of the first body sheet to the wick sheet side. death,
The first reinforcing sheet has higher mechanical strength than the first main body sheet,
You may do so.

また、上述したベーパーチャンバにおいて、
前記第２シートは、前記ウィックシートの側に設けられた第２本体シートと、前記第２本体シートに対して前記ウィックシートの側とは反対側に設けられた第２補強シートと、を有し、
前記第２補強シートは、前記第２本体シートよりも高い機械的強度を有している、
ようにしてもよい。 Also, in the vapor chamber described above,
The second sheet has a second body sheet provided on the wick sheet side, and a second reinforcing sheet provided on the opposite side of the second body sheet to the wick sheet side. death,
The second reinforcing sheet has higher mechanical strength than the second body sheet,
You may do so.

また、本発明は、
作動液が封入された密封空間を有するベーパーチャンバの製造方法であって、
第１面と、前記第１面とは反対側に設けられた第２面と、を有するウィックシートを作製するウィックシート作製工程であって、前記第１面に設けられた、前記密封空間の一部を構成し、液状の前記作動液が通る液流路部と、前記第２面に設けられた、前記液流路部と連通して前記密封空間の一部を構成し、前記作動液の蒸気が通る蒸気流路部と、を有するウィックシートを作製するウィックシート作製工程と、
第１シートと第２シートとの間に前記ウィックシートを介在させて、前記第１シートと前記第２シートとを接合する接合工程であって、前記第１シートと前記第２シートとの間に、前記密封空間を形成する接合工程と、
前記密封空間に前記作動液を封入する封入工程と、を備えた、ベーパーチャンバの製造方法、
を提供する。 In addition, the present invention
A method for manufacturing a vapor chamber having a sealed space in which a working fluid is enclosed,
A wick sheet producing step for producing a wick sheet having a first surface and a second surface provided opposite to the first surface, wherein the sealed space provided on the first surface is a liquid flow path part through which the liquid working fluid passes; and a part of the sealed space that communicates with the liquid flow path part provided on the second surface, and the working fluid a wick sheet producing step for producing a wick sheet having a steam channel portion through which the steam of
a joining step of joining the first sheet and the second sheet by interposing the wick sheet between the first sheet and the second sheet, the joining step comprising: a bonding step of forming the sealed space;
A method for manufacturing a vapor chamber, comprising a sealing step of sealing the working liquid in the sealed space;
I will provide a.

また、上述したベーパーチャンバの製造方法において、
前記第１シートは、平面視で、前記ウィックシートの外側に設けられた第１周縁部を有し、
前記第２シートは、平面視で、前記ウィックシートの外側に設けられた第２周縁部を有し、
前記接合工程において、前記第１シートの前記第１周縁部と前記第２シートの前記第２周縁部との間に、スペーサ部材が介在され、前記第１周縁部と前記第２周縁部は、前記スペーサ部材を介して拡散接合される、
ようにしてもよい。 Further, in the vapor chamber manufacturing method described above,
The first sheet has a first peripheral portion provided outside the wick sheet in plan view,
The second sheet has a second peripheral edge provided outside the wick sheet in plan view,
In the bonding step, a spacer member is interposed between the first peripheral edge portion of the first sheet and the second peripheral edge portion of the second sheet, and the first peripheral edge portion and the second peripheral edge portion are: Diffusion bonding via the spacer member,
You may do so.

また、上述したベーパーチャンバの製造方法において、
前記第１シートは、前記ウィックシートの側の面のうち平面視で前記ウィックシートの外側に設けられた第１熱融着層を有し、
前記第２シートは、前記ウィックシートの側の面のうち平面視で前記ウィックシートの外側に設けられた第２熱融着層を有し、
前記接合工程において、前記第１熱融着層と前記第２熱融着層が、ヒートシールされる、
ようにしてもよい。 Further, in the vapor chamber manufacturing method described above,
The first sheet has a first heat-sealable layer provided outside the wick sheet in plan view on the surface on the wick sheet side,
The second sheet has a second heat-sealing layer provided outside the wick sheet in plan view on the surface on the wick sheet side,
In the bonding step, the first heat sealing layer and the second heat sealing layer are heat-sealed.
You may do so.

また、上述したベーパーチャンバの製造方法において、
前記接合工程において、前記第１シートと前記ウィックシートは拡散接合されるとともに、第２シートと前記ウィックシートは拡散接合される、
ようにしてもよい。 Further, in the vapor chamber manufacturing method described above,
In the bonding step, the first sheet and the wick sheet are diffusion bonded, and the second sheet and the wick sheet are diffusion bonded.
You may do so.

また、上述したベーパーチャンバの製造方法において、
前記第１シートは、前記ウィックシートの側に設けられた第１本体シートと、前記第１本体シートに対して前記ウィックシートの側とは反対側に設けられた第１補強シートと、を有し、
前記第１補強シートは、前記第１本体シートよりも高い機械的強度を有している、
ようにしてもよい。 Further, in the vapor chamber manufacturing method described above,
The first sheet has a first body sheet provided on the wick sheet side, and a first reinforcing sheet provided on the opposite side of the first body sheet to the wick sheet side. death,
The first reinforcing sheet has higher mechanical strength than the first main body sheet,
You may do so.

また、上述したベーパーチャンバの製造方法において、
前記第２シートは、前記ウィックシートの側に設けられた第２本体シートと、前記第２本体シートに対して前記ウィックシートの側とは反対側に設けられた第２補強シートと、を有し、
前記第２補強シートは、前記第２本体シートよりも高い機械的強度を有している、
ようにしてもよい。 Further, in the vapor chamber manufacturing method described above,
The second sheet has a second body sheet provided on the wick sheet side, and a second reinforcing sheet provided on the opposite side of the second body sheet to the wick sheet side. death,
The second reinforcing sheet has higher mechanical strength than the second body sheet,
You may do so.

本発明によれば、簡易に製造することができる。 According to the present invention, it can be manufactured easily.

図１は、本発明の第１の実施の形態による電子機器を説明する模式斜視図である。FIG. 1 is a schematic perspective view illustrating an electronic device according to a first embodiment of the invention. 図２は、本発明の第１の実施の形態によるベーパーチャンバを示す上面図である。FIG. 2 is a top view showing the vapor chamber according to the first embodiment of the invention. 図３は、図２のベーパーチャンバを示すＡ－Ａ線断面図である。3 is a cross-sectional view taken along the line AA showing the vapor chamber of FIG. 2. FIG. 図４は、図２のウィックシートの上面図である。4 is a top view of the wick sheet of FIG. 2; FIG. 図５は、図２のウィックシートの下面図である。5 is a bottom view of the wick sheet of FIG. 2. FIG. 図６は、図５の下側液流路部を示す部分拡大下面図である。6 is a partially enlarged bottom view showing the lower liquid flow path portion of FIG. 5. FIG. 図７は、主流溝を下側金属シートと共に示す図５のＢ－Ｂ線拡大断面図である。FIG. 7 is an enlarged cross-sectional view taken along line BB of FIG. 5 showing the mainstream grooves together with the lower metal sheet. 図８は、本発明の第１の実施の形態のベーパーチャンバの製造方法において、ウィックシートの準備工程を説明するための図である。FIG. 8 is a diagram for explaining a wick sheet preparation step in the vapor chamber manufacturing method according to the first embodiment of the present invention. 図９は、本発明の第１の実施の形態のベーパーチャンバの製造方法において、レジスト形成工程を説明するための図である。FIG. 9 is a diagram for explaining a resist forming step in the vapor chamber manufacturing method according to the first embodiment of the present invention. 図１０は、本発明の第１の実施の形態のベーパーチャンバの製造方法において、レジストのパターニング工程を説明するための図である。FIG. 10 is a diagram for explaining a resist patterning step in the vapor chamber manufacturing method according to the first embodiment of the present invention. 図１１は、本発明の第１の実施の形態のベーパーチャンバの製造方法において、エッチング工程を説明するための図である。FIG. 11 is a diagram for explaining an etching step in the vapor chamber manufacturing method according to the first embodiment of the present invention. 図１２は、本発明の第１の実施の形態のベーパーチャンバの製造方法において、レジスト除去工程を説明するための図である。FIG. 12 is a diagram for explaining a resist removing step in the vapor chamber manufacturing method according to the first embodiment of the present invention. 図１３は、本発明の第１の実施の形態のベーパーチャンバの製造方法において、組立工程を説明するための図である。13A and 13B are diagrams for explaining an assembly process in the vapor chamber manufacturing method according to the first embodiment of the present invention. FIG. 図１４は、本発明の第１の実施の形態のベーパーチャンバの製造方法において、仮止め工程を説明するための図である。FIG. 14 is a diagram for explaining a temporary fixing step in the vapor chamber manufacturing method according to the first embodiment of the present invention. 図１５は、本発明の第１の実施の形態のベーパーチャンバの製造方法において、接合工程を説明するための図である。FIG. 15 is a diagram for explaining a bonding step in the vapor chamber manufacturing method according to the first embodiment of the present invention. 図１６は、本発明の第１の実施の形態のベーパーチャンバの製造方法において、真空引き工程を説明するための図である。FIG. 16 is a diagram for explaining a vacuum drawing step in the vapor chamber manufacturing method according to the first embodiment of the present invention. 図１７は、本発明の第１の実施の形態のベーパーチャンバの製造方法において、作動液の注入工程を説明するための図である。FIG. 17 is a diagram for explaining a working fluid injection step in the vapor chamber manufacturing method according to the first embodiment of the present invention. 図１８は、本発明の第１の実施の形態のベーパーチャンバの製造方法において、封止工程を説明するための図である。FIG. 18 is a diagram for explaining a sealing step in the vapor chamber manufacturing method according to the first embodiment of the present invention. 図１９は、図５の下側液流路部の変形例（第１変形例）を示す部分拡大下面図である。FIG. 19 is a partially enlarged bottom view showing a modified example (first modified example) of the lower liquid flow path portion of FIG. 図２０は、連絡溝を下側金属シートと共に示す図１９のＣ－Ｃ線拡大断面図である。FIG. 20 is an enlarged cross-sectional view taken along line CC of FIG. 19 showing the communication groove together with the lower metal sheet. 図２１は、主流溝および連絡溝を下側金属シートと共に示す図１９のＤ－Ｄ線拡大断面図である。21 is an enlarged cross-sectional view taken along line DD of FIG. 19 showing the main groove and the connecting groove together with the lower metal sheet. 図２２は、図６の液流路部の変形例（第２変形例）を示す部分拡大下面図である。FIG. 22 is a partially enlarged bottom view showing a modified example (second modified example) of the liquid flow path shown in FIG. 図２３は、本発明の第２の実施の形態によるベーパーチャンバを示す断面図であって、図３に相当する断面図である。FIG. 23 is a cross-sectional view showing a vapor chamber according to a second embodiment of the invention, and is a cross-sectional view corresponding to FIG. 図２４は、図２３に示すベーパーチャンバの変形例を示す断面図である。24 is a cross-sectional view showing a modification of the vapor chamber shown in FIG. 23. FIG. 図２５は、本発明の第３の実施の形態によるベーパーチャンバを示す上面図である。FIG. 25 is a top view showing a vapor chamber according to a third embodiment of the invention. 図２６は、図２５のベーパーチャンバを示すＢ－Ｂ線断面図である。26 is a cross-sectional view taken along line BB showing the vapor chamber of FIG. 25. FIG. 図２７は、図２５のウィックシートの上面図である。27 is a top view of the wick sheet of FIG. 25; FIG. 図２８は、図２５のウィックシートの下面図である。28 is a bottom view of the wick sheet of FIG. 25; FIG. 図２９は、図２７のＥ－Ｅ線断面図である。29 is a cross-sectional view taken along line EE of FIG. 27. FIG. 図３０は、図２８の下側液流路部を示す部分拡大下面図である。30 is a partially enlarged bottom view showing the lower liquid flow path portion of FIG. 28. FIG. 図３１は、図２６に示すベーパーチャンバの変形例を示す断面図である。31 is a cross-sectional view showing a modification of the vapor chamber shown in FIG. 26. FIG. 図３２は、図３１の下側液流路部および上側液流路部を示す部分拡大断面図である。32 is a partially enlarged cross-sectional view showing the lower liquid flow path portion and the upper liquid flow path portion of FIG. 31. FIG. 図３３は、図３２に示す下側液流路部および上側液流路部の変形例を示す部分拡大断面図である。33 is a partially enlarged cross-sectional view showing a modification of the lower liquid flow path section and the upper liquid flow path section shown in FIG. 32. FIG. 図３４は、本発明の第４の実施の形態によるベーパーチャンバを示す断面図である。FIG. 34 is a cross-sectional view showing a vapor chamber according to a fourth embodiment of the invention;

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。なお、本明細書に添付する図面においては、図示と理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺及び縦横の寸法比等を、実物のそれらから変更し誇張してある。 BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the drawings attached to this specification, for the sake of ease of illustration and understanding, the scale, length-to-width ratio, etc. are appropriately changed and exaggerated from those of the real thing.

図１乃至図２２を用いて、本発明の実施の形態におけるベーパーチャンバ用のウィックシート、ベーパーチャンバおよびベーパーチャンバの製造方法について説明する。本実施の形態におけるベーパーチャンバ１は、電子機器Ｅに収容された発熱体としてのデバイスＤを冷却するために、電子機器Ｅに搭載される装置である。デバイスＤの例としては、携帯端末やタブレット端末といったモバイル端末等で使用される中央演算処理装置（ＣＰＵ）、発光ダイオード（ＬＥＤ）、パワー半導体等の発熱を伴う電子デバイス（被冷却装置）が挙げられる。 A wick sheet for a vapor chamber, a vapor chamber, and a method of manufacturing the vapor chamber according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 22. FIG. The vapor chamber 1 according to the present embodiment is a device mounted on the electronic equipment E in order to cool the device D as a heating element housed in the electronic equipment E. As shown in FIG. Examples of device D include central processing units (CPUs) used in mobile terminals such as mobile terminals and tablet terminals, light emitting diodes (LEDs), and electronic devices (cooled devices) that generate heat such as power semiconductors. be done.

ここではまず、本実施の形態によるベーパーチャンバ１が搭載される電子機器Ｅについて、タブレット端末を例にとって説明する。図１に示すように、電子機器Ｅ（タブレット端末）は、ハウジングＨと、ハウジングＨ内に収容されたデバイスＤと、ベーパーチャンバ１と、を備えている。図１に示す電子機器Ｅでは、ハウジングＨの前面にタッチパネルディスプレイＴＤが設けられている。ベーパーチャンバ１は、ハウジングＨ内に収容されて、デバイスＤに熱的に接触するように配置される。このことにより、電子機器Ｅの使用時にデバイスＤで発生する熱をベーパーチャンバ１が受けることができる。ベーパーチャンバ１が受けた熱は、後述する作動液２を介してベーパーチャンバ１の外部に放出される。このようにして、デバイスＤは効果的に冷却される。電子機器Ｅがタブレット端末である場合には、デバイスＤは、中央演算処理装置等に相当する。 First, a tablet terminal will be described as an example of an electronic device E on which the vapor chamber 1 according to the present embodiment is mounted. As shown in FIG. 1 , the electronic device E (tablet terminal) includes a housing H, a device D housed in the housing H, and a vapor chamber 1 . In the electronic device E shown in FIG. 1, a touch panel display TD is provided on the front surface of the housing H. As shown in FIG. The vapor chamber 1 is housed within the housing H and placed in thermal contact with the device D. As shown in FIG. This allows the vapor chamber 1 to receive the heat generated by the device D when the electronic equipment E is used. The heat received by the vapor chamber 1 is released to the outside of the vapor chamber 1 via the working fluid 2, which will be described later. In this way device D is effectively cooled. If the electronic device E is a tablet terminal, the device D corresponds to a central processing unit or the like.

次に、本実施の形態によるベーパーチャンバ１について説明する。ベーパーチャンバ１は、作動液２が封入された密封空間３を有しており、密封空間３内の作動液２が相変化を繰り返すことにより、上述した電子機器ＥのデバイスＤを効果的に冷却するようになっている。ベーパーチャンバ１は、概略的に薄い平板状に形成されている。ベーパーチャンバ１の平面形状は任意であるが、図２に示すような矩形状であってもよい。 Next, the vapor chamber 1 according to this embodiment will be described. The vapor chamber 1 has a sealed space 3 in which a working fluid 2 is sealed, and the phase change of the working fluid 2 in the sealed space 3 effectively cools the device D of the electronic equipment E described above. It is designed to The vapor chamber 1 is generally formed in the shape of a thin flat plate. Although the planar shape of the vapor chamber 1 is arbitrary, it may be rectangular as shown in FIG.

（第１の実施の形態）
図２および図３に示すように、ベーパーチャンバ１は、下側金属シート１０（第１シート）と、上側金属シート２０（第２シート）と、下側金属シート１０と上側金属シート２０との間に介在されたベーパーチャンバ１用のウィックシート３０（以下、単に、ウィックシート３０と記す）と、を備えている。図２に示す形態では、説明を簡略化するために、下側金属シート１０、上側金属シート２０およびウィックシート３０は、平面視でいずれも矩形状に形成されている例が示されているが、これに限られることはない。ここで平面視とは、ベーパーチャンバ１がデバイスＤから熱を受ける面（下側金属シート１０の下面１０ａ）、および受けた熱を放出する面（上側金属シート２０の上面２０ｂ）に直交する方向から見た状態であって、例えば、ベーパーチャンバ１を上方から見た状態（図２に示す状態）、または下方から見た状態に相当している。 (First embodiment)
As shown in FIGS. 2 and 3, the vapor chamber 1 includes a lower metal sheet 10 (first sheet), an upper metal sheet 20 (second sheet), and a lower metal sheet 10 and an upper metal sheet 20. and a wick sheet 30 for the vapor chamber 1 interposed therebetween (hereinafter simply referred to as the wick sheet 30). In the embodiment shown in FIG. 2, for the sake of simplicity, the lower metal sheet 10, the upper metal sheet 20, and the wick sheet 30 are all rectangular in plan view. , but not limited to these. Here, the plane view is a direction orthogonal to the surface of the vapor chamber 1 that receives heat from the device D (the lower surface 10a of the lower metal sheet 10) and the surface that releases the received heat (the upper surface 20b of the upper metal sheet 20). It corresponds to, for example, a state in which the vapor chamber 1 is viewed from above (the state shown in FIG. 2) or a state in which it is viewed from below.

図３に示すように、下側金属シート１０と上側金属シート２０との間には、作動液２が封入された密封空間３が形成されている。より詳細には、ウィックシート３０に設けられた後述する上側蒸気流路凹部３２、連通凹部３５並びに下側液流路部４０の主流溝４１および連絡溝４５によって、密封空間３が形成されている。作動液２の例としては、純水、エタノール、メタノール、アセトン等が挙げられる。 As shown in FIG. 3, a sealed space 3 is formed between the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20, in which the hydraulic fluid 2 is enclosed. More specifically, the sealed space 3 is formed by the upper steam channel recess 32, the communication recess 35, and the main flow channel 41 and the communication channel 45 of the lower liquid channel 40, which are provided in the wick sheet 30 and will be described later. . Examples of the working liquid 2 include pure water, ethanol, methanol, acetone, and the like.

下側金属シート１０は、下面１０ａと、下面１０ａとは反対側に設けられた上面１０ｂ（ウィックシート３０の側の面）と、を有している。このうち上面１０ｂが、ウィックシート３０の下面３０ａ（後述）に当接している。本実施の形態では、下面１０ａおよび上面１０ｂは、平坦状に形成されている。すなわち、下側金属シート１０は、全体として、平坦な矩形シートとして形成されている。 The lower metal sheet 10 has a lower surface 10a and an upper surface 10b (a surface on the wick sheet 30 side) provided on the opposite side of the lower surface 10a. Among them, the upper surface 10b is in contact with the lower surface 30a (described later) of the wick sheet 30. As shown in FIG. In this embodiment, the lower surface 10a and the upper surface 10b are formed flat. That is, the lower metal sheet 10 is formed as a flat rectangular sheet as a whole.

図２および図３に示すように、下側金属シート１０は、デバイスＤから熱を受ける受熱部１１を有している。デバイスＤは、下側金属シート１０の下面１０ａ（とりわけ、受熱部１１の下面）に取り付けられる。ここで受熱部１１、すなわちデバイスＤが取り付けられる部分は、下側金属シート１０の任意の場所に配置することができるが、図２においては、下側金属シート１０の中央部に配置されている例が示されている。この場合、ベーパーチャンバ１が設置されたモバイル端末の姿勢が、ベーパーチャンバ１の動作の安定化に影響を及ぼすことを抑制できる。 As shown in FIGS. 2 and 3, the lower metal sheet 10 has a heat receiving portion 11 that receives heat from the device D. As shown in FIG. The device D is attached to the lower surface 10a of the lower metal sheet 10 (in particular, the lower surface of the heat receiving portion 11). The heat-receiving part 11, that is, the part to which the device D is attached can be placed anywhere on the lower metal sheet 10, but in FIG. Examples are given. In this case, it is possible to prevent the attitude of the mobile terminal in which the vapor chamber 1 is installed from affecting the stabilization of the operation of the vapor chamber 1 .

下側金属シート１０は、平面視で、ウィックシート３０の外側に設けられた下側周縁部１２（第１周縁部）を更に有している。この下側周縁部１２には、後述するスペーサ部材５０が当接し、スペーサ部材５０に拡散接合される。下側周縁部１２は、平面視で、ウィックシート３０の周囲に全周にわたって形成されており、矩形枠状に形成されている。 The lower metal sheet 10 further has a lower peripheral edge portion 12 (first peripheral edge portion) provided outside the wick sheet 30 in plan view. A later-described spacer member 50 abuts on the lower peripheral edge portion 12 and is diffusion-bonded to the spacer member 50 . The lower peripheral edge portion 12 is formed around the entire circumference of the wick sheet 30 in plan view, and is formed in a rectangular frame shape.

図２および図３に示すように、上側金属シート２０は、下面２０ａ（ウィックシート３０の側の面）と、下面２０ａとは反対側に設けられた上面２０ｂと、を有している。このうち下面２０ａが、ウィックシート３０の上面３０ｂ（後述）に当接している。上面２０ｂには、モバイル端末等のハウジングの一部を構成するハウジング部材Ｈａが当接される。
このことにより、デバイスＤから受けた熱は、上側金属シート２０およびハウジング部材Ｈａを介して外気によって冷却される。本実施の形態では、下面２０ａおよび上面２０ｂは、平坦状に形成されている。すなわち、上側金属シート２０は、全体として、平坦な矩形シートとして形成されている。 As shown in FIGS. 2 and 3, the upper metal sheet 20 has a lower surface 20a (the surface on the wick sheet 30 side) and an upper surface 20b provided on the opposite side of the lower surface 20a. Of these, the lower surface 20a is in contact with the upper surface 30b (described later) of the wick sheet 30. As shown in FIG. A housing member Ha, which constitutes a part of a housing of a mobile terminal or the like, is brought into contact with the upper surface 20b.
As a result, the heat received from the device D is cooled by the outside air through the upper metal sheet 20 and the housing member Ha. In this embodiment, the lower surface 20a and the upper surface 20b are formed flat. That is, the upper metal sheet 20 is formed as a flat rectangular sheet as a whole.

上側金属シート２０は、平面視で、ウィックシート３０の外側に設けられた上側周縁部２１（第２周縁部）を更に有している。この上側周縁部２１には、後述するスペーサ部材５０が当接し、スペーサ部材５０に拡散接合される。上側周縁部２１は、平面視で、ウィックシート３０の周囲に全周にわたって形成されており、矩形枠状に形成されている。 The upper metal sheet 20 further has an upper peripheral edge portion 21 (second peripheral edge portion) provided outside the wick sheet 30 in plan view. A later-described spacer member 50 contacts the upper peripheral edge portion 21 and is diffusion-bonded to the spacer member 50 . The upper peripheral edge portion 21 is formed around the wick sheet 30 over the entire circumference in plan view, and is formed in a rectangular frame shape.

図３に示すように、上側金属シート２０は、密封空間３に作動液２を注入する注入孔２２を更に有している。この注入孔２２は、上面２０ｂおよび下面２０ａに垂直に、上面２０ｂから下面２０ａにわたって延びている。また、注入孔２２は、平面視で、ウィックシート３０の後述する上側蒸気流路凹部３２に重なる位置に配置されており、上側蒸気流路凹部３２に連通している。なお、注入孔２２の位置は、密封空間３に作動液２を注入することができれば任意である。また、注入孔２２は、上側金属シート２０ではなく下側金属シート１０に設けてもよい。また、スペーサ部材５０からウィックシート３０にわたって延びて密封空間３に作動液２を注入できるように注入孔２２を設けてもよい。 As shown in FIG. 3, the upper metal sheet 20 further has injection holes 22 for injecting the hydraulic fluid 2 into the sealed space 3 . The injection hole 22 extends from the upper surface 20b to the lower surface 20a perpendicularly to the upper surface 20b and the lower surface 20a. In addition, the injection hole 22 is arranged at a position overlapping an upper steam flow channel recessed portion 32 (described later) of the wick sheet 30 in plan view, and communicates with the upper steam flow channel recessed portion 32 . The position of the injection hole 22 is arbitrary as long as the working fluid 2 can be injected into the sealed space 3 . Also, the injection hole 22 may be provided in the lower metal sheet 10 instead of the upper metal sheet 20 . Further, an injection hole 22 extending from the spacer member 50 over the wick sheet 30 may be provided so that the working fluid 2 can be injected into the sealed space 3 .

注入孔２２には、封止部材２３が設けられており、作動液２を注入した後の注入孔２２が封止されている。この封止部材２３は、上側金属シート２０と同一の材料により形成されていることが好ましい。 A sealing member 23 is provided in the injection hole 22 to seal the injection hole 22 after the hydraulic fluid 2 has been injected. This sealing member 23 is preferably made of the same material as the upper metal sheet 20 .

ところで、ベーパーチャンバ１がモバイル端末内に設置される場合、モバイル端末の姿勢によっては、下側金属シート１０と上側金属シート２０との上下関係が崩れる場合もある。しかしながら、本実施の形態では、便宜上、デバイスＤから熱を受ける金属シートを下側金属シート１０と称し、受けた熱を放出する金属シートを上側金属シート２０と称して、下側金属シート１０が下側に配置され、上側金属シート２０が上側に配置された状態で説明する。 By the way, when the vapor chamber 1 is installed in a mobile terminal, the vertical relationship between the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 may be disturbed depending on the attitude of the mobile terminal. However, in this embodiment, for the sake of convenience, the metal sheet that receives heat from the device D is referred to as lower metal sheet 10, the metal sheet that releases the heat received is referred to as upper metal sheet 20, and lower metal sheet 10 is referred to as A description will be given with the upper metal sheet 20 arranged on the lower side and the upper metal sheet 20 arranged on the upper side.

図３に示すように、ウィックシート３０は、下面３０ａ（第１面）と、下面３０ａとは反対側に設けられた上面３０ｂ（第２面）と、外側面３０ｃと、を有している。このうち下面３０ａが、下側金属シート１０の上面１０ｂに当接し、上面３０ｂが、上側金属シート２０の下面２０ａに当接している。外側面３０ｃは、下面３０ａから上面３０ｂにわたって延びるように形成されており、後述するスペーサ部材５０が外側から当接する面になっている。ここで、図３は、図面を明瞭にするために、後述する上側蒸気流路凹部３２、上側流路突出部３４および下側液流路部４０などを拡大して示しており、上側蒸気流路凹部３２、上側流路突出部３４、並びに下側液流路部４０の主流溝４１の個数や配置は、図２、図４および図５とは異なっている。 As shown in FIG. 3, the wick sheet 30 has a lower surface 30a (first surface), an upper surface 30b (second surface) provided opposite to the lower surface 30a, and an outer surface 30c. . Of these, the lower surface 30 a contacts the upper surface 10 b of the lower metal sheet 10 , and the upper surface 30 b contacts the lower surface 20 a of the upper metal sheet 20 . The outer side surface 30c is formed so as to extend from the lower surface 30a to the upper surface 30b, and serves as a surface with which a later-described spacer member 50 abuts from the outside. Here, in order to clarify the drawing, FIG. The number and arrangement of the channel recesses 32, the upper channel protrusions 34, and the main flow channels 41 of the lower liquid channel portion 40 are different from those shown in FIGS.

図４に示すように、ウィックシート３０は、作動液２が蒸発して蒸気を生成する蒸発部３１と、上面３０ｂに設けられた上側蒸気流路凹部３２（蒸気流路部）と、を更に有している。本実施の形態における蒸気流路部は、この上側蒸気流路凹部３２によって構成されている。このうち蒸発部３１は、下側金属シート１０の受熱部１１（図２および図３参照）がデバイスＤから受けた熱が伝わり、この熱によって作動液２が蒸発する部分である。
すなわち、受熱部１１からの熱は、平面視でウィックシート３０に重なる領域だけではなく、当該領域の周辺にも伝わり得る。このため、蒸発部３１は、平面視で、受熱部１１に重なっている部分とその周囲の部分とを含む領域に相当し得る。 As shown in FIG. 4, the wick sheet 30 further includes an evaporating portion 31 in which the working fluid 2 evaporates to generate steam, and an upper steam channel recess 32 (steam channel portion) provided on the upper surface 30b. have. The upper steam channel concave portion 32 constitutes the steam channel portion in the present embodiment. Among these, the evaporating portion 31 is a portion where the heat received from the device D is transmitted to the heat receiving portion 11 (see FIGS. 2 and 3) of the lower metal sheet 10, and the working fluid 2 is evaporated by this heat.
That is, the heat from the heat receiving portion 11 can be transmitted not only to the area overlapping the wick sheet 30 in plan view, but also to the periphery of the area. Therefore, the evaporating section 31 can correspond to a region including a portion overlapping the heat receiving section 11 and a surrounding portion in a plan view.

上側蒸気流路凹部３２は、密封空間３の一部を構成しており、主として、蒸発部３１で生成された作動液２の蒸気が通るように構成されている。この上側蒸気流路凹部３２は、後述するエッチング工程において、ウィックシート３０の上面３０ｂからエッチングされることによって,上面３０ｂに凹状に形成されている。このことにより、上側蒸気流路凹部３２は、図３に示すように、湾曲状に形成された壁面３３を有している。この壁面３３は、上側蒸気流路凹部３２を画定し、下面３０ａに向かって膨らむような形状で湾曲している。図４に示すように、上側蒸気流路凹部３２は、ウィックシート３０の上面３０ｂの全体にわたって、上面３０ｂから下面３０ａに向かって凹むように形成されており、壁面３３は、湾曲した複数の凹んだ部分を有するように形成されている。上側蒸気流路凹部３２の側壁は、後述するスペーサ部材５０によって構成されている。 The upper steam flow path concave portion 32 constitutes a part of the sealed space 3 and is mainly configured so that the steam of the working fluid 2 generated in the evaporating portion 31 passes therethrough. The upper steam channel recess 32 is formed in a recessed shape on the upper surface 30b of the wick sheet 30 by etching the upper surface 30b of the wick sheet 30 in an etching process to be described later. As a result, the upper steam passage concave portion 32 has a curved wall surface 33, as shown in FIG. The wall surface 33 defines the upper steam flow passage recess 32 and is curved in a shape that expands toward the lower surface 30a. As shown in FIG. 4, the upper steam channel recess 32 is formed over the entire upper surface 30b of the wick sheet 30 so as to be recessed from the upper surface 30b toward the lower surface 30a. It is formed to have a hollow portion. A side wall of the upper steam flow channel concave portion 32 is constituted by a spacer member 50 which will be described later.

下側金属シート１０の受熱部１１は、平面視で、上側蒸気流路凹部３２の中央部に配置されている。このことにより、上側蒸気流路凹部３２内の蒸気は、受熱部１１と重なる中央部から離れる方向に拡散して、蒸気の多くは、比較的温度の低いウィックシート３０の周縁部に輸送される。 The heat receiving portion 11 of the lower metal sheet 10 is arranged in the central portion of the upper steam flow passage concave portion 32 in plan view. As a result, the steam in the upper steam passage concave portion 32 diffuses away from the central portion overlapping the heat receiving portion 11, and most of the steam is transported to the peripheral portion of the wick sheet 30, which has a relatively low temperature. .

図３および図４に示すように、上側蒸気流路凹部３２内に、上側蒸気流路凹部３２の壁面３３の底部から上方に突出する複数の上側流路突出部３４（流路突出部）が設けられている。上側流路突出部３４は、後述するエッチング工程においてエッチングされることなく、ウィックシート３０の材料が残る部分である。 As shown in FIGS. 3 and 4 , a plurality of upper flow path protrusions 34 (flow path protrusions) projecting upward from the bottom of the wall surface 33 of the upper steam flow path recess 32 are provided in the upper steam flow path recess 32 . is provided. The upper flow path projecting portion 34 is a portion where the material of the wick sheet 30 remains without being etched in the etching process described below.

図３に示すように、上側流路突出部３４は、ウィックシート３０の上面３０ｂと同一平面上に位置する上面３４ａ（突出端面）を有している。この上面３４ａは、上側金属シート２０の下面２０ａに当接している。このことにより、密封空間３の減圧時におけるベーパーチャンバ１の機械的強度の向上を図っている。上述した上側蒸気流路凹部３２の壁面３３は、上側流路突出部３４の側壁を構成している。 As shown in FIG. 3 , the upper flow path projecting portion 34 has an upper surface 34 a (protruding end surface) located on the same plane as the upper surface 30 b of the wick sheet 30 . The upper surface 34a is in contact with the lower surface 20a of the upper metal sheet 20. As shown in FIG. This improves the mechanical strength of the vapor chamber 1 when the pressure in the sealed space 3 is reduced. The wall surface 33 of the upper steam channel recess 32 described above constitutes the side wall of the upper channel protrusion 34 .

本実施の形態では、上側流路突出部３４は、平面視で、千鳥状に配置されている。このことにより、上側流路突出部３４の周囲を作動液２の蒸気が流れるように構成されており、蒸気の流れが妨げられることを抑制している。また、上側流路突出部３４の上面３４ａの平面形状が、円形状になっており、この点においても、作動液２の蒸気の流れが妨げられることを抑制している。なお、上側流路突出部３４の平面形状は、作動液２の蒸気をスムースに拡散させることができれば、円形状であることに限られない。 In the present embodiment, the upper flow passage protrusions 34 are arranged in a zigzag pattern in plan view. As a result, the vapor of the working fluid 2 is configured to flow around the upper flow passage projecting portion 34, thereby suppressing the obstruction of the flow of the vapor. In addition, the planar shape of the upper surface 34a of the upper flow path projecting portion 34 is circular. Note that the planar shape of the upper flow path projecting portion 34 is not limited to a circular shape as long as the vapor of the working fluid 2 can be diffused smoothly.

図３および図５に示すように、ウィックシート３０の下面３０ａに、液状の作動液２が通る下側液流路部４０（液流路部）が設けられている。この下側液流路部４０は、上述した密封空間３の一部を構成しており、上側蒸気流路凹部３２に連通している。 As shown in FIGS. 3 and 5, the lower surface 30a of the wick sheet 30 is provided with a lower liquid channel portion 40 (liquid channel portion) through which the liquid working fluid 2 passes. The lower liquid flow path portion 40 forms part of the above-described sealed space 3 and communicates with the upper vapor flow path concave portion 32 .

下側液流路部４０は、複数の主流溝４１を有している。各主流溝４１は、図５および図６に示すように、第１方向Ｘ（ベーパーチャンバ１の長手方向、図５における左右方向）に延びるように形成されており、主として、液状の作動液２が通るように構成されている。このことにより、主流溝４１は、作動液２の蒸気から凝縮した液状の作動液２を蒸発部３１に輸送するように構成されている。各主流溝４１は、第１方向Ｘに直交する第２方向Ｙに、等間隔に離間して配置されている。第２方向Ｙにおいて、主流溝４１の幅ｗ１は、互いに隣り合う上側流路突出部３４の間のギャップＧ（上面３０ｂにおけるギャップ、図３参照）よりも小さくなっている。例えば、ギャップＧは、５００μｍ～１５００μｍであり、主流溝４１の幅ｗ１は、５μｍ～５００μｍである。また、主流溝４１の深さｈ１（図７における上下方向）は、連通凹部３５（後述）の深さよりも浅くなっており、例えば、５０μｍ程度である。後述する連絡溝４５も同様である。なお、主流溝４１の幅ｗ１は、下面３０ａにおける寸法を意味している。 The lower liquid flow path section 40 has a plurality of mainstream grooves 41 . 5 and 6, each main groove 41 is formed to extend in the first direction X (the longitudinal direction of the vapor chamber 1, the left-right direction in FIG. 5), and mainly contains the liquid hydraulic fluid 2. is configured to pass through Thus, the main groove 41 is configured to transport the liquid working fluid 2 condensed from the vapor of the working fluid 2 to the evaporating portion 31 . Each main groove 41 is spaced apart at regular intervals in a second direction Y orthogonal to the first direction X. As shown in FIG. In the second direction Y, the width w1 of the main groove 41 is smaller than the gap G (the gap at the upper surface 30b, see FIG. 3) between the upper flow path protrusions 34 adjacent to each other. For example, the gap G is 500 μm to 1500 μm, and the width w1 of the mainstream groove 41 is 5 μm to 500 μm. Further, the depth h1 (vertical direction in FIG. 7) of the mainstream groove 41 is shallower than the depth of the communicating recess 35 (described later), and is, for example, about 50 μm. The same applies to a communication groove 45, which will be described later. The width w1 of the main groove 41 means the dimension of the lower surface 30a.

主流溝４１は、後述するエッチング工程において、ウィックシート３０の下面３０ａからエッチングされることによって形成されている。このことにより、主流溝４１は、図７に示すように、湾曲状に形成された壁面４２を有している。この壁面４２は、主流溝４１を画定し、上面３０ｂに向かって膨らむような形状で湾曲している。 The main groove 41 is formed by etching from the lower surface 30a of the wick sheet 30 in an etching process to be described later. As a result, the main groove 41 has a curved wall surface 42, as shown in FIG. The wall surface 42 defines the mainstream groove 41 and is curved in a shape that expands toward the upper surface 30b.

図６に示すように、互いに隣り合う主流溝４１の間に、凸部列４３が設けられている。各凸部列４３は、第１方向Ｘに配列された複数の凸部４４を含んでいる。各凸部４４は、平面視で、第１方向Ｘが長手方向となるように矩形状に形成されている。互いに隣り合う凸部４４の間には、連絡溝４５が介在されている。連絡溝４５は、第２方向Ｙに延びるように形成され、互いに隣り合う主流溝４１同士を連通している。このことにより、これらの主流溝４１の間で作動液２が往来可能になっている。 As shown in FIG. 6, a row of protrusions 43 is provided between the main grooves 41 adjacent to each other. Each projection row 43 includes a plurality of projections 44 arranged in the first direction X. As shown in FIG. Each projection 44 is formed in a rectangular shape in plan view so that the first direction X is the longitudinal direction. A communication groove 45 is interposed between the protrusions 44 adjacent to each other. The communication groove 45 is formed so as to extend in the second direction Y, and communicates the adjacent main grooves 41 with each other. This allows the hydraulic fluid 2 to flow between these main grooves 41 .

凸部４４は、後述するエッチング工程においてエッチングされることなく、ウィックシート３０の材料が残る部分である。本実施の形態では、図６に示すように、凸部４４の平面形状（ウィックシート３０の下面３０ａの位置における形状）が、矩形状になっている。各凸部列４３の凸部４４の第１方向Ｘにおける位置が同一になっている。このことにより、互いに隣り合う凸部列４３の連絡溝４５が、第１方向Ｘにおいて同じ位置に配置され、複数の主流溝４１と複数の連絡溝４５とが、格子状に配置されている。なお、凸部４４の幅ｗ２は、例えば、５μｍ～５００μｍであることが好適である。 The convex portion 44 is a portion where the material of the wick sheet 30 remains without being etched in the etching process described below. In the present embodiment, as shown in FIG. 6, the planar shape of the convex portion 44 (the shape at the position of the lower surface 30a of the wick sheet 30) is rectangular. The positions of the protrusions 44 of each protrusion row 43 in the first direction X are the same. As a result, the connecting grooves 45 of the adjacent projection rows 43 are arranged at the same position in the first direction X, and the plurality of main grooves 41 and the plurality of connecting grooves 45 are arranged in a grid pattern. It is preferable that the width w2 of the convex portion 44 is, for example, 5 μm to 500 μm.

図３乃至図５に示すように、上側蒸気流路凹部３２と、下側液流路部４０の主流溝４１とは、複数の連通凹部３５（連通部）によって連通されていてもよい。このことにより、上側蒸気流路凹部３２において作動液２の蒸気から凝縮して生成された液状の作動液２は、連通凹部３５を通って、下側液流路部４０の主流溝４１に入り込むように構成されている。 As shown in FIGS. 3 to 5, the upper vapor channel recess 32 and the main groove 41 of the lower liquid channel 40 may communicate with each other through a plurality of communicating recesses 35 (communicating portions). As a result, the liquid working fluid 2 produced by condensing the vapor of the working fluid 2 in the upper vapor passage recess 32 passes through the communication recess 35 and enters the main groove 41 of the lower liquid passage portion 40. is configured as

連通凹部３５は、後述するエッチング工程において、ウィックシート３０の下面３０ａからエッチングされることによって、下面３０ａに凹状に形成されている。このことにより、連通凹部３５は、図３に示すように、湾曲状に形成された壁面３６を有している。この壁面３６は、連通凹部３５を画定し、上面３０ｂに向かって膨らむような形状で湾曲している。そして、この壁面３６は、上側蒸気流路凹部３２の壁面３３と連接している。すなわち、連通凹部３５の壁面３６と、上側蒸気流路凹部３２の壁面３３とが連接して貫通部３７が形成されており、壁面３６と壁面３３はそれぞれ貫通部３７に向かって湾曲している。このことにより、連通凹部３５が上側蒸気流路凹部３２に連通している。本実施の形態では、この貫通部３７の平面形状が円形状になっている例が示されている。貫通部３７の直径は、例えば、５μｍ～１０００μｍである。なお、ウィックシート３０の厚さ方向（図３における上下方向）における貫通部３７の位置は、下面３０ａと上面３０ｂとの中間位置でもよく、中間位置から下側または上側にずれた位置でもよく、上側蒸気流路凹部３２と連通凹部３５とが連通すれば、任意である。 The communication recess 35 is formed in a concave shape on the lower surface 30a of the wick sheet 30 by etching the lower surface 30a of the wick sheet 30 in an etching process described later. As a result, the communication recess 35 has a curved wall surface 36, as shown in FIG. The wall surface 36 defines the communicating recess 35 and is curved in a shape that expands toward the upper surface 30b. This wall surface 36 is connected to the wall surface 33 of the upper steam passage recess 32 . That is, the wall surface 36 of the communicating recess 35 and the wall surface 33 of the upper steam flow channel recess 32 are connected to each other to form a through portion 37 , and the wall surfaces 36 and 33 are curved toward the through portion 37 . . As a result, the communicating recess 35 communicates with the upper steam passage recess 32 . In this embodiment, an example in which the plane shape of the penetrating portion 37 is circular is shown. The diameter of the through portion 37 is, for example, 5 μm to 1000 μm. The position of the through portion 37 in the thickness direction of the wick sheet 30 (vertical direction in FIG. 3) may be an intermediate position between the lower surface 30a and the upper surface 30b, or may be shifted downward or upward from the intermediate position. It is optional as long as the upper steam channel recess 32 and the communication recess 35 communicate with each other.

図６においては、連通凹部３５によって、複数の主流溝４１のうちの一部の主流溝４１が、分断されている。本実施の形態では、複数の主流溝４１のうちの他の一部の主流溝４１は、連通凹部３５によって分断されることなく、第１方向Ｘにおけるウィックシート３０の一端から他端にわたって連続状に形成されている。このことにより、液状の作動液２の蒸発部３１への輸送性の向上を図っている。しかしながら、このことに限られることはなく、連絡溝４５によって各主流溝４１同士が連通していれば、ウィックシート３０の一端から他端にわたって連続状に形成された主流溝４１は存在しなくてもよい。 In FIG. 6 , some of the plurality of main grooves 41 are divided by the communicating recesses 35 . In the present embodiment, some other main grooves 41 of the plurality of main grooves 41 are continuous from one end to the other end of the wick sheet 30 in the first direction X without being divided by the communicating recess 35 . is formed in This is intended to improve the transportability of the liquid working fluid 2 to the evaporator 31 . However, the invention is not limited to this, and if the main grooves 41 are communicated with each other by the communication grooves 45, the main grooves 41 continuously formed from one end to the other end of the wick sheet 30 do not exist. good too.

各連通凹部３５は、複数の主流溝４１に接して連通している。このことにより、連通凹部３５を通った液状の作動液２は、容易に複数の主流溝４１に入り込むようになっている。より具体的には、ウィックシート３０の下面３０ａにおける連通凹部３５は、第２方向Ｙに並んで配置された複数の主流溝４１を横断するように形成されている。しかしながら、このことに限られることはなく、連通凹部３５は、１つの主流溝４１に接するようにしてもよい。また、連通凹部３５は、連絡溝４５に接して、この連絡溝４５を介して主流溝４１に連通するようにしてもよい。 Each communicating recess 35 contacts and communicates with a plurality of main grooves 41 . As a result, the liquid hydraulic fluid 2 that has passed through the communication recesses 35 easily enters the plurality of main grooves 41 . More specifically, the communicating recess 35 in the lower surface 30a of the wick sheet 30 is formed so as to cross a plurality of main grooves 41 arranged side by side in the second direction Y. As shown in FIG. However, it is not limited to this, and the communicating recess 35 may be in contact with one mainstream groove 41 . Further, the communication recess 35 may be in contact with the communication groove 45 and communicated with the main groove 41 via the communication groove 45 .

図４乃至図６に示すように、連通凹部３５は、平面視で、離間して配置されている。本実施の形態では、ウィックシート３０の全体にわたって、均等に連通凹部３５が配置されており、平面視で、互いに隣り合う上側流路突出部３４の間に配置されている。このようにして、連通凹部３５は、平面視で千鳥状に配置されている。また、ウィックシート３０の下面３０ａにおける連通凹部３５の平面形状は、円形状に形成されているが、これに限られることはない。例えば、連通凹部３５の直径（下面３０ａにおける直径、図３参照）は、１００μｍ～３０００μｍである。 As shown in FIGS. 4 to 6, the communicating recesses 35 are spaced apart in plan view. In the present embodiment, the communication recesses 35 are evenly arranged over the entire wick sheet 30 and are arranged between the adjacent upper flow passage protrusions 34 in a plan view. In this manner, the communicating recesses 35 are arranged in a zigzag pattern in plan view. Further, the planar shape of the communication recess 35 in the lower surface 30a of the wick sheet 30 is circular, but is not limited to this. For example, the diameter of the communication recess 35 (the diameter at the lower surface 30a, see FIG. 3) is 100 μm to 3000 μm.

図３は、図２のＡ－Ａ線断面図を示しているが、この断面は、貫通部３７のＹ方向両側で当該貫通部３７に隣り合う一対の上側流路突出部３４の中心を含む断面を示している。
この図３に示す断面において、貫通部３７の幅ｗ４（上述した貫通部３７の直径に相当）は、当該一対の上側流路突出部３４の間のギャップＧおよび／または対応する連通凹部３５の幅ｗ５（上述した連通凹部３５の直径に相当）よりも小さくなっていることが好適である。図３においては、貫通部３７の幅が、ギャップＧよりも小さく、かつ連通凹部３５の幅よりも小さくなっている。ここで、ギャップＧは、上面３０ｂにおけるギャップを意味しており、連通凹部３５の幅は、下面３０ａにおける幅を意味している。 FIG. 3 shows a cross-sectional view taken along line AA of FIG. 2, but this cross-section includes the center of a pair of upper flow path protrusions 34 adjacent to the through-hole 37 on both sides of the through-hole 37 in the Y direction. It shows a cross section.
In the cross section shown in FIG. 3, the width w4 of the through portion 37 (corresponding to the diameter of the through portion 37 described above) is the gap G between the pair of upper flow passage protrusions 34 and/or the width of the corresponding communication recess 35. It is preferable that the width is smaller than the width w5 (corresponding to the diameter of the communication recess 35 described above). In FIG. 3 , the width of the through portion 37 is smaller than the gap G and smaller than the width of the communicating recess 35 . Here, the gap G means the gap on the upper surface 30b, and the width of the communicating recess 35 means the width on the lower surface 30a.

ところで、上述したように、下側液流路部４０は、ウィックシート３０の下面３０ａに形成されている。一方、下側金属シート１０の上面１０ｂは、平坦状に形成されている。このことにより、下側液流路部４０の各主流溝４１は、平坦状の上面１０ｂで覆われている。この場合、図７に示すように、主流溝４１の壁面４２と、下側金属シート１０の上面１０ｂとにより、直角状あるいは鋭角状の２つの角部３８を形成することができ、これら２つの角部３８における毛細管作用を高めることができる。すなわち、主流溝４１をエッチングによって形成する場合には、主流溝４１の壁面４２は、上述したように湾曲状に形成される傾向にある。このため、下側金属シート１０の上面１０ｂを、主流溝４１を覆うように平坦状に形成することにより、図７に示す角部３８において毛細管作用を高めることができる。主流溝４１と同様に連絡溝４５も、下側金属シート１０の上面１０ｂで覆われるため、同様な角部によって毛細管作用を高めることができる。 By the way, as described above, the lower liquid flow path portion 40 is formed on the lower surface 30 a of the wick sheet 30 . On the other hand, the upper surface 10b of the lower metal sheet 10 is flat. As a result, each mainstream groove 41 of the lower liquid flow path portion 40 is covered with the flat upper surface 10b. In this case, as shown in FIG. 7, the wall surface 42 of the main groove 41 and the upper surface 10b of the lower metal sheet 10 can form two right-angled or acute-angled corners 38. Capillary action at the corners 38 can be enhanced. That is, when the main groove 41 is formed by etching, the wall surface 42 of the main groove 41 tends to be curved as described above. Therefore, by forming the upper surface 10b of the lower metal sheet 10 flat so as to cover the main groove 41, the capillary action can be enhanced at the corners 38 shown in FIG. Like the main groove 41, the connecting groove 45 is also covered with the upper surface 10b of the lower metal sheet 10, so that similar corners can enhance the capillary action.

下側金属シート１０と上側金属シート２０とは、スペーサ部材５０を介して拡散接合によって恒久的に接合されている。すなわち、下側金属シート１０の下側周縁部１２と、上側金属シート２０の上側周縁部２１との間に、スペーサ部材５０が介在されている。スペーサ部材５０は、下側金属シート１０の下側周縁部１２に当接する下面５０ａと、上側金属シート２０の上側周縁部２１に当接する上面５０ｂと、を有している。下側金属シート１０の下側周縁部１２における上面１０ｂとスペーサ部材５０の下面５０ａとが拡散接合されるとともに、上側金属シート２０の上側周縁部２１における下面２０ａとスペーサ部材５０の上面５０ｂとが拡散接合されている。スペーサ部材５０は、下側周縁部１２および上側周縁部２１と同様に、ウィックシート３０の周囲に全周にわたって形成されており、各金属シート１０、２０に沿うように矩形枠状に形成されている。このようにして、ウィックシート３０の上側蒸気流路凹部３２および下側液流路部４０によって構成される密封空間３が、下側金属シート１０、上側金属シート２０およびスペーサ部材５０によって密封されている。なお、下側金属シート１０とスペーサ部材５０、および上側金属シート２０とスペーサ部材５０は、恒久的に接合できれば、拡散接合ではなく、ろう付け等の他の方式で接合されていてもよい。また、スペーサ部材５０の平面形状は、各金属シート１０、２０に沿うように形成されていれば、任意である。 The lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 are permanently bonded by diffusion bonding via a spacer member 50 . That is, the spacer member 50 is interposed between the lower peripheral edge portion 12 of the lower metal sheet 10 and the upper peripheral edge portion 21 of the upper metal sheet 20 . The spacer member 50 has a lower surface 50 a that contacts the lower peripheral edge portion 12 of the lower metal sheet 10 and an upper surface 50 b that contacts the upper peripheral edge portion 21 of the upper metal sheet 20 . The upper surface 10b of the lower peripheral edge portion 12 of the lower metal sheet 10 and the lower surface 50a of the spacer member 50 are diffusion-bonded, and the lower surface 20a of the upper peripheral edge portion 21 of the upper metal sheet 20 and the upper surface 50b of the spacer member 50 are bonded together. Diffusion bonded. The spacer member 50 is formed along the entire circumference of the wick sheet 30 in the same manner as the lower peripheral edge portion 12 and the upper peripheral edge portion 21, and is formed in a rectangular frame shape along the metal sheets 10 and 20. there is In this manner, the sealed space 3 formed by the upper vapor channel concave portion 32 and the lower liquid channel portion 40 of the wick sheet 30 is sealed by the lower metal sheet 10, the upper metal sheet 20 and the spacer member 50. there is Note that the lower metal sheet 10 and the spacer member 50, and the upper metal sheet 20 and the spacer member 50 may be joined by other methods such as brazing instead of diffusion joining as long as they can be permanently joined. Moreover, the planar shape of the spacer member 50 is arbitrary as long as it is formed along the metal sheets 10 and 20 .

スペーサ部材５０は、ウィックシート３０の外側面３０ｃに当接する内側面５０ｃを更に有している。内側面５０ｃは、下面５０ａから上面５０ｂにわたって延びるように形成されている。スペーサ部材５０の内側面５０ｃと、ウィックシート３０の外側面３０ｃとの間に、作動液２の蒸気や、液状の作動液２が通過可能な隙間は形成されないようになっている。 The spacer member 50 further has an inner side surface 50c that contacts the outer side surface 30c of the wick sheet 30. As shown in FIG. The inner side surface 50c is formed to extend from the lower surface 50a to the upper surface 50b. Between the inner surface 50c of the spacer member 50 and the outer surface 30c of the wick sheet 30, no gap is formed through which vapor of the hydraulic fluid 2 or liquid hydraulic fluid 2 can pass.

なお、下側金属シート１０の上面１０ｂと、ウィックシート３０の凸部４４の下面（下面３０ａに相当）とは、互いに当接しているが、接合はされていない。しかしながら、下側金属シート１０の上面１０ｂと、ウィックシート３０の凸部４４の下面との間に、作動液２の蒸気や、液状の作動液２が通過可能な隙間は形成されないようになっている。同様に、上側金属シート２０の下面２０ａと、ウィックシート３０の上側流路突出部３４の上面３４ａ（上面３０ｂに相当）とは、互いに当接しているが、接合はされていない。しかしながら、上側金属シート２０の下面２０ａと、ウィックシート３０の上側流路突出部３４の上面３４ａとの間に、作動液２の蒸気や、液状の作動液２が通過可能な隙間は形成されないようになっている。 The upper surface 10b of the lower metal sheet 10 and the lower surface (corresponding to the lower surface 30a) of the convex portion 44 of the wick sheet 30 are in contact with each other, but are not joined. However, between the upper surface 10b of the lower metal sheet 10 and the lower surface of the convex portion 44 of the wick sheet 30, a gap through which the vapor of the working fluid 2 or the liquid working fluid 2 can pass is not formed. there is Similarly, the lower surface 20a of the upper metal sheet 20 and the upper surface 34a (corresponding to the upper surface 30b) of the upper flow passage protrusion 34 of the wick sheet 30 are in contact with each other, but are not joined. However, between the lower surface 20a of the upper metal sheet 20 and the upper surface 34a of the upper flow passage protrusion 34 of the wick sheet 30, a gap through which the vapor of the working fluid 2 or the liquid working fluid 2 can pass is not formed. It has become.

下側金属シート１０、上側金属シート２０およびウィックシート３０に用いる材料は、熱伝導率が良好な材料であることが好ましい。例えば、下側金属シート１０、上側金属シート２０およびウィックシート３０は、銅（無酸素銅）または銅合金などの金属材料により作製されていることが好適である。このことにより、下側金属シート１０、上側金属シート２０およびウィックシート３０の熱伝導率を高めることができる。このため、ベーパーチャンバ１の熱輸送効率を高めることができる。なお、下側金属シート１０から上側金属シート２０への熱輸送は、主として作動液２によって実現されるため、ウィックシート３０は、下側金属シート１０および上側金属シート２０とは異なる材料で作製されて、金属シート１０、２０よりも熱伝導率が低くてもよい。また、下側金属シート１０、上側金属シート２０およびウィックシート３０は、熱輸送機能を確保することができれば、金属材料以外の材料で作製されていてもよい。 Materials used for the lower metal sheet 10, the upper metal sheet 20 and the wick sheet 30 are preferably materials with good thermal conductivity. For example, the lower metal sheet 10, the upper metal sheet 20 and the wick sheet 30 are preferably made of metal material such as copper (oxygen-free copper) or copper alloy. Thereby, the thermal conductivity of the lower metal sheet 10, the upper metal sheet 20 and the wick sheet 30 can be increased. Therefore, the heat transport efficiency of the vapor chamber 1 can be enhanced. Since the heat transfer from the lower metal sheet 10 to the upper metal sheet 20 is mainly realized by the hydraulic fluid 2, the wick sheet 30 is made of a material different from that of the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20. Therefore, it may have a lower thermal conductivity than the metal sheets 10,20. Moreover, the lower metal sheet 10, the upper metal sheet 20 and the wick sheet 30 may be made of a material other than a metal material as long as the heat transport function can be ensured.

スペーサ部材５０に用いられる材料は、下側金属シート１０と好適に拡散接合できるとともに、上側金属シート２０と好適に拡散接合することができれば、任意である。スペーサ部材５０として、下側金属シート１０および上側金属シート２０と同一の材料を用いる場合には、スペーサ部材５０は熱輸送部材としても機能することができ、ベーパーチャンバ１の熱輸送効率を向上させることができる。 Any material can be used for the spacer member 50 as long as it can be suitably diffusion bonded to the lower metal sheet 10 and suitably diffusion bonded to the upper metal sheet 20 . When the spacer member 50 is made of the same material as the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20, the spacer member 50 can also function as a heat transport member, improving the heat transport efficiency of the vapor chamber 1. be able to.

ベーパーチャンバ１の厚さは、例えば、１５０μｍ～２７００μｍである。下側金属シート１０の厚さＴ１および上側金属シート２０の厚さＴ２は、例えば、５μｍ～１０００μｍであるが、取扱性等の点から１０μｍ以上であることが好ましい。ウィックシート３０の厚さＴ３は、例えば、５０μｍ～７００μｍであり、好ましくは１００μｍ～７００μｍである。スペーサ部材５０の厚さは、ウィックシート３０の厚さＴ３と同一である。図２では、下側金属シート１０の厚さＴ１および上側金属シート２０の厚さＴ２が等しい場合を示しているが、これに限られることはなく、下側金属シート１０の厚さＴ１と上側金属シート２０の厚さＴ２は、等しくなくてもよい。 The thickness of the vapor chamber 1 is, for example, 150 μm to 2700 μm. The thickness T1 of the lower metal sheet 10 and the thickness T2 of the upper metal sheet 20 are, for example, 5 μm to 1000 μm, but preferably 10 μm or more from the viewpoint of handleability. The thickness T3 of the wick sheet 30 is, for example, 50 μm to 700 μm, preferably 100 μm to 700 μm. The thickness of the spacer member 50 is the same as the thickness T3 of the wick sheet 30 . FIG. 2 shows the case where the thickness T1 of the lower metal sheet 10 and the thickness T2 of the upper metal sheet 20 are equal. The thickness T2 of the metal sheet 20 may be unequal.

次に、このような構成からなる本実施の形態のベーパーチャンバ１の製造方法について、図８乃至図１８を用いて説明する。なお、図８乃至図１８では、図３の断面図と同様の断面を示している。 Next, a method of manufacturing the vapor chamber 1 of this embodiment having such a configuration will be described with reference to FIGS. 8 to 18. FIG. 8 to 18 show cross sections similar to the cross sectional view of FIG.

ここでは、まず、ウィックシート３０の作製工程について説明する。 Here, first, the manufacturing process of the wick sheet 30 will be described.

まず、図８に示すように、準備工程として、平板状の金属材料シートＭを準備する。 First, as shown in FIG. 8, a flat metal material sheet M is prepared as a preparatory step.

続いて、図９に示すように、レジスト形成工程として、金属材料シートＭの下面Ｍａに、下側レジスト膜６０が形成されるとともに、上面Ｍｂに、上側レジスト膜６１が形成される。各レジスト膜６０、６１を形成する前に、金属材料シートＭの下面Ｍａおよび上面Ｍｂが、前処理として、酸性脱脂処理されることが好適である。 Subsequently, as shown in FIG. 9, as a resist forming step, a lower resist film 60 is formed on the lower surface Ma of the metal material sheet M, and an upper resist film 61 is formed on the upper surface Mb. Before forming the resist films 60 and 61, the lower surface Ma and the upper surface Mb of the metal material sheet M are preferably subjected to an acid degreasing treatment as a pretreatment.

次に、図１０に示すように、パターニング工程として、下側レジスト膜６０および上側レジスト膜６１が、フォトリソグラフィー技術によって、パターニングされる。この場合、下側レジスト膜６０に、下側液流路部４０の主流溝４１および連絡溝４５に対応する第１レジスト開口６２が形成されるととともに、連通凹部３５に対応する第２レジスト開口６３が形成される。このうち第１レジスト開口６２は、ウィックシート３０の下面３０ａにおける主流溝４１の幅および連絡溝４５の幅よりも小さく形成されることが好適である。例えば、７０μｍ～１５０μｍの幅ｗ１を有する主流溝４１を形成する場合には、第１レジスト開口６２の幅ｗ３は、２０μｍ～１００μｍであることが好適である。一方、第２レジスト開口６３は、ウィックシート３０の下面３０ａにおける連通凹部３５の平面形状と同一の形状で形成されることが好適である。また、上側レジスト膜６１には、上側蒸気流路凹部３２に対応する第３レジスト開口６４が形成される。この第３レジスト開口６４は、ウィックシート３０の上面３０ｂにおける上側蒸気流路凹部３２の平面形状と同一の形状で形成されることが好適である。この場合、第３レジスト開口６４が形成された上側レジスト膜６１は、上側流路突出部３４の上面３４ａの平面形状と同一の形状に形成される。 Next, as shown in FIG. 10, as a patterning step, the lower resist film 60 and the upper resist film 61 are patterned by photolithography. In this case, a first resist opening 62 corresponding to the main groove 41 and the connecting groove 45 of the lower liquid flow path portion 40 is formed in the lower resist film 60, and a second resist opening corresponding to the communicating recess 35 is formed. 63 are formed. Of these, the first resist opening 62 is preferably formed to be smaller than the width of the main groove 41 and the width of the connecting groove 45 on the lower surface 30 a of the wick sheet 30 . For example, when forming the main groove 41 having a width w1 of 70 μm to 150 μm, the width w3 of the first resist opening 62 is preferably 20 μm to 100 μm. On the other hand, the second resist opening 63 is preferably formed in the same planar shape as the communicating recess 35 on the lower surface 30 a of the wick sheet 30 . Further, the upper resist film 61 is formed with a third resist opening 64 corresponding to the upper vapor channel concave portion 32 . The third resist opening 64 is preferably formed in the same planar shape as the upper vapor channel recess 32 on the upper surface 30 b of the wick sheet 30 . In this case, the upper resist film 61 in which the third resist openings 64 are formed is formed to have the same planar shape as the upper surface 34 a of the upper flow path projecting portion 34 .

続いて、図１１に示すように、エッチング工程として、金属材料シートＭの下面Ｍａおよび上面Ｍｂがエッチングされる。このことにより、金属材料シートＭの下面Ｍａのうち、第１レジスト開口６２および第２レジスト開口６３に対応する部分がエッチングされて、図１１に示すような下側液流路部４０の主流溝４１および連絡溝４５、並びに連通凹部３５が形成される。 Subsequently, as shown in FIG. 11, the lower surface Ma and the upper surface Mb of the metal material sheet M are etched as an etching step. As a result, portions of the lower surface Ma of the metal material sheet M corresponding to the first resist openings 62 and the second resist openings 63 are etched, and the main grooves of the lower liquid flow path portion 40 as shown in FIG. 11 are etched. 41, a communication groove 45, and a communication recess 35 are formed.

ここで、上述したように、第１レジスト開口６２は、ウィックシート３０の下面３０ａにおける主流溝４１の幅および連絡溝４５の幅よりも小さく形成されている。このことにより、第１レジスト開口６２に入り込むエッチング液の量が低減され、金属材料シートＭの下面Ｍａのうち第１レジスト開口６２に対応する部分のエッチング速度が低下する。このため、第１レジスト開口６２によって形成される主流溝４１および連絡溝４５の深さを浅くすることができる。一方、第２レジスト開口６３は、ウィックシート３０の下面３０ａにおける連通凹部３５の平面形状と同等の形状で形成されている。このことにより、第２レジスト開口６３に入り込むエッチング液の量が確保され、第２レジスト開口６３によって形成される連通凹部３５の深さを深くすることができる。 Here, as described above, the first resist opening 62 is formed to be smaller than the width of the main groove 41 and the width of the connecting groove 45 on the lower surface 30a of the wick sheet 30 . As a result, the amount of etchant that enters the first resist openings 62 is reduced, and the etching rate of the portions of the lower surface Ma of the metal material sheet M corresponding to the first resist openings 62 is reduced. Therefore, the depths of the main groove 41 and the connecting groove 45 formed by the first resist openings 62 can be made shallow. On the other hand, the second resist opening 63 is formed in a shape equivalent to the planar shape of the communicating recess 35 in the lower surface 30 a of the wick sheet 30 . As a result, the amount of etchant that enters the second resist openings 63 is ensured, and the depth of the communicating recesses 35 formed by the second resist openings 63 can be increased.

エッチング工程においては、金属材料シートＭの上面Ｍｂも同時にエッチングされ、上面Ｍｂのうち、第３レジスト開口６４に対応する部分がエッチングされて、図１１に示すような上側蒸気流路凹部３２が形成される。ここで、上述したように、第３レジスト開口６４は、ウィックシート３０の上面３０ｂにおける上側蒸気流路凹部３２の平面形状と同等の形状で形成されている。このことにより、第３レジスト開口６４に入り込むエッチング液の量が確保され、第３レジスト開口６４によって形成される上側蒸気流路凹部３２の深さを大きくすることができる。 In the etching step, the upper surface Mb of the metal material sheet M is also etched at the same time, and the portions of the upper surface Mb corresponding to the third resist openings 64 are etched to form the upper steam flow channel recesses 32 as shown in FIG. be done. Here, as described above, the third resist openings 64 are formed in the same planar shape as the upper steam flow channel recessed portion 32 on the upper surface 30b of the wick sheet 30 . As a result, the amount of etchant that enters the third resist openings 64 is ensured, and the depth of the upper vapor channel recesses 32 formed by the third resist openings 64 can be increased.

また、エッチング工程においては、金属材料シートＭの周縁部が下面Ｍａおよび上面Ｍｂからエッチングされて、図４および図５に示すような所定の外形輪郭形状が得られる。すなわち、ウィックシート３０の外側面３０ｃが形成される。なお、エッチング液には、例えば、塩化第二鉄水溶液等の塩化鉄系エッチング液、または塩化銅水溶液等の塩化銅系エッチング液を用いることができる。 Also, in the etching process, the peripheral edge of the metal material sheet M is etched from the bottom surface Ma and the top surface Mb to obtain a predetermined contour shape as shown in FIGS. That is, the outer surface 30c of the wick sheet 30 is formed. As the etchant, for example, a ferric chloride-based etchant such as a ferric chloride aqueous solution or a copper chloride-based etchant such as a copper chloride aqueous solution can be used.

エッチング工程の後、図１２に示すように、レジスト除去工程として、下側レジスト膜６０および上側レジスト膜６１が除去される。 After the etching step, as shown in FIG. 12, the lower resist film 60 and the upper resist film 61 are removed as a resist removing step.

このようにして、ウィックシート作製工程が完了し、本実施の形態によるウィックシート３０を得ることができる。 Thus, the wick sheet manufacturing process is completed, and the wick sheet 30 according to the present embodiment can be obtained.

ウィックシート作製工程の後、図１３に示すように、組立工程として、下側金属シート１０、上側金属シート２０、ウィックシート３０およびスペーサ部材５０が組み立てられる。 After the wick sheet manufacturing process, as shown in FIG. 13, the lower metal sheet 10, the upper metal sheet 20, the wick sheet 30 and the spacer members 50 are assembled in an assembly process.

この場合、まず、図２および図３に示すような、下側金属シート１０および上側金属シート２０を準備する。このうち上側金属シート２０には、予め、エッチング、切削加工、打ち抜き加工などによって注入孔２２が形成されていることが好適である。 In this case, first, a lower metal sheet 10 and an upper metal sheet 20 as shown in FIGS. 2 and 3 are prepared. Preferably, the upper metal sheet 20 has an injection hole 22 formed in advance by etching, cutting, punching, or the like.

続いて、下側金属シート１０上にウィックシート３０およびスペーサ部材５０が載置される。この際、下側金属シート１０の上面１０ｂに、ウィックシート３０の下面３０ａが当接される。スペーサ部材５０は、ウィックシート３０の周囲に配置され、下側金属シート１０の下側周縁部１２における上面１０ｂに、スペーサ部材５０の下面５０ａが当接される。また、スペーサ部材５０の内側面５０ｃが、ウィックシート３０の外側面３０ｃに当接される。ここで、下側金属シート１０の上面１０ｂには、作動液２の蒸気が通る蒸気流路や、液状の作動液２が通る液流路は形成されていない。このため、下側金属シート１０とウィックシート３０との位置合わせは、下側金属シート１０の外縁とスペーサ部材５０の外縁とを揃えることができる程度に行えばよく、位置合わせを簡略化することができる。 Subsequently, the wick sheet 30 and spacer member 50 are placed on the lower metal sheet 10 . At this time, the lower surface 30 a of the wick sheet 30 is brought into contact with the upper surface 10 b of the lower metal sheet 10 . The spacer member 50 is arranged around the wick sheet 30 , and the lower surface 50 a of the spacer member 50 is brought into contact with the upper surface 10 b of the lower peripheral edge portion 12 of the lower metal sheet 10 . Also, the inner side surface 50c of the spacer member 50 abuts against the outer side surface 30c of the wick sheet 30 . Here, on the upper surface 10b of the lower metal sheet 10, a vapor channel through which the vapor of the working fluid 2 passes and a liquid channel through which the liquid working fluid 2 passes are not formed. Therefore, the alignment between the lower metal sheet 10 and the wick sheet 30 can be performed to the extent that the outer edge of the lower metal sheet 10 and the outer edge of the spacer member 50 can be aligned, thereby simplifying the alignment. can be done.

次に、ウィックシート３０上およびスペーサ部材５０上に、上側金属シート２０が載置される。この場合、ウィックシート３０の上面３０ｂに上側金属シート２０の下面２０ａが当接される。また、スペーサ部材５０の上面５０ｂに、上側金属シート２０の上側周縁部２１における下面２０ａが当接される。ここで、上側金属シート２０の下面２０ａには、作動液２の蒸気が通る蒸気流路や、液状の作動液２が通る液流路は形成されていない。このため、上側金属シート２０とウィックシート３０との位置合わせは、上側金属シート２０の外縁とスペーサ部材５０の外縁とを揃えることができる程度に行えばよく、位置合わせを簡略化することができる。 Next, the upper metal sheet 20 is placed on the wick sheet 30 and the spacer members 50 . In this case, the lower surface 20a of the upper metal sheet 20 is brought into contact with the upper surface 30b of the wick sheet 30. As shown in FIG. Further, the lower surface 20a of the upper peripheral edge portion 21 of the upper metal sheet 20 is brought into contact with the upper surface 50b of the spacer member 50 . Here, the lower surface 20a of the upper metal sheet 20 is not formed with a vapor flow path through which the vapor of the working fluid 2 passes or a liquid flow path through which the liquid working fluid 2 passes. Therefore, the alignment between the upper metal sheet 20 and the wick sheet 30 can be performed to the extent that the outer edge of the upper metal sheet 20 and the outer edge of the spacer member 50 can be aligned, and the alignment can be simplified. .

このようにして、下側金属シート１０と上側金属シート２０との間にウィックシート３０およびスペーサ部材５０が介在されたシート組立体６５が得られる。 Thus, a sheet assembly 65 is obtained in which the wick sheet 30 and the spacer member 50 are interposed between the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20. FIG.

組立工程の後、図１４に示すように、仮止め工程として、シート組立体６５の下側金属シート１０、上側金属シート２０およびスペーサ部材５０が仮止めされる。この場合、下側金属シート１０、上側金属シート２０およびスペーサ部材５０が、固定される。固定の方法としては、特に限られることはないが、例えば、下側金属シート１０と上側金属シート２０とを、スペーサ部材５０を介して抵抗溶接を行うことによって下側金属シート１０、上側金属シート２０およびスペーサ部材５０を固定してもよい。この場合、図１４に示すように、電極棒６６を用いてスポット的に抵抗溶接を行うことが好適である。抵抗溶接の代わりにレーザ溶接を行ってもよい。 After the assembly process, as shown in FIG. 14, the lower metal sheet 10, the upper metal sheet 20 and the spacer member 50 of the sheet assembly 65 are temporarily fixed as a temporary fixing process. In this case, the lower metal sheet 10, the upper metal sheet 20 and the spacer members 50 are fixed. The fixing method is not particularly limited, but for example, the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 are resistance-welded via the spacer member 50 to attach the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet. 20 and spacer member 50 may be fixed. In this case, as shown in FIG. 14, it is preferable to perform spot resistance welding using an electrode rod 66 . Laser welding may be performed instead of resistance welding.

仮止め工程の後、図１５に示すように、接合工程として、下側金属シート１０と上側金属シート２０とが、スペーサ部材５０を介して、拡散接合によって恒久的に接合される。拡散接合とは、接合する下側金属シート１０とスペーサ部材５０、および上側金属シート２０とスペーサ部材５０を密着させ、真空や不活性ガス中などの制御された雰囲気中で、下側金属シート１０、上側金属シート２０およびスペーサ部材５０を密着させる方向に加圧するとともに加熱して、接合面に生じる原子の拡散を利用して接合する方法である。拡散接合は、下側金属シート１０、上側金属シート２０およびスペーサ部材５０の材料を融点に近い温度まで加熱するが、融点よりは低いため、各金属シート１０、２０およびスペーサ部材５０が溶融して変形することを回避できる。 After the temporary fixing process, as shown in FIG. 15, in the bonding process, the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 are permanently bonded via the spacer member 50 by diffusion bonding. In diffusion bonding, the lower metal sheet 10 and the spacer member 50 to be joined, and the upper metal sheet 20 and the spacer member 50 are brought into close contact, and the lower metal sheet 10 is bonded in a controlled atmosphere such as vacuum or inert gas. 2) pressurize and heat the upper metal sheet 20 and the spacer member 50 in a direction to bring them into close contact with each other, and utilize the diffusion of atoms generated on the bonding surfaces. Diffusion bonding heats the materials of the lower metal sheet 10, the upper metal sheet 20 and the spacer member 50 to a temperature close to the melting point, but below the melting point, so that the metal sheets 10, 20 and the spacer member 50 are melted. deformation can be avoided.

接合工程により、下側金属シート１０の下側周縁部１２における上面１０ｂが、スペーサ部材５０の下面５０ａと拡散接合される。また、上側金属シート２０の上側周縁部２１における下面２０ａが、スペーサ部材５０の上面５０ｂと拡散接合される。このことにより、下側金属シート１０、上側金属シート２０およびスペーサ部材５０によって密封空間３が形成される。 In the joining step, the upper surface 10b of the lower peripheral edge portion 12 of the lower metal sheet 10 is diffusion-bonded to the lower surface 50a of the spacer member 50 . Further, the lower surface 20a of the upper peripheral edge portion 21 of the upper metal sheet 20 is diffusion-bonded to the upper surface 50b of the spacer member 50 . As a result, the sealed space 3 is formed by the lower metal sheet 10 , the upper metal sheet 20 and the spacer member 50 .

接合工程の後、封入工程として、密封空間３に作動液２が封入される。封入工程は、真空引き工程と、注入工程と、封止工程と、を含んでいる。 After the joining step, the working fluid 2 is sealed in the sealed space 3 as a sealing step. The encapsulation process includes an evacuation process, an injection process, and a sealing process.

まず、図１６に示すように、真空引き工程として、密封空間３が真空引きされる。このことにより、密封空間３が減圧される。 First, as shown in FIG. 16, the sealed space 3 is evacuated as an evacuation step. As a result, the sealed space 3 is decompressed.

真空引き工程の後、図１７に示すように、注入工程として、密封空間３に作動液２が注入される。作動液２は、上側金属シート２０に設けられた注入孔２２から密封空間３に注入される。 After the evacuation process, as shown in FIG. 17, the working fluid 2 is injected into the sealed space 3 as an injection process. The hydraulic fluid 2 is injected into the sealed space 3 through an injection hole 22 provided in the upper metal sheet 20 .

注入工程の後、図１８に示すように、封止工程として、注入孔２２が封止される。この場合、まず、密封空間３に注入された作動液２の液量が調整される。より具体的には、シート組立体６５が全体的に加熱され、注入された作動液２を気化して、作動液２の蒸気の一部を密封空間３から排出させる。続いて、密封空間３に残存する作動液２の液量が所定量まで低減したところで、注入孔２２に封止部材２３が取り付けられる。その後、封止部材２３は、例えばレーザ溶接等により注入孔２２に接合される。このようにして、注入孔２２が封止される。このことにより、密封空間３と外気との連通が遮断され、作動液２が密封空間３に封入され、密封空間３内の作動液２が外部に漏洩することが防止される。なお、シート組立体６５の温度が常温まで低下すると、密封空間３の圧力が真空に近い圧力まで低下する。このことにより、デバイスＤからの熱を受けたときに、密封空間３に封入された作動液２が、１００℃よりも低い温度で蒸発することができ、熱輸送効率を高めることができる。 After the injection process, as shown in FIG. 18, the injection hole 22 is sealed as a sealing process. In this case, first, the amount of the hydraulic fluid 2 injected into the sealed space 3 is adjusted. More specifically, the seat assembly 65 is heated as a whole to vaporize the injected hydraulic fluid 2 and cause some of the vapor of the hydraulic fluid 2 to escape from the sealed space 3 . Subsequently, the sealing member 23 is attached to the injection hole 22 when the amount of the working fluid 2 remaining in the sealed space 3 is reduced to a predetermined amount. After that, the sealing member 23 is joined to the injection hole 22 by, for example, laser welding. Thus, the injection hole 22 is sealed. As a result, communication between the sealed space 3 and the outside air is cut off, the working fluid 2 is enclosed in the sealed space 3, and the working fluid 2 in the sealed space 3 is prevented from leaking to the outside. When the temperature of the seat assembly 65 drops to room temperature, the pressure in the sealed space 3 drops to a pressure close to vacuum. As a result, when receiving heat from the device D, the working fluid 2 enclosed in the sealed space 3 can evaporate at a temperature lower than 100° C., thereby improving heat transport efficiency.

以上のようにして、ベーパーチャンバ１の製造が完了し、本実施の形態によるベーパーチャンバ１が得られる。 Manufacturing of the vapor chamber 1 is completed as described above, and the vapor chamber 1 according to the present embodiment is obtained.

次に、ベーパーチャンバ１の作動方法、すなわち、デバイスＤの冷却方法について説明する。 Next, a method of operating the vapor chamber 1, that is, a method of cooling the device D will be described.

上述のようにして得られたベーパーチャンバ１は、モバイル端末等のハウジング内に設置されるとともに、下側金属シート１０の下面１０ａに、被冷却装置であるＣＰＵ等のデバイスＤが取り付けられる。密封空間３内に注入された作動液２の量は少ないため、密封空間３内の液状の作動液２は、その表面張力によって、密封空間３の壁面、すなわち、上側蒸気流路凹部３２の壁面３３、連通凹部３５の壁面３６、並びに下側液流路部４０の主流溝４１の壁面４２および連絡溝４５の壁面４６（図２０参照）に付着する。また、作動液２は、下側金属シート１０の上面１０ｂのうち連通凹部３５、主流溝４１および連絡溝４５に露出した部分、並びに、上側金属シート２０の下面２０ａのうち上側蒸気流路凹部３２に露出した部分にも付着する。 The vapor chamber 1 obtained as described above is installed in a housing of a mobile terminal or the like, and a device D such as a CPU, which is a device to be cooled, is attached to the lower surface 10 a of the lower metal sheet 10 . Since the amount of the working fluid 2 injected into the sealed space 3 is small, the liquid working fluid 2 in the sealed space 3 is pushed by the surface tension of the wall surface of the sealed space 3, that is, the wall surface of the upper steam flow passage concave portion 32. 33, the wall surface 36 of the communication recess 35, the wall surface 42 of the main groove 41 of the lower liquid flow path portion 40, and the wall surface 46 of the communication groove 45 (see FIG. 20). Moreover, the hydraulic fluid 2 is exposed to the communication recesses 35 , the main grooves 41 and the communication grooves 45 of the upper surface 10 b of the lower metal sheet 10 , and the upper vapor channel recesses 32 of the lower surface 20 a of the upper metal sheet 20 . It also adheres to exposed areas.

この状態でデバイスＤが発熱すると、上側蒸気流路凹部３２の蒸発部３１（図４および図５参照）に存在する作動液２が、デバイスＤから下側金属シート１０の受熱部１１（図２および図３参照）を介して熱を受ける。受けた熱は潜熱として吸収されて作動液２が蒸発（気化）し、作動液２の蒸気が生成される。生成された蒸気の多くは、密封空間３を構成する上側蒸気流路凹部３２内で拡散する（図４の実線矢印参照）。上側蒸気流路凹部３２内の蒸気は、蒸発部３１から離れ、蒸気の多くは、比較的温度の低いウィックシート３０の周縁部に輸送される。拡散した蒸気は、主として上側金属シート２０に放熱して冷却される。上側金属シート２０が蒸気から受けた熱は、ハウジング部材Ｈａ（図３参照）を介して外気に伝達される。 When the device D heats up in this state, the working fluid 2 existing in the evaporating portion 31 (see FIGS. 4 and 5) of the upper vapor channel concave portion 32 flows from the device D into the heat receiving portion 11 of the lower metal sheet 10 (see FIG. 2). and FIG. 3). The received heat is absorbed as latent heat, and the working fluid 2 evaporates (vaporizes) to generate vapor of the working fluid 2 . Most of the generated steam diffuses within the upper steam flow passage concave portion 32 forming the sealed space 3 (see solid line arrows in FIG. 4). The steam in the upper steam passage concave portion 32 leaves the evaporating portion 31, and most of the steam is transported to the peripheral portion of the wick sheet 30, which has a relatively low temperature. The diffused vapor mainly dissipates heat to the upper metal sheet 20 and is cooled. The heat received by the upper metal sheet 20 from the steam is transferred to the atmosphere through the housing member Ha (see FIG. 3).

蒸気は、上側金属シート２０に放熱することにより、蒸発部３１において吸収した潜熱を失って凝縮する。凝縮して液状になった作動液２は、上側蒸気流路凹部３２の壁面３３および上側金属シート２０の下面２０ａに付着する。ここで、蒸発部３１では作動液２が蒸発し続けているため、下側液流路部４０のうち蒸発部３１以外の部分における作動液２は、蒸発部３１に向かって輸送される（図５の破線矢印参照）。このことにより、上側蒸気流路凹部３２の壁面３３および上側金属シート２０の下面２０ａに付着した液状の作動液２は、連通凹部３５の壁面３６を通って下側液流路部４０に移動する。そして、下側液流路部４０の主流溝４１に入り込み、各主流溝４１および各連絡溝４５に、液状の作動液２が充填される。このため、充填された作動液２は、各主流溝４１および各連絡溝４５の毛細管作用により、蒸発部３１に向かう推進力を得て、蒸発部３１に向かってスムースに輸送される。 By radiating heat to the upper metal sheet 20, the vapor loses the latent heat absorbed in the evaporator 31 and condenses. The condensed and liquefied working fluid 2 adheres to the wall surface 33 of the upper vapor passage concave portion 32 and the lower surface 20 a of the upper metal sheet 20 . Here, since the working fluid 2 continues to evaporate in the evaporating portion 31, the working fluid 2 in the portion other than the evaporating portion 31 of the lower liquid flow path portion 40 is transported toward the evaporating portion 31 (Fig. 5, dashed arrow). As a result, the liquid working fluid 2 adhering to the wall surface 33 of the upper steam channel recess 32 and the lower surface 20a of the upper metal sheet 20 moves to the lower liquid channel portion 40 through the wall surface 36 of the communicating recess 35. . Then, the liquid working fluid 2 enters the main groove 41 of the lower liquid flow path portion 40 and fills each main groove 41 and each communication groove 45 . Therefore, the filled working fluid 2 obtains a driving force toward the evaporating portion 31 due to the capillary action of each main groove 41 and each communication groove 45 and is smoothly transported toward the evaporating portion 31 .

下側液流路部４０においては、各主流溝４１が、対応する連絡溝４５を介して、隣り合う他の主流溝４１と連通している。このことにより、互いに隣り合う主流溝４１同士で、液状の作動液２が往来し、主流溝４１でドライアウトが発生することが抑制されている。このため、各主流溝４１内の作動液２に毛細管作用が付与されて、作動液２は、蒸発部３１に向かってスムースに輸送される。 In the lower liquid flow path portion 40 , each main groove 41 communicates with another adjacent main groove 41 via a corresponding communication groove 45 . As a result, the liquid working fluid 2 is prevented from flowing between the main grooves 41 adjacent to each other, and the occurrence of dryout in the main grooves 41 is suppressed. Therefore, the working fluid 2 in each main groove 41 is imparted with a capillary action, and the working fluid 2 is smoothly transported toward the evaporator 31 .

蒸発部３１に達した作動液２は、デバイスＤから下側金属シート１０の受熱部１１を介して再び熱を受けて蒸発する。蒸発した作動液２の蒸気は、連絡溝４５や連通凹部３５を通って、流路断面積が大きい上側蒸気流路凹部３２に移動し、上側蒸気流路凹部３２内で拡散する。このようにして、作動液２が、相変化、すなわち蒸発と凝縮とを繰り返しながら密封空間３内を還流してデバイスＤの熱を輸送して放出する。この結果、デバイスＤが冷却される。 The working fluid 2 that has reached the evaporating portion 31 receives heat again from the device D via the heat receiving portion 11 of the lower metal sheet 10 and evaporates. The vapor of the evaporated working fluid 2 moves through the communication groove 45 and the communication recess 35 to the upper steam flow channel recess 32 having a large flow channel cross-sectional area, and diffuses within the upper steam flow channel recess 32 . In this way, the working fluid 2 circulates in the sealed space 3 while repeating phase changes, that is, evaporation and condensation, and transports and releases the heat of the device D. As shown in FIG. As a result, the device D is cooled.

このように本実施の形態によれば、下側金属シート１０と上側金属シート２０との間に介在されたウィックシート３０の上面３０ｂに、作動液２の蒸気が通る上側蒸気流路凹部３２が設けられ、下面３０ａに、液状の作動液２が通る下側液流路部４０が設けられている。このことにより、下側金属シート１０および上側金属シート２０への、蒸気流路や液流路を形成するためのエッチング加工を不要にできる。すなわち、エッチング加工を行う部材の点数を削減することができる。このため、ベーパーチャンバ１の製造工程を簡素化し、ベーパーチャンバ１を簡易に製造することができる。また、上側蒸気流路凹部３２と下側液流路部４０がウィックシート３０に形成されているため、上側蒸気流路凹部３２と下側液流路部４０とは、エッチング加工時に精度良く位置決めすることができる。このため、組立工程において、上側蒸気流路凹部３２と下側液流路部４０とを位置合わせすることを不要にできる。この結果、ベーパーチャンバ１を簡易に製造することができる。 As described above, according to the present embodiment, the upper vapor flow path concave portion 32 through which the vapor of the working fluid 2 passes is formed on the upper surface 30b of the wick sheet 30 interposed between the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20. A lower liquid flow path portion 40 through which the liquid working fluid 2 passes is provided on the lower surface 30a. This eliminates the need for the etching process for forming vapor channels and liquid channels in the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 . That is, the number of members to be etched can be reduced. Therefore, the manufacturing process of the vapor chamber 1 is simplified, and the vapor chamber 1 can be manufactured easily. In addition, since the upper vapor channel recess 32 and the lower liquid channel 40 are formed in the wick sheet 30, the upper steam channel recess 32 and the lower liquid channel 40 are positioned with high precision during etching. can do. Therefore, it is unnecessary to align the upper steam channel concave portion 32 and the lower liquid channel portion 40 in the assembly process. As a result, the vapor chamber 1 can be manufactured easily.

また、本実施の形態によれば、ウィックシート３０の下面３０ａに、液状の作動液２が通る下側液流路部４０が設けられ、上面３０ｂに、作動液２の蒸気が通る上側蒸気流路凹部３２が設けられている。このことにより、下側金属シート１０の側に下側液流路部４０を配置し、上側金属シート２０の側に上側蒸気流路凹部３２を配置することができる。このため、下側金属シート１０の受熱部１１から受ける熱を、作動液２の蒸発に効果的に用いることができるとともに、作動液２の蒸気が上側金属シート２０に効果的に放熱することができる。この結果、ベーパーチャンバ１の熱輸送効率を高めることができる。 Further, according to the present embodiment, the lower surface 30a of the wick sheet 30 is provided with the lower liquid flow path portion 40 through which the liquid working fluid 2 passes, and the upper surface 30b is provided with the upper vapor flow portion 40 through which the vapor of the working fluid 2 passes. A passage recess 32 is provided. As a result, the lower liquid channel portion 40 can be arranged on the lower metal sheet 10 side, and the upper steam channel concave portion 32 can be arranged on the upper metal sheet 20 side. Therefore, the heat received from the heat receiving portion 11 of the lower metal sheet 10 can be effectively used to evaporate the working fluid 2, and the vapor of the working fluid 2 can effectively dissipate heat to the upper metal sheet 20. can. As a result, the heat transport efficiency of the vapor chamber 1 can be enhanced.

また、本実施の形態によれば、下側金属シート１０の下側周縁部１２と、上側金属シート２０の上側周縁部２１との間に、スペーサ部材５０が介在されている。このことにより、スペーサ部材５０を介して、下側金属シート１０と上側金属シート２０とを拡散接合することができ、接合強度を向上させることができる。このため、下側金属シート１０および上側金属シート２０を簡素な平坦形状にしつつ、下側金属シート１０と上側金属シート２０とを拡散接合することができる。 Further, according to this embodiment, the spacer member 50 is interposed between the lower peripheral edge portion 12 of the lower metal sheet 10 and the upper peripheral edge portion 21 of the upper metal sheet 20 . As a result, the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 can be diffusion-bonded via the spacer member 50, and the bonding strength can be improved. Therefore, the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 can be diffusion-bonded while forming the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 into a simple flat shape.

また、本実施の形態によれば、下側金属シート１０の上面１０ｂが、平坦状に形成されている。このことにより、下側液流路部４０の主流溝４１を、平坦状の上面１０ｂによって覆うことができる。このため、主流溝４１の横断面において、直角状あるいは鋭角状の２つの角部３８（図７参照）を形成することができ、各主流溝４１内の作動液２に作用する毛細管作用を高めることができる。このため、主流溝４１の作動液２に、蒸発部３１に向かう推進力を与えることができ、作動液２を蒸発部３１に向かってスムースに輸送することができる。各連絡溝４５においても同様にして毛細管作用を高めることができる。 Further, according to this embodiment, the upper surface 10b of the lower metal sheet 10 is formed flat. As a result, the main groove 41 of the lower liquid flow path portion 40 can be covered with the flat upper surface 10b. Therefore, two right-angled or acute-angled corners 38 (see FIG. 7) can be formed in the cross section of the main flow groove 41, and the capillary action acting on the hydraulic fluid 2 in each main flow groove 41 is enhanced. be able to. Therefore, the working fluid 2 in the main groove 41 can be given a driving force toward the evaporating portion 31 , and the working fluid 2 can be smoothly transported toward the evaporating portion 31 . Capillary action can be enhanced in each communication groove 45 in the same manner.

また、本実施の形態によれば、上側蒸気流路凹部３２が連通凹部３５を介して下側液流路部４０に連通している。このことにより、上側蒸気流路凹部３２内で凝縮した液状の作動液２を、連通凹部３５を通して下側液流路部４０にスムースに移動させることができる。このため、液状の作動液２を蒸発部３１にスムースに輸送することができる。とりわけ、本実施の形態によれば、連通凹部３５が、下側液流路部４０の複数の主流溝４１に接して連通している。このことにより、連通凹部３５を通った液状の作動液２は、複数の主流溝４１にスムースに入り込むことができる。このため、液状の作動液２を蒸発部３１により一層スムースに輸送することができる。 In addition, according to the present embodiment, the upper vapor channel recess 32 communicates with the lower liquid channel 40 via the communication recess 35 . As a result, the liquid working fluid 2 condensed in the upper steam flow channel recess 32 can be smoothly moved to the lower liquid flow channel 40 through the communication recess 35 . Therefore, the liquid working fluid 2 can be smoothly transported to the evaporator 31 . In particular, according to the present embodiment, the communicating concave portion 35 is in contact with and communicates with the plurality of main grooves 41 of the lower liquid flow path portion 40 . As a result, the liquid hydraulic fluid 2 that has passed through the communication recesses 35 can smoothly enter the plurality of main grooves 41 . Therefore, the liquid working fluid 2 can be transported more smoothly by the evaporation portion 31 .

また、本実施の形態によれば、上側蒸気流路凹部３２を画定する壁面３３と連通凹部３５を画定する壁面３６が、貫通部３７に向かって湾曲している。このことにより、ウィックシート３０の下面３０ａからのエッチング加工と、上面３０ｂからのエッチング加工とによって、上側蒸気流路凹部３２と連通凹部３５とを形成することができ、下側液流路部４０と上側蒸気流路凹部３２とを容易に連通させることができる。 Further, according to the present embodiment, the wall surface 33 that defines the upper steam flow channel recessed portion 32 and the wall surface 36 that defines the communication recessed portion 35 are curved toward the through portion 37 . As a result, the upper steam channel recess 32 and the communicating recess 35 can be formed by etching the wick sheet 30 from the lower surface 30a and the upper surface 30b. and the upper steam flow passage concave portion 32 can be easily communicated with each other.

また、本実施の形態によれば、図３に示す断面において、貫通部３７の幅が、当該貫通部３７の両側の一対の上側流路突出部３４の間のギャップＧおよび／または対応する連通凹部３５の幅よりも小さくなっている。このことにより、互いに隣り合う貫通部３７と貫通部３７との距離を確保することができ、ウィックシート３０の強度を増大させることができる。また、蒸発部３１において蒸発した作動液２の蒸気は、くびれるように形成された貫通部３７を通過して上側蒸気流路凹部３２に達する。この際、貫通部３７を通過すると作動液２の蒸気の流路断面積が拡大するため、作動液２の蒸気は上側蒸気流路凹部３２に勢いよく拡散することができる。このため、熱輸送効率を向上させることができる。 Moreover, according to the present embodiment, in the cross section shown in FIG. It is smaller than the width of the recess 35 . As a result, it is possible to secure the distance between the adjacent through portions 37 and the through portions 37 , thereby increasing the strength of the wick sheet 30 . Further, the vapor of the working fluid 2 evaporated in the evaporating portion 31 passes through the penetrating portion 37 formed to be constricted and reaches the upper vapor flow passage concave portion 32 . At this time, since the passage cross-sectional area of the vapor of the working fluid 2 expands when passing through the through portion 37 , the vapor of the working fluid 2 can vigorously diffuse into the upper vapor passage concave portion 32 . Therefore, heat transport efficiency can be improved.

また、本実施の形態によれば、上側蒸気流路凹部３２内に、上側蒸気流路凹部３２の壁面３３の底部から突出して上側金属シート２０の下面２０ａに当接する複数の上側流路突出部３４が設けられている。このことにより、密封空間３が減圧された場合において、上側金属シート２０が外気の圧力によって凹むように変形することを防止でき、ベーパーチャンバ１の機械的強度の向上を図ることができる。とりわけ、本実施の形態によれば、複数の上側流路突出部が、平面視で、千鳥状に配置されていることにより、密封空間３の減圧時における上側金属シート２０の変形をより一層防止することができるとともに、作動液２の蒸気の流れが妨げられることを抑制できる。 Further, according to the present embodiment, in the upper steam channel recess 32 , there are a plurality of upper channel protrusions that protrude from the bottom of the wall surface 33 of the upper steam channel recess 32 and contact the lower surface 20 a of the upper metal sheet 20 . 34 are provided. As a result, when the sealed space 3 is decompressed, the upper metal sheet 20 can be prevented from being dented by the pressure of the outside air, and the mechanical strength of the vapor chamber 1 can be improved. In particular, according to the present embodiment, the plurality of upper flow path protrusions are arranged in a zigzag pattern in plan view, thereby further preventing deformation of the upper metal sheet 20 when the pressure in the sealed space 3 is reduced. In addition, it is possible to prevent the vapor flow of the hydraulic fluid 2 from being obstructed.

さらに、本実施の形態によれば、連通凹部３５が、平面視で、互いに隣り合う上側流路突出部３４の間に配置されている。このことにより、ベーパーチャンバ１の機械的強度の低下を効果的に防止できる。 Furthermore, according to the present embodiment, the communicating recesses 35 are arranged between the adjacent upper flow path protrusions 34 in plan view. As a result, deterioration of the mechanical strength of the vapor chamber 1 can be effectively prevented.

（第１変形例）
なお、上述した本実施の形態においては、連絡溝４５の幅および深さが、主流溝４１の幅および深さと同様である例について説明した。しかしながら、このことに限られることはない。例えば、図１９～図２１に示すように、連絡溝４５の幅は、主流溝４１の幅よりも大きくしてもよい。図１９～図２１に示す変形例について以下に説明する。 (First modification)
In addition, in the present embodiment described above, an example has been described in which the width and depth of communication groove 45 are the same as the width and depth of mainstream groove 41 . However, it is not limited to this. For example, as shown in FIGS. 19 to 21, the width of the communication groove 45 may be larger than the width of the main groove 41. FIG. Modifications shown in FIGS. 19 to 21 will be described below.

図１９に示すように、主流溝４１は、連絡溝４５が連通する交差部Ｐと、主流溝本体部４１ａと、を含んでいる。 As shown in FIG. 19, the main groove 41 includes an intersection P with which the communication groove 45 communicates, and a main main groove portion 41a.

このうち交差部Ｐにおいて、第２方向Ｙにおいて主流溝４１の両側に位置する一対の連絡溝４５が、当該主流溝４１に連通している。当該一対の連絡溝４５は、第２方向Ｙで整列しており、一直線上に配置されている。このようにして、交差部Ｐにおいては、主流溝４１と連絡溝４５とが十字状に交差している。交差部Ｐは、第１方向Ｘにおいて互いに隣り合う主流溝本体部４１ａの間の領域であるとともに、第２方向Ｙにおいて互いに隣り合う連絡溝４５の間の領域としている。言い換えると、主流溝４１と、連絡溝４５の列とが交わる領域（すなわち、重なる領域）としている。 A pair of communication grooves 45 located on both sides of the main groove 41 in the second direction Y at the intersecting portion P communicates with the main groove 41 . The pair of communication grooves 45 are aligned in the second direction Y and arranged on a straight line. Thus, at the intersection P, the main groove 41 and the communication groove 45 intersect in a cross shape. The intersecting portion P is a region between the main groove main portions 41a adjacent to each other in the first direction X and a region between the connecting grooves 45 adjacent to each other in the second direction Y. As shown in FIG. In other words, it is defined as an area where the main groove 41 and the row of the communication grooves 45 intersect (that is, overlap area).

主流溝本体部４１ａは、第１方向Ｘにおいて交差部Ｐとは異なる位置に配置されており、第２方向Ｙにおいて互いに隣り合う凸部４４の間に位置する部分になっている。交差部Ｐと主流溝本体部４１ａとは、交互に配置されている。 The main groove main body portion 41a is arranged at a position different from the intersecting portion P in the first direction X, and is a portion positioned between the convex portions 44 adjacent to each other in the second direction Y. As shown in FIG. The intersecting portions P and the mainstream groove body portions 41a are alternately arranged.

主流溝４１の幅ｗ１（第２方向Ｙの寸法）は、凸部４４の幅ｗ２（第２方向Ｙの寸法）よりも大きくしてもよい。この場合、ウィックシート３０の下面３０ａに占める主流溝４１の割合を大きくすることができる。このため、当該下面３０ａにおける主流溝４１の流路密度を増大させて、液状の作動液２の輸送機能を向上させることができる。例えば、主流溝４１の幅ｗ１を、３０μｍ～２００μｍ、凸部４４の幅ｗ２を、２０μｍ～１８０μｍとしてもよい。 The width w1 (dimension in the second direction Y) of the main groove 41 may be larger than the width w2 (dimension in the second direction Y) of the protrusion 44 . In this case, the ratio of the mainstream grooves 41 to the lower surface 30a of the wick sheet 30 can be increased. Therefore, the channel density of the main grooves 41 in the lower surface 30a can be increased, and the transport function of the liquid working fluid 2 can be improved. For example, the width w1 of the main groove 41 may be 30 μm to 200 μm, and the width w2 of the protrusion 44 may be 20 μm to 180 μm.

連絡溝４５の幅ｗ３が、主流溝４１の幅ｗ１（より詳細には、主流溝本体部４１ａの幅）よりも大きくなっていてもよい。連絡溝４５の幅ｗ３は、例えば４０μｍ～３００μｍとしてもよい。 The width w3 of the communication groove 45 may be larger than the width w1 of the main groove 41 (more specifically, the width of the main main groove portion 41a). The width w3 of the communication groove 45 may be, for example, 40 μm to 300 μm.

主流溝４１の横断面（第２方向Ｙにおける断面）形状は、特に限られることはなく、例えば矩形状、湾曲状、半円状、Ｖ字状にすることができる。連絡溝４５の横断面（第１方向Ｘにおける断面）形状も同様である。図２０および図２１においては、主流溝４１および連絡溝４５の横断面が、それぞれ湾曲状に形成されている例が示されている。この場合、主流溝４１および連絡溝４５の幅は、ウィックシート３０の下面３０ａにおける溝の幅とする。凸部４４の幅も同様に、下面３０ａにおける凸部の幅とする。 The cross-sectional shape (cross section in the second direction Y) of the main groove 41 is not particularly limited, and can be, for example, rectangular, curved, semicircular, or V-shaped. The same applies to the shape of the cross section (cross section in the first direction X) of the communication groove 45 . FIGS. 20 and 21 show an example in which the main groove 41 and the communication groove 45 have curved cross sections. In this case, the widths of the main groove 41 and the communication groove 45 are the widths of the grooves on the lower surface 30 a of the wick sheet 30 . Similarly, the width of the protrusion 44 is the width of the protrusion on the lower surface 30a.

ところで、図１９においては、各凸部４４は、大局的に見れば、平面視で、第１方向Ｘが長手方向となるように矩形状に形成されている。凸部４４は、下側液流路部４０の全体にわたって、同様の形状で形成されていてもよい。しかしながら、各凸部４４の角部には、丸みを帯びた湾曲部４７が設けられている。これにより、各凸部４４の角部が滑らかに湾曲状に形成され、液状の作動液２の流路抵抗の低減が図られている。なお、凸部４４の図１９における右側の端部および左側の端部ではそれぞれ、２つの湾曲部４７が設けられており、これら２つの湾曲部４７の間に直線状部分４８が設けられている例が示されている。このため、連絡溝４５の幅ｗ３は、第１方向Ｘに互いに隣り合う凸部４４の直線状部分４８の間の距離とする。図示しないが、各凸部４４の角部に湾曲部４７が形成されていない場合も同様である。しかしながら、凸部４４の端部形状は、これに限られることはない。例えば、右側の端部および左側の端部のそれぞれに、直線状部分４８が設けられることなく、端部の全体が湾曲するように（例えば半円状のように）形成されていてもよい。この場合の各連絡溝４５の幅ｗ３は、第１方向Ｘにおいて互いに隣り合う凸部４４の間の最小距離とする。 By the way, in FIG. 19, each convex portion 44 is formed in a rectangular shape in a plan view so that the first direction X is the longitudinal direction. The convex portion 44 may be formed in the same shape over the entire lower liquid flow path portion 40 . However, rounded curved portions 47 are provided at the corners of each convex portion 44 . As a result, the corners of the projections 44 are smoothly curved, and the flow path resistance of the liquid working fluid 2 is reduced. Two curved portions 47 are provided at the right end and the left end of the convex portion 44 in FIG. 19, respectively, and a linear portion 48 is provided between the two curved portions 47. Examples are given. Therefore, the width w3 of the communication groove 45 is the distance between the linear portions 48 of the protrusions 44 adjacent to each other in the first direction X. As shown in FIG. Although not shown, the same applies when the curved portions 47 are not formed at the corners of the convex portions 44 . However, the end shape of the projection 44 is not limited to this. For example, each of the right end and left end may be formed so that the entire end is curved (for example, semicircular) without the linear portion 48 being provided. The width w3 of each communication groove 45 in this case is the minimum distance between the protrusions 44 adjacent to each other in the first direction X. As shown in FIG.

図２０および図２１に示すように、本変形例においては、連絡溝４５の深さｈ３は、主流溝４１の深さｈ１（より詳細には、主流溝本体部４１ａの深さ）よりも深くなっていてもよい。ここで、上述したように、各主流溝４１の横断面形状および各連絡溝４５の横断面形状が湾曲状に形成されている場合、溝４１、４５の深さは、その溝において最も深い位置における深さとする。連絡溝４５の深さｈ３は、例えば１０μｍ～２５０μｍとしてもよい。 As shown in FIGS. 20 and 21, in this modification, the depth h3 of the communication groove 45 is deeper than the depth h1 of the main groove 41 (more specifically, the depth of the main main groove portion 41a). It may be. Here, as described above, when the cross-sectional shape of each main groove 41 and the cross-sectional shape of each communication groove 45 are curved, the depth of the grooves 41 and 45 is the deepest position in the groove. Let it be the depth in The depth h3 of the communication groove 45 may be, for example, 10 μm to 250 μm.

本変形例においては、図２１に示すように、主流溝４１の交差部Ｐの深さｈ１’が、主流溝本体部４１ａの深さｈ１よりも深くなっていてもよい。また、主流溝４１の交差部Ｐの深さｈ１’は、連絡溝４５の深さｈ３よりも深くなっていてもよい。このような交差部Ｐの深さｈ１’は、例えば２０μｍ～３００μｍとしてもよい。交差部Ｐの深さｈ１’は、交差部Ｐにおいて最も深い位置における深さとする。 In this modification, as shown in FIG. 21, the depth h1' of the intersecting portion P of the main groove 41 may be deeper than the depth h1 of the main main groove portion 41a. Further, the depth h1' of the intersecting portion P of the main groove 41 may be deeper than the depth h3 of the communication groove 45. The depth h1' of such intersection P may be, for example, 20 μm to 300 μm. The depth h1' of the intersection P is the depth of the intersection P at the deepest position.

上述したように、連絡溝４５の深さｈ３が、主流溝４１の主流溝本体部４１ａの深さｈ１よりも深くなっているとともに、主流溝４１の交差部Ｐの深さｈ１’が、主流溝本体部４１ａの深さｈ１よりも深くなっていてもよい。このことにより、交差部Ｐから連絡溝４５を介して交差部Ｐにわたる領域に、主流溝本体部４１ａの深さｈ１よりも深いバッファ領域Ｑが形成されている。このバッファ領域Ｑは、液状の作動液２を貯留可能になっている。通常、下側液流路部４０の各主流溝４１および各連絡溝４５には、液状の作動液２が充填されている。このため、バッファ領域Ｑの深さ（ｈ１’およびｈ３）が主流溝本体部４１ａの深さｈ１よりも深くなっていることにより、バッファ領域Ｑに多くの作動液２を貯留することが可能になっている。上述のように、各主流溝４１および各連絡溝４５には作動液２が充填されることから、ベーパーチャンバ１の姿勢に関わることなく、バッファ領域Ｑには作動液２を貯留することができる。本変形例では、連絡溝４５が第２方向Ｙで整列されていることから、バッファ領域Ｑは、第２方向Ｙに連続状に延びるように形成される。 As described above, the depth h3 of the communication groove 45 is deeper than the depth h1 of the main groove body portion 41a of the main groove 41, and the depth h1' of the intersecting portion P of the main groove 41 is greater than the depth h1 of the main groove 41. It may be deeper than the depth h1 of the groove body portion 41a. As a result, a buffer region Q deeper than the depth h1 of the main groove main portion 41a is formed in the region extending from the intersection P to the intersection P via the communication groove 45. As shown in FIG. This buffer region Q is capable of storing the liquid working fluid 2 . Normally, the main grooves 41 and the communication grooves 45 of the lower liquid flow path portion 40 are filled with the liquid working fluid 2 . Therefore, since the depth (h1' and h3) of the buffer region Q is deeper than the depth h1 of the main groove main portion 41a, a large amount of the hydraulic fluid 2 can be stored in the buffer region Q. It's becoming As described above, since the main grooves 41 and the communication grooves 45 are filled with the hydraulic fluid 2, the hydraulic fluid 2 can be stored in the buffer area Q regardless of the orientation of the vapor chamber 1. . In this modification, since the communication grooves 45 are aligned in the second direction Y, the buffer region Q is formed to extend continuously in the second direction Y. As shown in FIG.

なお、ベーパーチャンバ１の下側液流路部４０には多数の交差部Ｐが形成されているが、そのうちの少なくとも１つの交差部Ｐの深さｈ１’が主流溝本体部４１ａの深さｈ１（または連絡溝４５の深さｈ３）よりも深くなっていれば、当該交差部Ｐにおける作動液２の貯留性能を向上させることができる。この貯留性能は、主流溝本体部４１ａの深さｈ１よりも深いｈ１’を有する交差部Ｐの箇所数が増えるにつれて向上するため、全ての交差部Ｐの深さｈ１’が同様の深さを有していることが好ましい。しかしながら、製造誤差などによって、一部の交差部Ｐの深さｈ１’が、主流溝本体部４１ａの深さｈ１よりも深くなくても、作動液２の貯留性能を向上させることができることは明らかである。連絡溝４５の深さｈ３についても同様である。 A number of intersecting portions P are formed in the lower liquid flow path portion 40 of the vapor chamber 1, and the depth h1' of at least one intersecting portion P is equal to the depth h1 of the main groove main portion 41a. (or the depth h3 of the communication groove 45), the storage performance of the hydraulic fluid 2 at the intersecting portion P can be improved. This storage performance improves as the number of intersections P having h1′ deeper than the depth h1 of the main groove body 41a increases. It is preferable to have However, it is clear that even if the depth h1′ of some intersections P is not deeper than the depth h1 of the main groove body portion 41a due to manufacturing errors or the like, the storage performance of the hydraulic fluid 2 can be improved. is. The depth h3 of the communication groove 45 is also the same.

ここで、完成形のベーパーチャンバ１から主流溝４１の幅、深さおよび連絡溝４５の幅、深さを確認する方法について説明する。一般に、ベーパーチャンバ１の外部からは、主流溝４１および連絡溝４５は見えないようになっている。このため、完成形のベーパーチャンバ１を所望の位置で切断して得られた断面形状から、主流溝４１および連絡溝４５の幅、深さを確認する方法が挙げられる。 Here, a method for confirming the width and depth of the main groove 41 and the width and depth of the communication groove 45 from the completed vapor chamber 1 will be described. Generally, the main groove 41 and the communication groove 45 are invisible from the outside of the vapor chamber 1 . For this reason, there is a method of confirming the width and depth of the main groove 41 and the communication groove 45 from the cross-sectional shape obtained by cutting the completed vapor chamber 1 at a desired position.

具体的には、まず、ベーパーチャンバ１を１０ｍｍ角片にワイヤーソーで切断して試料とした。続いて、上側蒸気流路凹部３２、連通凹部３５および下側液流路部４０（主流溝４１および連絡溝４５）に樹脂が入り込むように、試料を真空脱泡しながら樹脂包埋する。次に、所望の断面が得られるようにダイヤモンドナイフでトリミング加工する。この際、例えば、ミクロトーム（例えばライカマイクロシステムズ社製のウルトラミクロトーム）のダイヤモンナイフを使用して、測定目的位置から４０μｍ離れた部分までトリミング加工する。例えば、連絡溝４５のピッチが２００μｍであるとすると、測定目的としている連絡溝４５の隣の連絡溝４５から１６０μｍ削ることにより、測定目的としている連絡溝４５から４０μｍ離れた部分を特定することができる。次に、トリミング加工を行った切断面を削ることにより、観察用の切断面を作製する。この際、断面試料作製装置（例えばＪＯＥＬ社製のクロスセクションポリッシャー）を使用して、飛び出し幅を４０μｍ、電圧を５ｋＶ、時間を６時間に設定し、イオンビーム加工にて切断面を削る。その後、得られた試料の切断面を観察する。この際、走査型電子顕微鏡（例えば、カールツァイス社製の走査型電子顕微鏡）を使用して、電圧を５ｋＶ、作動距離を３ｍｍ、観察倍率を２００倍または５００倍に設定し、切断面を観察する。このようにして、主流溝４１および連絡溝４５の幅、深さを測定することができる。なお、撮影時の観察倍率基準は、Ｐｏｌａｒｏｉｄ５４５とする。また、上述した方法は一例であり、サンプルの形状、構造等に応じて、使用する装置や、測定条件等は任意に決定することができる。 Specifically, first, the vapor chamber 1 was cut into 10 mm square pieces with a wire saw to obtain samples. Subsequently, the sample is embedded in resin while vacuum degassing so that the resin enters the upper vapor channel recess 32, the communication recess 35 and the lower liquid channel 40 (the main groove 41 and the communication groove 45). Next, it is trimmed with a diamond knife so as to obtain a desired cross section. At this time, for example, a diamond knife of a microtome (for example, an ultramicrotome manufactured by Leica Microsystems) is used to trim to a portion 40 μm away from the measurement target position. For example, if the pitch of the communication groove 45 is 200 μm, by cutting 160 μm from the communication groove 45 adjacent to the communication groove 45 to be measured, a portion 40 μm away from the communication groove 45 to be measured can be specified. can. Next, a cut surface for observation is produced by cutting the trimmed cut surface. At this time, using a cross section sample preparation device (for example, a cross section polisher manufactured by JOEL), the protrusion width is set to 40 μm, the voltage is set to 5 kV, and the time is set to 6 hours, and the cut surface is polished by ion beam processing. After that, the cut surface of the obtained sample is observed. At this time, using a scanning electron microscope (for example, a scanning electron microscope manufactured by Carl Zeiss), the voltage is set to 5 kV, the working distance is set to 3 mm, and the observation magnification is set to 200 times or 500 times, and the cut surface is observed. do. Thus, the width and depth of the main groove 41 and the communication groove 45 can be measured. It should be noted that Polaroid 545 is used as the observation magnification standard for photographing. The method described above is only an example, and the device to be used, the measurement conditions, and the like can be arbitrarily determined according to the shape, structure, and the like of the sample.

上述したように、連絡溝４５の幅ｗ３が、主流溝４１の幅ｗ１よりも大きくなっている。このことにより、バッファ領域Ｑは、主流溝本体部４１ａよりも大きく開口した領域になっている。このため、図１１に示すエッチング工程において、エッチング液は、主流溝本体部４１ａよりも、バッファ領域Ｑに多く入り込むようになる。この結果、バッファ領域Ｑでのエッチング液による浸食が進み、バッファ領域Ｑの深さが深くなる。そして、バッファ領域Ｑのうち交差部Ｐに相当する部分は、主流溝本体部４１ａに連通しているため、連絡溝４５よりもエッチング液が入り込みやすくなっている。このことにより、交差部Ｐの深さｈ１’が、連絡溝４５の深さｈ３よりも深くなり得る。このようにして、図１９および図２１に示すようなバッファ領域Ｑが形成される。 As described above, the width w3 of the communication groove 45 is larger than the width w1 of the main groove 41. As shown in FIG. As a result, the buffer region Q has a larger opening than the main groove main portion 41a. Therefore, in the etching step shown in FIG. 11, the etchant enters the buffer region Q more than the main groove body portion 41a. As a result, the erosion of the buffer region Q by the etchant progresses, and the depth of the buffer region Q increases. A portion of the buffer region Q corresponding to the intersecting portion P communicates with the main groove main portion 41 a , so that the etchant is more likely to enter than the connecting groove 45 . As a result, the depth h1' of the intersecting portion P can be deeper than the depth h3 of the communication groove 45. As shown in FIG. In this manner, buffer regions Q as shown in FIGS. 19 and 21 are formed.

ところで、蒸発部３１に向かう作動液２の一部は、交差部Ｐによって構成されるバッファ領域Ｑに引き込まれて貯留される。 By the way, part of the working fluid 2 heading for the evaporating portion 31 is drawn into the buffer region Q formed by the crossing portion P and is stored.

ベーパーチャンバ１の作動時に、主流溝本体部４１ａでドライアウトが発生すると、バッファ領域Ｑに貯留されている作動液２が、このドライアウトの発生部に向かって移動する。より具体的には、主流溝本体部４１ａでドライアウトが発生した場合、そのドライアウトの発生部に最も近いバッファ領域Ｑから作動液２が、主流溝本体部４１ａの毛細管作用によってドライアウトの発生部に移動する。このことにより、ドライアウトの発生部に、作動液２が充填されてドライアウトが解消される。 During operation of the vapor chamber 1, if dryout occurs in the main groove main body portion 41a, the hydraulic fluid 2 stored in the buffer region Q moves toward the dryout occurrence portion. More specifically, when dryout occurs in the main groove body portion 41a, the working fluid 2 from the buffer region Q closest to the dryout occurrence portion is caused to dry out due to the capillary action of the main groove body portion 41a. move to the department. As a result, the portion where dryout occurs is filled with the hydraulic fluid 2 and the dryout is eliminated.

また、主流溝本体部４１ａにおいて、液状の作動液２中にその蒸気による気泡が発生した場合、その気泡は、下流側（蒸発部３１の側）のバッファ領域Ｑに引き込まれて保持される。バッファ領域Ｑの深さが主流溝本体部４１ａの深さｈ１よりも深くなっているため、バッファ領域Ｑに引き込まれた気泡は、バッファ領域Ｑから主流溝本体部４１ａに移動することが抑制される。このため、バッファ領域Ｑによって、主流溝本体部４１ａに発生した気泡を捕捉することができ、作動液２の蒸発部３１への流れが気泡によって妨げられることを抑制できる。 Further, in the main groove body portion 41a, when bubbles are generated in the liquid working fluid 2 by the vapor, the bubbles are drawn into the buffer region Q on the downstream side (the evaporator 31 side) and held therein. Since the depth of the buffer region Q is deeper than the depth h1 of the main groove main body portion 41a, bubbles drawn into the buffer region Q are suppressed from moving from the buffer region Q to the main groove main body portion 41a. be. Therefore, the buffer region Q can capture air bubbles generated in the main groove main body portion 41 a and prevent the air bubbles from obstructing the flow of the working fluid 2 to the evaporating portion 31 .

このように本変形例によれば、連絡溝４５の幅ｗ３が、主流溝４１の幅ｗ１よりも大きくなっている。このことにより、各連絡溝４５内における作動液２の流路抵抗を低減することができる。このため、蒸気から凝縮した液状の作動液２をスムースに各主流溝４１に入り込ませることができる。すなわち、連通凹部３５と連通している主流溝４１だけでなく、連通凹部３５と連通していない主流溝４１へもスムースに入り込ませることができ、凝縮した液状の作動液２の輸送機能を向上させることができる。この結果、液状の作動液２の輸送機能を向上させ、熱輸送効率を向上させることができる。 Thus, according to this modification, the width w3 of the communication groove 45 is larger than the width w1 of the main groove 41 . As a result, the flow path resistance of the hydraulic fluid 2 in each communication groove 45 can be reduced. Therefore, the liquid working fluid 2 condensed from the steam can smoothly enter the main grooves 41 . That is, it can smoothly enter not only the main groove 41 communicating with the communicating recess 35 but also the main groove 41 not communicating with the communicating recess 35, thereby improving the transport function of the condensed liquid working fluid 2. can be made As a result, the transport function of the liquid working fluid 2 can be improved, and the heat transport efficiency can be improved.

また、本変形例によれば、連絡溝４５の深さｈ３は、主流溝４１の深さｈ１よりも深くなっている。このことにより、各連絡溝４５に、作動液２を貯留するバッファ領域Ｑを形成することができる。このため、主流溝４１においてドライアウトが発生した場合には、バッファ領域Ｑに貯留された作動液２をドライアウトの発生部に移動させることができる。このため、ドライアウトを解消することができ、各主流溝４１における作動液２の輸送機能を回復させることができる。また、主流溝４１内に、気泡が発生した場合には、その気泡をバッファ領域Ｑに引き込ませて捕捉することができる。この点においても、各主流溝４１における作動液２の輸送機能を回復させることができる。 Further, according to this modification, the depth h3 of the communication groove 45 is deeper than the depth h1 of the main groove 41 . As a result, a buffer area Q for storing the hydraulic fluid 2 can be formed in each communication groove 45 . Therefore, when dryout occurs in the main groove 41, the hydraulic fluid 2 stored in the buffer region Q can be moved to the dryout occurrence portion. Therefore, dryout can be eliminated, and the function of transporting the hydraulic fluid 2 in each main groove 41 can be restored. Further, when bubbles are generated in the main groove 41, the bubbles can be drawn into the buffer area Q and captured. In this respect as well, the function of transporting the hydraulic fluid 2 in each main groove 41 can be restored.

また、本変形例によれば、主流溝４１の交差部Ｐの深さｈ１’が、主流溝本体部４１ａの深さｈ１よりも深くなっている。このことにより、バッファ領域Ｑを、交差部Ｐに延ばすことができる。このため、バッファ領域Ｑにおける作動液２の貯留量を増大させることができ、ドライアウトをより一層解消させやすくすることができる。 Further, according to this modification, the depth h1' of the intersecting portion P of the main groove 41 is deeper than the depth h1 of the main main groove portion 41a. This allows the buffer region Q to extend to the intersection P. FIG. Therefore, the amount of the hydraulic fluid 2 stored in the buffer area Q can be increased, and dryout can be more easily eliminated.

また、本変形例によれば、主流溝４１の交差部Ｐの深さｈ１’は、連絡溝４５の深さｈ３よりも深くなっている。このことにより、バッファ領域Ｑのうちドライアウトの発生部に近い側でバッファ領域Ｑの深さを深くすることができる。このため、貯留された作動液２を、ドライアウトの発生部にスムースに移動させることができ、ドライアウトをより一層解消させやすくすることができる。 Further, according to this modification, the depth h1' of the intersecting portion P of the main groove 41 is deeper than the depth h3 of the communication groove 45. As shown in FIG. As a result, the depth of the buffer region Q can be increased on the side closer to the portion where dryout occurs. Therefore, the stored hydraulic fluid 2 can be smoothly moved to the dryout occurrence portion, and the dryout can be more easily eliminated.

なお、上述した第１変形例においては、連絡溝４５の幅ｗ３が、主流溝４１の幅ｗ１よりも大きく、連絡溝４５の深さｈ３は、主流溝４１の深さｈ１よりも深く、主流溝４１の交差部Ｐの深さｈ１’が、主流溝本体部４１ａの深さｈ１よりも深く、さらに、主流溝４１の交差部Ｐの深さｈ１’は、連絡溝４５の深さｈ３よりも深くなっている例について説明した。すなわち、第１変形例では、幅や深さについて４つの大小関係を有する例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、これら４つの大小関係のうちの少なくとも１つの大小関係が満たされていれば、当該大小関係に対応する上述した作用効果を奏することができる。このため、４つの大小関係の全てが満たされていなくてもよく、少なくとも１つの大小関係が満たされるようにしてもよい。この場合、必要に応じて、パターニング工程やエッチング工程を複数回に分けて行ってもよい。例えば、連絡溝４５の深さｈ３は、主流溝４１の深さｈ１よりも深いという大小関係を満たす主流溝４１および連絡溝４５を形成する場合には、主流溝４１と連絡溝４５を形成する工程を別々に行ってもよい。より具体的には、まず、主流溝４１をパターニングし、続いてエッチングしてレジストを除去する。その後、主流溝４１をマスクしながら連絡溝４５をパターニングし、続いてエッチングしてレジストを除去してもよい。あるいは、主流溝４１と連絡溝４５を同時にパターニングおよびエッチングした後に、レジストを除去せずに当該レジストの上から主流溝本体部４１ａをマスクするようにパターニングし、連絡溝４５と交差部Ｐを追加的にエッチングしてからレジストを除去するようにしてもよい。 In the first modification described above, the width w3 of the communication groove 45 is greater than the width w1 of the main groove 41, the depth h3 of the communication groove 45 is deeper than the depth h1 of the main groove 41, and the width w3 of the main groove 45 is greater than the depth h1 of the main groove 41. The depth h1′ of the intersecting portion P of the groove 41 is deeper than the depth h1 of the main groove body portion 41a, and the depth h1′ of the intersecting portion P of the main groove 41 is more than the depth h3 of the connecting groove 45. I explained an example of deepening. That is, in the first modified example, an example in which the width and depth have four magnitude relationships has been described. However, the present invention is not limited to this, and as long as at least one of these four magnitude relationships is satisfied, the above-described effects corresponding to the magnitude relationship can be achieved. For this reason, all four magnitude relationships may not be satisfied, and at least one magnitude relation may be satisfied. In this case, if necessary, the patterning process and the etching process may be performed in multiple steps. For example, when forming the main groove 41 and the connecting groove 45 that satisfy the size relationship that the depth h3 of the connecting groove 45 is deeper than the depth h1 of the main groove 41, the main groove 41 and the connecting groove 45 are formed. The steps may be performed separately. More specifically, first, the main groove 41 is patterned, followed by etching to remove the resist. After that, the connecting groove 45 may be patterned while masking the main groove 41, followed by etching to remove the resist. Alternatively, after patterning and etching the main groove 41 and the connecting groove 45 at the same time, patterning is performed so as to mask the main main groove portion 41a from above the resist without removing the resist, and the connecting groove 45 and the intersecting portion P are added. Alternatively, the resist may be removed after etching.

（第２変形例）
また、上述した本実施の形態においては、各凸部列４３の凸部４４の第１方向Ｘにおける位置が同一になっており、複数の主流溝４１と複数の連絡溝４５とが、格子状に配置されている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、図２２に示すように、凸部４４は、千鳥状に配置されていてもよい。 (Second modification)
Further, in the present embodiment described above, the positions of the protrusions 44 of each protrusion row 43 in the first direction X are the same, and the plurality of main grooves 41 and the plurality of communication grooves 45 are arranged in a grid pattern. I explained the example located in . However, the present invention is not limited to this, and as shown in FIG. 22, the convex portions 44 may be arranged in a zigzag pattern.

より具体的には、図２２に示す形態においては、互いに隣り合う凸部列４３の連絡溝４５が、第１方向Ｘにおいて互いにずれて配置されている。この場合、下側金属シート１０が外気の圧力によって連絡溝４５に沿って内側（ウィックシート３０の側）に凹んだ場合であっても、その凹みが、主流溝４１を横断することを防止できる。このため、主流溝４１の流路断面積を確保することができ、作動液２の流れが妨げられることを防止できる。この結果、液状の作動液２の輸送機能を向上させ、熱輸送効率を向上させることができる。 More specifically, in the form shown in FIG. 22, the connecting grooves 45 of the mutually adjacent convex portion rows 43 are arranged to be shifted from each other in the first direction X. As shown in FIG. In this case, even if the lower metal sheet 10 is dented inward (on the side of the wick sheet 30) along the communication groove 45 by the pressure of the outside air, the dent can be prevented from crossing the main groove 41. . Therefore, it is possible to secure the cross-sectional area of the main flow groove 41 and prevent the flow of the hydraulic fluid 2 from being obstructed. As a result, the transport function of the liquid working fluid 2 can be improved, and the heat transport efficiency can be improved.

また、図２２に示す形態においては、主流溝４１と連絡溝４５とがＴ字状に交わっている。このことにより、一の主流溝４１と、一方の側（例えば、図２２における上側）の連絡溝４５とが交わる交差部において、他方の側（例えば、図２２における下側）の連絡溝４５が当該主流溝４１に交わることを回避できる。このことにより、当該交差部において、主流溝４１の壁面４２（図７参照）が両側（図２２における上側および下側）で切り欠かれることを防止し、壁面４２の一方の側を残存させることができる。このため、交差部においても主流溝４１内の作動液２に毛細管作用を付与させることができ、蒸発部３１に向かう作動液２の推進力が交差部で低下することを抑制できる。この結果、液状の作動液２の輸送機能を向上させ、熱輸送効率を向上させることができる。 In addition, in the form shown in FIG. 22, the main groove 41 and the communication groove 45 intersect each other in a T shape. As a result, at the intersection where one main groove 41 intersects with the communication groove 45 on one side (for example, the upper side in FIG. 22), the communication groove 45 on the other side (for example, the lower side in FIG. 22) is formed. Intersecting with the main groove 41 can be avoided. This prevents the wall surface 42 (see FIG. 7) of the main groove 41 from being cut off on both sides (upper and lower sides in FIG. 22) at the intersection, leaving one side of the wall surface 42 remaining. can be done. Therefore, the working fluid 2 in the main groove 41 can be given a capillary action even at the crossing portion, and the driving force of the working fluid 2 toward the evaporating portion 31 can be suppressed from decreasing at the crossing portion. As a result, the transport function of the liquid working fluid 2 can be improved, and the heat transport efficiency can be improved.

（変形例３）
また、上述した本実施の形態においては、エッチング工程において、ウィックシート３０の下面３０ａおよび上面３０ｂが同時にエッチングされて、上側蒸気流路凹部３２、連通凹部３５、並びに下側液流路部４０の主流溝４１および連絡溝４５が同時に形成される例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、ウィックシート３０の下面３０ａと上面３０ｂとは、別々にエッチングされてもよい。更には、ウィックシート３０の下面３０ａについては、下側液流路部４０の主流溝４１および連絡溝４５は、連通凹部３５とは別々にエッチングされてもよい。この場合には、主流溝４１の深さおよび連絡溝４５の深さを、連通凹部３５の深さとは容易に異ならせることができる。 (Modification 3)
Further, in the present embodiment described above, in the etching process, the lower surface 30a and the upper surface 30b of the wick sheet 30 are etched at the same time to form the upper vapor channel recess 32, the communication recess 35, and the lower liquid channel portion 40. An example in which the main groove 41 and the communication groove 45 are formed at the same time has been described. However, the present invention is not limited to this, and the lower surface 30a and the upper surface 30b of the wick sheet 30 may be etched separately. Furthermore, as for the lower surface 30 a of the wick sheet 30 , the main groove 41 and the communication groove 45 of the lower liquid flow path section 40 may be etched separately from the communicating recess 35 . In this case, the depth of the main groove 41 and the depth of the communication groove 45 can be easily made different from the depth of the communication recess 35 .

（変形例４）
さらに、上述した本実施の形態においては、連通凹部３５が、ウィックシート３０の下面３０ａからのエッチングによって形成されており、壁面３６が湾曲状に形成されている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、連通凹部３５は、上側蒸気流路凹部３２と下側液流路部４０の主流溝４１とを連通することができれば、任意の断面形状で形成されていてもよい。例えば、連通凹部３５の壁面３６は、図示しないが、下面３０ａに垂直な方向に直線状に延びるように形成されていてもよい。この場合には、図１１に示すエッチング工程において上側蒸気流路凹部３２および下側液流路部４０を形成した後、下面３０ａからの型抜き（パンチング）によって、連通凹部３５を形成することができる。また、連通凹部３５の壁面３６は、図示しないが、下面３０ａから上面３０ｂに向かって先細となるような台形状に形成されていてもよい。この場合には、図１１に示すエッチング工程において上側蒸気流路凹部３２および下側液流路部４０を形成した後、下面３０ａからレーザ光を照射することによって連通凹部３５を形成することができる。 (Modification 4)
Furthermore, in the present embodiment described above, an example in which the communicating recess 35 is formed by etching from the lower surface 30a of the wick sheet 30 and the wall surface 36 is formed in a curved shape has been described. However, the communication recess 35 is not limited to this, and may be formed in any cross-sectional shape as long as the upper steam flow channel recess 32 and the main flow channel 41 of the lower liquid flow channel 40 can communicate with each other. may For example, although not shown, the wall surface 36 of the communication recess 35 may be formed so as to extend linearly in a direction perpendicular to the lower surface 30a. In this case, after forming the upper vapor channel recess 32 and the lower liquid channel 40 in the etching step shown in FIG. 11, the communicating recess 35 can be formed by punching from the lower surface 30a. can. Moreover, although not shown, the wall surface 36 of the communicating recess 35 may be formed in a trapezoidal shape that tapers from the lower surface 30a toward the upper surface 30b. In this case, after forming the upper vapor channel recess 32 and the lower liquid channel 40 in the etching step shown in FIG. 11, the communicating recess 35 can be formed by irradiating laser light from the lower surface 30a. .

（変形例５）
さらに、上述した本実施の形態においては、ウィックシート３０の下面３０ａに、作動液２の蒸気が通る蒸気流路凹部（図示せず）が形成されていてもよい。この場合には、作動液２の蒸気をより一層スムースに拡散させることができ、熱輸送効率を向上させることができる。 (Modification 5)
Furthermore, in the present embodiment described above, the lower surface 30a of the wick sheet 30 may be formed with a vapor channel recess (not shown) through which the vapor of the working fluid 2 passes. In this case, the vapor of the working fluid 2 can be diffused more smoothly, and the heat transport efficiency can be improved.

（第２の実施の形態）
次に、図２３および図２４を用いて、本発明の第２の実施の形態におけるベーパーチャンバ用のウィックシート、ベーパーチャンバおよびベーパーチャンバの製造方法について説明する。 (Second embodiment)
Next, a wick sheet for a vapor chamber, a vapor chamber, and a method of manufacturing the vapor chamber according to the second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 23 and 24. FIG.

図２３および図２４に示す第２の実施の形態においては、下側金属シートの下側熱融着層と、上側金属シートの上側熱融着層とが、ヒートシールされている点が主に異なり、他の構成は、図１乃至図２２に示す第１の実施の形態と略同一である。なお、図２３および図２４において、図１乃至図２２に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。 In the second embodiment shown in FIGS. 23 and 24, the main point is that the lower heat-sealing layer of the lower metal sheet and the upper heat-sealing layer of the upper metal sheet are heat-sealed. 1 to 22 are substantially the same as those of the first embodiment shown in FIGS. 23 and 24, the same parts as in the first embodiment shown in FIGS. 1 to 22 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.

本実施の形態においては、図２３に示すように、下側金属シート１０は、上面１０ｂのうち平面視でウィックシート３０の外側に設けられた下側熱融着層７０（第１熱融着層）を有している。すなわち、下側熱融着層７０は、下側金属シート１０の下側周縁部１２における上面１０ｂに配置されており、平面視で、ウィックシート３０の周囲に全周にわたって形成され、矩形枠状に形成されている。 In the present embodiment, as shown in FIG. 23, the lower metal sheet 10 includes a lower heat-sealing layer 70 (first heat-sealing layer 70) provided outside the wick sheet 30 in plan view on the upper surface 10b. layer). That is, the lower heat-sealing layer 70 is arranged on the upper surface 10b of the lower peripheral edge portion 12 of the lower metal sheet 10, and is formed around the entire circumference of the wick sheet 30 in plan view, and has a rectangular frame shape. is formed in

下側熱融着層７０は、熱融着性樹脂材料を、下側金属シート１０の上面１０ｂに、ダイコートやロールコート等で塗布することによって形成することができる。熱融着性樹脂材料としては、下側金属シート１０との接合性および密封空間３の密封性を考慮し、例えば、高圧法低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）、酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）、無延伸ポリプロピレン（ＣＰＰ）等を用いることが好適である。また、密封空間３を密封するとともに下側金属シート１０を平坦形状に維持するために、熱融着性樹脂材料の塗布幅は１ｍｍとすることが好適であり、塗布厚さは５０μｍ程度とすることが好適である。 The lower heat-sealable layer 70 can be formed by applying a heat-sealable resin material to the upper surface 10b of the lower metal sheet 10 by die coating, roll coating, or the like. Considering the bondability with the lower metal sheet 10 and the sealing ability of the sealed space 3, the heat-sealable resin material is selected from, for example, high-pressure low-density polyethylene (LDPE), vinyl acetate copolymer (EVA), It is preferable to use oriented polypropylene (CPP) or the like. In order to seal the sealed space 3 and maintain the flat shape of the lower metal sheet 10, it is preferable to apply the heat-sealable resin material with a width of 1 mm and a thickness of about 50 μm. is preferred.

上側金属シート２０は、下面２０ａのうち平面視でウィックシート３０の外側に設けられた上側熱融着層７１（第２熱融着層）を有している。すなわち、上側熱融着層７１は、上側金属シート２０の上側周縁部２１における下面２０ａに配置されており、平面視で、ウィックシート３０の周囲に全周にわたって形成され、矩形枠状に形成されている。上側熱融着層７１は、下側熱融着層７０と同様の材料を用いて同様の方法で、上側金属シート２０の下面２０ａに形成することができる。 The upper metal sheet 20 has an upper heat sealing layer 71 (second heat sealing layer) provided outside the wick sheet 30 in plan view on the lower surface 20a. That is, the upper heat-sealing layer 71 is arranged on the lower surface 20a of the upper peripheral edge portion 21 of the upper metal sheet 20, and is formed around the entire circumference of the wick sheet 30 in a plan view to have a rectangular frame shape. ing. The upper heat sealing layer 71 can be formed on the lower surface 20a of the upper metal sheet 20 using the same material as the lower heat sealing layer 70 and the same method.

下側熱融着層７０と上側熱融着層７１は、互いにヒートシールされて、接合されている。すなわち、ウィックシート３０の周囲に全周にわたって下側熱融着層７０と上側熱融着層７１とがヒートシールされている。このようにして、ウィックシート３０の上側蒸気流路凹部３２および下側液流路部４０によって構成される密封空間３が、下側金属シート１０、上側金属シート２０およびスペーサ部材５０によって密封されている。なお、本実施の形態では、図１４に示すような仮止め工程は省略し、図１５に示すような接合工程において、拡散接合の代わりにヒートシールを行うことが好適である。ヒートシールの方法は、密封空間３を密封することができれば特に限られることはない。 The lower heat-sealing layer 70 and the upper heat-sealing layer 71 are heat-sealed and joined together. That is, the lower heat-sealing layer 70 and the upper heat-sealing layer 71 are heat-sealed over the entire periphery of the wick sheet 30 . In this manner, the sealed space 3 formed by the upper vapor channel concave portion 32 and the lower liquid channel portion 40 of the wick sheet 30 is sealed by the lower metal sheet 10, the upper metal sheet 20 and the spacer member 50. there is In the present embodiment, it is preferable to omit the temporary fixing step as shown in FIG. 14 and perform heat sealing instead of diffusion bonding in the bonding step as shown in FIG. The heat sealing method is not particularly limited as long as the sealed space 3 can be sealed.

このように本実施の形態によれば、下側金属シート１０の下側熱融着層７０と、上側金属シート２０の上側熱融着層７１とが、ヒートシールされている。このことにより、下側金属シート１０と上側金属シート２０とを拡散接合するのではなく、比較的簡易な方法であるヒートシールで接合することができる。このため、ベーパーチャンバ１の製造工程を簡素化することができ、ベーパーチャンバ１を、簡易に製造することができる。また、ベーパーチャンバ１を製造するために、比較的大掛かりな拡散接合設備を不要にできるという点においても好都合である。さらに、下側金属シート１０と上側金属シート２０とを接合する際に、各金属シート１０、２０およびウィックシート３０の温度上昇を抑制することができる。このため、各金属シート１０、２０およびウィックシート３０の材料の軟化や変形を防止することができる。 Thus, according to the present embodiment, the lower heat-sealing layer 70 of the lower metal sheet 10 and the upper heat-sealing layer 71 of the upper metal sheet 20 are heat-sealed. As a result, the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 can be joined by heat sealing, which is a relatively simple method, instead of diffusion joining. Therefore, the manufacturing process of the vapor chamber 1 can be simplified, and the vapor chamber 1 can be manufactured easily. It is also advantageous in that relatively large-scale diffusion bonding equipment can be dispensed with in order to manufacture the vapor chamber 1 . Furthermore, when the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 are joined, the temperature rise of each of the metal sheets 10 and 20 and the wick sheet 30 can be suppressed. Therefore, softening and deformation of the materials of the metal sheets 10 and 20 and the wick sheet 30 can be prevented.

また、本実施の形態によれば、下側金属シート１０と上側金属シート２０とが、下側熱融着層７０および上側熱融着層７１によってヒートシールされていることにより、スペーサ部材５０（図３等参照）を用いることを不要にできる。このため、ベーパーチャンバ１全体の質量を低減することができ、軽量化を図ることができる。 Further, according to the present embodiment, the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 are heat-sealed by the lower heat-sealing layer 70 and the upper heat-sealing layer 71, whereby the spacer member 50 ( (see FIG. 3, etc.) can be made unnecessary. Therefore, the mass of the entire vapor chamber 1 can be reduced, and weight reduction can be achieved.

（変形例６）
なお、上述した本実施の形態においては、下側金属シート１０および上側金属シート２０が平坦状に形成されている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはない。例えば、図２４に示すように、下側金属シート１０および上側金属シート２０は、柔軟性を有するフィルム状に形成されていてもよい。この場合、例えば、下側金属シート１０の厚さおよび上側金属シート２０の厚さは、５０μｍ～２００μｍであることが好適である。 (Modification 6)
In addition, in the present embodiment described above, an example in which the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 are formed flat has been described. However, it is not limited to this. For example, as shown in FIG. 24, the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 may be formed into flexible films. In this case, for example, the thickness of the lower metal sheet 10 and the thickness of the upper metal sheet 20 are preferably 50 μm to 200 μm.

図２４に示す形態においては、下側熱融着層７０を形成するための熱融着性樹脂材料の塗布厚さが、図２３に示す形態よりも薄くなっている。例えば、３０μｍ程度とすることができる。このことにより、下側金属シート１０の下側周縁部１２が、上側金属シート２０の上側周縁部２１に向かうように変形している。上側金属シート２０の上側周縁部２１も同様にして、下側金属シート１０の下側周縁部１２に向かうように変形し、下側周縁部と上側周縁部とが、下側熱融着層および上側熱融着層を介してヒートシールされている。 In the form shown in FIG. 24, the coating thickness of the heat-fusible resin material for forming the lower heat-fusible layer 70 is thinner than in the form shown in FIG. For example, it can be about 30 μm. As a result, the lower peripheral edge 12 of the lower metal sheet 10 is deformed toward the upper peripheral edge 21 of the upper metal sheet 20 . Similarly, the upper peripheral edge portion 21 of the upper metal sheet 20 is also deformed toward the lower peripheral edge portion 12 of the lower metal sheet 10, and the lower peripheral edge portion and the upper peripheral edge portion become the lower heat sealing layer and the upper peripheral edge portion. It is heat-sealed through the upper heat sealing layer.

図２４に示す形態では、下側金属シート１０の厚さおよび上側金属シート２０の厚さを小さくすることができるため、ベーパーチャンバ１全体の厚さを小さくすることができる。また、より一層の軽量化を図ることもできる。 In the form shown in FIG. 24, the thickness of the lower metal sheet 10 and the thickness of the upper metal sheet 20 can be reduced, so the thickness of the vapor chamber 1 as a whole can be reduced. In addition, further weight reduction can be achieved.

（第３の実施の形態）
次に、図２５乃至図３３を用いて、本発明の第３の実施の形態におけるベーパーチャンバ用のウィックシート、ベーパーチャンバおよびベーパーチャンバの製造方法について説明する。 (Third Embodiment)
Next, a wick sheet for a vapor chamber, a vapor chamber, and a method of manufacturing the vapor chamber according to the third embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 25 to 33. FIG.

図２５乃至図３３に示す第３の実施の形態においては、ウィックシートの蒸気流路部が第２面から第１面に延びている点が主に異なり、他の構成は、図１乃至図２２に示す第１の実施の形態と略同一である。なお、図２５乃至図３３において、図１乃至図２２に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。 The third embodiment shown in FIGS. 25 to 33 is mainly different in that the steam channel portion of the wick sheet extends from the second surface to the first surface. 22 is substantially the same as the first embodiment. 25 to 33, the same parts as those in the first embodiment shown in FIGS. 1 to 22 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.

本実施の形態においては、図２５乃至図２８に示すように、ベーパーチャンバ１は、下側金属シート１０と上側金属シート２０とウィックシート３０とを備えている。下側金属シート１０と上側金属シート２０との間には、図３等に示すスペーサ部材５０は設けられていない。このため、ウィックシート３０の下面３０ａは、下側金属シート１０の上面１０ｂに拡散接合されるとともに、上面３０ｂは、上側金属シート２０の下面２０ａに拡散接合されている。密封空間３は、後述する蒸気流路部８０の第１蒸気通路８１および第２蒸気通路８２（後述する下側蒸気流路凹部８５および上側蒸気流路凹部８６）、並びに下側液流路部４０の主流溝４１および連絡溝４５によって形成されている。 In this embodiment, the vapor chamber 1 comprises a lower metal sheet 10, an upper metal sheet 20 and a wick sheet 30, as shown in FIGS. No spacer member 50 shown in FIG. 3 or the like is provided between the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 . Therefore, the lower surface 30a of the wick sheet 30 is diffusion-bonded to the upper surface 10b of the lower metal sheet 10, and the upper surface 30b is diffusion-bonded to the lower surface 20a of the upper metal sheet 20. FIG. The sealed space 3 includes a first steam passage 81 and a second steam passage 82 (a lower steam passage concave portion 85 and an upper steam passage concave portion 86 which will be described later) of a steam passage portion 80 described later, and a lower liquid passage portion. It is formed by 40 main grooves 41 and connecting grooves 45 .

ウィックシート３０の蒸気流路部８０は、ウィックシート３０の上面３０ｂから下面３０ａに延びており、ウィックシート３０を貫通するように形成されている。この蒸気流路部８０は、作動液２の蒸気が通るように構成されており、後述する枠体部８３の内側に画定されている。 The vapor channel portion 80 of the wick sheet 30 extends from the upper surface 30 b of the wick sheet 30 to the lower surface 30 a and is formed to penetrate the wick sheet 30 . The vapor passage portion 80 is configured so that the vapor of the working liquid 2 passes through it, and is defined inside a frame portion 83 to be described later.

本実施の形態によるウィックシート３０は、平面視で矩形枠状に形成された枠体部８３と、枠体部８３内に設けられたランド部８４と、を有している。枠体部８３およびランド部８４は、図１１に示すエッチング工程においてエッチングされることなく、ウィックシート３０の材料が残る部分である。 The wick sheet 30 according to the present embodiment has a frame body portion 83 formed in a rectangular frame shape in plan view, and a land portion 84 provided inside the frame body portion 83 . The frame portion 83 and the land portion 84 are portions where the material of the wick sheet 30 remains without being etched in the etching step shown in FIG.

ランド部８４は、蒸気流路部８０内に複数配置されており、蒸気流路部８０を、第１蒸気通路８１と複数の第２蒸気通路８２とに区画している。平面視でランド部８４の周囲に、蒸気流路部８０が形成されている。ランド部８４と枠体部８３との間には第１蒸気通路８１が形成されている。この第１蒸気通路８１は、枠体部８３の内側であってランド部８４の外側に連続状に形成されている。第１蒸気通路８１の平面形状は、矩形枠状になっている。隣り合うランド部８４同士の間には第２蒸気通路８２が形成されている。第２蒸気通路８２の平面形状は、細長の矩形形状になっている。このような第１蒸気通路８１と第２蒸気通路８２によって蒸気流路部８０が構成されている。 A plurality of land portions 84 are arranged in the steam flow path portion 80 and partition the steam flow path portion 80 into a first steam passage 81 and a plurality of second steam passages 82 . A steam channel portion 80 is formed around the land portion 84 in plan view. A first steam passage 81 is formed between the land portion 84 and the frame portion 83 . The first steam passage 81 is formed continuously inside the frame portion 83 and outside the land portion 84 . The planar shape of the first steam passage 81 is a rectangular frame shape. A second steam passage 82 is formed between adjacent land portions 84 . The planar shape of the second steam passage 82 is an elongated rectangular shape. The first steam passage 81 and the second steam passage 82 as described above constitute the steam passage portion 80 .

図２６に示すように、蒸気流路部８０は、下面３０ａに設けられた下側蒸気流路凹部８５と、上面３０ｂに設けられた上側蒸気流路凹部８６とによって構成されている。下側蒸気流路凹部８５と上側蒸気流路凹部８６とが連通して、蒸気流路部８０が上面３０ｂから下面３０ａにわたって延びるように形成されている。 As shown in FIG. 26, the steam channel portion 80 includes a lower steam channel recess 85 provided on the lower surface 30a and an upper steam channel recess 86 provided on the upper surface 30b. The lower steam channel recess 85 and the upper steam channel recess 86 communicate with each other, and the steam channel portion 80 is formed to extend from the upper surface 30b to the lower surface 30a.

下側蒸気流路凹部８５は、密封空間３の一部を構成しており、主として、蒸発部３１で生成された作動液２の蒸気が通るように構成されている。この下側蒸気流路凹部８５は、図１１に示すエッチング工程において、ウィックシート３０の下面３０ａからエッチングされることによって、下面３０ａに凹状に形成されている。このことにより、下側蒸気流路凹部８５は、図２６に示すように、湾曲状に形成された壁面８７を有している。この壁面８７は、下側蒸気流路凹部８５を画定し、上面３０ｂに向かって膨らむような形状で湾曲している。壁面８７は、湾曲した複数の凹んだ部分を有しており、各々の凹んだ部分が第１蒸気通路８１の一部（下半分）や第２蒸気通路８２の一部（下半分）をなしている。 The lower steam flow path concave portion 85 constitutes a part of the sealed space 3 and is mainly configured so that the steam of the working fluid 2 generated in the evaporating portion 31 passes therethrough. The lower steam channel recess 85 is formed in a concave shape on the lower surface 30a of the wick sheet 30 by etching the lower surface 30a of the wick sheet 30 in the etching step shown in FIG. As a result, the lower steam channel recess 85 has a curved wall surface 87 as shown in FIG. The wall surface 87 defines a lower steam flow channel recessed portion 85 and is curved in a shape that expands toward the upper surface 30b. The wall surface 87 has a plurality of curved recessed portions, and each recessed portion constitutes a portion (lower half) of the first steam passage 81 and a portion (lower half) of the second steam passage 82. ing.

上側蒸気流路凹部８６は、密封空間３の一部を構成しており、主として、蒸発部３１で生成された作動液２の蒸気が通るように構成されている。この上側蒸気流路凹部８６は、図１１に示すエッチング工程において、ウィックシート３０の上面３０ｂからエッチングされることによって、上面３０ｂに凹状に形成されている。このことにより、上側蒸気流路凹部８６は、図２６に示すように、湾曲状に形成された壁面８８を有している。この壁面８８は、上側蒸気流路凹部８６を画定し、下面３０ａに向かって膨らむような形状で湾曲している。壁面８８は、湾曲した複数の凹んだ部分を有しており、各々の凹んだ部分が第１蒸気通路８１の一部（上半分）や第２蒸気通路８２の一部（上半分）をなしている。 The upper steam flow channel concave portion 86 constitutes a part of the sealed space 3 and is mainly configured so that the steam of the working fluid 2 generated in the evaporating portion 31 passes therethrough. The upper vapor channel recess 86 is formed in a concave shape on the upper surface 30b of the wick sheet 30 by etching the upper surface 30b of the wick sheet 30 in the etching process shown in FIG. As a result, the upper steam passage recess 86 has a curved wall surface 88, as shown in FIG. The wall surface 88 defines the upper steam flow passage recess 86 and is curved in a shape that expands toward the lower surface 30a. The wall surface 88 has a plurality of curved recessed portions, and each recessed portion constitutes a portion (upper half) of the first steam passage 81 and a portion (upper half) of the second steam passage 82. ing.

下側蒸気流路凹部８５の壁面８７と、上側蒸気流路凹部８６の壁面８８とが連接して貫通部８９が形成されている。壁面８７と壁面８８はそれぞれ貫通部８９に向かって湾曲している。このことにより、下側蒸気流路凹部８５と上側蒸気流路凹部８６とが互いに連通している。本実施の形態では、第１蒸気通路８１における貫通部８９の平面形状は、第１蒸気通路８１と同様に矩形枠状になっており、第２蒸気通路８２における貫通部８９の平面形状は、第２蒸気通路８２と同様に細長の矩形形状になっている。貫通部８９は、下側蒸気流路凹部８５の壁面８７と上側蒸気流路凹部８６の壁面８８とが合流し、内側に張り出すように形成された稜線によって画定されている。この貫通部８９において蒸気流路部８０の平面面積が最小になっている。このような貫通部８９の幅寸法ｗ６は、例えば、４００μｍ～１６００μｍである。なお、ウィックシート３０の厚さ方向（図２６における上下方向）における貫通部８９の位置は、下面３０ａと上面３０ｂとの中間位置でもよく、中間位置から下側または上側にずれた位置でもよく、下側蒸気流路凹部８５と上側蒸気流路凹部８６とが連通すれば、任意である。また、本実施の形態では、第１蒸気通路８１および第２蒸気通路８２の断面形状が、内側に張り出すように形成された稜線によって画定された貫通部８９を含むように形成されているが、これに限られることはない。例えば、第１蒸気通路８１および第２蒸気通路８２の断面形状は、台形形状や矩形形状であってもよく、あるいは樽形の形状になっていてもよい。 A wall surface 87 of the lower steam channel recess 85 and a wall surface 88 of the upper steam channel recess 86 are connected to form a through portion 89 . The wall surface 87 and the wall surface 88 are curved toward the through portion 89 respectively. As a result, the lower steam channel recess 85 and the upper steam channel recess 86 communicate with each other. In the present embodiment, the planar shape of the penetration portion 89 in the first steam passage 81 is a rectangular frame like the first steam passage 81, and the planar shape of the penetration portion 89 in the second steam passage 82 is Like the second steam passage 82, it has an elongated rectangular shape. The penetrating portion 89 is defined by a ridge line formed so as to project inward when the wall surface 87 of the lower steam flow channel recess 85 and the wall surface 88 of the upper steam flow channel recess 86 join. The plane area of the steam channel portion 80 is minimized at this through portion 89 . A width dimension w6 of such a through portion 89 is, for example, 400 μm to 1600 μm. The position of the through portion 89 in the thickness direction of the wick sheet 30 (vertical direction in FIG. 26) may be an intermediate position between the lower surface 30a and the upper surface 30b, or may be shifted downward or upward from the intermediate position. It is optional as long as the lower steam channel recess 85 and the upper steam channel recess 86 communicate with each other. In addition, in the present embodiment, the cross-sectional shapes of the first steam passage 81 and the second steam passage 82 are formed so as to include the penetrating portion 89 defined by the ridgeline formed so as to protrude inward. , but not limited to these. For example, the cross-sectional shape of the first steam passage 81 and the second steam passage 82 may be trapezoidal, rectangular, or barrel-shaped.

上述した枠体部８３は、ウィックシート３０の下面３０ａを構成する枠体下面８３ａ（第１枠体面）と、上面３０ｂを構成する枠体上面８３ｂ（第２枠体面）と、を有している。すなわち、枠体下面８３ａは、下面３０ａと同一平面上に位置し、枠体上面８３ｂは、上面３０ｂと同一平面上に位置している。枠体下面８３ａは、下側金属シート１０の上面１０ｂに当接し、拡散接合されている。枠体上面８３ｂは、上側金属シート２０の下面２０ａに当接し、拡散接合されている。 The frame portion 83 described above has a frame bottom surface 83a (first frame surface) forming the bottom surface 30a of the wick sheet 30 and a frame top surface 83b (second frame surface) forming the top surface 30b. there is That is, the frame lower surface 83a is located on the same plane as the lower surface 30a, and the frame upper surface 83b is located on the same plane as the upper surface 30b. The frame lower surface 83a abuts on the upper surface 10b of the lower metal sheet 10 and is diffusion-bonded. The upper surface 83b of the frame is in contact with the lower surface 20a of the upper metal sheet 20 and is diffusion-bonded.

上述したランド部８４は、ウィックシート３０の下面３０ａを構成するランド下面８４ａ（第１ランド面）と、上面３０ｂを構成するランド上面８４ｂ（第２ランド面）と、を有している。すなわち、ランド下面８４ａは、下面３０ａと同一平面上に位置し、ランド上面８４ｂは、上面３０ｂと同一平面上に位置している。ランド下面８４ａは、下側金属シート１０の上面１０ｂに当接し、拡散接合されている。ランド上面８４ｂは、上側金属シート２０の下面２０ａに当接し、拡散接合されている。このようにして、密封空間３の減圧時におけるベーパーチャンバ１の機械的強度の向上を図っている。上述した下側蒸気流路凹部８５の壁面８７および上側蒸気流路凹部８６の壁面８８は、ランド部８４の側壁を構成している。 The land portion 84 described above has a land lower surface 84a (first land surface) forming the lower surface 30a of the wick sheet 30 and a land upper surface 84b (second land surface) forming the upper surface 30b. That is, the land lower surface 84a is located on the same plane as the lower surface 30a, and the land upper surface 84b is located on the same plane as the upper surface 30b. The land lower surface 84a abuts on the upper surface 10b of the lower metal sheet 10 and is diffusion-bonded. The land upper surface 84b contacts the lower surface 20a of the upper metal sheet 20 and is diffusion-bonded. In this way, the mechanical strength of the vapor chamber 1 is improved when the sealed space 3 is decompressed. The wall surface 87 of the lower steam flow channel recess 85 and the wall surface 88 of the upper steam flow channel recess 86 described above form side walls of the land portion 84 .

なお、下側金属シート１０とウィックシート３０（枠体部８３およびランド部８４）とは、恒久的に接合できれば、拡散接合ではなく、ろう付け等の他の方式で接合されていてもよい。ウィックシート３０と上側金属シート２０についても同様である。 Note that the lower metal sheet 10 and the wick sheet 30 (frame portion 83 and land portion 84) may be joined by other methods such as brazing instead of diffusion joining as long as they can be permanently joined. The same is true for the wick sheet 30 and the upper metal sheet 20 .

本実施の形態では、ランド部８４は、平面視で、第１方向Ｘに沿って細長状に延びており、ランド部８４の平面形状は、細長の矩形形状になっている。また、各ランド部８４は、第２方向Ｙにおいて等間隔に離間して、互いに平行に配置されている。このようにして、各ランド部８４の周囲を作動液２の蒸気が流れて、ウィックシート３０の周縁部に向かって蒸気が輸送されるように構成されており、蒸気の流れが妨げられることを抑制している。ランド部８４の幅ｗ７は、例えば、１００μｍ～１５００μｍである。ここで、ランド部８４の幅ｗ７は、第２方向Ｙにおけるランド部８４の寸法であって、ウィックシート３０の厚さ方向において貫通部８９が存在する位置における寸法を意味している。 In the present embodiment, the land portion 84 extends in an elongated shape along the first direction X in plan view, and the planar shape of the land portion 84 is an elongated rectangular shape. In addition, the land portions 84 are arranged in parallel with each other at equal intervals in the second direction Y. As shown in FIG. In this manner, the vapor of the working fluid 2 flows around each land portion 84 and is transported toward the peripheral portion of the wick sheet 30, preventing the flow of vapor from being obstructed. suppressed. The width w7 of the land portion 84 is, for example, 100 μm to 1500 μm. Here, the width w7 of the land portion 84 is the dimension of the land portion 84 in the second direction Y and means the dimension at the position where the through portion 89 exists in the thickness direction of the wick sheet 30 .

図２７乃至図２９に示すように、蒸気流路部８０内に、ランド部８４を枠体部８３に支持する第１支持部９１が設けられている。本実施の形態では、第１方向Ｘにおいてランド部８４の両側に設けられた第１支持部９１によって、各ランド部８４が枠体部８３に支持されている。また、第２方向Ｙにおけるランド部８４の両側にも複数の第１支持部９１が設けられている。これらの第１支持部９１によって、第２方向Ｙにおいて両側に配置されたランド部８４が、枠体部８３に支持されている。なお、図２７および図２８においては、第１方向Ｘにおいて、各ランド部８４が対応する第１支持部９１によって枠体部８３に支持されている例が示されているが、これに限られることはない。例えば、複数のランド部８４が、１つの第１支持部９１によって枠体部８３に支持される、すなわち、図２７に示す互いに隣り合ういくつかの第１支持部９１が一体に連続状に形成されるようにしてもよい。さらには、全てのランド部８４が、第１方向Ｘにおける両側において、１つの第１支持部９１によって枠体部８３に支持されるようにしてもよい。この場合には、第１方向Ｘにおいてランド部８４の両側に設けられた後述の下側枠体液流路部９７の部分（第２方向Ｙに沿う部分、図２７および図２８における右側および左側の部分）は、設けられていなくてもよい。しかしながら、当該部分は設けられていてもよい。この場合、第２方向Ｙにおいてランド部８４の両側に設けられた下側枠体液流路部９７の部分（第１方向Ｘに沿う部分、図２７および図２８における上側および下側の部分）を連通させることができ、液状の作動液２を、両方の部分に往来させることができる。 As shown in FIGS. 27 to 29 , a first support portion 91 that supports the land portion 84 on the frame portion 83 is provided inside the steam passage portion 80 . In the present embodiment, each land portion 84 is supported by the frame portion 83 by first support portions 91 provided on both sides of the land portion 84 in the first direction X. As shown in FIG. A plurality of first support portions 91 are also provided on both sides of the land portion 84 in the second direction Y. As shown in FIG. The land portions 84 arranged on both sides in the second direction Y are supported by the frame portion 83 by these first support portions 91 . 27 and 28 show an example in which each land portion 84 is supported by the corresponding first support portion 91 on the frame portion 83 in the first direction X, but the present invention is limited to this. never. For example, a plurality of land portions 84 are supported by one first support portion 91 on the frame portion 83, that is, several adjacent first support portions 91 shown in FIG. may be made. Furthermore, all the land portions 84 may be supported by the frame portion 83 on both sides in the first direction X by one first support portion 91 . In this case, the portions of the later-described lower frame liquid flow path portions 97 provided on both sides of the land portion 84 in the first direction X (the portions along the second direction Y, the right and left sides in FIGS. 27 and 28) part) may not be provided. However, the portion may be provided. In this case, the portions of the lower frame liquid flow path portion 97 provided on both sides of the land portion 84 in the second direction Y (the portions along the first direction X, the upper and lower portions in FIGS. 27 and 28) are They can be in communication and liquid hydraulic fluid 2 can flow to and from both parts.

図２９に示すように、第１支持部９１は、ウィックシート３０の下面３０ａの側に設けられており、第１支持部９１の上面３０ｂの側には、上側蒸気流路凹部８６が設けられている。 As shown in FIG. 29, the first support portion 91 is provided on the side of the lower surface 30a of the wick sheet 30, and the upper steam flow path concave portion 86 is provided on the side of the upper surface 30b of the first support portion 91. ing.

第１支持部９１は、対応するランド部８４および枠体部８３に、連続状に形成されている。すなわち、第１支持部９１は、図１１に示すエッチング工程において、エッチングされることなく、ウィックシート３０の材料が残る部分である。例えば、第１支持部９１は、上側蒸気流路凹部８６を形成させながら下側蒸気流路凹部８５を形成させないようにエッチング工程を行うことにより形成することができる。この場合、図１１に示すように、下側蒸気流路凹部８５を形成するための第２レジスト開口６３内に、レジスト材料を残存させ、第２レジスト開口６３を分断するように下側レジスト膜６０をパターニングする。これにより、金属材料シートＭの下面Ｍａのうち第２レジスト開口６３内でレジスト材料が残存した部分は、下面Ｍａからエッチングされず、金属材料シートＭの材料が残る。一方、上側レジスト膜６１のうち第１支持部９１に対応する部分に第３レジスト開口６４を形成することにより、金属材料シートＭの上面Ｍｂのうち第１支持部９１に対応する部分はエッチングされて、上側蒸気流路凹部８６が形成される。このようにして、図２７乃至図２９に示すように、上側蒸気流路凹部８６を連続状に形成しながら、第１支持部９１を形成することができる。 The first support portion 91 is formed continuously on the corresponding land portion 84 and frame portion 83 . That is, the first support portion 91 is a portion where the material of the wick sheet 30 remains without being etched in the etching process shown in FIG. For example, the first support part 91 may be formed by performing an etching process so as to form the upper steam channel recess 86 while not forming the lower steam channel recess 85 . In this case, as shown in FIG. 11, the resist material is left in the second resist openings 63 for forming the lower vapor channel recesses 85, and the lower resist film is formed so as to divide the second resist openings 63. pattern 60; As a result, portions of the lower surface Ma of the metal material sheet M where the resist material remains in the second resist openings 63 are not etched from the lower surface Ma, and the material of the metal material sheet M remains. On the other hand, by forming the third resist opening 64 in the portion of the upper resist film 61 corresponding to the first support portion 91, the portion of the upper surface Mb of the metal material sheet M corresponding to the first support portion 91 is etched. As a result, an upper steam channel recess 86 is formed. In this manner, as shown in FIGS. 27 to 29, the first support portion 91 can be formed while continuously forming the upper steam flow passage recessed portion 86 .

また、蒸気流路部８０内には、互いに隣り合うランド部８４同士を支持する第２支持部９２が設けられている。本実施の形態では、ランド部８４は、上述したように第２方向Ｙに離間して配置されており、互いに隣り合うランド部８４同士の間に複数の第２支持部９２が設けられている。各第２支持部９２は、第１方向Ｘにおいて、対応する第１支持部９１と同じ位置に配置されている。しかしながら、各第２支持部９２の配置は、これに限られることはない。例えば、各第２支持部９２は、第１方向Ｘにおいて第１支持部９１とは異なる位置に配置してもよく、例えば、千鳥状に配置してもよい。また、図２７および図２８においては、各ランド部８４同士が、複数の第２支持部９２で支持されている例が示されているが、これに限られることはなく、各ランド部８４同士は、１つの第２支持部９２で支持されるようにしてもよい。 A second support portion 92 is provided in the steam passage portion 80 to support the land portions 84 adjacent to each other. In the present embodiment, the land portions 84 are spaced apart in the second direction Y as described above, and a plurality of second support portions 92 are provided between the land portions 84 adjacent to each other. . Each second support portion 92 is arranged at the same position in the first direction X as the corresponding first support portion 91 . However, the arrangement of the second support portions 92 is not limited to this. For example, each of the second support portions 92 may be arranged at a position different from that of the first support portion 91 in the first direction X, and may be arranged in a zigzag pattern, for example. 27 and 28 show an example in which the land portions 84 are supported by a plurality of second support portions 92, but the land portions 84 are not limited to this. may be supported by one second support portion 92 .

図２９に示すように、第２支持部９２は、ウィックシート３０の下面３０ａの側に設けられており、第２支持部９２の上面３０ｂの側には、上側蒸気流路凹部８６が設けられている。 As shown in FIG. 29, the second support portion 92 is provided on the side of the lower surface 30a of the wick sheet 30, and the upper steam flow path recessed portion 86 is provided on the side of the upper surface 30b of the second support portion 92. ing.

第２支持部９２は、対応するランド部８４に、連続状に形成されている。第２支持部９２も、図１１に示すエッチング工程において、エッチングされることなく、ウィックシート３０の材料が残る部分である。第２支持部９２は、第１支持部９１と同様にして形成することができる。 The second support portion 92 is formed continuously on the corresponding land portion 84 . The second support portion 92 is also a portion where the material of the wick sheet 30 remains without being etched in the etching process shown in FIG. The second support portion 92 can be formed in the same manner as the first support portion 91 .

図２７～図２９の形態では、第１支持部９１および第２支持部９２は、第１方向Ｘまたは第２方向Ｙに沿うように形成されている。しかしながら、支持部９１、９２の形状は、第１方向Ｘまたは第２方向Ｙに沿っていなくてもよく、任意である。また、第１支持部９１および第２支持部９２の高さｈ２（図２９における上下方向寸法）は、任意であるが、例えば、ウィックシート３０の高さの半分よりも小さくしてもよい。この場合、第１支持部９１および第２支持部９２による作動液２の蒸気の流れが妨げられること（流路抵抗が増大すること）を抑制できる。ここで、第１支持部９１および第２支持部９２の高さｈ２とは、各支持部９１、９２における最小高さであって、対応する上側蒸気流路凹部８６のうち最も下面３０ａの側の点と下面３０ａとの間の距離に相当する。 27 to 29, the first support portion 91 and the second support portion 92 are formed along the first direction X or the second direction Y. In the embodiment shown in FIGS. However, the shape of the support portions 91 and 92 does not have to be along the first direction X or the second direction Y, and is arbitrary. Also, the height h2 (vertical dimension in FIG. 29) of the first support portion 91 and the second support portion 92 is arbitrary, but may be smaller than half the height of the wick sheet 30, for example. In this case, it is possible to prevent the first support portion 91 and the second support portion 92 from obstructing the vapor flow of the working fluid 2 (increasing the flow path resistance). Here, the height h2 of the first support portion 91 and the second support portion 92 is the minimum height of each of the support portions 91 and 92, and the corresponding upper steam flow passage concave portion 86 is closest to the lower surface 30a. point and the lower surface 30a.

図２５に示すように、下側金属シート１０の四隅に、下側アライメント孔１５がそれぞれ設けられており、上側金属シート２０の四隅に、上側アライメント孔２４がそれぞれ設けられている。ウィックシート３０の四隅に、ウィックシートアライメント孔９３がそれぞれ設けられている。対応するアライメント孔１５、２４、９３同士が、図１４に示す仮止め工程において重なるように位置合わせされ、下側金属シート１０と上側金属シート２０とウィックシート３０との位置決めが可能に構成されている。 As shown in FIG. 25, lower alignment holes 15 are provided at the four corners of the lower metal sheet 10, and upper alignment holes 24 are provided at the four corners of the upper metal sheet 20, respectively. Wick sheet alignment holes 93 are provided at the four corners of the wick sheet 30, respectively. The corresponding alignment holes 15, 24, 93 are aligned so as to overlap each other in the temporary fixing step shown in FIG. there is

また、図２５に示すように、ベーパーチャンバ１は、第１方向Ｘにおける一対の端部のうちの一方の端部に、密封空間３に作動液２を注入する注入部４を更に備えている。この注入部４は、下側金属シート１０の端面から突出する下側注入突出部１６と、上側金属シート２０の端面から突出する上側注入突出部２５と、ウィックシート３０の端面から突出するウィックシート突出部９４と、を有している。このうちウィックシート突出部９４に注入流路９５が形成されている。この注入流路９５は、ウィックシート３０の下面３０ａから上面３０ｂに延びており、ウィックシート３０を貫通している。また、注入流路９５は、後述する下側液流路部４０や蒸気流路部８０に連通しており、作動液２は、注入流路９５を通過して密封空間３に注入される。下側注入突出部１６の上面および上側注入突出部２５の下面は、平坦状に形成されている。なお、本実施の形態では、注入部４は、ベーパーチャンバ１の第１方向Ｘにおける一対の端部のうちの一方の端部に設けられている例が示されているが、これに限られることはない。また、注入流路９５は、ウィックシート３０を貫通していなくてもよい。この場合、ウィックシート３０の下面３０ａおよび上面３０ｂのうちの一方からのみのエッチングで、下側液流路部４０や蒸気流路部８０に連通する注入流路９５を形成することができる。さらに、注入部４は、第１の実施の形態のような注入孔２２によって構成されていてもよい。 In addition, as shown in FIG. 25, the vapor chamber 1 further includes, at one end of the pair of ends in the first direction X, an injection part 4 for injecting the working fluid 2 into the sealed space 3. . The injection part 4 includes a lower injection projection 16 projecting from the end surface of the lower metal sheet 10, an upper injection projection 25 projecting from the end surface of the upper metal sheet 20, and a wick sheet projecting from the end surface of the wick sheet 30. and a projecting portion 94 . An injection channel 95 is formed in the wick sheet projecting portion 94 of these. The injection channel 95 extends from the lower surface 30 a of the wick sheet 30 to the upper surface 30 b and penetrates the wick sheet 30 . The injection channel 95 communicates with a lower liquid channel portion 40 and a steam channel portion 80 which will be described later, and the working fluid 2 is injected into the sealed space 3 through the injection channel 95 . The upper surface of the lower injection projection 16 and the lower surface of the upper injection projection 25 are flat. In the present embodiment, an example in which the injection part 4 is provided at one of a pair of ends of the vapor chamber 1 in the first direction X is shown, but the present invention is limited to this. never. Also, the injection channel 95 does not have to penetrate the wick sheet 30 . In this case, the injection channel 95 communicating with the lower liquid channel portion 40 and the vapor channel portion 80 can be formed by etching only one of the lower surface 30 a and the upper surface 30 b of the wick sheet 30 . Furthermore, the injection part 4 may be configured by the injection hole 22 as in the first embodiment.

図２６および図２８に示すように、ウィックシート３０の下面３０ａに、液状の作動液２が通る下側液流路部４０（液流路部）が設けられている。本実施の形態では、下側液流路部４０は、各ランド部８４のランド下面８４ａに設けられた下側ランド液流路部９６（第１ランド液流路部）と、枠体部８３の枠体下面８３ａに設けられた下側枠体液流路部９７（第１枠体液流路部）と、を含んでいる。下側ランド液流路部９６および下側枠体液流路部９７は、上述した密封空間３の一部を構成している。下側ランド液流路部９６は、蒸気流路部８０の第１蒸気通路８１および第２蒸気通路８２に連通し、下側枠体液流路部９７は、第１蒸気通路８１に連通している。 As shown in FIGS. 26 and 28, the lower surface 30a of the wick sheet 30 is provided with a lower liquid channel portion 40 (liquid channel portion) through which the liquid working fluid 2 passes. In the present embodiment, the lower liquid flow path portion 40 includes a lower land liquid flow path portion 96 (first land liquid flow path portion) provided on the land lower surface 84a of each land portion 84, and the frame body portion 83. and a lower frame liquid channel portion 97 (first frame liquid channel portion) provided on the frame lower surface 83a. The lower land liquid flow path portion 96 and the lower frame liquid flow path portion 97 form part of the sealed space 3 described above. The lower land liquid flow path portion 96 communicates with the first steam passage 81 and the second steam passage 82 of the steam flow path portion 80 , and the lower frame body liquid flow path portion 97 communicates with the first steam passage 81 . there is

下側ランド液流路部９６は、図３０に示すように、第１の実施の形態における下側液流路部４０と同様に、第１方向Ｘに延びる複数の主流溝４１と、互いに隣り合う主流溝４１同士を連通する連絡溝４５と、を有している。互いに隣り合う主流溝４１の間には、凸部列４３が設けられている。各凸部列４３は、第１方向Ｘに配列された複数の凸部４４を含んでいる。凸部４４は、図２２に示す形態と同様にして、千鳥状に配置されていてもよい。しかしながら、図６に示す形態と同様にして、複数の主流溝４１と複数の連絡溝４５とが格子状に配置されていてもよい。主流溝４１および連絡溝４５が、図１９に示すように、連絡溝４５の幅ｗ３が主流溝４１の幅ｗ１よりも大きくなっている場合、各連絡溝４５内における作動液２の流路抵抗を低減することができる。このため、蒸気から凝縮した液状の作動液２をスムースに各主流溝４１に入り込ませることができる。すなわち、蒸気通路８１、８２に近い側の主流溝４１だけでなく、蒸気通路８１、８２から遠い側の主流溝４１にもスムースに入り込ませることができ、凝縮した液状の作動液２の輸送機能を向上させることができる。 As shown in FIG. 30, the lower land liquid flow path portion 96 is adjacent to a plurality of main grooves 41 extending in the first direction X, similar to the lower liquid flow path portion 40 in the first embodiment. and a communication groove 45 that communicates the main flow grooves 41 that are aligned with each other. A row of protrusions 43 is provided between the main grooves 41 adjacent to each other. Each projection row 43 includes a plurality of projections 44 arranged in the first direction X. As shown in FIG. The convex portions 44 may be arranged in a zigzag manner in the same manner as in the form shown in FIG. 22 . However, the plurality of main grooves 41 and the plurality of communication grooves 45 may be arranged in a grid like the embodiment shown in FIG. When the width w3 of the main groove 41 and the communication groove 45 is larger than the width w1 of the main groove 41 as shown in FIG. can be reduced. Therefore, the liquid working fluid 2 condensed from the steam can smoothly enter the main grooves 41 . That is, it can smoothly enter not only the main groove 41 on the side closer to the steam passages 81 and 82 but also the main groove 41 on the side farther from the steam passages 81 and 82. can be improved.

下側枠体液流路部９７は、下側ランド液流路部９６と同様に構成することができる。このため、ここでは、詳細な説明は省略する。なお、下側枠体液流路部９７のうち、第１方向Ｘにおけるランド部８４の両側の部分では、第２方向Ｙに沿う液状の作動液２の流れが蒸発部３１に向かう流れとなるため、当該部分では、第２方向Ｙに延びる溝を主流溝４１とし、第１方向Ｘに延びる溝を連絡溝４５として、以下説明する。 The lower frame liquid channel portion 97 can be configured in the same manner as the lower land liquid channel portion 96 . Therefore, detailed description is omitted here. It should be noted that the liquid working fluid 2 flows along the second direction Y toward the evaporating portion 31 in the portions on both sides of the land portion 84 in the first direction X in the lower frame liquid flow passage portion 97 . In this portion, the groove extending in the second direction Y is defined as the main groove 41, and the groove extending in the first direction X is defined as the communication groove 45.

蒸気流路部８０は、下側液流路部４０の連絡溝４５に連通している。より具体的には、第１蒸気通路８１の下側蒸気流路凹部８５は、下側ランド液流路部９６の連絡溝４５に連通するとともに、下側枠体液流路部９７の連絡溝４５に連通している。このことにより、第１蒸気通路８１の下側蒸気流路凹部８５内の液状の作動液２は、下側ランド液流路部９６や下側枠体液流路部９７の複数の主流溝４１に容易に入り込むことができるようになっている。同様に、第２蒸気通路８２の下側蒸気流路凹部８５は、下側ランド液流路部９６の連絡溝４５に連通しており、第２蒸気通路８２の下側蒸気流路凹部８５内の液状の作動液２は、下側ランド液流路部９６の複数の主流溝４１に容易に入り込むことができるようになっている。 The vapor channel portion 80 communicates with the communication groove 45 of the lower liquid channel portion 40 . More specifically, the lower steam passage concave portion 85 of the first steam passage 81 communicates with the communication groove 45 of the lower land liquid passage portion 96 and the communication groove 45 of the lower frame liquid passage portion 97. communicates with As a result, the liquid working fluid 2 in the lower steam flow channel recessed portion 85 of the first steam passage 81 flows into the plurality of main grooves 41 of the lower land liquid flow channel portion 96 and the lower frame liquid flow channel portion 97. It is designed to be easily entered. Similarly, the lower steam passage recess 85 of the second steam passage 82 communicates with the communication groove 45 of the lower land liquid passage portion 96, and the inside of the lower steam passage recess 85 of the second steam passage 82 The liquid working fluid 2 can easily enter the plurality of main grooves 41 of the lower land fluid flow path portion 96 .

本実施の形態によるベーパーチャンバ１の作動時には、デバイスＤから熱を受けて生成された作動液２の蒸気の多くは、密封空間３を構成する第１蒸気通路８１および第２蒸気通路８２の下側蒸気流路凹部８５および上側蒸気流路凹部８６内で拡散する（図２７および図２８の実線矢印参照）。各蒸気流路凹部８５、８６内の蒸気は、蒸発部３１から離れ、蒸気の多くは、比較的温度の低いウィックシート３０の周縁部に輸送される。上側蒸気流路凹部８６内で拡散した蒸気は、主として上側金属シート２０に放熱して冷却され、下側蒸気流路凹部８５内で拡散した蒸気は、主としてウィックシート３０に放熱して冷却される。上側金属シート２０が蒸気から受けた熱は、ハウジング部材Ｈａ（図３参照）を介して外気に伝達される。ウィックシート３０が蒸気から受けた熱は、上側金属シート２０およびハウジング部材Ｈａを介して外気に伝達される。 During the operation of the vapor chamber 1 according to the present embodiment, most of the vapor of the working fluid 2 generated by receiving heat from the device D is under the first vapor passage 81 and the second vapor passage 82 forming the sealed space 3. It diffuses in the side steam channel recess 85 and the upper steam channel recess 86 (see solid line arrows in FIGS. 27 and 28). The steam in each steam channel recess 85, 86 leaves the evaporator 31, and most of the steam is transported to the peripheral edge of the wick sheet 30 where the temperature is relatively low. The vapor diffused in the upper vapor passage concave portion 86 is mainly radiated to the upper metal sheet 20 and cooled, and the vapor diffused in the lower vapor passage concave portion 85 is mainly radiated to the wick sheet 30 and cooled. . The heat received by the upper metal sheet 20 from the steam is transferred to the atmosphere through the housing member Ha (see FIG. 3). The heat received by the wick sheet 30 from the steam is transferred to the outside air through the upper metal sheet 20 and the housing member Ha.

放熱した蒸気は凝縮し、液状になった作動液２は、下側蒸気流路凹部８５の壁面８７および上側蒸気流路凹部８６の壁面８８に付着するとともに、下側金属シート１０の上面１０ｂおよび上側金属シート２０の下面２０ａにも付着する。ここで、蒸発部３１では作動液２が蒸発し続けているため、下側液流路部４０の下側ランド液流路部９６および下側枠体液流路部９７うち蒸発部３１以外の部分における作動液２は、蒸発部３１に向かって輸送される（図２８の破線矢印参照）。このことにより、下側蒸気流路凹部８５の壁面８７および下側金属シート１０の上面１０ｂに付着した液状の作動液２は、下側ランド液流路部９６または下側枠体液流路部９７に移動する。上側蒸気流路凹部８６の壁面８８および上側金属シート２０の下面２０ａに付着した液状の作動液２は、下側蒸気流路凹部８５の壁面８７を通って下側ランド液流路部９６の連絡溝４５または下側枠体液流路部９７の連絡溝４５に移動する。ここで、下側蒸気流路凹部８５および連絡溝４５は、ウィックシート３０の下面３０ａに設けられており、下側金属シート１０の上面１０ｂに接している。このことにより、上面１０ｂに付着している作動液２を、連絡溝４５の毛細管力でスムースに連絡溝４５に引き込むことができる。このため、下側蒸気流路凹部８５に液状の作動液２が溜まることを防止できる。下側ランド液流路部９６および下側枠体液流路部９７において、連絡溝４５に入り込んだ液状の作動液２は、主流溝４１に入り込み、各主流溝４１および各連絡溝４５に、液状の作動液２が充填される。このため、充填された作動液２は、各主流溝４１および各連絡溝４５の毛細管作用により、蒸発部３１に向かう推進力を得て、蒸発部３１に向かってスムースに輸送される。 The heat-dissipated steam condenses, and the liquefied working fluid 2 adheres to the wall surface 87 of the lower steam channel recessed portion 85 and the wall surface 88 of the upper steam channel recessed portion 86, and also adheres to the upper surface 10b of the lower metal sheet 10 and It also adheres to the lower surface 20 a of the upper metal sheet 20 . Here, since the working fluid 2 continues to evaporate in the evaporating portion 31, the portions other than the evaporating portion 31 of the lower land liquid channel portion 96 and the lower frame liquid channel portion 97 of the lower liquid channel portion 40 , is transported toward the evaporator 31 (see the dashed arrow in FIG. 28). As a result, the liquid working fluid 2 adhering to the wall surface 87 of the lower steam flow channel recessed portion 85 and the upper surface 10b of the lower metal sheet 10 flows through the lower land liquid flow channel portion 96 or the lower frame liquid flow channel portion 97. move to The liquid working fluid 2 adhering to the wall surface 88 of the upper steam flow channel recess 86 and the lower surface 20a of the upper metal sheet 20 passes through the wall surface 87 of the lower steam flow channel recess 85 to communicate with the lower land liquid flow channel 96. It moves to the groove 45 or the communication groove 45 of the lower frame liquid flow path portion 97 . Here, the lower steam channel recess 85 and the communication groove 45 are provided on the lower surface 30a of the wick sheet 30 and are in contact with the upper surface 10b of the lower metal sheet 10. As shown in FIG. As a result, the hydraulic fluid 2 adhering to the upper surface 10 b can be smoothly drawn into the communication groove 45 by the capillary force of the communication groove 45 . Therefore, it is possible to prevent the liquid working fluid 2 from accumulating in the lower steam flow path concave portion 85 . In the lower land liquid flow path portion 96 and the lower frame liquid flow path portion 97 , the liquid working fluid 2 that has entered the communication groove 45 enters the main groove 41 and flows into each main groove 41 and each communication groove 45 in liquid state. of hydraulic fluid 2 is filled. Therefore, the filled working fluid 2 obtains a driving force toward the evaporating portion 31 by the capillary action of each main groove 41 and each communication groove 45 and is smoothly transported toward the evaporating portion 31 .

蒸発部３１に達した作動液２は、デバイスＤから下側金属シート１０の受熱部１１を介して再び熱を受けて蒸発する。下側ランド液流路部９６および下側枠体液流路部９７において蒸発した作動液２の蒸気は、連絡溝４５を通って、流路断面積が大きい下側蒸気流路凹部８５に移動して拡散し、蒸気の一部は上側蒸気流路凹部８６に移動して拡散する。このようにして、作動液２が、相変化、すなわち蒸発と凝縮とを繰り返しながら密封空間３内を還流してデバイスＤの熱を輸送して放出する。この結果、デバイスＤが冷却される。 The working fluid 2 that has reached the evaporating portion 31 receives heat again from the device D via the heat receiving portion 11 of the lower metal sheet 10 and evaporates. The vapor of the working fluid 2 evaporated in the lower land liquid flow path portion 96 and the lower frame liquid flow path portion 97 passes through the communication groove 45 and moves to the lower steam flow path concave portion 85 having a large flow passage cross-sectional area. part of the vapor moves to the upper vapor passage recess 86 and diffuses. In this way, the working fluid 2 circulates in the sealed space 3 while repeating phase changes, that is, evaporation and condensation, and transports and releases the heat of the device D. As shown in FIG. As a result, the device D is cooled.

このように本実施の形態によれば、作動液２の蒸気が通る蒸気流路部８０が、ウィックシート３０の上面３０ｂから下面３０ａに延びている。このことにより、蒸気流路部８０内で凝縮した液状の作動液２を、下面３０ａに設けられた下側液流路部４０にスムースに移動させることができる。このため、液状の作動液２を蒸発部３１にスムースに輸送することができる。また、蒸気流路部８０の流路面積を増大させることができる。このため、蒸発部３１で蒸発した作動液２の蒸気を、ウィックシート３０の周縁部にスムースに拡散させることができる。 Thus, according to the present embodiment, the vapor passage portion 80 through which the vapor of the working fluid 2 passes extends from the upper surface 30b of the wick sheet 30 to the lower surface 30a. As a result, the liquid working fluid 2 condensed in the vapor channel portion 80 can be smoothly moved to the lower liquid channel portion 40 provided on the lower surface 30a. Therefore, the liquid working fluid 2 can be smoothly transported to the evaporator 31 . Moreover, the channel area of the steam channel portion 80 can be increased. Therefore, the vapor of the working fluid 2 evaporated in the evaporation portion 31 can be smoothly diffused to the peripheral portion of the wick sheet 30 .

また、本実施の形態によれば、蒸気流路部８０の下側蒸気流路凹部８５は、下側ランド液流路部９６および下側枠体液流路部９７の連絡溝４５に接して連通している。このことにより、下側蒸気流路凹部８５内の液状の作動液２は、複数の主流溝４１にスムースに入り込むことができる。このため、液状の作動液２を蒸発部３１により一層スムースに輸送することができる。 Further, according to the present embodiment, the lower steam channel recessed portion 85 of the steam channel portion 80 is in contact with and communicates with the communication grooves 45 of the lower land liquid channel portion 96 and the lower frame liquid channel portion 97 . is doing. As a result, the liquid working fluid 2 in the lower steam flow channel concave portion 85 can smoothly enter the plurality of main grooves 41 . Therefore, the liquid working fluid 2 can be transported more smoothly by the evaporation portion 31 .

また、本実施の形態によれば、ウィックシート３０の枠体部８３の内側に画定された蒸気流路部８０内に、ランド部８４が設けられている。このことにより、密封空間３が減圧された場合において、下側金属シート１０および上側金属シート２０が外気の圧力によって凹むように変形することを防止でき、ベーパーチャンバ１の機械的強度の向上を図ることができる。 Further, according to the present embodiment, the land portion 84 is provided inside the steam flow path portion 80 defined inside the frame portion 83 of the wick sheet 30 . As a result, when the sealed space 3 is decompressed, the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 can be prevented from being deformed by the pressure of the outside air, thereby improving the mechanical strength of the vapor chamber 1. be able to.

また、本実施の形態によれば、ウィックシート３０のランド部８４のランド下面８４ａに、下側液流路部４０の下側ランド液流路部９６が設けられ、この下側ランド液流路部９６の周囲に蒸気流路部８０が形成されている。このことにより、蒸気流路部８０の第１蒸気通路８１および第２蒸気通路８２内で凝縮した液状の作動液２を下側ランド液流路部９６にスムースに移動させることができるとともに、下側ランド液流路部９６内で蒸発した作動液２の蒸気を、蒸気流路部８０の第１蒸気通路８１および第２蒸気通路８２内にスムースに拡散させることができる。 Further, according to the present embodiment, the lower land liquid flow channel portion 96 of the lower liquid flow channel portion 40 is provided on the land lower surface 84a of the land portion 84 of the wick sheet 30. A steam channel portion 80 is formed around the portion 96 . As a result, the liquid working fluid 2 condensed in the first steam passage 81 and the second steam passage 82 of the steam passage portion 80 can be smoothly moved to the lower land liquid passage portion 96. The vapor of the working fluid 2 evaporated in the side land liquid flow path portion 96 can be smoothly diffused into the first vapor passage 81 and the second vapor passage 82 of the vapor flow passage portion 80 .

また、本実施の形態によれば、蒸気流路部８０内に、ランド部８４を枠体部８３に支持させる第１支持部９１が設けられている。このことにより、ランド部８４を枠体部８３に支持させることができ、ランド部８４と枠体部８３を一体化させることができる。このため、製造時に、ウィックシート３０の取扱性が低下することを防止でき、ベーパーチャンバ１を簡易に製造することができる。とりわけ、本実施の形態によれば、第１支持部９１は、ウィックシート３０の下面３０ａの側に設けられている。このことにより、第１支持部９１の上面３０ｂの側には、上側蒸気流路凹部８６を形成することができ、第１蒸気通路８１が分断されることを防止できる。このため、作動液２の蒸気の拡散性の低下を抑制することができる。 Further, according to the present embodiment, the first support portion 91 that allows the frame portion 83 to support the land portion 84 is provided in the steam flow path portion 80 . As a result, the land portion 84 can be supported by the frame portion 83, and the land portion 84 and the frame portion 83 can be integrated. For this reason, it is possible to prevent deterioration in the handleability of the wick sheet 30 during manufacturing, and the vapor chamber 1 can be manufactured easily. In particular, according to this embodiment, the first support portion 91 is provided on the side of the lower surface 30 a of the wick sheet 30 . As a result, the upper steam passage concave portion 86 can be formed on the side of the upper surface 30b of the first support portion 91, and the first steam passage 81 can be prevented from being divided. Therefore, it is possible to suppress a decrease in vapor diffusibility of the working fluid 2 .

また、本実施の形態によれば、蒸気流路部８０内に、互いに隣り合うランド部８４同士を支持する第２支持部９２が設けられている。このことにより、隣り合うランド部８４同士を互いに支持させることができ、複数のランド部８４を一体化させるとともに、これらのランド部８４と枠体部８３を一体化させることができる。このため、製造時に、ウィックシート３０の取扱性が低下することを防止でき、ベーパーチャンバ１を簡易に製造することができる。とりわけ、本実施の形態によれば、第２支持部９２は、ウィックシート３０の下面１０ａの側に設けられている。このことにより、第２支持部９２の上面３０ｂの側には、上側蒸気流路凹部８６を形成することができ、第２蒸気通路８２が分断されることを防止できる。このため、作動液２の蒸気の拡散性の低下を抑制することができる。 Further, according to the present embodiment, the second support portion 92 is provided in the steam flow path portion 80 to support the land portions 84 adjacent to each other. As a result, the land portions 84 adjacent to each other can be supported by each other, the plurality of land portions 84 can be integrated, and the land portions 84 and the frame portion 83 can be integrated. For this reason, it is possible to prevent deterioration in the handleability of the wick sheet 30 during manufacturing, and the vapor chamber 1 can be manufactured easily. In particular, according to the present embodiment, the second support portion 92 is provided on the lower surface 10a side of the wick sheet 30 . As a result, the upper steam passage concave portion 86 can be formed on the side of the upper surface 30b of the second support portion 92, and the second steam passage 82 can be prevented from being divided. Therefore, it is possible to suppress a decrease in vapor diffusibility of the working fluid 2 .

また、本実施の形態によれば、ウィックシート３０の枠体部８３の枠体下面８３ａに、下側液流路部４０の下側枠体液流路部９７が設けられている。このことにより、蒸気流路部８０の第１蒸気通路８１内で凝縮した液状の作動液２を下側枠体液流路部９７にスムースに移動させることができるとともに、下側枠体液流路部９７内で蒸発した作動液２の蒸気を、蒸気流路部８０の第１蒸気通路８１路内にスムースに拡散させることができる。 Further, according to the present embodiment, the lower frame liquid flow path portion 97 of the lower liquid flow path portion 40 is provided on the frame lower surface 83 a of the frame portion 83 of the wick sheet 30 . As a result, the liquid working fluid 2 condensed in the first steam passage 81 of the steam passage portion 80 can be smoothly moved to the lower frame liquid passage portion 97, and the lower frame liquid passage portion The vapor of the working fluid 2 evaporated within 97 can be smoothly diffused into the first vapor passage 81 of the vapor passage portion 80 .

さらに、本実施の形態によれば、下側金属シート１０とウィックシート３０とが拡散接合されている。このことにより、下側金属シート１０とウィックシート３０とを、広い範囲で拡散接合することができ、接合強度を向上させることができる。また、上側金属シート２０とウィックシート３０とが拡散接合されている。このことにより、上側金属シート２０とウィックシート３０とを、広い範囲で拡散接合することができ、接合強度を向上させることができる。 Furthermore, according to the present embodiment, the lower metal sheet 10 and the wick sheet 30 are diffusion-bonded. As a result, the lower metal sheet 10 and the wick sheet 30 can be diffusion-bonded over a wide range, and the bonding strength can be improved. Also, the upper metal sheet 20 and the wick sheet 30 are diffusion-bonded. As a result, the upper metal sheet 20 and the wick sheet 30 can be diffusion-bonded over a wide range, and the bonding strength can be improved.

（変形例７）
なお、上述した本実施の形態では、ウィックシート３０の下面３０ａに下側液流路部４０が設けられている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、例えば、図３１乃至図３３に示すように、ウィックシート３０の下面３０ａだけでなく上面３０ｂにも、液流路部が設けられていてもよい。図３１においては、ウィックシート３０の下面３０ａに、下側液流路部４０が設けられ、上面３０ｂに、上側液流路部９８が設けられている例が示されている。図３１に示す例では、上側液流路部９８は、各ランド部８４のランド上面８４ｂに設けられた上側ランド液流路部９９（第２ランド液流路部）と、枠体部８３の枠体上面８３ｂに設けられた上側枠体液流路部１００（第２枠体液流路部）と、を含んでいる。上側ランド液流路部９９および上側枠体液流路部１００は、上述した密封空間３の一部を構成している。上側ランド液流路部９９は、蒸気流路部８０の第１蒸気通路８１および第２蒸気通路８２の上側蒸気流路凹部８６に連通し、上側枠体液流路部１００は、第１蒸気通路８１の上側蒸気流路凹部８６に連通している。上側ランド液流路部９９は、下側ランド液流路部９６と同様に構成することができ、上側枠体液流路部１００は、下側枠体液流路部９７と同様に構成することができる。 (Modification 7)
In addition, in the present embodiment described above, an example in which the lower liquid flow path portion 40 is provided on the lower surface 30a of the wick sheet 30 has been described. However, the present invention is not limited to this. For example, as shown in FIGS. 31 to 33, liquid flow paths may be provided not only on the lower surface 30a of the wick sheet 30 but also on the upper surface 30b. FIG. 31 shows an example in which the lower liquid channel portion 40 is provided on the lower surface 30a of the wick sheet 30, and the upper liquid channel portion 98 is provided on the upper surface 30b. In the example shown in FIG. 31 , the upper liquid flow path portion 98 includes an upper land liquid flow path portion 99 (second land liquid flow path portion) provided on the land upper surface 84 b of each land portion 84 and the frame body portion 83 . and an upper frame liquid channel portion 100 (second frame liquid channel portion) provided on the frame upper surface 83b. The upper land liquid flow path portion 99 and the upper frame liquid flow path portion 100 form part of the sealed space 3 described above. The upper land liquid channel portion 99 communicates with the first steam channel 81 of the steam channel portion 80 and the upper steam channel concave portion 86 of the second steam channel 82, and the upper frame body liquid channel portion 100 communicates with the first steam channel. 81 communicates with the upper steam passage concave portion 86 . The upper land liquid channel portion 99 can be configured in the same manner as the lower land liquid channel portion 96 , and the upper frame liquid channel portion 100 can be configured in the same manner as the lower frame liquid channel portion 97 . can.

図３１に示す形態によれば、ウィックシート３０の上面３０ｂに、上側液流路部９８が設けられている。このことにより、液状の作動液２を蒸発部３１に輸送する流路を増やすことができ、蒸発部３１への液状の作動液２の輸送効率を向上させることができる。このため、ベーパーチャンバ１の熱輸送効率を向上させることができる。 According to the embodiment shown in FIG. 31, the upper liquid flow path portion 98 is provided on the upper surface 30b of the wick sheet 30. As shown in FIG. As a result, the number of flow paths for transporting the liquid working fluid 2 to the evaporating portion 31 can be increased, and the transport efficiency of the liquid working fluid 2 to the evaporating portion 31 can be improved. Therefore, the heat transport efficiency of the vapor chamber 1 can be improved.

また、図３１に示す形態によれば、ウィックシート３０のランド部８４のランド上面８４ｂに、上側ランド液流路部９９が設けられている。このことにより、蒸気流路部８０の第１蒸気通路８１および第２蒸気通路８２内で凝縮した液状の作動液２を上側ランド液流路部９９にスムースに移動させることができるとともに、上側ランド液流路部９９内で蒸発した作動液２の蒸気を、スムースに蒸気流路部８０の第１蒸気通路８１および第２蒸気通路８２内に拡散させることができる。また、ウィックシート３０の枠体部８３の枠体上面８３ｂに、上側枠体液流路部１００が設けられている。このことにより、蒸気流路部８０の第１蒸気通路８１内で凝縮した液状の作動液２を上側枠体液流路部１００にスムースに移動させることができるとともに、上側枠体液流路部１００内で蒸発した作動液２の蒸気を、スムースに蒸気流路部８０の第１蒸気通路８１内に拡散させることができる。 31, an upper land liquid flow path portion 99 is provided on the land upper surface 84b of the land portion 84 of the wick sheet 30. As shown in FIG. As a result, the liquid working fluid 2 condensed in the first steam passage 81 and the second steam passage 82 of the steam passage portion 80 can be smoothly moved to the upper land liquid passage portion 99, The vapor of the working fluid 2 evaporated in the liquid flow path portion 99 can be smoothly diffused into the first vapor passage 81 and the second vapor passage 82 of the vapor flow passage portion 80 . Further, the upper frame body liquid flow path part 100 is provided on the frame body upper surface 83 b of the frame body part 83 of the wick sheet 30 . As a result, the liquid working fluid 2 condensed in the first steam passage 81 of the steam passage portion 80 can be smoothly moved to the upper frame liquid passage portion 100, and the inside of the upper frame liquid passage portion 100 can be smoothly moved. The vapor of the working fluid 2 evaporated in 1 can be smoothly diffused into the first vapor passage 81 of the vapor passage portion 80 .

なお、図３２に示すように、ウィックシート３０の下面３０ａに設けられた主流溝４１と、上面３０ｂに設けられた主流溝４１とは、平面視で重なっていてもよい。この場合、ウィックシート３０の構造を、下面３０ａと上面３０ｂとで統一させることができる。 As shown in FIG. 32, the main groove 41 provided on the lower surface 30a of the wick sheet 30 and the main groove 41 provided on the upper surface 30b may overlap in plan view. In this case, the structure of the wick sheet 30 can be unified between the lower surface 30a and the upper surface 30b.

一方、図３３に示すように、ウィックシート３０の下面３０ａに設けられた主流溝４１と、上面３０ｂに設けられた主流溝４１とは、平面視で少なくとも部分的に重なっていなくてもよい。すなわち、下面３０ａの主流溝４１が、上面３０ｂの主流溝４１からずれていてもよい。図３３に示す例では、平面視において、下面３０ａに設けられた互いに隣り合う一対の主流溝４１の間に、上面３０ｂに設けられた主流溝４１が配置されている。この場合、下面３０ａの主流溝４１と上面３０ｂの主流溝４１とが、互いに連通することを防止できる。また、下面３０ａの連絡溝４５と上面３０ｂの連絡溝４５とが平面視で重なることを防止でき、これらの連絡溝４５が互いに連通することを防止できる。このことは、例えば、連絡溝４５の深さが主流溝４１の深さよりも深くする場合に効果的である。 On the other hand, as shown in FIG. 33, the main grooves 41 provided on the lower surface 30a of the wick sheet 30 and the main grooves 41 provided on the upper surface 30b may not at least partially overlap in plan view. That is, the main groove 41 on the lower surface 30a may be offset from the main groove 41 on the upper surface 30b. In the example shown in FIG. 33, in plan view, the main flow groove 41 provided on the upper surface 30b is arranged between a pair of adjacent main flow grooves 41 provided on the lower surface 30a. In this case, it is possible to prevent the main groove 41 of the lower surface 30a and the main groove 41 of the upper surface 30b from communicating with each other. In addition, it is possible to prevent the communication groove 45 of the lower surface 30a and the communication groove 45 of the upper surface 30b from overlapping each other in a plan view, and it is possible to prevent these communication grooves 45 from communicating with each other. This is effective, for example, when the depth of the communication groove 45 is made deeper than the depth of the main groove 41 .

（変形例８）
また、上述した本実施の形態においては、下側金属シート１０と上側金属シート２０との間に、スペーサ部材５０が設けられていない例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、第１の実施の形態と同様にして、スペーサ部材５０を設けるようにしてもよい。この場合、下側金属シート１０の下側周縁部１２がスペーサ部材５０と拡散接合し、上側金属シート２０の上側周縁部２１がスペーサ部材５０に拡散接合してもよい。下側金属シート１０とウィックシート３０とは接合されていなくてもよく、上側金属シート２０とウィックシート３０とは接合されていなくてもよい。 (Modification 8)
Moreover, in the present embodiment described above, an example in which the spacer member 50 is not provided between the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 has been described. However, the invention is not limited to this, and the spacer member 50 may be provided in the same manner as in the first embodiment. In this case, the lower peripheral edge portion 12 of the lower metal sheet 10 may be diffusion-bonded to the spacer member 50 and the upper peripheral edge portion 21 of the upper metal sheet 20 may be diffusion-bonded to the spacer member 50 . The lower metal sheet 10 and the wick sheet 30 may not be joined, and the upper metal sheet 20 and the wick sheet 30 may not be joined.

（変形例９）
また、上述した本実施の形態においては、下側金属シート１０とウィックシート３０とが拡散接合されるとともに、上側金属シート２０とウィックシート３０とが拡散接合される例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、第２の実施の形態と同様にして、下側金属シート１０に下側熱融着層７０を設け、上側金属シート２０に上側熱融着層７１を設けて、下側熱融着層７０と上側熱融着層７１とをヒートシールしてもよい。 (Modification 9)
Further, in the present embodiment described above, an example has been described in which the lower metal sheet 10 and the wick sheet 30 are diffusion-bonded, and the upper metal sheet 20 and the wick sheet 30 are diffusion-bonded. However, the present invention is not limited to this, and the lower metal sheet 10 is provided with the lower heat-sealing layer 70 and the upper metal sheet 20 is provided with the upper heat-sealing layer 71 in the same manner as in the second embodiment. may be provided to heat-seal the lower heat-sealing layer 70 and the upper heat-sealing layer 71 .

（変形例１０）
また、上述した本実施の形態においては、下側金属シート１０および上側金属シート２０が平坦状に形成されている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、例えば、図２４に示す形態と同様にして、下側金属シート１０および上側金属シート２０が、柔軟性を有するフィルム状に形成されていてもよい。 (Modification 10)
Further, in the present embodiment described above, an example in which the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 are formed flat has been described. However, the present invention is not limited to this. For example, the lower metal sheet 10 and the upper metal sheet 20 may be formed in a flexible film shape in the same manner as the embodiment shown in FIG. 24 .

（第４の実施の形態）
次に、図３４を用いて、本発明の第４の実施の形態におけるベーパーチャンバ用のウィックシート、ベーパーチャンバおよびベーパーチャンバの製造方法について説明する。 (Fourth embodiment)
Next, a wick sheet for a vapor chamber, a vapor chamber, and a method of manufacturing the vapor chamber according to the fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.

図３４に示す第４の実施の形態においては、下側金属シートが、下側本体シートと下側補強シートとを有しているとともに、上側金属シートが、上側本体シートと上側補強シートとを有している点が主に異なり、他の構成は、図２５乃至図３３に示す第３の実施の形態と略同一である。なお、図３４において、図２５乃至図３３に示す第３の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。 In the fourth embodiment shown in FIG. 34, the lower metal sheet has a lower body sheet and a lower reinforcement sheet, and the upper metal sheet has an upper body sheet and an upper reinforcement sheet. 25 to 33, except that the other configurations are substantially the same as those of the third embodiment shown in FIGS. 34, the same parts as in the third embodiment shown in FIGS. 25 to 33 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.

本実施の形態においては、図３４に示すように、ベーパーチャンバ１の下側金属シート１０は、ウィックシート３０の側に設けられた下側本体シート１１１（第１本体シート）と、下側本体シート１１１に対してウィックシート３０の側とは反対側（図３４における下側）に設けられた下側補強シート１１２（第１補強シート）と、を有していてもよい。下側補強シート１１２は、下側本体シート１１１よりも高い機械的強度（例えば、引張強度など）を有している。下側本体シート１１１は、ウィックシート３０に拡散接合されている。 In this embodiment, as shown in FIG. 34, the lower metal sheet 10 of the vapor chamber 1 includes a lower main body sheet 111 (first main body sheet) provided on the wick sheet 30 side and a lower main body sheet 111 (first main body sheet). and a lower reinforcing sheet 112 (first reinforcing sheet) provided on the opposite side (lower side in FIG. 34) of the sheet 111 from the wick sheet 30 side. The lower reinforcing sheet 112 has higher mechanical strength (for example, tensile strength) than the lower main body sheet 111 . The lower body sheet 111 is diffusion bonded to the wick sheet 30 .

下側本体シート１１１は、ウィックシート３０と同じ材料で作製されてもよい。下側本体シート１１１およびウィックシート３０が銅で作製される場合には、下側補強シート１１２は、例えばステンレスやニッケルで作製されていてもよい。このような下側金属シート１０には、互いに異なる種類の金属シートを組み合わせたいわゆるクラッド材を用いてもよい。そして、下側本体シート１１１および下側補強シート１１２のうちの一方のシートを金属箔で作製し、その金属箔にめっきを行うことにより他方のシートを作製してもよい。また、下側本体シート１１１と下側補強シート１１２とを接着剤などで貼り合せてもよく、他の任意の方法で接合させてもよい。下側本体シート１１１の厚さは、下側補強シート１１２の厚さよりも小さくてもよく、あるいは大きくてもよく、下側本体シート１１１の厚さと下側補強シート１１２の厚さは等しくてもよい。 The lower body sheet 111 may be made of the same material as the wick sheet 30 . If the lower body sheet 111 and wick sheet 30 are made of copper, the lower reinforcing sheet 112 may be made of stainless steel or nickel, for example. For such a lower metal sheet 10, a so-called clad material obtained by combining different kinds of metal sheets may be used. Then, one of the lower main body sheet 111 and the lower reinforcing sheet 112 may be made of metal foil, and the other sheet may be made by plating the metal foil. Also, the lower main body sheet 111 and the lower reinforcing sheet 112 may be bonded together with an adhesive or the like, or may be joined by any other method. The thickness of the lower main body sheet 111 may be smaller or larger than the thickness of the lower reinforcing sheet 112, and the thickness of the lower main body sheet 111 and the thickness of the lower reinforcing sheet 112 may be equal. good.

下側金属シート１０と同様に、上側金属シート２０は、ウィックシート３０の側に設けられた上側本体シート１２１（第２本体シート）と、上側本体シート１２１に対してウィックシート３０の側とは反対側（図３４における上側）に設けられた上側補強シート１２２（第２補強シート）と、を有していてもよい。上側補強シート１２２は、上側本体シート１２１よりも高い機械的強度（例えば、引張強度や０．２％耐力、上降伏点など）を有している。下側本体シート１１１は、ウィックシート３０に拡散接合されている。 As with the lower metal sheet 10 , the upper metal sheet 20 consists of an upper main body sheet 121 (second main body sheet) provided on the wick sheet 30 side, and the wick sheet 30 side of the upper main body sheet 121 . and an upper reinforcing sheet 122 (second reinforcing sheet) provided on the opposite side (upper side in FIG. 34). The upper reinforcing sheet 122 has higher mechanical strength (for example, tensile strength, 0.2% proof stress, upper yield point, etc.) than the upper main body sheet 121 . The lower body sheet 111 is diffusion bonded to the wick sheet 30 .

このように本実施の形態によれば、下側金属シート１０は、ウィックシート３０の側に設けられた下側本体シート１１１と、下側本体シート１１１に対してウィックシート３０の側とは反対側に設けられた下側補強シート１１２と、を有しており、下側補強シート１１２は、下側本体シート１１１よりも高い機械的強度を有している。このことにより、下側金属シート１０を補強することができる。例えば、密封空間３が減圧された場合において、下側金属シート１０が外気の圧力によって凹むように変形することを防止でき、ベーパーチャンバ１の機械的強度を向上させることができる。また、作動液２に純水を用いている場合には、作動液２は凍結によって膨張し得るが、その場合であっても、下側金属シート１０の変形を防止できる。 Thus, according to the present embodiment, the lower metal sheet 10 includes the lower main body sheet 111 provided on the wick sheet 30 side and the lower main body sheet 111 opposite to the wick sheet 30 side with respect to the lower main body sheet 111 . and a lower reinforcing sheet 112 provided on the side, and the lower reinforcing sheet 112 has higher mechanical strength than the lower main body sheet 111 . This makes it possible to reinforce the lower metal sheet 10 . For example, when the sealed space 3 is decompressed, the lower metal sheet 10 can be prevented from being deformed by the pressure of the outside air, and the mechanical strength of the vapor chamber 1 can be improved. Further, when pure water is used as the hydraulic fluid 2, the hydraulic fluid 2 may expand due to freezing, but even in that case, deformation of the lower metal sheet 10 can be prevented.

また、本実施の形態によれば、下側金属シート１０の機械的強度を向上できるため、下側金属シート１０の厚さを薄くすることができる。この薄くした分を、ウィックシート３０の厚さに割り当てることができ、ウィックシート３０を厚くすることができる。この場合、蒸気流路部の流路面積を増大させることができ、蒸発部３１で蒸発した作動液２の蒸気を、ウィックシート３０の周縁部にスムースに拡散させることができる。 Further, according to the present embodiment, the mechanical strength of lower metal sheet 10 can be improved, so the thickness of lower metal sheet 10 can be reduced. The reduced thickness can be assigned to the thickness of the wick sheet 30, and the wick sheet 30 can be thickened. In this case, the channel area of the vapor channel portion can be increased, and the vapor of the working fluid 2 evaporated in the evaporating portion 31 can be smoothly diffused to the peripheral portion of the wick sheet 30 .

また、本実施の形態によれば、上側金属シート２０は、ウィックシート３０の側に設けられた上側本体シート１２１と、上側本体シート１２１に対してウィックシート３０の側とは反対側に設けられた上側補強シート１２２と、を有しており、上側補強シート１２２は、上側本体シート１２１よりも高い機械的強度を有している。このことにより、上側金属シート２０を補強することができる。例えば、密封空間３が減圧された場合において、上側金属シート２０が外気の圧力によって凹むように変形することを防止でき、ベーパーチャンバ１の機械的強度を向上させることができる。また、作動液２に純水を用いている場合には、作動液２は凍結によって膨張し得るが、その場合であっても、上側金属シート２０の変形を防止できる。 Further, according to the present embodiment, the upper metal sheet 20 is provided on the upper main body sheet 121 provided on the wick sheet 30 side and on the opposite side of the upper main body sheet 121 from the wick sheet 30 side. The upper reinforcing sheet 122 has higher mechanical strength than the upper body sheet 121 . Thereby, the upper metal sheet 20 can be reinforced. For example, when the sealed space 3 is depressurized, the upper metal sheet 20 can be prevented from being deformed by the pressure of the outside air, and the mechanical strength of the vapor chamber 1 can be improved. Further, when pure water is used as the hydraulic fluid 2, the hydraulic fluid 2 may expand due to freezing, but even in that case, deformation of the upper metal sheet 20 can be prevented.

本発明は上記各実施の形態および各変形例そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記各実施の形態および各変形例に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせ（変形例同士の組み合わせも含む）により、種々の発明を形成できる。各実施の形態および各変形例に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。また、上記各実施の形態および各変形例では、下側金属シート１０の構成と、上側金属シート２０の構成とを入れ替えてもよい。 The present invention is not limited to the above-described embodiments and modifications as they are, and can be embodied by modifying constituent elements without departing from the gist of the invention at the implementation stage. Moreover, various inventions can be formed by appropriate combinations (including combinations of modifications) of a plurality of constituent elements disclosed in the above embodiments and modifications. Some components may be deleted from all the components shown in each embodiment and each modification. Further, in each of the above-described embodiments and modifications, the configuration of the lower metal sheet 10 and the configuration of the upper metal sheet 20 may be interchanged.

１ ベーパーチャンバ
２ 作動液
３ 密封空間
１０ 下側金属シート
１０ｂ 上面
１２ 下側周縁部
２０ 上側金属シート
２０ａ 下面
２１ 上側周縁部
３０ ウィックシート
３０ａ 下面
３０ｂ 上面
３２ 上側蒸気流路凹部
３３ 壁面
３４ 上側流路突出部
３５ 連通凹部
３６ 壁面
４０ 下側液流路部
４１ 主流溝
５０ スペーサ部材
７０ 下側熱融着層
７１ 上側熱融着層
８０ 蒸気流路部
８３ 枠体部
８３ａ 枠体下面
８３ｂ 枠体上面
８４ ランド部
８４ａ ランド下面
８４ｂ ランド上面
９１ 第１支持部
９２ 第２支持部
９３ ウィックシートアライメント孔
９４ ウィックシート突出部
９５ 注入流路
９６ 下側ランド液流路部
９７ 下側枠体液流路部
９８ 上側液流路部
９９ 上側ランド液流路部
１００ 上側枠体液流路部
１１１ 下側本体シート
１１２ 下側補強シート
１２１ 上側本体シート
１２２ 上側補強シート 1 vapor chamber 2 hydraulic fluid 3 sealed space 10 lower metal sheet 10b upper surface 12 lower peripheral edge portion 20 upper metal sheet 20a lower surface 21 upper peripheral edge portion 30 wick sheet 30a lower surface 30b upper surface 32 upper vapor channel concave portion 33 wall surface 34 upper channel Protruding portion 35 Communication concave portion 36 Wall surface 40 Lower liquid flow channel portion 41 Main groove 50 Spacer member 70 Lower heat-sealing layer 71 Upper heat-sealing layer 80 Steam flow channel portion 83 Frame portion 83a Frame lower surface 83b Frame upper surface 84 land portion 84a land lower surface 84b land upper surface 91 first support portion 92 second support portion 93 wick sheet alignment hole 94 wick sheet projection portion 95 injection channel 96 lower land liquid channel portion 97 lower frame liquid channel portion 98 Upper liquid channel portion 99 Upper land liquid channel portion 100 Upper frame liquid channel portion 111 Lower main body sheet 112 Lower reinforcing sheet 121 Upper main body sheet 122 Upper reinforcing sheet

Claims (44)

第１シートと第２シートとの間に介在され、作動液が封入された密封空間を有するベーパーチャンバ用のウィックシートであって、
前記第１シートに当接する第１面と、
前記第１面とは反対側に設けられ、前記第２シートに当接する第２面と、
前記第１面に設けられ、前記密封空間の一部を構成し、液状の前記作動液が通る液流路部と、
前記第２面に設けられ、前記液流路部と連通して前記密封空間の一部を構成し、前記作動液の蒸気が通る蒸気流路部と、を備えた、ベーパーチャンバ用のウィックシート。 A wick sheet for a vapor chamber interposed between a first sheet and a second sheet and having a sealed space in which a hydraulic fluid is enclosed,
a first surface in contact with the first sheet;
a second surface provided opposite to the first surface and in contact with the second sheet;
a liquid flow path portion provided on the first surface, forming a part of the sealed space, and through which the liquid working fluid passes;
a wick sheet for a vapor chamber, provided on the second surface, communicating with the liquid flow path to constitute a part of the sealed space, and through which the vapor of the working fluid passes. . 前記蒸気流路部は、前記ウィックシートの前記第２面に凹状に形成され、
前記蒸気流路部と前記液流路部とを連通した連通部を更に備えた、請求項１に記載のベーパーチャンバ用のウィックシート。 the steam channel portion is formed in a concave shape on the second surface of the wick sheet,
2. The wick sheet for a vapor chamber according to claim 1, further comprising a communicating portion communicating between said vapor channel portion and said liquid channel portion. 前記液流路部は、液状の前記作動液が通る複数の主流溝を有し、
前記連通部は、複数の前記主流溝に接して連通している、請求項２に記載のベーパーチャンバ用のウィックシート。 the liquid flow path portion has a plurality of main grooves through which the liquid working fluid passes,
3. The wick sheet for a vapor chamber according to claim 2, wherein said communicating portion is in contact with and communicates with said plurality of main grooves. 前記連通部は、前記ウィックシートの前記第１面に凹状に形成され、
前記蒸気流路部を画定する壁面と前記連通部を画定する壁面は、貫通部を介して連通され、前記貫通部に向かって湾曲している、請求項２または３に記載のベーパーチャンバ用のウィックシート。 The communicating portion is formed in a concave shape on the first surface of the wick sheet,
4. The vapor chamber according to claim 2 or 3, wherein a wall surface defining said vapor passage portion and a wall surface defining said communication portion are communicated with each other via a penetration portion, and are curved toward said penetration portion. wick seat. 前記蒸気流路部内に、前記蒸気流路部の底部から突出して前記第２シートに当接する複数の流路突出部が設けられ、
前記貫通部の両側で当該貫通部に隣り合う一対の前記流路突出部の中心を含む断面において、前記貫通部の幅は、当該一対の流路突出部の間のギャップおよび／または対応する前記連通部の幅よりも小さい、請求項４に記載のベーパーチャンバ用のウィックシート。 a plurality of flow path protrusions protruding from the bottom of the steam flow path and contacting the second sheet are provided in the steam flow path,
In a cross section including the centers of the pair of flow passage protrusions adjacent to the penetration portion on both sides of the penetration portion, the width of the penetration portion is the gap between the pair of flow passage protrusions and/or the corresponding A wick sheet for a vapor chamber according to claim 4, which is smaller than the width of the communicating portion. 前記蒸気流路部内に、前記蒸気流路部の底部から突出して前記第２シートに当接する複数の流路突出部が設けられている、請求項２～４のいずれか一項に記載のベーパーチャンバ用のウィックシート。 5. The vapor according to any one of claims 2 to 4, wherein a plurality of flow path protrusions protruding from the bottom of the steam flow path and contacting the second sheet are provided in the steam flow path. Wick sheet for chamber. 複数の前記流路突出部は、平面視で、千鳥状に配置されている、請求項５または６に記載のベーパーチャンバ用のウィックシート。 The wick sheet for a vapor chamber according to claim 5 or 6, wherein the plurality of flow path protrusions are arranged in a zigzag pattern in plan view. 前記連通部は、平面視で、互いに隣り合う前記流路突出部の間に配置されている、請求項５～７のいずれか一項に記載のベーパーチャンバ用のウィックシート。 The wick sheet for a vapor chamber according to any one of Claims 5 to 7, wherein the communication portion is arranged between the flow path protrusions adjacent to each other in a plan view. 前記蒸気流路部は、前記第２面から前記第１面に延びている、請求項１に記載のベーパーチャンバ用のウィックシート。 The wick sheet for a vapor chamber according to claim 1, wherein said vapor channel portion extends from said second surface to said first surface. 前記液流路部は、前記第２面にも設けられている、請求項９に記載のベーパーチャンバ用のウィックシート。 10. The wick sheet for a vapor chamber according to claim 9, wherein said liquid channel portion is also provided on said second surface. 前記液流路部は、第１方向に延び、液状の前記作動液が通る複数の主流溝と、互いに隣り合う主流溝同士を連通する連絡溝と、を有し、
前記蒸気流路部は、前記連絡溝に接して連通している、請求項９または１０に記載のベーパーチャンバ用のウィックシート。 The liquid flow path portion extends in a first direction and has a plurality of main grooves through which the liquid working fluid passes, and a communication groove that communicates the adjacent main grooves,
The wick sheet for a vapor chamber according to claim 9 or 10, wherein the vapor flow path portion is in contact with and communicates with the communication groove. 前記液流路部は、第１方向に延び、液状の前記作動液が通る複数の主流溝と、互いに隣り合う主流溝同士を連通する連絡溝と、を有し、
前記第１面に設けられた前記主流溝と、前記第２面に設けられた前記主流溝は、平面視で重なっている、請求項１０に記載のベーパーチャンバ用のウィックシート。 The liquid flow path portion extends in a first direction and has a plurality of main grooves through which the liquid working fluid passes, and a communication groove that communicates the adjacent main grooves,
11. The wick sheet for a vapor chamber according to claim 10, wherein the main groove provided on the first surface and the main groove provided on the second surface overlap in plan view. 前記液流路部は、第１方向に延び、液状の前記作動液が通る複数の主流溝と、互いに隣り合う主流溝同士を連通する連絡溝と、を有し、
前記第１面に設けられた前記主流溝と、前記第２面に設けられた前記主流溝は、平面視で少なくとも部分的に重なっていない、請求項１０に記載のベーパーチャンバ用のウィックシート。 The liquid flow path portion extends in a first direction and has a plurality of main grooves through which the liquid working fluid passes, and a communication groove that communicates the adjacent main grooves,
11. The wick sheet for a vapor chamber according to claim 10, wherein the main grooves provided on the first surface and the main grooves provided on the second surface are at least partially non-overlapping in plan view. 前記蒸気流路部は、前記連絡溝に接して連通している、請求項１２または１３に記載のベーパーチャンバ用のウィックシート。 The wick sheet for a vapor chamber according to claim 12 or 13, wherein the vapor flow path portion is in contact with and communicates with the communication groove. 平面視で内側に前記蒸気流路部を画定する枠体部と、
前記蒸気流路部内に設けられたランド部と、を更に備えた、請求項９に記載のベーパーチャンバ用のウィックシート。 a frame portion defining the steam channel portion inside in a plan view;
10. The wick sheet for a vapor chamber according to claim 9, further comprising a land portion provided within said vapor channel portion. 前記ランド部は、前記第１面を構成する第１ランド面と、前記第２面を構成する第２ランド面と、を有し、
前記液流路部は、前記第１ランド面に設けられた第１ランド液流路部を含んでいる、請求項１５に記載のベーパーチャンバ用のウィックシート。 The land portion has a first land surface that constitutes the first surface and a second land surface that constitutes the second surface,
16. The wick sheet for a vapor chamber according to claim 15, wherein said liquid flow path includes a first land liquid flow path provided on said first land surface. 前記液流路部は、前記第２ランド面に設けられた第２ランド液流路部を更に含んでいる、請求項１６に記載のベーパーチャンバ用のウィックシート。 17. The wick sheet for a vapor chamber according to claim 16, wherein said fluid flow path further comprises a second land fluid flow path provided on said second land surface. 前記液流路部は、第１方向に延び、液状の前記作動液が通る複数の主流溝と、互いに隣り合う主流溝同士を連通する連絡溝と、を有し、
前記蒸気流路部は、前記連絡溝に接して連通している、請求項１５～１７のいずれか一項に記載のベーパーチャンバ用のウィックシート。 The liquid flow path portion extends in a first direction and has a plurality of main grooves through which the liquid working fluid passes, and a communication groove that communicates the adjacent main grooves,
The wick sheet for a vapor chamber according to any one of Claims 15 to 17, wherein the vapor channel portion is in contact with and communicates with the communication groove. 前記液流路部は、第１方向に延び、液状の前記作動液が通る複数の主流溝と、互いに隣り合う主流溝同士を連通する連絡溝と、を有し、
前記第１ランド面に設けられた前記主流溝と、前記第２ランド面に設けられた前記主流溝は、平面視で重なっている、請求項１７に記載のベーパーチャンバ用のウィックシート。 The liquid flow path portion extends in a first direction and has a plurality of main grooves through which the liquid working fluid passes, and a communication groove that communicates the adjacent main grooves,
The wick sheet for a vapor chamber according to claim 17, wherein the main groove provided on the first land surface and the main groove provided on the second land surface overlap in plan view. 前記液流路部は、第１方向に延び、液状の前記作動液が通る複数の主流溝と、互いに隣り合う主流溝同士を連通する連絡溝と、を有し、
前記第１ランド面に設けられた前記主流溝と、前記第２ランド面に設けられた前記主流溝は、平面視で少なくとも部分的に重なっていない、請求項１７に記載のベーパーチャンバ用のウィックシート。 The liquid flow path portion extends in a first direction and has a plurality of main grooves through which the liquid working fluid passes, and a communication groove that communicates the adjacent main grooves,
18. The wick for a vapor chamber of claim 17, wherein the primary groove provided on the first land surface and the primary groove provided on the second land surface are at least partially non-overlapping in plan view. sheet. 前記蒸気流路部は、前記連絡溝に接して連通している、請求項１９または２０に記載のベーパーチャンバ用のウィックシート。 The wick sheet for a vapor chamber according to claim 19 or 20, wherein the vapor flow path portion is in contact with and communicates with the communication groove. 前記蒸気流路部内に、前記ランド部を前記枠体部に支持する第１支持部が設けられている、請求項１５～２１のいずれか一項に記載のベーパーチャンバ用のウィックシート。 The wick sheet for a vapor chamber according to any one of Claims 15 to 21, wherein a first support portion for supporting the land portion on the frame portion is provided in the vapor passage portion. 前記蒸気流路部内に、複数の前記ランド部が設けられ、
前記蒸気流路部内に、互いに隣り合う前記ランド部同士を支持する第２支持部が設けられている、請求項１５～２２のいずれか一項に記載のベーパーチャンバ用のウィックシート。 A plurality of the land portions are provided in the steam flow path portion,
The wick sheet for a vapor chamber according to any one of Claims 15 to 22, wherein a second support portion is provided in the vapor channel portion to support the land portions adjacent to each other. 前記枠体部は、前記第１面を構成する第１枠体面と、前記第２面を構成する第２枠体面と、を有し、
前記液流路部は、前記第１枠体面に設けられた第１枠体液流路部を含んでいる、請求項１５～２３のいずれか一項に記載のベーパーチャンバ用のウィックシート。 The frame body portion has a first frame body surface that constitutes the first surface and a second frame body surface that constitutes the second surface,
The wick sheet for a vapor chamber according to any one of claims 15 to 23, wherein the liquid flow path section includes a first frame liquid flow path section provided on the first frame surface. 前記液流路部は、前記第２面に設けられた第２枠体液流路部を更に含んでいる、請求項２４に記載のベーパーチャンバ用のウィックシート。 25. The wick sheet for a vapor chamber according to claim 24, wherein said liquid channel portion further includes a second frame liquid channel portion provided on said second surface. 前記液流路部は、各々が第１方向に延びて液状の前記作動液が通る複数の主流溝を有し、
互いに隣り合う一対の主流溝の間に、連絡溝を介して前記第１方向に配列された複数の凸部を含む凸部列が設けられ、
前記主流溝は、前記連絡溝と連通する交差部と、前記第１方向において前記交差部とは異なる位置に位置するとともに、互いに隣り合う一対の前記凸部の間に位置する主流溝本体部と、を含んでいる、請求項１、２および９のいずれか一項に記載のベーパーチャンバ用のウィックシート。 the liquid flow path portion has a plurality of main flow grooves each extending in a first direction through which the liquid working fluid passes;
Between a pair of adjacent main grooves, a projection row including a plurality of projections arranged in the first direction via a communication groove is provided,
The main groove includes an intersection portion communicating with the communication groove, and a main groove body portion positioned between the pair of adjacent protrusions and positioned at a position different from the intersection portion in the first direction. 10. A wicksheet for a vapor chamber according to any one of claims 1, 2 and 9, comprising: 前記主流溝の前記交差部の深さは、前記主流溝本体部の深さよりも深い、請求項２６に記載のベーパーチャンバ用のウィックシート。 27. A wicksheet for a vapor chamber according to claim 26, wherein the depth of the intersection of the main grooves is greater than the depth of the main groove main body. 前記主流溝の前記交差部の深さは、前記連絡溝の深さよりも深い、請求項２６または２７に記載のベーパーチャンバ用のウィックシート。 28. A wick sheet for a vapor chamber according to claim 26 or 27, wherein the depth of said intersection of said main grooves is greater than the depth of said connecting grooves. 前記連絡溝は、対応する一対の前記主流溝を連通し、
前記連絡溝の幅は、前記主流溝の幅よりも大きい、請求項２６～２８のいずれか一項に記載のベーパーチャンバ用のウィックシート。 The communication groove communicates with the corresponding pair of main grooves,
A wick sheet for a vapor chamber according to any one of claims 26 to 28, wherein the width of said communication groove is greater than the width of said main flow groove. 前記連絡溝の深さは、前記主流溝の深さよりも深い、請求項２６～２９のいずれか一項に記載のベーパーチャンバ用のウィックシート。 A wick sheet for a vapor chamber according to any one of claims 26 to 29, wherein the depth of said communication groove is greater than the depth of said main groove. 前記凸部は、千鳥状に配置されている、請求項２６～３０のいずれか一項に記載のベーパーチャンバ用のウィックシート。 A wick sheet for a vapor chamber according to any one of claims 26 to 30, wherein said convex portions are arranged in a zigzag pattern. 作動液が封入された密封空間を有するベーパーチャンバであって、
第１シートと、
第２シートと、
前記第１シートと前記第２シートとの間に介在された、請求項１～３１のいずれか一項に記載の前記ウィックシートと、を備えた、ベーパーチャンバ。 A vapor chamber having a sealed space in which a hydraulic fluid is enclosed,
a first sheet;
a second sheet;
and the wick sheet of any one of claims 1 to 31 interposed between the first sheet and the second sheet. 前記第１シートは、平面視で、前記ウィックシートの外側に設けられた第１周縁部を有し、
前記第２シートは、平面視で、前記ウィックシートの外側に設けられた第２周縁部を有し、
前記第１周縁部と前記第２周縁部との間に、スペーサ部材が介在され、
前記第１周縁部と前記第２周縁部は、前記スペーサ部材を介して拡散接合されている、請求項３２記載のベーパーチャンバ。 The first sheet has a first peripheral portion provided outside the wick sheet in plan view,
The second sheet has a second peripheral edge provided outside the wick sheet in plan view,
A spacer member is interposed between the first peripheral edge portion and the second peripheral edge portion,
33. The vapor chamber of claim 32, wherein said first peripheral edge and said second peripheral edge are diffusion bonded via said spacer member. 前記第１シートは、前記ウィックシートの側の面のうち平面視で前記ウィックシートの外側に設けられた第１熱融着層を有し、
前記第２シートは、前記ウィックシートの側の面のうち平面視で前記ウィックシートの外側に設けられた第２熱融着層を有し、
前記第１熱融着層と前記第２熱融着層が、ヒートシールされている、請求項３２に記載のベーパーチャンバ。 The first sheet has a first heat-sealable layer provided outside the wick sheet in plan view on the surface on the wick sheet side,
The second sheet has a second heat-sealing layer provided outside the wick sheet in plan view on the surface on the wick sheet side,
33. The vapor chamber of claim 32, wherein the first heat sealing layer and the second heat sealing layer are heat sealed. 前記第１シートの前記ウィックシートの側の面は、平坦状に形成されている、請求項３２～３４のいずれか一項に記載のベーパーチャンバ。 The vapor chamber according to any one of claims 32 to 34, wherein the surface of the first sheet on the wick sheet side is flat. 前記第１シートと前記ウィックシートは拡散接合されているとともに、前記第２シートと前記ウィックシートは拡散接合されている、請求項３２に記載のベーパーチャンバ。 33. The vapor chamber of claim 32, wherein said first sheet and said wick sheet are diffusion bonded and said second sheet and said wick sheet are diffusion bonded. 前記第１シートは、前記ウィックシートの側に設けられた第１本体シートと、前記第１本体シートに対して前記ウィックシートの側とは反対側に設けられた第１補強シートと、を有し、
前記第１補強シートは、前記第１本体シートよりも高い機械的強度を有している、請求項３２～３５のいずれか一項に記載のベーパーチャンバ。 The first sheet has a first body sheet provided on the wick sheet side, and a first reinforcing sheet provided on the opposite side of the first body sheet to the wick sheet side. death,
36. The vapor chamber of any one of claims 32-35, wherein the first reinforcement sheet has a higher mechanical strength than the first body sheet. 前記第２シートは、前記ウィックシートの側に設けられた第２本体シートと、前記第２本体シートに対して前記ウィックシートの側とは反対側に設けられた第２補強シートと、を有し、
前記第２補強シートは、前記第２本体シートよりも高い機械的強度を有している、請求項３２～３７のいずれか一項に記載のベーパーチャンバ。 The second sheet has a second body sheet provided on the wick sheet side, and a second reinforcing sheet provided on the opposite side of the second body sheet to the wick sheet side. death,
38. The vapor chamber of any one of claims 32-37, wherein the second reinforcing sheet has a higher mechanical strength than the second body sheet. 作動液が封入された密封空間を有するベーパーチャンバの製造方法であって、
第１面と、前記第１面とは反対側に設けられた第２面と、を有するウィックシートを作製するウィックシート作製工程であって、前記第１面に設けられた、前記密封空間の一部を構成し、液状の前記作動液が通る液流路部と、前記第２面に設けられた、前記液流路部と連通して前記密封空間の一部を構成し、前記作動液の蒸気が通る蒸気流路部と、を有するウィックシートを作製するウィックシート作製工程と、
第１シートと第２シートとの間に前記ウィックシートを介在させて、前記第１シートと前記第２シートとを接合する接合工程であって、前記第１シートと前記第２シートとの間に、前記密封空間を形成する接合工程と、
前記密封空間に前記作動液を封入する封入工程と、を備えた、ベーパーチャンバの製造方法。 A method for manufacturing a vapor chamber having a sealed space in which a working fluid is enclosed,
A wick sheet producing step for producing a wick sheet having a first surface and a second surface provided opposite to the first surface, wherein the sealed space provided on the first surface is a liquid flow path part through which the liquid working fluid passes; and a part of the sealed space that communicates with the liquid flow path part provided on the second surface, and the working fluid a wick sheet producing step for producing a wick sheet having a steam channel portion through which the steam of
a joining step of joining the first sheet and the second sheet by interposing the wick sheet between the first sheet and the second sheet, the joining step comprising: a bonding step of forming the sealed space;
and a sealing step of sealing the working fluid in the sealed space. 前記第１シートは、平面視で、前記ウィックシートの外側に設けられた第１周縁部を有し、
前記第２シートは、平面視で、前記ウィックシートの外側に設けられた第２周縁部を有し、
前記接合工程において、前記第１シートの前記第１周縁部と前記第２シートの前記第２周縁部との間に、スペーサ部材が介在され、前記第１周縁部と前記第２周縁部は、前記スペーサ部材を介して拡散接合される、請求項３９に記載のベーパーチャンバの製造方法。 The first sheet has a first peripheral portion provided outside the wick sheet in plan view,
The second sheet has a second peripheral edge provided outside the wick sheet in plan view,
In the bonding step, a spacer member is interposed between the first peripheral edge portion of the first sheet and the second peripheral edge portion of the second sheet, and the first peripheral edge portion and the second peripheral edge portion are: 40. The method of manufacturing a vapor chamber according to claim 39, wherein diffusion bonding is performed via said spacer member. 前記第１シートは、前記ウィックシートの側の面のうち平面視で前記ウィックシートの外側に設けられた第１熱融着層を有し、
前記第２シートは、前記ウィックシートの側の面のうち平面視で前記ウィックシートの外側に設けられた第２熱融着層を有し、
前記接合工程において、前記第１熱融着層と前記第２熱融着層が、ヒートシールされる、請求項３９に記載のベーパーチャンバの製造方法。 The first sheet has a first heat-sealable layer provided outside the wick sheet in plan view on the surface on the wick sheet side,
The second sheet has a second heat-sealing layer provided outside the wick sheet in plan view on the surface on the wick sheet side,
40. The method of manufacturing a vapor chamber according to claim 39, wherein in the bonding step, the first heat sealing layer and the second heat sealing layer are heat sealed. 前記接合工程において、前記第１シートと前記ウィックシートは拡散接合されるとともに、第２シートと前記ウィックシートは拡散接合される、請求項３９に記載のベーパーチャンバの製造方法。 40. The method of manufacturing a vapor chamber according to claim 39, wherein in the joining step, the first sheet and the wick sheet are diffusion-bonded, and the second sheet and the wick sheet are diffusion-bonded. 前記第１シートは、前記ウィックシートの側に設けられた第１本体シートと、前記第１本体シートに対して前記ウィックシートの側とは反対側に設けられた第１補強シートと、を有し、
前記第１補強シートは、前記第１本体シートよりも高い機械的強度を有している、請求項３９～４２いずれか一項に記載のベーパーチャンバの製造方法。 The first sheet has a first body sheet provided on the wick sheet side, and a first reinforcing sheet provided on the opposite side of the first body sheet to the wick sheet side. death,
A method for manufacturing a vapor chamber according to any one of claims 39 to 42, wherein said first reinforcing sheet has higher mechanical strength than said first body sheet. 前記第２シートは、前記ウィックシートの側に設けられた第２本体シートと、前記第２本体シートに対して前記ウィックシートの側とは反対側に設けられた第２補強シートと、を有し、
前記第２補強シートは、前記第２本体シートよりも高い機械的強度を有している、請求項３９～４３のいずれか一項に記載のベーパーチャンバの製造方法。 The second sheet has a second body sheet provided on the wick sheet side, and a second reinforcing sheet provided on the opposite side of the second body sheet to the wick sheet side. death,
44. The method of manufacturing a vapor chamber according to any one of claims 39 to 43, wherein said second reinforcing sheet has higher mechanical strength than said second main body sheet.

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