JP2023052355A - Vapor chamber, sheet for vapor chamber, and method for manufacturing vapor chamber - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a vapor chamber that can improve heat transport efficiency.

SOLUTION: A vapor chamber comprises a sealed space filled with working fluid. The sealed space is provided with a plurality of vapor flow passages in which the working fluid in a gas state flows, and a wick material 103 provided between the plurality of vapor flow passages adjacent to each other, and in which the working fluid in a liquid state flows. At least a portion of an outer surface of the vapor chamber at a position overlapping with the vapor flow passages in a planar view is provided with at least one of a concave part and a convex part. The concave part and the convex part have a curved shape in a cross section orthogonal to a direction in which the vapor flow passages extend.

SELECTED DRAWING: Figure 24

COPYRIGHT: (C)2023,JPO&INPIT

Description

本開示の形態は、作動流体が密封された密封空間を有するベーパーチャンバ、ベーパーチャンバ用シートおよびベーパーチャンバの製造方法に関する。 The present disclosure relates to a vapor chamber having a sealed space in which a working fluid is sealed, a vapor chamber sheet, and a vapor chamber manufacturing method.

携帯端末やタブレット端末といったモバイル端末等で使用される中央演算処理装置（ＣＰＵ）や発光ダイオード（ＬＥＤ）、パワー半導体等の発熱を伴うデバイスは、ヒートパイプ等の放熱用部材によって冷却されている（例えば、特許文献１参照）。近年では、モバイル端末等の薄型化のために、放熱用部材の薄型化も求められており、ヒートパイプよりも薄型化を図ることができるベーパーチャンバの開発が進められている。ベーパーチャンバは、２枚のシートを接合した構造を有しており、２枚のシートの間に、作動流体が封入された密封空間が形成されている。この作動流体がデバイスの熱を吸収して外部に放出することで、デバイスの冷却を行っている。 Devices that generate heat such as central processing units (CPUs), light emitting diodes (LEDs), and power semiconductors used in mobile terminals such as mobile terminals and tablet terminals are cooled by heat dissipating members such as heat pipes ( For example, see Patent Document 1). In recent years, in order to reduce the thickness of mobile terminals and the like, there has been a demand for thinner heat dissipating members, and the development of vapor chambers that can be made thinner than heat pipes is underway. The vapor chamber has a structure in which two sheets are joined together, and a sealed space in which a working fluid is enclosed is formed between the two sheets. The working fluid cools the device by absorbing the heat of the device and releasing it to the outside.

より具体的には、ベーパーチャンバ内の作動流体は、デバイスに近接した部分（蒸発部）でデバイスから熱を受けて蒸発して液体から気体になり、その後に気体が、蒸発部から離れた位置に移動して冷却され、凝縮して液体になる。ベーパーチャンバ内には、毛細管構造（ウィック）としての液流路が設けられており、液体になった作動流体は、この液流路を通過して蒸発部に向かって輸送され、再び蒸発部で熱を受けて蒸発する。このようにして、作動流体が、相変化、すなわち蒸発と凝縮とを繰り返しながらベーパーチャンバ内を還流することによりデバイスの熱を移動させ、熱輸送効率を高めている。 More specifically, the working fluid in the vapor chamber receives heat from the device at the portion (evaporator) that is close to the device, evaporates from liquid to gas, and then the gas moves to a position away from the evaporator. , where it cools and condenses into a liquid. A liquid flow path as a capillary structure (wick) is provided in the vapor chamber, and the liquid working fluid passes through this liquid flow path and is transported toward the evaporator, where it returns to the evaporator. Evaporate under heat. In this way, the working fluid circulates in the vapor chamber while repeating phase changes, that is, evaporation and condensation, thereby transferring heat in the device and increasing heat transport efficiency.

特開２０１５－１２１３５５号公報JP 2015-121355 A

本開示の形態は熱輸送効率を向上させることができるベーパーチャンバ、ベーパーチャンバ用シートおよびベーパーチャンバの製造方法を提供することを目的とする。 An object of the present disclosure is to provide a vapor chamber, a vapor chamber sheet, and a vapor chamber manufacturing method capable of improving heat transport efficiency.

本願は、作動流体が封入された密封空間を有するベーパーチャンバであって、密封空間には、気体状態の作動流体が流れる複数の蒸気流路と、隣り合う複数の蒸気流路間に設けられ、液体状態の作動流体が流れるウィック材と、が備えられ、平面視で蒸気流路に重なる位置のベーパーチャンバの外面の少なくとも一部には凹部及び凸部の少なくともいずれかが具備されており、凹部及び凸部は、蒸気流路が延びる方向に直交する断面において湾曲した形状である、ベーパーチャンバを開示する。 The present application relates to a vapor chamber having a sealed space in which a working fluid is sealed, wherein the sealed space includes a plurality of vapor channels through which a gaseous working fluid flows and provided between a plurality of adjacent vapor channels, a wicking material through which a working fluid in a liquid state flows, and at least one of a concave portion and a convex portion is provided on at least a portion of an outer surface of the vapor chamber at a position overlapping the vapor flow path in a plan view, and the concave portion and the convex portion disclose a vapor chamber having a curved shape in a cross section orthogonal to the direction in which the vapor flow path extends.

また、本願は、作動流体が封入された密封空間を有するベーパーチャンバであって、密封空間には、気体状態の作動流体が流れる複数の蒸気流路と、隣り合う複数の蒸気流路間に設けられ、液体状態の作動流体が流れる液流路またはウィック材と、が備えられ、平面視で蒸気流路に重なる位置のベーパーチャンバの外面の少なくとも一部には凹部が具備されており、凹部は、蒸気流路が延びる方向に直交する断面において蒸気流路の幅方向の全体にわたって設けられている、ベーパーチャンバを開示する。 Further, the present application relates to a vapor chamber having a sealed space in which a working fluid is enclosed, wherein the sealed space includes a plurality of vapor flow paths through which the gaseous working fluid flows, and a plurality of adjacent vapor flow paths provided between the vapor flow paths. a liquid channel or wick material through which the working fluid in a liquid state flows; 1, a vapor chamber is provided over the entire width of the steam channel in a cross section perpendicular to the direction in which the steam channel extends.

また、本願は、作動流体が封入された密封空間を有するベーパーチャンバであって、密封空間には、気体状態の作動流体が流れる複数の蒸気流路と、隣り合う複数の蒸気流路間に設けられ、液体状態の作動流体が流れる液流路またはウィック材と、が備えられ、平面視で蒸気流路に重なる位置のベーパーチャンバの外面の少なくとも一部には凹部が具備されており、凹部は、平面視で液流路またはウィック材に重なる位置には設けられていない、ベーパーチャンバを開示する。 Further, the present application relates to a vapor chamber having a sealed space in which a working fluid is enclosed, wherein the sealed space includes a plurality of vapor flow paths through which the gaseous working fluid flows, and a plurality of adjacent vapor flow paths provided between the vapor flow paths. a liquid channel or wick material through which the working fluid in a liquid state flows; , discloses a vapor chamber that is not positioned to overlap the liquid flow path or wick material in plan view.

本開示の形態によれば、熱輸送効率を向上させることができる。 According to the embodiment of the present disclosure, heat transport efficiency can be improved.

図１は、ベーパーチャンバを備える電子機器を模式的に示した斜視図である。FIG. 1 is a perspective view schematically showing an electronic device having a vapor chamber. 図２は、本開示の形態によるベーパーチャンバを示す上面図である。2 is a top view of a vapor chamber according to aspects of the present disclosure; FIG. 図３は、図２のベーパーチャンバを示すＡ－Ａ線断面図である。3 is a cross-sectional view taken along the line AA showing the vapor chamber of FIG. 2. FIG. 図４は、図２の下側シートの平面図である。4 is a plan view of the lower sheet of FIG. 2; FIG. 図５は、図２の上側シートの底面図である。5 is a bottom view of the upper sheet of FIG. 2; FIG. 図６は、図３に示す蒸気流路凹部を示す拡大断面図である。FIG. 6 is an enlarged cross-sectional view showing the steam flow path concave portion shown in FIG. 3 . 図７は、図４の液流路部を示すＢ部の拡大上面図である。7 is an enlarged top view of a portion B showing the liquid flow path portion of FIG. 4. FIG. 図８は、図６の液流路部を示す拡大断面図である。8 is an enlarged cross-sectional view showing the liquid flow path portion of FIG. 6. FIG. 図９は、上側シートにも主流溝が備えられた例を示す断面図である。FIG. 9 is a cross-sectional view showing an example in which the upper sheet is also provided with main grooves. 図１０は、図２のベーパーチャンバの製造方法において、下側材料シートの第１準備工程を説明するための図である。10 is a diagram for explaining the first preparation step of the lower material sheet in the method of manufacturing the vapor chamber of FIG. 2. FIG. 図１１は、図２のベーパーチャンバの製造方法において、下側材料シートの下側流路溝形成工程を説明するための図である。FIG. 11 is a diagram for explaining a step of forming the lower flow channel grooves of the lower material sheet in the method of manufacturing the vapor chamber of FIG. 2. FIG. 図１２は、図２のベーパーチャンバの製造方法において、上側材料シートの第２準備工程を説明するための図である。12 is a diagram for explaining a second preparation step for the upper material sheet in the method of manufacturing the vapor chamber of FIG. 2. FIG. 図１３は、図２のベーパーチャンバの製造方法において、上側材料シートの上側流路溝形成工程を説明するための図である。FIG. 13 is a diagram for explaining a step of forming upper flow passage grooves in the upper material sheet in the method of manufacturing the vapor chamber of FIG. 2; 図１４は、図２のベーパーチャンバの製造方法において、仮止め工程を説明するための図である。14A and 14B are diagrams for explaining a temporary fixing step in the manufacturing method of the vapor chamber of FIG. 2. FIG. 図１５は、図２のベーパーチャンバの製造方法において、接合工程を説明するための図である。15A and 15B are diagrams for explaining a bonding step in the vapor chamber manufacturing method of FIG. 2. FIG. 図１６は、図１４の接合工程において、接合後の蒸気流路凹部を示す図である。FIG. 16 is a view showing the steam flow channel recess after bonding in the bonding step of FIG. 14 . 図１７は、図２のベーパーチャンバの製造方法において、作動液の注入工程を説明するための図である。FIG. 17 is a diagram for explaining a working fluid injection step in the vapor chamber manufacturing method of FIG. 2 . 図１８は、変形例におけるベーパーチャンバにおいて、下側シートをプレス加工する状態を示す部分拡大断面図である。FIG. 18 is a partially enlarged cross-sectional view showing a state in which the lower sheet is pressed in the vapor chamber of the modification. 図１９は、変形例におけるベーパーチャンバにおいて、上側シートをプレス加工する状態を示す部分拡大断面図である。FIG. 19 is a partially enlarged cross-sectional view showing a state in which the upper sheet is pressed in the vapor chamber of the modification. 図２０は、変形例におけるベーパーチャンバを示す拡大断面図である。FIG. 20 is an enlarged cross-sectional view showing a vapor chamber in a modified example. 図２１は、図２０に示すベーパーチャンバの変形例を示す拡大断面図である。21 is an enlarged sectional view showing a modification of the vapor chamber shown in FIG. 20. FIG. 図２２は、図２０に示すベーパーチャンバの変形例を示す拡大断面図である。22 is an enlarged sectional view showing a modification of the vapor chamber shown in FIG. 20. FIG. 図２３は、３つのシートからなるベーパーチャンバを示す拡大断面図である。FIG. 23 is an enlarged cross-sectional view showing a three-sheet vapor chamber. 図２４は、他の例にかかる３つのシートからなるベーパーチャンバを示す拡大断面図である。FIG. 24 is an enlarged cross-sectional view showing another example three-sheet vapor chamber. 図２５は、４つのシートからなるベーパーチャンバを示す拡大断面図である。FIG. 25 is an enlarged cross-sectional view showing a vapor chamber consisting of four sheets. 図２６は凸部を有するベーパーチャンバの例を示す拡大断面図である。FIG. 26 is an enlarged cross-sectional view showing an example of a vapor chamber having projections.

以下、図面を参照して本開示の形態について説明する。なお、本明細書に添付する図面においては、図示と理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺及び縦横の寸法比等を、実物のそれらから変更し誇張して表すことがある。
また、ベーパーチャンバでは、密封空間内を作動流体が相変化を伴いつつ移動するため、本明細書では気化して気体である作動流体を「蒸気」、液化して液体である作動流体を「作動液」と記載することがある。 Hereinafter, embodiments of the present disclosure will be described with reference to the drawings. In addition, in the drawings attached to this specification, for the convenience of illustration and easy understanding, the scale, the ratio of vertical and horizontal dimensions, etc. may be appropriately changed and exaggerated from those of the real thing.
In addition, in the vapor chamber, the working fluid moves in the sealed space while undergoing a phase change. It is sometimes described as "liquid".

始めに、本形態によるベーパーチャンバ１が搭載される電子機器Ｅについて、タブレット端末を例にとって説明する。図１に示すように、電子機器Ｅ（タブレット端末）は、ハウジングＨと、ハウジングＨ内に収容されたデバイスＤと、ベーパーチャンバ１と、を備えている。図１に示す電子機器Ｅでは、ハウジングＨの前面にタッチパネルディスプレイＴＤが設けられている。ベーパーチャンバ１は、ハウジングＨ内に収容されて、デバイスＤに熱的に接触するように配置される。このことにより、電子機器Ｅの使用時にデバイスＤで発生する熱をベーパーチャンバ１が受けることができる。ベーパーチャンバ１が受けた熱は、後述する作動流体を介してベーパーチャンバ１の外部に放出される。このようにして、デバイスＤは冷却される。電子機器Ｅがタブレット端末である場合には、デバイスＤは、中央演算処理装置等に相当する。 First, an electronic device E on which the vapor chamber 1 according to the present embodiment is mounted will be described by taking a tablet terminal as an example. As shown in FIG. 1 , the electronic device E (tablet terminal) includes a housing H, a device D housed in the housing H, and a vapor chamber 1 . In the electronic device E shown in FIG. 1, a touch panel display TD is provided on the front surface of the housing H. As shown in FIG. The vapor chamber 1 is housed within the housing H and placed in thermal contact with the device D. As shown in FIG. This allows the vapor chamber 1 to receive the heat generated by the device D when the electronic equipment E is used. The heat received by the vapor chamber 1 is released to the outside of the vapor chamber 1 via a working fluid, which will be described later. In this way device D is cooled. If the electronic device E is a tablet terminal, the device D corresponds to a central processing unit or the like.

図２～図２１を用いて、本開示の形態にかかるベーパーチャンバ、ベーパーチャンバ用シートおよびベーパーチャンバの製造方法について説明する。本形態におけるベーパーチャンバ１は、作動液２（図６参照）が封入された密封空間３を有しており、密封空間３内の作動流体が相変化を繰り返すことにより、携帯端末やタブレット端末といったモバイル端末等で使用される中央演算処理装置（ＣＰＵ）や発光ダイオード（ＬＥＤ）、パワー半導体等の発熱を伴うデバイスＤ（被冷却装置）を冷却するための装置である。ベーパーチャンバ１は、概略的に薄い平板状に形成されている。 2 to 21, the vapor chamber, vapor chamber sheet, and vapor chamber manufacturing method according to the embodiment of the present disclosure will be described. The vapor chamber 1 in this embodiment has a sealed space 3 in which a working fluid 2 (see FIG. 6) is enclosed. It is a device for cooling devices D (devices to be cooled) that generate heat such as central processing units (CPUs), light emitting diodes (LEDs), and power semiconductors used in mobile terminals and the like. The vapor chamber 1 is generally formed in the shape of a thin flat plate.

図２および図３に示すように、本形態のベーパーチャンバ１は、下側シート１０（第１シート、ベーパーチャンバ用シート）と、下側シート１０上に設けられた上側シート２０（第２シート、ベーパーチャンバ用シート）と、を備えている。下側シート１０は、上面１０ａ（第１シート面）と、上面１０ａの反対側の下面１０ｂ（第１反対面）と、を有している。下面１０ｂ（とりわけ、後述する蒸発部１１の下面）に、冷却対象物であるデバイスＤが取り付けられる。上側シート２０は、下面２０ａ（第２シート面）と、下面２０ａの反対側に設けられた上面２０ｂ（第２反対面）と、を有している。下面２０ａは、下側シート１０の上面１０ａに重ね合わされており、下側シート１０と上側シート２０とは、後述する拡散接合によって接合されている。 As shown in FIGS. 2 and 3, the vapor chamber 1 of this embodiment includes a lower sheet 10 (first sheet, vapor chamber sheet) and an upper sheet 20 (second sheet) provided on the lower sheet 10. , sheet for vapor chamber). The lower sheet 10 has an upper surface 10a (first sheet surface) and a lower surface 10b (first opposite surface) opposite to the upper surface 10a. A device D, which is an object to be cooled, is attached to the lower surface 10b (in particular, the lower surface of the evaporator 11, which will be described later). The upper sheet 20 has a lower surface 20a (second sheet surface) and an upper surface 20b (second opposite surface) provided on the opposite side of the lower surface 20a. The lower surface 20a is overlaid on the upper surface 10a of the lower sheet 10, and the lower sheet 10 and the upper sheet 20 are joined by diffusion bonding, which will be described later.

下側シート１０と上側シート２０との間には、作動流体が封入された密封空間３が形成されている。作動流体の例としては、純水、エタノール、メタノール、アセトン、及びそれらの混合物等が挙げられる。 A sealed space 3 containing a working fluid is formed between the lower sheet 10 and the upper sheet 20 . Examples of working fluids include pure water, ethanol, methanol, acetone, mixtures thereof, and the like.

図２および図３に示す形態では、下側シート１０および上側シート２０は、平面視でいずれも矩形状に形成されている例が示されているが、これに限られることはない。本形態のように矩形である他、平面視で円形、楕円形、三角形、その他の多角形、屈曲部を有する形、例えばＬ字型、Ｔ字型、クランク型等、および、これらを組み合わせた形状とすることができる。
ここで平面視とは、ベーパーチャンバ１がデバイスＤから熱を受ける面（下側シート１０の下面１０ｂ）、および受けた熱を放出する面（上側シート２０の上面２０ｂ）の法線方向から見た状態であって、例えば、ベーパーチャンバ１を上方から見た状態（図２参照）、または下方から見た状態に相当している。 2 and 3 show an example in which both the lower sheet 10 and the upper sheet 20 are formed in a rectangular shape in a plan view, but they are not limited to this. In addition to being rectangular like this form, when viewed from above, it is circular, elliptical, triangular, other polygonal, shapes with bent portions, such as L-shaped, T-shaped, crank-shaped, etc., and combinations thereof can be shaped.
Here, the planar view means that the vapor chamber 1 is seen from the normal direction of the surface receiving heat from the device D (the lower surface 10b of the lower sheet 10) and the surface emitting the received heat (the upper surface 20b of the upper sheet 20). This corresponds to, for example, a state in which the vapor chamber 1 is viewed from above (see FIG. 2) or a state viewed from below.

なお、ここでは第１シートを下側シート、および、第２シートを上側シートと記載するが、これは必ずしも上下関係を限定するものではなく、便宜上の記載である。ここではデバイスＤから熱を受けるシートを第１シート、その反対側に配置されるシートを第２シートとしている。その他の部位に付された「上側」および「下側」の記載は単にこの記載に合わせたものである。 Here, the first sheet is referred to as the lower sheet and the second sheet as the upper sheet, but this does not necessarily limit the vertical relationship and is for the sake of convenience. Here, the sheet that receives heat from the device D is the first sheet, and the sheet that is arranged on the opposite side is the second sheet. The descriptions of "upper" and "lower" given to other parts are merely to match this description.

図３および図４に示すように、下側シート１０は、作動液２が蒸発して蒸気を生成する蒸発部１１と、上面１０ａに設けられ、平面視で矩形状に形成された下側蒸気流路凹部１２（第１蒸気流路凹部）と、を有している。このうち下側蒸気流路凹部１２は、上述した密封空間３の一部を構成しており、主として、蒸発部１１で生成された蒸気が通るように構成されている。 As shown in FIGS. 3 and 4, the lower sheet 10 includes an evaporating portion 11 that evaporates the working fluid 2 to generate steam, and a lower steam portion that is provided on the upper surface 10a and has a rectangular shape in plan view. and a channel recess 12 (first steam channel recess). Of these, the lower steam flow passage concave portion 12 constitutes a part of the sealed space 3 described above, and is mainly configured so that the steam generated in the evaporating portion 11 passes therethrough.

本形態では、下側蒸気流路凹部１２は、複数の下側流路溝（すなわち、複数の第１下側流路溝１２Ｇ１と、複数の第２下側流路溝１２Ｇ２と、複数の第３下側流路溝１２Ｇ３と）を有している。各第１下側流路溝１２Ｇ１および第２下側流路溝１２Ｇ２は、それぞれ、第１方向Ｘに延びて蒸気を多く含んだ作動流体が通るようになっており、第１方向Ｘに直交する第２方向Ｙにおいて互いに異なる位置に間隔を有して配列されている。
一方、第３下側流路溝１２Ｇ３は、第２方向Ｙに延びており、第１下側流路溝１２Ｇ１および第２下側流路溝１２Ｇ２の両端部に連通している。本形態では、各下側流路溝１２Ｇ１、１２Ｇ２、１２Ｇ３は、横断面において、湾曲する部位を有している。後述する底面１２ａは、下側蒸気流路凹部１２の壁面のうち、下側シート１０の下面１０ｂの側の部分に相当する。 In this embodiment, the lower steam channel recessed portion 12 includes a plurality of lower channel grooves (that is, a plurality of first lower channel grooves 12G1, a plurality of second lower channel grooves 12G2, and a plurality of second lower channel grooves 12G2). 3 lower channel grooves 12G3). Each of the first lower channel grooves 12G1 and the second lower channel grooves 12G2 extends in the first direction X so that the working fluid containing a large amount of steam passes therethrough, and is perpendicular to the first direction X. are arranged at different positions with intervals in the second direction Y.
On the other hand, the third lower flow groove 12G3 extends in the second direction Y and communicates with both ends of the first lower flow groove 12G1 and the second lower flow groove 12G2. In this embodiment, each of the lower channel grooves 12G1, 12G2, 12G3 has a curved portion in cross section. A bottom surface 12a, which will be described later, corresponds to a portion of the wall surface of the lower steam channel concave portion 12 on the side of the lower surface 10b of the lower sheet 10. As shown in FIG.

蒸発部１１は、この下側蒸気流路凹部１２内に配置されており、蒸発部１１には、第１下側流路溝１２Ｇ１が平面視で重なっている。下側蒸気流路凹部１２内の蒸気は、蒸発部１１から離れる方向に拡散して、蒸気の多くは、比較的温度の低い周縁部に向かって輸送される。 The evaporator 11 is arranged in the lower steam channel recess 12, and the first lower channel groove 12G1 overlaps the evaporator 11 in plan view. The steam in the lower steam passage concave portion 12 diffuses away from the evaporating portion 11, and most of the steam is transported toward the peripheral portion where the temperature is relatively low.

なお、蒸発部１１は、下側シート１０の下面１０ｂに取り付けられるデバイスＤから熱を受けて、密封空間３内の作動液２が蒸発する部分である。このため、蒸発部１１という用語は、ベーパーチャンバの平面視でデバイスＤに重なっている部分に限られる概念ではなく、デバイスＤに重なっていなくても作動液２が蒸発可能な部分をも含む概念として用いている。ここで蒸発部１１は、下側シート１０の任意の場所に設けることができるが、図２および図４においては、下側シート１０の中央部に設けられている例が示されている。この場合、ベーパーチャンバ１が設置されたモバイル端末の姿勢が、ベーパーチャンバ１の動作の安定化に影響を及ぼすことを抑制できる。 The evaporating portion 11 is a portion where the working fluid 2 in the sealed space 3 evaporates by receiving heat from the device D attached to the lower surface 10b of the lower sheet 10 . Therefore, the term evaporating section 11 is not limited to the portion overlapping the device D in plan view of the vapor chamber, but also includes the portion where the working liquid 2 can evaporate even if it does not overlap the device D. is used as Here, the evaporating section 11 can be provided at any position on the lower sheet 10, but FIGS. In this case, it is possible to prevent the attitude of the mobile terminal in which the vapor chamber 1 is installed from affecting the stabilization of the operation of the vapor chamber 1 .

本形態では、図３、図４および図６に示すように、下側蒸気流路凹部１２内に、下側蒸気流路凹部１２の底面１２ａよりも上方（上面１０ａに垂直な方向）に突出する複数の下側流路壁部１３（第１流路壁部）が設けられている。この下側流路壁部１３は、後述する上側流路壁部２２の下面２２ａに接触する上面１３ａ（突出端面）を含んでいる。 In this embodiment, as shown in FIGS. 3, 4, and 6, the lower steam channel recess 12 protrudes above the bottom surface 12a of the lower steam channel recess 12 (in a direction perpendicular to the upper surface 10a). A plurality of lower channel wall portions 13 (first channel wall portions) are provided. The lower channel wall portion 13 includes an upper surface 13a (protruding end face) that contacts a lower surface 22a of an upper channel wall portion 22, which will be described later.

本形態では、下側流路壁部１３は、ベーパーチャンバ１の第１下側流路溝１２Ｇ１、および、第２下側流路溝１２Ｇ２が延びる方向（Ｘ方向）に沿って細長く延びている例が示されている。そして、各下側流路壁部１３は等間隔に離間して、互いに平行に配置されている。この下側流路壁部１３によって、下側蒸気流路凹部１２は、上述した第１下側流路溝１２Ｇ１および第２下側流路溝１２Ｇ２に区画されている。すなわち、互いに隣り合う下側流路壁部１３の間に第１下側流路溝１２Ｇ１が形成されている。同様に、後述する下側周縁壁１４と、第２方向Ｙにおいてこれに隣り合う下側流路壁部１３との間に第２下側流路溝１２Ｇ２が形成されている。
このようにして、各下側流路壁部１３の周囲を蒸気が流れて、蒸発部１１から離れるように蒸気が輸送されるように構成されており、蒸気の流れが妨げられることを抑制している。例えば、第１下側流路溝１２Ｇ１においては、蒸気は第３下側流路溝１２Ｇ３に向かって輸送される。 In this embodiment, the lower channel wall portion 13 elongates along the direction (X direction) in which the first lower channel groove 12G1 and the second lower channel groove 12G2 of the vapor chamber 1 extend. Examples are given. The respective lower flow path wall portions 13 are arranged in parallel with each other at regular intervals. The lower steam channel recessed portion 12 is partitioned by the lower channel wall portion 13 into the above-described first lower channel groove 12G1 and second lower channel groove 12G2. That is, the first lower channel grooves 12G1 are formed between the lower channel wall portions 13 adjacent to each other. Similarly, a second lower channel groove 12G2 is formed between a lower peripheral edge wall 14, which will be described later, and a lower channel wall portion 13 adjacent thereto in the second direction Y. As shown in FIG.
In this manner, the steam flows around each lower channel wall portion 13 and is transported away from the evaporating portion 11, thereby suppressing obstruction of the steam flow. ing. For example, in the first lower channel groove 12G1, steam is transported toward the third lower channel groove 12G3.

また、下側流路壁部１３は、上側シート２０の対応する後述の上側流路壁部２２に平面視で重なるように配置されており、ベーパーチャンバ１の機械的強度の向上を図っている。
図６および図７に示す下側流路壁部１３の幅ｗ０は、上面１０ａにおいて、３０００μｍ以下であることが好ましく、１５００μｍ以下であってもよく、１０００μｍ以下であってもよい。一方、幅ｗ０は上面１０ａにおいて１００μｍ以上であることが好ましく、２００μｍ以上であってもよく、４００μｍ以上であってもよい。また、幅ｗ０の範囲は、この複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅ｗ０の範囲は、この複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。ここで、幅ｗ０は、下側流路壁部１３の長手方向（Ｘ方向）に直交する方向（Ｙ方向）における下側流路壁部１３の寸法を意味しており、例えば、図４および図７における上下方向の寸法、または図６における左右方向の寸法に相当する。
第１下側流路溝１２Ｇ１の幅ｗ１（互いに隣り合う下側流路壁部１３同士の間隔）は、上面１０ａにおいて、２０００μｍ以下であることが好ましく、１５００μｍ以下であってもよく、１０００μｍ以下であってもよい。一方、幅ｗ１は上面１０ａにおいて１００μｍ以上であることが好ましく、２００μｍ以上であってもよく、４００μｍ以上であってもよい。また、幅ｗ１の範囲は、この複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅ｗ１の範囲は、この複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
第２下側流路溝１２Ｇ２の幅および第３下側流路溝１２Ｇ３の幅は、第１下側流路溝１２Ｇ１の幅と等しくてもよい。 In addition, the lower channel wall portion 13 is arranged so as to overlap with a corresponding later-described upper channel wall portion 22 of the upper sheet 20 in a plan view, thereby improving the mechanical strength of the vapor chamber 1. .
The width w0 of the lower flow path wall portion 13 shown in FIGS. 6 and 7 is preferably 3000 μm or less, may be 1500 μm or less, or may be 1000 μm or less at the upper surface 10a. On the other hand, the width w0 at the upper surface 10a is preferably 100 μm or more, may be 200 μm or more, or may be 400 μm or more. Also, the range of width w0 may be determined by a combination of any one of the plurality of upper limit candidate values and one of the plurality of lower limit candidate values. Also, the range of width w0 may be determined by combining any two of the plurality of upper limit candidate values or by combining any two of the plurality of lower limit candidate values. Here, the width w0 means the dimension of the lower channel wall portion 13 in the direction (Y direction) orthogonal to the longitudinal direction (X direction) of the lower channel wall portion 13. For example, FIG. It corresponds to the vertical dimension in FIG. 7 or the horizontal dimension in FIG.
The width w1 of the first lower channel groove 12G1 (interval between the lower channel walls 13 adjacent to each other) is preferably 2000 μm or less, may be 1500 μm or less, or may be 1000 μm or less on the upper surface 10a. may be On the other hand, the width w1 at the upper surface 10a is preferably 100 μm or more, may be 200 μm or more, or may be 400 μm or more. Also, the range of the width w1 may be determined by a combination of any one of the plurality of upper limit candidate values and one of the plurality of lower limit candidate values. Also, the range of the width w1 may be determined by combining any two of the plurality of upper limit candidate values or by combining any two of the plurality of lower limit candidate values.
The width of the second lower flow groove 12G2 and the width of the third lower flow groove 12G3 may be equal to the width of the first lower flow groove 12G1.

また、図６に示す下側流路壁部１３の高さ（言い換えると、下側蒸気流路凹部１２の深さ）ｈ０は、３００μｍ以下であることが好ましく、２００μｍ以下であってもよく、１００μｍ以下であってもよい。一方、高さｈ０は、１０μｍ以上であることが好ましく、２５μｍ以上であってもよく、５０μｍ以上であってもよい。また、高さｈ０の範囲は、この複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、高さｈ０の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。 In addition, the height h0 of the lower flow path wall portion 13 shown in FIG. It may be 100 μm or less. On the other hand, the height h0 is preferably 10 μm or more, may be 25 μm or more, or may be 50 μm or more. Also, the range of the height h0 may be determined by a combination of any one of the plurality of upper limit candidate values and one of the plurality of lower limit candidate values. Also, the range of the height h0 may be determined by combining any two of a plurality of upper limit candidate values or by combining any two of a plurality of lower limit candidate values.

図３および図４に示すように、下側シート１０の周縁部には、下側周縁壁１４が設けられている。下側周縁壁１４は、密封空間３、とりわけ下側蒸気流路凹部１２を囲むように形成されており、密封空間３を画定している。また、平面視で下側周縁壁１４の四隅に、下側シート１０と上側シート２０との位置決めをするための下側アライメント孔１５がそれぞれ設けられている。 As shown in FIGS. 3 and 4, a lower peripheral wall 14 is provided at the peripheral edge of the lower seat 10 . The lower peripheral wall 14 is formed so as to surround the sealed space 3 , particularly the lower steam channel recess 12 , and defines the sealed space 3 . Lower alignment holes 15 for positioning the lower sheet 10 and the upper sheet 20 are provided at the four corners of the lower peripheral wall 14 in plan view.

図６に示すように、下側シート１０の下面１０ｂに、下側蒸気流路凹部１２に向かって凹む下側シート凹部５０（第１シート凹部）が設けられている。この下側シート凹部５０は、下面１０ｂのうち平面視で下側蒸気流路凹部１２に重なる位置に配置されている。図６においては、下側シート凹部５０の横断面形状が湾曲部を有する例が示されているが、これに限られることはなく、矩形、Ｖ字形状、およびこれらの組み合わせの形状であってもよい。 As shown in FIG. 6, the lower surface 10b of the lower seat 10 is provided with a lower seat recess 50 (first seat recess) recessed toward the lower steam flow channel recess 12. As shown in FIG. The lower seat recessed portion 50 is arranged at a position overlapping the lower steam flow path recessed portion 12 in plan view on the lower surface 10b. FIG. 6 shows an example in which the cross-sectional shape of the lower seat recessed portion 50 has a curved portion. good too.

本形態では、上述したように、下側蒸気流路凹部１２内に、複数の下側流路壁部１３が設けられており、下側流路壁部１３によって画定された第１下側流路溝１２Ｇ１、第２下側流路溝１２Ｇ２および第３下側流路溝１２Ｇ３が形成されている。このことにより、下側シート凹部５０は、互いに隣り合う一対の下側流路壁部１３の間（第１下側流路溝１２Ｇ１に重なる位置）に配置されている。この第１下側流路溝１２Ｇ１に重なる下側シート凹部５０は、平面視で、第１下側流路溝１２Ｇ１に沿うように、第１方向Ｘに沿って細長く連続して延びている。また、下側シート凹部５０は、下側周縁壁１４と、これに隣り合う下側流路壁部１３との間（第２下側流路溝１２Ｇ２に重なる位置）にも形成されていてもよい。この第２下側流路溝１２Ｇ２に重なる下側シート凹部５０は、第２下側流路溝１２Ｇ２に沿うように、第１方向Ｘに沿って細長く連続して延びている。さらに、第３下側流路溝１２Ｇ３に平面視で重なる位置にも下側シート凹部５０が形成されていてもよく、当該下側シート凹部５０は、第３下側流路溝１２Ｇ３に沿うように、第２方向Ｙに沿って細長状に連続状に延びている。 In this embodiment, as described above, a plurality of lower flow channel wall portions 13 are provided in the lower steam flow channel recessed portion 12, and the first lower flow channel wall portion 13 defined by the lower flow channel wall portions 13 is provided. A channel groove 12G1, a second lower channel groove 12G2 and a third lower channel groove 12G3 are formed. As a result, the lower seat recessed portion 50 is arranged between a pair of lower flow path wall portions 13 adjacent to each other (at a position overlapping the first lower flow path groove 12G1). The lower seat recessed portion 50 that overlaps with the first lower flow groove 12G1 is elongated and continuously extends along the first direction X along the first lower flow groove 12G1 in plan view. In addition, the lower seat recessed portion 50 may also be formed between the lower peripheral edge wall 14 and the adjacent lower channel wall portion 13 (position overlapping the second lower channel groove 12G2). good. The lower seat recessed portion 50 that overlaps with the second lower flow groove 12G2 extends continuously in the first direction X along the second lower flow groove 12G2. Furthermore, a lower seat recess 50 may be formed at a position overlapping the third lower flow channel 12G3 in plan view, and the lower seat recess 50 may be formed along the third lower flow channel 12G3. In addition, it extends continuously along the second direction Y in an elongated shape.

また、図６に示すように、下側蒸気流路凹部１２を画定する底面１２ａのうち、平面視で下側シート凹部５０に重なる位置に、下側蒸気流路凹部１２の内側に突出する下側底面凸部５１（第１底面凸部）が設けられている。図６においては、下側底面凸部５１の横断面形状が、下側シート凹部５０と同様の形状に湾曲した例が示されているが、これに限られることはなく、矩形、Ｖ字形、および、これらが組み合わされた形状であってもよい。 In addition, as shown in FIG. 6 , a bottom surface 12a that protrudes inward of the lower steam flow path recessed portion 12 is provided at a position overlapping the lower seat recessed portion 50 in a plan view in the bottom surface 12a that defines the lower steam flow path recessed portion 12. A side bottom surface protrusion 51 (first bottom surface protrusion) is provided. FIG. 6 shows an example in which the cross-sectional shape of the lower bottom surface convex portion 51 is curved in the same shape as the lower seat concave portion 50, but is not limited thereto, and may be rectangular, V-shaped, And it may be a shape in which these are combined.

この下側底面凸部５１は、平面視で、下側シート凹部５０と同様に、互いに隣り合う一対の下側流路壁部１３の間（第１下側流路溝１２Ｇ１に重なる位置）に配置されている。この第１下側流路溝１２Ｇ１に重なる下側底面凸部５１は、第１下側流路溝１２Ｇ１に沿うように、第１方向Ｘに沿って細長く連続して延びている。また、下側底面凸部５１は、下側周縁壁１４と、これに隣り合う下側流路壁部１３との間（第２下側流路溝１２Ｇ２に重なる位置）にも形成されていてもよい。この第２下側流路溝１２Ｇ２に重なる下側底面凸部５１は、第２下側流路溝１２Ｇ２に沿うように、第１方向Ｘに沿って細長く連続して延びている。さらに、第３下側流路溝１２Ｇ３に平面視で重なる位置にも下側底面凸部５１が形成されていてもよく、当該下側底面凸部５１は、第３下側流路溝１２Ｇ３に沿うように、第２方向Ｙに沿って細長くに連続して延びている。すなわち、本形態では、下側底面凸部５１は、後述するように下側シート凹部５０の形成に伴って形成されるため、下側シート凹部５０の平面視位置と同じ位置に、同様の横断面形状で形成されている。なお、各下側底面凸部５１が、上述したように細長く連続して延びていることにより、各下側流路溝１２Ｇ１～１２Ｇ３内における蒸気の流れが妨げられることを防止されている。 In a plan view, the lower bottom surface convex portion 51 is located between a pair of mutually adjacent lower flow channel wall portions 13 (at a position overlapping the first lower flow channel groove 12G1), similarly to the lower seat concave portion 50. are placed. The lower bottom surface convex portion 51 that overlaps the first lower flow groove 12G1 is elongated and continuously extends along the first direction X along the first lower flow groove 12G1. In addition, the lower bottom surface convex portion 51 is also formed between the lower peripheral edge wall 14 and the adjacent lower channel wall portion 13 (position overlapping the second lower channel groove 12G2). good too. The lower bottom surface convex portion 51 that overlaps the second lower flow groove 12G2 is elongated and continuously extends along the first direction X along the second lower flow groove 12G2. Furthermore, a lower bottom surface convex portion 51 may be formed at a position overlapping the third lower flow groove 12G3 in plan view, and the lower bottom surface convex portion 51 may be formed in the third lower flow groove 12G3. , elongated continuously along the second direction Y. That is, in this embodiment, the lower bottom surface convex portion 51 is formed along with the formation of the lower seat concave portion 50 as will be described later. It is formed in a planar shape. It should be noted that each of the lower bottom surface projections 51 is elongated and continuously extended as described above, thereby preventing the flow of steam in each of the lower flow grooves 12G1 to 12G3 from being obstructed.

図６に示すように、下側凹部５０が形成された下側シート１０の下面１０ｂと第一下側流路溝１２Ｇ１との間の部分の厚さｔ３は、下面１０ｂと後述する主流溝３１との間の部分の厚さｔ４よりも小さくなっている。すなわち、ｔ３はｔ４よりも薄くなっている。 As shown in FIG. 6, the thickness t3 of the portion between the lower surface 10b of the lower sheet 10 in which the lower recessed portion 50 is formed and the first lower channel groove 12G1 is smaller than the thickness t4 of the portion between That is, t3 is thinner than t4.

本形態では、上側シート２０は、後述する液流路部３０が設けられていない点を除けば、下側シート１０と略同一の構造を有している。以下に、上側シート２０の構成についてより詳細に説明する。 In this embodiment, the upper sheet 20 has substantially the same structure as the lower sheet 10, except that the liquid flow path section 30, which will be described later, is not provided. The configuration of the upper sheet 20 will be described in more detail below.

図３および図５に示すように、上側シート２０は、下面２０ａに設けられた上側蒸気流路凹部２１（第２蒸気流路凹部）を有している。この上側蒸気流路凹部２１は、密封空間３の一部を構成しており、主として、蒸発部１１で生成された蒸気が通り、当該蒸気を冷却するように構成されている。上側蒸気流路凹部２１は、平面視で下側蒸気流路凹部１２と重なるように形成されている。上側蒸気流路凹部２１の深さは、下側蒸気流路凹部１２の深さｈ０と同一であってもよい。 As shown in FIGS. 3 and 5, the upper sheet 20 has an upper steam channel recess 21 (second steam channel recess) provided in the lower surface 20a. The upper steam flow passage concave portion 21 constitutes a part of the sealed space 3 and is mainly configured so that the steam generated in the evaporating portion 11 passes through and cools the steam. The upper steam channel recess 21 is formed so as to overlap the lower steam channel recess 12 in plan view. The depth of the upper steam channel recess 21 may be the same as the depth h0 of the lower steam channel recess 12 .

本形態では、上側蒸気流路凹部２１は、複数の上側流路溝（すなわち、複数の第１上側流路溝２１Ｇ１と、複数の第２上側流路溝２１Ｇ２と、複数の第３上側流路溝２１Ｇ３と）を有している。各第１上側流路溝２１Ｇ１および第２上側流路溝２１Ｇ２は、それぞれ、第１方向Ｘに延びて蒸気が通るようになっており、第１方向Ｘに直交する第２方向Ｙにおいて互いに異なる位置に間隔を有して配列されている。第３上側流路溝２１Ｇ３は、第２方向Ｙに延びており、第１上側流路溝２１Ｇ１および第２上側流路溝２１Ｇ２の両端部に連通している。本形態では、各上側流路溝２１Ｇ１、２１Ｇ２、２１Ｇ３は、横断面において、湾曲部を有して形成されている。後述する底面２１ａは、上側蒸気流路凹部２１の壁面のうち、上側シート２０の上面２０ｂの側の部分に相当する。 In this embodiment, the upper steam channel recessed portion 21 includes a plurality of upper channel grooves (that is, a plurality of first upper channel grooves 21G1, a plurality of second upper channel grooves 21G2, and a plurality of third upper channel grooves). groove 21G3). Each of the first upper channel grooves 21G1 and the second upper channel grooves 21G2 extends in the first direction X so that the steam passes therethrough, and differs from each other in the second direction Y orthogonal to the first direction X. They are arranged at positions with intervals. The third upper flow groove 21G3 extends in the second direction Y and communicates with both ends of the first upper flow groove 21G1 and the second upper flow groove 21G2. In this embodiment, each upper flow channel groove 21G1, 21G2, 21G3 is formed to have a curved portion in the cross section. A bottom surface 21a, which will be described later, corresponds to a portion of the wall surface of the upper steam channel recess 21 on the side of the upper surface 20b of the upper sheet 20. As shown in FIG.

上側蒸気流路凹部２１内の蒸気は、蒸発部１１から離れる方向に拡散して、その多くは、比較的温度の低い周縁部に向かって輸送される。 The steam in the upper steam passage concave portion 21 diffuses away from the evaporating portion 11, and most of it is transported toward the relatively low-temperature peripheral portion.

また、図３に示すように、上側シート２０の上面２０ｂには、モバイル端末等のハウジングの一部を構成するハウジング部材Ｈが配置される。このことにより、上側蒸気流路凹部２１内の蒸気は、上側シート２０およびハウジング部材Ｈを介して外部によって冷却される。 Further, as shown in FIG. 3, on the upper surface 20b of the upper sheet 20 is arranged a housing member H that constitutes a part of the housing of a mobile terminal or the like. As a result, the steam in the upper steam passage recess 21 is cooled by the outside through the upper sheet 20 and the housing member H.

本形態では、図２、図５および図６に示すように、上側シート２０の上側蒸気流路凹部２１内に、上側蒸気流路凹部２１の底面２１ａから下方（下面２０ａに垂直な方向）に突出する複数の上側流路壁部２２（第２流路壁部）が設けられている。この上側流路壁部２２は、上述した下側流路壁部１３の上面１３ａに接触する下面２２ａ（突出端面）を含んでいる。ここで、上側蒸気流路凹部２１の底面２１ａは、図３等に示すような下側シート１０と上側シート２０との上下配置関係では、天井面と言うこともできるが、上側蒸気流路凹部２１の奥側の面に相当するため、本明細書では底面２１ａと記す。 In this embodiment, as shown in FIGS. 2, 5, and 6, in the upper steam channel recess 21 of the upper sheet 20, from the bottom surface 21a of the upper steam channel recess 21 downward (perpendicular to the lower surface 20a) A plurality of projecting upper channel wall portions 22 (second channel wall portions) are provided. The upper channel wall portion 22 includes a lower surface 22a (protruding end surface) that contacts the upper surface 13a of the lower channel wall portion 13 described above. Here, the bottom surface 21a of the upper steam channel recess 21 can be called a ceiling surface in the vertical arrangement relationship between the lower sheet 10 and the upper sheet 20 as shown in FIG. Since it corresponds to the back surface of 21, it is referred to as bottom surface 21a in this specification.

本形態では、上側流路壁部２２は、第１上側流路溝２１Ｇ１および第２上側流路溝２１Ｇ２に沿って（図５における左右方向）細長く延びている例が示されている。そして、各上側流路壁部２２は、等間隔に離間して、互いに平行に配置されている。この上側流路壁部２２によって、上側蒸気流路凹部２１は、上述した第１上側流路溝２１Ｇ１および第２上側流路溝２１Ｇ２に区画されている。すなわち、互いに隣り合う一対の上側流路壁部２２の間に第１上側流路溝２１Ｇ１が形成されている。同様に、後述する上側周縁壁２３と、これに隣り合う上側流路壁部２２との間に第２上側流路溝２１Ｇ２が形成されている。このようにして、各上側流路壁部２２の周囲を蒸気が流れて、上側蒸気流路凹部２１の周縁部に向かってこれが輸送されるように構成されており、蒸気の流れが妨げられることを抑制している。例えば、第１上側流路溝２１Ｇ１においては、蒸気は第３上側流路溝２１Ｇ３に向かって輸送される。 In this embodiment, an example is shown in which the upper flow path wall portion 22 extends long and narrow along the first upper flow groove 21G1 and the second upper flow groove 21G2 (horizontal direction in FIG. 5). And each upper flow-path wall part 22 is spaced apart by equal intervals, and is mutually arrange|positioned in parallel. The upper steam channel recessed portion 21 is partitioned into the above-described first upper channel groove 21G1 and second upper channel groove 21G2 by the upper channel wall portion 22 . That is, a first upper flow channel groove 21G1 is formed between a pair of upper flow channel wall portions 22 adjacent to each other. Similarly, a second upper channel groove 21G2 is formed between an upper peripheral wall 23, which will be described later, and an upper channel wall portion 22 adjacent thereto. In this manner, the steam flows around each upper flow channel wall portion 22 and is transported toward the peripheral edge portion of the upper steam flow channel concave portion 21, so that the flow of steam is prevented. is suppressed. For example, in the first upper channel groove 21G1, steam is transported toward the third upper channel groove 21G3.

また、上側流路壁部２２は、下側シート１０の対応する下側流路壁部１３に平面視で重なるように配置されており、ベーパーチャンバ１の機械的強度の向上を図っている。なお、図２、図３、図６では、上側流路壁部２２の幅、高さは、上述した下側流路壁部１３の幅ｗ０、高さｈ０と同一である例が示されているが、同一でなくてもよい。また、第１上側流路溝２１Ｇ１の幅は、第１下側流路溝１２Ｇ１の幅と等しくてもよく、大きくても小さくてもよく、第２上側流路溝２１Ｇ２の幅は、第２下側流路溝１２Ｇ２の幅と等しくても大きくても小さくてもよく、第３上側流路溝２１Ｇ３の幅は、第３下側流路溝１２Ｇ３の幅と等しくても大きくても小さくてもよい。 Further, the upper flow path wall portion 22 is arranged so as to overlap the corresponding lower flow path wall portion 13 of the lower sheet 10 in plan view, thereby improving the mechanical strength of the vapor chamber 1 . 2, 3, and 6 show an example in which the width and height of the upper channel wall portion 22 are the same as the width w0 and height h0 of the lower channel wall portion 13 described above. Yes, but they do not have to be the same. Moreover, the width of the first upper flow groove 21G1 may be equal to the width of the first lower flow groove 12G1, or may be larger or smaller. The width of the third upper channel groove 21G3 may be equal to, greater than or smaller than the width of the third lower channel groove 12G3. good too.

図３および図５に示すように、上側シート２０の周縁部には、上側周縁壁２３が設けられている。上側周縁壁２３は、密封空間３、とりわけ上側蒸気流路凹部２１を囲むように形成されており、密封空間３を画定している。また、平面視で上側周縁壁２３の四隅に、下側シート１０と上側シート２０との位置決めをするための上側アライメント孔２４がそれぞれ設けられている。すなわち、各上側アライメント孔２４は、後述する仮止め時に、上述した各下側アライメント孔１５に重なるように配置され、下側シート１０と上側シート２０との位置決めが可能に構成されている。 As shown in FIGS. 3 and 5, an upper peripheral wall 23 is provided at the peripheral edge of the upper sheet 20 . The upper peripheral wall 23 is formed so as to surround the sealed space 3 , particularly the upper steam channel recess 21 , and defines the sealed space 3 . Further, upper alignment holes 24 for positioning the lower sheet 10 and the upper sheet 20 are provided at the four corners of the upper peripheral wall 23 in plan view. That is, each upper alignment hole 24 is arranged so as to overlap with each lower alignment hole 15 described above at the time of temporary fixing, which will be described later, so that the lower sheet 10 and the upper sheet 20 can be positioned.

図６に示すように、上側シート２０の上面２０ｂに、上側蒸気流路凹部２１に向かって凹む上側シート凹部６０（第２シート凹部）が設けられている。この上側シート凹部６０は、上面２０ｂのうち平面視で上側蒸気流路凹部２１に重なる位置に配置されている。図６においては、上側シート凹部６０の横断面形状が湾曲部を有している例が示されているが、これに限られることはなく、矩形、Ｖ字形およびこれらが組み合わされた形状であってもよい。 As shown in FIG. 6, the upper surface 20b of the upper sheet 20 is provided with an upper sheet recess 60 (second sheet recess) that is recessed toward the upper steam flow path recess 21. As shown in FIG. The upper seat recessed portion 60 is arranged at a position overlapping the upper steam flow path recessed portion 21 in plan view on the upper surface 20b. FIG. 6 shows an example in which the cross-sectional shape of the upper seat recessed portion 60 has a curved portion. may

本形態では、上述したように、上側蒸気流路凹部２１内に、複数の上側流路壁部２２が設けられており、上側流路壁部２２によって画定された第１上側流路溝２１Ｇ１、第２上側流路溝２１Ｇ２および第３上側流路溝２１Ｇ３が形成されている。このことにより、上側シート凹部６０は、互いに隣り合う一対の上側流路壁部２２の間（第１上側流路溝２１Ｇ１に重なる位置）に配置されている。この第１上側流路溝２１Ｇ１に重なる上側シート凹部６０は、平面視で、第１上側流路溝２１Ｇ１に沿うように、第１方向Ｘに沿って細長く連続して延びている。また、上側シート凹部６０は、上側周縁壁２３と、これに隣り合う上側流路壁部２２との間（第２上側流路溝２１Ｇ２に重なる位置）にも形成されていてもよい。この第２上側流路溝２１Ｇ２に重なる上側シート凹部６０は、第２上側流路溝２１Ｇ２に沿うように、第１方向Ｘに沿って細長く連続して延びている。さらに、第３上側流路溝２１Ｇ３に平面視で重なる位置にも上側シート凹部６０が形成されていてもよく、当該上側シート凹部６０は、第３上側流路溝２１Ｇ３に沿うように、第２方向Ｙに沿って細長くに連続して延びている。 In this embodiment, as described above, a plurality of upper flow channel wall portions 22 are provided in the upper steam flow channel concave portion 21, and the first upper flow channel grooves 21G1 defined by the upper flow channel wall portions 22, A second upper flow groove 21G2 and a third upper flow groove 21G3 are formed. As a result, the upper seat concave portion 60 is arranged between a pair of upper flow path wall portions 22 adjacent to each other (at a position overlapping the first upper flow path groove 21G1). The upper seat recessed portion 60 that overlaps with the first upper flow groove 21G1 is elongated and continuously extends along the first direction X along the first upper flow groove 21G1 in plan view. Further, the upper seat recess 60 may also be formed between the upper peripheral wall 23 and the adjacent upper channel wall 22 (at a position overlapping the second upper channel groove 21G2). The upper seat concave portion 60 that overlaps with the second upper flow groove 21G2 is elongated and continuously extends along the first direction X along the second upper flow groove 21G2. Furthermore, an upper seat recess 60 may be formed at a position that overlaps the third upper flow channel 21G3 in plan view, and the upper seat recess 60 may extend along the third upper flow channel 21G3 so as to extend along the second upper flow channel 21G3. It extends continuously along the direction Y in an elongated fashion.

また、図６に示すように、上側蒸気流路凹部２１を画定する底面２１ａのうち、平面視で上側シート凹部６０に重なる位置に、上側蒸気流路凹部２１の内側に突出する上側底面凸部６１（第２底面凸部）が設けられている。図６においては、上側底面凸部６１の横断面形状が、上側シート凹部６０と同様の形状で湾曲部を有している例が示されているが、これに限られることはなく、矩形、Ｖ字形およびこれらを組み合わせた形状であってもよい。 Further, as shown in FIG. 6 , an upper bottom surface convex portion protruding inward of the upper steam channel recessed portion 21 is provided at a position overlapping the upper sheet recessed portion 60 in plan view in the bottom surface 21 a defining the upper steam channel recessed portion 21 . 61 (second bottom projection) is provided. FIG. 6 shows an example in which the cross-sectional shape of the upper bottom surface convex portion 61 has a curved portion in the same shape as the upper sheet concave portion 60, but is not limited to this, and may be rectangular, It may be V-shaped or a combination thereof.

この上側底面凸部６１は、平面視で、上側シート凹部６０と同様に、互いに隣り合う一対の上側流路壁部２２の間（第１上側流路溝２１Ｇ１に重なる位置）に配置されている。この第１上側流路溝２１Ｇ１に重なる上側底面凸部６１は、第１上側流路溝２１Ｇ１に沿うように、第１方向Ｘに沿って細長く連続して延びている。また、上側底面凸部６１は、上側周縁壁２３と、これに隣り合う上側流路壁部２２との間（第２上側流路溝２１Ｇ２に重なる位置）にも形成されていてもよい。この第２上側流路溝２１Ｇ２に重なる上側底面凸部６１は、第２上側流路溝２１Ｇ２に沿うように、第１方向Ｘに沿って細長く連続して延びている。さらに、第３上側流路溝２１Ｇ３に平面視で重なる位置にも上側底面凸部６１が形成されていてもよく、当該上側底面凸部６１は、第３上側流路溝２１Ｇ３に沿うように、第２方向Ｙに沿って細長く連続して延びている。すなわち、本形態では、上側底面凸部６１は、後述するように上側シート凹部６０の形成に伴って形成されるため、上側シート凹部６０の平面位置と同じ位置に、同様の横断面形状で形成されている。なお、各上側底面凸部６１が、上述したように細長く連続して延びていることにより、各上側流路溝２１Ｇ１～２１Ｇ３内における蒸気の流れが妨げられることを防止されている。 The upper bottom surface convex portion 61 is arranged between a pair of mutually adjacent upper flow channel wall portions 22 (at a position overlapping the first upper flow channel groove 21G1) in plan view, similarly to the upper seat concave portion 60. . The upper bottom surface convex portion 61 that overlaps with the first upper flow groove 21G1 is elongated and continuously extends along the first direction X along the first upper flow groove 21G1. The upper bottom surface convex portion 61 may also be formed between the upper peripheral edge wall 23 and the adjacent upper flow channel wall portion 22 (position overlapping the second upper flow channel groove 21G2). The upper bottom surface convex portion 61 that overlaps with the second upper flow groove 21G2 is elongated and continuously extends along the first direction X along the second upper flow groove 21G2. Furthermore, an upper bottom surface protrusion 61 may be formed at a position overlapping the third upper flow groove 21G3 in a plan view, and the upper bottom surface protrusion 61 is formed along the third upper flow groove 21G3. It extends continuously in the second direction Y and is elongated. That is, in this embodiment, the upper bottom surface convex portion 61 is formed along with the formation of the upper seat concave portion 60 as will be described later. It is It should be noted that the upper bottom surface protrusions 61 are elongated and continuously extended as described above, so that the flow of steam in the upper flow grooves 21G1 to 21G3 is prevented from being obstructed.

図６においては、上側シート２０の上面２０ｂと上側蒸気流路凹部２１との間の部分の厚さｔ５は、下側シート１０の上述した厚さｔ３と等しくなっている。しかしながら、この厚さｔ５は、厚さｔ３とは異なっていてもよい。 In FIG. 6, the thickness t5 of the portion between the upper surface 20b of the upper sheet 20 and the upper steam channel recess 21 is equal to the thickness t3 of the lower sheet 10 described above. However, this thickness t5 may be different from the thickness t3.

このような下側シート１０と上側シート２０とは、好適には拡散接合で、互いに恒久的に接合されている。より具体的には、図３に示すように、下側シート１０の下側周縁壁１４の上面１４ａと、上側シート２０の上側周縁壁２３の下面２３ａとが接触し、下側周縁壁１４と上側周縁壁２３とが互いに接合されている。このことにより、下側シート１０と上側シート２０との間に、作動流体を密封した密封空間３が形成されている。また、下側シート１０の下側流路壁部１３の上面１３ａと、上側シート２０の上側流路壁部２２の下面２２ａとが接触し、各下側流路壁部１３と対応する上側流路壁部２２とが互いに接合されている。このことにより、ベーパーチャンバ１の機械的強度を向上させている。本形態による下側流路壁部１３および上側流路壁部２２は等間隔に配置されている場合には、ベーパーチャンバ１の各位置における機械的強度を均等に近づけることができる。なお、下側シート１０と上側シート２０とは、拡散接合ではなく、恒久的に接合できれば、ろう付け等の他の方式で接合されていてもよい。ここで、「恒久的に接合」とは、厳密な意味に縛られることはなく、ベーパーチャンバ１の動作時に、密封空間３の密封性を維持可能な程度に、下側シート１０の上面１０ａと上側シート２０の下面２０ａとの接合を維持できる程度に接合されていることを意味する。 Such lower sheet 10 and upper sheet 20 are permanently bonded together, preferably by diffusion bonding. More specifically, as shown in FIG. 3, the upper surface 14a of the lower peripheral wall 14 of the lower sheet 10 and the lower surface 23a of the upper peripheral wall 23 of the upper sheet 20 are in contact with each other, The upper peripheral wall 23 is joined together. As a result, a sealed space 3 is formed between the lower sheet 10 and the upper sheet 20 to seal the working fluid. In addition, the upper surface 13a of the lower flow path wall portion 13 of the lower sheet 10 and the lower surface 22a of the upper flow path wall portion 22 of the upper sheet 20 are in contact with each other, and the upper flow path corresponding to each lower flow path wall portion 13 is formed. The road wall portion 22 is joined to each other. This improves the mechanical strength of the vapor chamber 1 . When the lower channel wall portion 13 and the upper channel wall portion 22 according to the present embodiment are arranged at regular intervals, the mechanical strength at each position of the vapor chamber 1 can be made nearly equal. The lower sheet 10 and the upper sheet 20 may be joined by other methods such as brazing instead of diffusion joining as long as they can be joined permanently. Here, the term "permanently joined" is not limited to a strict meaning. It means that the upper sheet 20 is bonded to the lower surface 20a of the upper sheet 20 to such an extent that the bonding can be maintained.

また、図２に示すように、ベーパーチャンバ１は、長手方向における一対の端部のうちの一方の端部に、密封空間３に作動液を注入する注入部４を更に備えている。この注入部４は、図４および図５に示すように、下側シート１０の端面から突出する下側注入突出部１６と、上側シート２０の端面から突出する上側注入突出部２５と、を有している。このうち下側注入突出部１６の上面に下側注入流路凹部１７が形成され、上側注入突出部２５の下面に上側注入流路凹部２６が形成されている。下側注入流路凹部１７は、下側蒸気流路凹部１２（より詳細には、一方の第３下側流路溝１２Ｇ３）に連通しており、上側注入流路凹部２６は、上側蒸気流路凹部２１（より詳細には、一方の第３上側流路溝２１Ｇ３）に連通している。下側注入流路凹部１７および上側注入流路凹部２６は、下側シート１０と上側シート２０とが接合された際、作動液の注入流路を形成する。当該注入流路を通過して作動液は密封空間３に注入される。なお、本形態では、注入部４は、ベーパーチャンバ１の長手方向における一対の端部のうちの一方の端部に設けられている例が示されているが、これに限られることはなく、他のいずれかの端部に配置されていてもよく、複数配置されてもよい。複数配置される場合には例えばベーパーチャンバ１の長手方向における一対の端部のそれぞれに配置されてもよいし、他の一対の端部のうちの一方の端部に配置されもよい。 In addition, as shown in FIG. 2, the vapor chamber 1 further includes an injection part 4 for injecting the working fluid into the sealed space 3 at one of the pair of ends in the longitudinal direction. As shown in FIGS. 4 and 5, the injection part 4 has a lower injection projection 16 projecting from the end surface of the lower sheet 10 and an upper injection projection 25 projecting from the end surface of the upper sheet 20. are doing. A lower injection channel recess 17 is formed on the upper surface of the lower injection projection 16 , and an upper injection channel recess 26 is formed on the lower surface of the upper injection projection 25 . The lower injection channel recess 17 communicates with the lower steam channel recess 12 (more specifically, one third lower channel groove 12G3), and the upper injection channel recess 26 communicates with the upper steam flow channel. It communicates with the passage recess 21 (more specifically, one third upper passage groove 21G3). The lower injection channel recess 17 and the upper injection channel recess 26 form injection channels for the hydraulic fluid when the lower sheet 10 and the upper sheet 20 are joined together. The working fluid is injected into the sealed space 3 through the injection channel. In addition, in this embodiment, an example in which the injection part 4 is provided at one end of a pair of ends in the longitudinal direction of the vapor chamber 1 is shown, but it is not limited to this. It may be arranged at any other end, or a plurality thereof may be arranged. When a plurality of them are arranged, for example, they may be arranged at each of a pair of ends in the longitudinal direction of the vapor chamber 1, or may be arranged at one end of the other pair of ends.

また、図４、図７および図８に示すように、各下側流路壁部１３の上面１３ａに、作動液２が通る下側液流路部３０が設けられている。下側液流路部３０は、上述した密封空間３の一部を構成しており、上述した下側蒸気流路凹部１２および上側蒸気流路凹部２１に連通している。 Further, as shown in FIGS. 4, 7 and 8, the upper surface 13a of each lower flow path wall 13 is provided with a lower liquid flow path 30 through which the working fluid 2 passes. The lower liquid flow path portion 30 constitutes a part of the sealed space 3 described above, and communicates with the lower steam flow path recessed portion 12 and the upper steam flow path recessed portion 21 described above.

下側液流路部３０は、複数の主流溝３１を有している。各主流溝３１は、それぞれ、下側流路壁部１３が延びる方向に沿って第１方向Ｘに延びて作動液２が通るようになっており、第１方向Ｘに直交する第２方向Ｙにおいて互いに異なる位置に間隔を有して配列されている。主流溝３１は、主として、蒸発部１１で生成された蒸気から凝縮した作動液２を蒸発部１１に向けて輸送するように構成されている。 The lower liquid flow path section 30 has a plurality of mainstream grooves 31 . Each mainstream groove 31 extends in the first direction X along the direction in which the lower flow path wall portion 13 extends, and the hydraulic fluid 2 passes through it. are arranged at intervals in different positions. The main groove 31 is mainly configured to transport the working fluid 2 condensed from the vapor generated in the evaporator 11 toward the evaporator 11 .

本形態では、主流溝３１は、下側流路壁部１３の長手方向（第１方向Ｘ）に沿って、細長く延びている例が示されており、下側流路壁部１３の長手方向における一端から他端まで延びている。そして、各主流溝３１は下側蒸気流路凹部１２の第３下側流路溝１２Ｇ３に連通している。このようにして、下側蒸気流路凹部１２の周縁部および上側蒸気流路凹部２１の周縁部において凝縮した作動液２を、毛細管作用によって蒸発部１１に向けて輸送するようになっている。１つの下側流路壁部１３の上面１３ａには、複数の主流溝３１が形成されており、各主流溝３１は、等間隔に離間して、互いに平行に配置されている。本形態においては、主流溝３１の横断面が、全体的に湾曲した形状である例が示されているが、主流溝３１の横断面形状は、毛細管作用を奏することができれば任意である。従って、溝の横断面形状が入隅部、出隅を有する形状およびこれらが組み合わされた形状であってもよい。
本形態では各主流溝３１は等間隔に離間して互いに平行に配置されているが、これに限られることは無く、毛細管作用を奏することができれば間隔がばらついても良く、また平行でなくても良い。さらに、各下側流路壁部１３において主流溝３１の数はばらついていても良く、下側流路壁部１３に主流溝３１が無い部分があっても良い。 In this embodiment, the mainstream groove 31 is elongated along the longitudinal direction (the first direction X) of the lower channel wall portion 13 , and the longitudinal direction of the lower channel wall portion 13 is shown. extends from one end to the other in the Each mainstream groove 31 communicates with the third lower flow channel groove 12G3 of the lower steam flow channel concave portion 12. As shown in FIG. In this manner, the working fluid 2 condensed at the peripheral edge of the lower steam channel recess 12 and the peripheral edge of the upper steam channel recess 21 is transported toward the evaporator 11 by capillary action. A plurality of mainstream grooves 31 are formed in the upper surface 13a of one lower flow path wall portion 13, and the respective mainstream grooves 31 are arranged in parallel with each other at regular intervals. In this embodiment, an example in which the cross section of the main groove 31 has a curved shape as a whole is shown, but the cross section of the main groove 31 may have any shape as long as it can exert a capillary action. Therefore, the cross-sectional shape of the groove may be a shape having an internal corner portion, an external corner portion, or a shape in which these are combined.
In this embodiment, the main flow grooves 31 are arranged parallel to each other at equal intervals, but the present invention is not limited to this arrangement. Also good. Furthermore, the number of main grooves 31 may vary in each lower flow path wall portion 13 , and the lower flow path wall portion 13 may have a portion without main flow grooves 31 .

なお、図示しないが、主流溝３１を横切る方向（例えば第２方向Ｙ）に延びる複数の連絡溝（図示せず）が設けられて、これらの連絡溝が、主流溝３１同士を連通するとともに、主流溝３１と下側蒸気流路凹部１２とを連通するようにしてもよい。
または、蒸発部１１において、上側流路壁部２２の下面２２ａを下側流路壁部１３の上面１３ａから離して隙間があるようにしてもよい。この場合、当該上面１３ａと当該下面２２ａとの間の空間が下側蒸気流路凹部１２および上側蒸気流路凹部２１に連通するため、各主流溝３１を、各蒸気流路凹部１２、２１に連通させることができる。 Although not shown, a plurality of communication grooves (not shown) extending in a direction (for example, the second direction Y) crossing the main grooves 31 are provided, and these communication grooves communicate the main grooves 31 with each other. The main groove 31 and the lower steam flow channel concave portion 12 may be communicated with each other.
Alternatively, in the evaporating section 11, the lower surface 22a of the upper channel wall portion 22 may be separated from the upper surface 13a of the lower channel wall portion 13 so that there is a gap. In this case, since the space between the upper surface 13 a and the lower surface 22 a communicates with the lower steam flow channel recess 12 and the upper steam flow channel recess 21 , the main grooves 31 are connected to the steam flow channel recesses 12 and 21 . can be communicated.

下側シート１０の上面１０ａにおいて、図８に示す主流溝３１の幅ｗ２は、図７に示す下側流路壁部１３の幅ｗ０よりも小さくなっている。このことにより、主流溝３１は、蒸気から凝縮した作動液２で充填されて、充填された液状の作動液２が、毛細管作用によって蒸発部１１に向かって輸送される。一方、各下側流路溝１２Ｇ１、１２Ｇ２、１２Ｇ３および各上側流路溝２１Ｇ１、２１Ｇ２、２１Ｇ３は、主流溝３１の流路断面積よりも大きい流路断面積を有し、主として、蒸発部１１で生成された蒸気が通過するようになる。
より具体的には、各下側流路溝１２Ｇ１、１２Ｇ２、１２Ｇ３および各上側流路溝２１Ｇ１、２１Ｇ２、２１Ｇ３により形成され主として蒸気が通過する流路を第１流路とし、主流溝３１により形成され主として作動液が通過する流路を第２流路としたとき、第２流路の流路断面積は、第１流路の流路断面積より小さくされている。より具体的には、隣り合う２つの第１流路の平均の流路断面積をＡｇとし、当該隣り合う２つの第１流路の間に配置される複数の第２流路の平均の流路断面積をＡｌとしたとき、第２流路と第１流路とは、ＡｌがＡｇの０．５倍以下の関係にあるものとし、好ましくは０．２５倍以下である。この関係はベーパーチャンバ全体のうち少なくとも一部において満たせばよく、ベーパーチャンバの全部でこれを満たせばさらに好ましい。 On the upper surface 10a of the lower sheet 10, the width w2 of the main groove 31 shown in FIG. 8 is smaller than the width w0 of the lower flow path wall portion 13 shown in FIG. As a result, the main groove 31 is filled with the working fluid 2 condensed from the vapor, and the filled liquid working fluid 2 is transported toward the evaporator 11 by capillary action. On the other hand, each of the lower channel grooves 12G1, 12G2, 12G3 and each of the upper channel grooves 21G1, 21G2, 21G3 has a larger channel cross-sectional area than the main channel 31, Vapor generated in will pass through.
More specifically, the first flow path is formed by the lower flow grooves 12G1, 12G2, 12G3 and the upper flow grooves 21G1, 21G2, 21G3 and through which steam mainly passes, and is formed by the main flow groove 31. When the channel through which the working fluid mainly passes is the second channel, the channel cross-sectional area of the second channel is made smaller than the channel cross-sectional area of the first channel. More specifically, the average flow channel cross-sectional area of two adjacent first flow channels is Ag, and the average flow of a plurality of second flow channels arranged between the two adjacent first flow channels is When the cross-sectional area of the passage is Al, the second channel and the first channel have a relationship in which Al is 0.5 times or less, preferably 0.25 times or less, that of Ag. This relationship may be satisfied in at least a portion of the entire vapor chamber, and more preferably in the entire vapor chamber.

主流溝３１の幅ｗ２は、主流溝３１の長手方向に直交する方向における主流溝３１の寸法を意味しており、例えば、図７における上下方向の寸法、または図８における左右方向の寸法に相当する。
幅ｗ２は、１０００μｍ以下であることが好ましく、５００μｍ以下であってもよく、２００μｍ以下であってもよい。一方、幅ｗ２は、３０μｍ以上であることが好ましく、４５μｍ以上であってもよく、６０μｍ以上であってもよい。また、幅ｗ２の範囲は、この複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅ｗ２の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また、主流溝３１の深さｈ１は、幅ｗ２の大きさにもよるが、下側蒸気流路凹部１２の深さｈ０よりも小さいことが好ましい。深さｈ１は、２００μｍ以下であることが好ましく、１５０μｍ以下であってもよく、１００μｍ以下であってもよい。一方、深さｈ１は、５μｍ以上であることが好ましく、１０μｍ以上であってもよく、２０μｍ以上であってもよい。また、深さｈ１の範囲は、この複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さｈ１の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。上述した連絡溝の深さも同様である。 The width w2 of the main groove 31 means the dimension of the main groove 31 in the direction orthogonal to the longitudinal direction of the main groove 31, and corresponds to, for example, the vertical dimension in FIG. 7 or the horizontal dimension in FIG. do.
The width w2 is preferably 1000 μm or less, may be 500 μm or less, or may be 200 μm or less. On the other hand, the width w2 is preferably 30 μm or more, may be 45 μm or more, or may be 60 μm or more. Also, the range of the width w2 may be determined by a combination of any one of the plurality of upper limit candidate values and one of the plurality of lower limit candidate values. Also, the range of width w2 may be determined by combining any two of a plurality of upper limit candidate values or by combining any two of a plurality of lower limit candidate values.
Also, the depth h1 of the main groove 31 is preferably smaller than the depth h0 of the lower steam flow channel concave portion 12, although it depends on the size of the width w2. The depth h1 is preferably 200 μm or less, may be 150 μm or less, or may be 100 μm or less. On the other hand, the depth h1 is preferably 5 μm or more, may be 10 μm or more, or may be 20 μm or more. Also, the range of depth h1 may be defined by a combination of any one of the plurality of upper limit candidate values and one of the plurality of lower limit candidate values. Also, the range of depth h1 may be determined by combining any two of a plurality of upper limit candidate values or by combining any two of a plurality of lower limit candidate values. The same applies to the depth of the communication groove described above.

このような主流溝３１は、下側シート１０の下側流路壁部１３の上面１３ａに形成されている。一方、本形態では、上側シート２０の上側流路壁部２２の下面２２ａには、主流溝は形成されていない。すなわち、当該下面２２ａは、平坦状に形成されており、主流溝３１に露出されている。このようにして、主流溝３１の横断面において、主流溝３１の全体が、上側流路壁部２２の平坦状の下面２２ａで覆われている。 Such a mainstream groove 31 is formed in the upper surface 13 a of the lower flow path wall portion 13 of the lower sheet 10 . On the other hand, in this embodiment, the main flow groove is not formed in the lower surface 22a of the upper flow path wall portion 22 of the upper sheet 20. As shown in FIG. That is, the lower surface 22 a is flat and exposed to the main groove 31 . In this manner, in the cross section of the main groove 31 , the entire main groove 31 is covered with the flat lower surface 22 a of the upper flow path wall portion 22 .

ただしこれに限定されることはなく、図９に示したように上側シート２０にも主流溝３２が設けられてもよい。そのときには上記した下側シート１０の主流溝３１と同様に考えることができる。従って図９示した例では主流溝３１および主流溝３２が重なることにより第２流路とされている。
このほか、上側シート２０の主流溝３２と下側シート１０の主流溝３１とが重ならずに別々の第２流路となるようにしてもよい。 However, the present invention is not limited to this, and the upper sheet 20 may also be provided with the mainstream groove 32 as shown in FIG. In that case, it can be considered in the same way as the mainstream groove 31 of the lower seat 10 described above. Therefore, in the example shown in FIG. 9, the main groove 31 and the main groove 32 are overlapped to form the second flow path.
Alternatively, the main groove 32 of the upper sheet 20 and the main groove 31 of the lower sheet 10 may be separate second flow paths without overlapping.

下側シート１０および上側シート２０に用いる材料は、熱伝導率が良好な材料であれば特に限られることはないが、例えば、下側シート１０および上側シート２０は、銅または銅合金により形成されていることが好適である。このことにより、下側シート１０および上側シート２０の熱伝導率を高めることができる。このため、ベーパーチャンバ１の熱輸送効率を高めることができる。あるいは、所望の放熱効率を得ることができれば、これらの下側シート１０および上側シート２０には、アルミニウム等の他の金属材料や、ステンレスなどの他の金属合金材料を用いることもできる。
ただし、必ずしも金属材料、金属合金材料である必要はなく、例えばＡｌＮ、Ｓｉ_３Ｎ_４、又はＡｌ_２Ｏ_３などセラミックスや、ポリイミドやエポキシなど樹脂も可能である。
また、下側シート１０および上側シート２０の一方と他方で材料が異なってもよく、１つシート内で２種類以上の材料を積層したものを用いてもよいし、部位によって材料が異なってもよい。 Materials used for the lower sheet 10 and the upper sheet 20 are not particularly limited as long as they have good thermal conductivity. For example, the lower sheet 10 and the upper sheet 20 are made of copper or a copper alloy. It is preferred that Thereby, the thermal conductivity of the lower sheet 10 and the upper sheet 20 can be increased. Therefore, the heat transport efficiency of the vapor chamber 1 can be enhanced. Alternatively, other metal materials such as aluminum or other metal alloy materials such as stainless steel can be used for the lower sheet 10 and the upper sheet 20 as long as the desired heat radiation efficiency can be obtained.
However, it does not necessarily have to be a metal material or a metal alloy material, and ceramics such as AlN, Si ₃ N ₄ or Al ₂ O ₃ and resins such as polyimide and epoxy are also possible.
In addition, one of the lower sheet 10 and the upper sheet 20 may be made of different materials, one sheet may be formed by laminating two or more kinds of materials, or the materials may be different depending on the part. good.

また、図６に示すように、ベーパーチャンバ１の厚さＴ０は、１．０ｍｍ以下であることが好ましく、０．７５ｍｍ以下であってもよく、０．５ｍｍ以下であってもよい。一方、厚さＴ０は、０．１ｍｍ以上であることが好ましく、０．１５ｍｍ以上であってもよく、０．２ｍｍ以上であってもよい。また、厚さＴ０の範囲は、この複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、厚さＴ０の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
本形態では下側シート１０の厚さＴ１および上側シート２０の厚さＴ２が等しい場合を示しているが、これに限られることはなく、下側シート１０の厚さＴ１と上側シート２０の厚さＴ２は、等しくなくてもよい。 Further, as shown in FIG. 6, the thickness T0 of the vapor chamber 1 is preferably 1.0 mm or less, may be 0.75 mm or less, or may be 0.5 mm or less. On the other hand, the thickness T0 is preferably 0.1 mm or more, may be 0.15 mm or more, or may be 0.2 mm or more. Also, the range of the thickness T0 may be determined by a combination of any one of the plurality of upper limit candidate values and one of the plurality of lower limit candidate values. Also, the range of the thickness T0 may be determined by combining any two of a plurality of upper limit candidate values or by combining any two of a plurality of lower limit candidate values.
In this embodiment, the thickness T1 of the lower sheet 10 and the thickness T2 of the upper sheet 20 are equal, but the thickness T1 of the lower sheet 10 and the thickness T2 of the upper sheet 20 are not limited to this. The heights T2 need not be equal.

次に、このような構成からなるベーパーチャンバ１の形態の作用について説明する。ここでは、まず、ベーパーチャンバ１の製造方法について、図１０～図１７を用いて説明するが、上側シート２０のハーフエッチング工程の説明は簡略化する。なお、図１０～図１７では、図６の断面図と同様の断面を示している。 Next, the operation of the form of the vapor chamber 1 having such a configuration will be described. Here, first, the manufacturing method of the vapor chamber 1 will be described with reference to FIGS. 10 to 17, but the description of the half-etching process for the upper sheet 20 will be simplified. 10 to 17 show cross sections similar to the cross sectional view of FIG.

まず、図１０に示すように、第１準備工程として、上面Ｍ１ａ（第１シート側面）と、上面Ｍ１ａの反対側に設けられた下面Ｍ１ｂ（第１反対側面）と、を有する平板状の下側材料シートＭ１を準備する。 First, as shown in FIG. 10, as a first preparation step, a plate-shaped lower surface having an upper surface M1a (first sheet side surface) and a lower surface M1b (first opposite side surface) provided on the opposite side of the upper surface M1a A side material sheet M1 is prepared.

第１準備工程の後、下側流路溝形成工程として、図１１に示すように、下側材料シートＭ１がハーフエッチングされて、密封空間３の一部を構成する下側蒸気流路凹部１２および下側液流路部３０が形成される。 After the first preparatory step, as a lower channel groove forming step, as shown in FIG. and a lower liquid flow path portion 30 are formed.

この場合、まず、下側材料シートＭ１の上面Ｍ１ａに、図示しないレジスト膜が形成される。レジスト膜には、電界によって付着可能な電着レジスト材料を好適に使用することができるが、下側材料シートＭ１にレジスト膜を形成することができれば、液状のレジスト材料など他の材料を用いてもよい。 In this case, first, a resist film (not shown) is formed on the upper surface M1a of the lower material sheet M1. For the resist film, an electrodeposition resist material that can be adhered by an electric field can be preferably used. good too.

続いて、レジスト膜が、フォトリソグラフィー技術を用いてパターン化され、レジスト開口（図示せず）が形成される。 Subsequently, the resist film is patterned using a photolithographic technique to form resist openings (not shown).

次に、下側材料シートＭ１の上面Ｍ１ａがハーフエッチングされる。このことにより、当該上面Ｍ１ａのうちレジスト膜のレジスト開口に対応する部分がハーフエッチングされて、第１下側流路溝１２Ｇ１、第２下側流路溝１２Ｇ２および第３下側流路溝１２Ｇ３を有する下側蒸気流路凹部１２と、下側流路壁部１３と、下側周縁壁１４（図３参照）とが形成される。この際、下側流路壁部１３の上面１３ａに、主流溝３１を有する下側液流路部３０が形成される。また、図４に示すような外形輪郭形状を有するように、下側材料シートＭ１が上面Ｍ１ａおよび下面Ｍ１ｂからエッチングされて、所定の外形輪郭形状が得られる。なお、ハーフエッチングとは、材料を貫通しないような凹部を形成するためのエッチングを意味している。このため、ハーフエッチングにより形成される凹部の深さは、下側シート１０の厚さの半分であることには限られない。エッチング液には、例えば、塩化第二鉄水溶液等の塩化鉄系エッチング液、または塩化銅水溶液等の塩化銅系エッチング液を用いることができる。 Next, the upper surface M1a of the lower material sheet M1 is half-etched. As a result, portions of the upper surface M1a corresponding to the resist openings of the resist film are half-etched to form the first lower channel groove 12G1, the second lower channel groove 12G2, and the third lower channel groove 12G3. a lower steam channel recess 12, a lower channel wall portion 13, and a lower peripheral wall 14 (see FIG. 3) are formed. At this time, the lower liquid channel portion 30 having the main groove 31 is formed on the upper surface 13 a of the lower channel wall portion 13 . Further, the lower material sheet M1 is etched from the upper surface M1a and the lower surface M1b so as to have the contour shape as shown in FIG. 4 to obtain the predetermined contour shape. Note that half-etching means etching for forming recesses that do not penetrate the material. Therefore, the depth of the recess formed by half-etching is not limited to half the thickness of the lower sheet 10 . As the etchant, for example, an iron chloride-based etchant such as an aqueous ferric chloride solution or a copper chloride-based etchant such as an aqueous copper chloride solution can be used.

その後、レジスト膜が除去される。このように、一度のハーフエッチング工程によって、下側蒸気流路凹部１２および下側液流路部３０などを形成することにより、ハーフエッチング工程の回数を削減することができ、ベーパーチャンバ１の製造コストの低減を図ることができる。しかしながら、このことに限られることはなく、第１のハーフエッチング工程として、下側蒸気流路凹部１２を形成し、その後の第２のハーフエッチング工程として、下側液流路部３０を形成するようにしてもよい。この場合には、下側蒸気流路凹部１２の深さｈ０と、下側液流路部３０（すなわち、主流溝３１および連絡溝）の深さｈ１とを容易に異ならせることができる。 After that, the resist film is removed. In this way, by forming the lower vapor channel concave portion 12 and the lower liquid channel portion 30 in one half-etching process, the number of half-etching processes can be reduced, and the vapor chamber 1 can be manufactured. Cost can be reduced. However, the present invention is not limited to this, and the lower vapor channel concave portion 12 is formed in the first half-etching step, and the lower liquid channel portion 30 is formed in the subsequent second half-etching step. You may do so. In this case, the depth h0 of the lower steam channel recessed portion 12 and the depth h1 of the lower liquid channel portion 30 (that is, the main groove 31 and the communication groove) can be easily made different.

このようにして、本形態の下側シート１０が作製される。 Thus, the lower sheet 10 of this embodiment is manufactured.

一方、下側シート１０と同様にして、上側シート２０が作製される。 On the other hand, the upper sheet 20 is produced in the same manner as the lower sheet 10 .

まず、図１２に示すように、第２準備工程として、下面Ｍ２ａ（第２シート側面）と、下面Ｍ２ａの反対側に設けられた上面Ｍ２ｂ（第２反対側面）と、を有する平板状の上側材料シートＭ２を準備する。 First, as shown in FIG. 12, as a second preparation step, a flat upper side having a lower surface M2a (second sheet side surface) and an upper surface M2b (second opposite side surface) provided on the opposite side of the lower surface M2a Prepare material sheet M2.

第２準備工程の後、上側流路溝形成工程として、図１３に示すように、上側材料シートＭ２がハーフエッチングされて、密封空間３の一部を構成する上側蒸気流路凹部２１が形成される。この場合、下側流路溝形成工程と同様にして、上側材料シートＭ２の下面Ｍ２ａがハーフエッチングされることにより、下面Ｍ２ａに、第１上側流路溝２１Ｇ１、第２上側流路溝２１Ｇ２および第３上側流路溝２１Ｇ３を有する上側蒸気流路凹部２１と、上側流路壁部２２と、上側周縁壁２３（図３参照）とが形成される。また、図５に示すような外形輪郭形状を有するように、上側材料シートＭ２が下面Ｍ２ａおよび上面Ｍ２ｂからエッチングされて、所定の外形輪郭形状が得られる。 After the second preparation step, as an upper flow path groove forming step, as shown in FIG. 13, the upper material sheet M2 is half-etched to form the upper steam flow path concave portion 21 forming part of the sealed space 3. be. In this case, the lower surface M2a of the upper material sheet M2 is half-etched in the same manner as in the lower flow groove forming step, so that the lower surface M2a is formed with the first upper flow groove 21G1, the second upper flow groove 21G2, and the lower surface M2a. An upper steam channel recess 21 having a third upper channel groove 21G3, an upper channel wall portion 22, and an upper peripheral edge wall 23 (see FIG. 3) are formed. Also, the upper material sheet M2 is etched from the lower surface M2a and the upper surface M2b so as to have the contour shape as shown in FIG. 5 to obtain the predetermined contour shape.

このようにして、本形態の上側シート２０が作製される。 Thus, the upper sheet 20 of this embodiment is produced.

下側流路溝形成工程および上側流路溝形成工程の後、仮止め工程として、図１４に示すように、下側蒸気流路凹部１２を有する下側シート１０と、上側蒸気流路凹部２１を有する上側シート２０とが仮止めされる。この場合、まず、下側シート１０の下側アライメント孔１５（図２および図４参照）と上側シート２０の上側アライメント孔２４（図２および図５参照）とを利用して、下側シート１０と上側シート２０とが位置決めされる。続いて、下側シート１０と上側シート２０とが固定される。固定の方法としては、特に限られることはないが、例えば、下側シート１０と上側シート２０とに対して抵抗溶接を行うことによって下側シート１０と上側シート２０とを固定してもよい。この場合、図１４に示すように、電極棒４０を用いて、下側周縁壁１４および上側周縁壁２３を、スポット的に抵抗溶接を行うことが好適である。抵抗溶接の代わりにレーザ溶接を行ってもよい。あるいは、超音波を照射して下側シート１０と上側シート２０とを超音波接合して固定してもよい。さらには、接着剤を用いてもよいが、有機成分を有しないか、若しくは有機成分が少ない接着剤を用いることが好適である。このようにして、下側シート１０と上側シート２０とが、位置決めされた状態で固定される。 After the lower flow path groove forming process and the upper flow path groove forming process, as shown in FIG. and the upper sheet 20 having are temporarily fixed. In this case, the lower sheet 10 is first aligned using the lower alignment hole 15 (see FIGS. 2 and 4) of the lower sheet 10 and the upper alignment hole 24 (see FIGS. 2 and 5) of the upper sheet 20. and the upper sheet 20 are positioned. Subsequently, the lower sheet 10 and the upper sheet 20 are fixed. The fixing method is not particularly limited, but for example, the lower sheet 10 and the upper sheet 20 may be fixed by performing resistance welding on the lower sheet 10 and the upper sheet 20 . In this case, as shown in FIG. 14, it is preferable to perform spot resistance welding of the lower peripheral edge wall 14 and the upper peripheral edge wall 23 using an electrode rod 40 . Laser welding may be performed instead of resistance welding. Alternatively, the lower sheet 10 and the upper sheet 20 may be ultrasonically bonded and fixed by irradiating ultrasonic waves. Furthermore, although an adhesive may be used, it is preferable to use an adhesive that does not have an organic component or has a small amount of an organic component. Thus, the lower sheet 10 and the upper sheet 20 are fixed in a positioned state.

仮止め工程の後、接合工程として、図１５に示すように、下側シート１０と上側シート２０とが、拡散接合によって恒久的に接合される。拡散接合とは、接合する下側シート１０と上側シート２０とを密着させ、真空や不活性ガス中などの制御された雰囲気中で、各シート１０、２０を密着させる方向に加圧するとともに加熱して、接合面に生じる原子の拡散を利用して接合する方法である。拡散接合は、下側シート１０および上側シート２０の材料を融点に近い温度まで加熱するが、融点よりは低いため、各シート１０、２０が溶融することを回避できる。より具体的には、下側シート１０の下側周縁壁１４の上面１４ａと上側シート２０の上側周縁壁２３の下面２３ａとが、接合面となって拡散接合される。このことにより、下側周縁壁１４と上側周縁壁２３とによって、下側シート１０と上側シート２０との間に密封空間３が形成される。また、下側シート１０の下側流路壁部１３の上面１３ａと、上側シート２０の上側流路壁部２２の下面２２ａとが、接合面となって拡散接合され、ベーパーチャンバ１の機械的強度が向上する。下側流路壁部１３の上面１３ａに形成された下側液流路部３０は、作動液２の流路である第２流路として残存する。 After the temporary fixing process, as a bonding process, the lower sheet 10 and the upper sheet 20 are permanently bonded by diffusion bonding, as shown in FIG. In the diffusion bonding, the lower sheet 10 and the upper sheet 20 to be bonded are brought into close contact with each other, and in a controlled atmosphere such as a vacuum or an inert gas, pressure is applied in a direction to bring the sheets 10 and 20 into close contact with each other, and heat is applied. It is a method of joining by utilizing the diffusion of atoms occurring on the joint surface. Diffusion bonding heats the materials of the lower sheet 10 and upper sheet 20 to a temperature close to, but below the melting point, thus avoiding melting of each sheet 10,20. More specifically, the upper surface 14a of the lower peripheral wall 14 of the lower sheet 10 and the lower surface 23a of the upper peripheral wall 23 of the upper sheet 20 are diffusion-bonded as bonding surfaces. Thereby, the sealed space 3 is formed between the lower sheet 10 and the upper sheet 20 by the lower peripheral wall 14 and the upper peripheral wall 23 . In addition, the upper surface 13a of the lower flow path wall portion 13 of the lower sheet 10 and the lower surface 22a of the upper flow path wall portion 22 of the upper sheet 20 are diffusion-bonded as bonding surfaces, and the vapor chamber 1 is mechanically bonded. Improves strength. The lower liquid flow path portion 30 formed on the upper surface 13 a of the lower flow path wall portion 13 remains as a second flow path for the working liquid 2 .

接合工程では、下側シート１０および上側シート２０には、所定の温度になるまで熱が加えられるとともに、所定の圧力が加えられる。例えば、下側シート１０および上側シート２０を銅で形成し、下側シート１０の厚さＴ１を０．２ｍｍ、上側シート２０の厚さＴ２を０．２ｍｍとし、各下側流路溝１２Ｇ１、１２Ｇ２、１２Ｇ３および各上側流路溝２１Ｇ１、２１Ｇ２、２１Ｇ３の幅ｗ１を１０００μｍ、深さｈ０を１５０μｍとした場合、下側シート１０および上側シート２０は、８１０℃まで加熱されるとともに、２ＭＰａの圧力が加えられるようにしてもよい。 In the joining process, the lower sheet 10 and the upper sheet 20 are heated to a predetermined temperature and a predetermined pressure is applied. For example, the lower sheet 10 and the upper sheet 20 are made of copper, the thickness T1 of the lower sheet 10 is 0.2 mm, the thickness T2 of the upper sheet 20 is 0.2 mm, and each of the lower flow channels 12G1, When the width w1 of 12G2, 12G3 and the upper flow channel grooves 21G1, 21G2, 21G3 is 1000 μm and the depth h0 is 150 μm, the lower sheet 10 and the upper sheet 20 are heated to 810° C. and subjected to a pressure of 2 MPa. may be added.

このことにより、図１６に示すように、下側蒸気流路底部１０ｃが熱膨張する。下側シート１０の下面１０ｂには、下側シート１０を均等に加圧するために図示しない平坦状のスペーサを当接させているため、下側蒸気流路底部１０ｃは、上面１０ａの側に撓む。このため、下側シート１０の下面１０ｂに、下側シート凹部５０が形成されるとともに、下側蒸気流路凹部１２の底面１２ａに、下側底面凸部５１が形成される。また、熱膨張した部分が撓むことにより、熱膨張前の下側蒸気流路底部１０ｃの厚さｔ３’（図１５参照）よりも、熱膨張後の下側蒸気流路底部１０ｃの厚さｔ３（図１６参照）が小さくなる。下側シート凹部５０および下側底面凸部５１は、平面視で、第１下側流路溝１２Ｇ１、第２下側流路溝１２Ｇ２および第３下側流路溝１２Ｇ３に重なる位置に形成される。 As a result, as shown in FIG. 16, the lower steam flow path bottom 10c thermally expands. Since a flat spacer (not shown) is in contact with the lower surface 10b of the lower sheet 10 in order to evenly pressurize the lower sheet 10, the lower steam channel bottom 10c is bent toward the upper surface 10a. nothing. For this reason, a lower seat recess 50 is formed on the lower surface 10 b of the lower seat 10 , and a lower bottom surface protrusion 51 is formed on the bottom surface 12 a of the lower steam channel recess 12 . In addition, due to the bending of the thermally expanded portion, the thickness t3′ (see FIG. 15) of the lower steam flow path bottom 10c before thermal expansion is greater than the thickness t3′ (see FIG. 15) of the lower steam flow path bottom 10c after thermal expansion. t3 (see FIG. 16) becomes smaller. The lower seat concave portion 50 and the lower bottom surface convex portion 51 are formed at positions overlapping the first lower flow groove 12G1, the second lower flow groove 12G2, and the third lower flow groove 12G3 in plan view. be.

同様に、上側蒸気流路底部２０ｃが熱膨張する。上側シート２０の上面２０ｂには、上側シート２０を均等に加圧するために図示しない平坦状のスペーサを当接させているため、上側蒸気流路底部２０ｃは、下面２０ａの側に撓む。このため、上側シート２０の上面２０ｂに、上側シート凹部６０が形成されるとともに、上側蒸気流路凹部２１の底面２１ａに、上側底面凸部６１が形成される。また、熱膨張した部分が撓むことにより、熱膨張前の上側蒸気流路底部２０ｃの厚さｔ５’（図１５参照）よりも、熱膨張後の上側蒸気流路底部２０ｃの厚さｔ５（図１６参照）が小さくなる。上側シート凹部６０および上側底面凸部６１は、平面視で、第１上側流路溝２１Ｇ１、第２上側流路溝２１Ｇ２および第３上側流路溝２１Ｇ３に重なる位置に形成される。 Similarly, the upper steam channel bottom 20c thermally expands. Since a flat spacer (not shown) is in contact with the upper surface 20b of the upper sheet 20 to evenly pressurize the upper sheet 20, the upper steam flow path bottom 20c bends toward the lower surface 20a. Therefore, an upper sheet recess 60 is formed on the upper surface 20 b of the upper sheet 20 , and an upper bottom surface protrusion 61 is formed on the bottom surface 21 a of the upper steam flow path recess 21 . In addition, due to the bending of the thermally expanded portion, the thickness t5 (see FIG. 15) of the upper steam flow path bottom 20c after thermal expansion is greater than the thickness t5' (see FIG. 15) of the upper steam flow path bottom 20c before thermal expansion. 16) becomes smaller. The upper seat concave portion 60 and the upper bottom surface convex portion 61 are formed at positions overlapping the first upper flow groove 21G1, the second upper flow groove 21G2 and the third upper flow groove 21G3 in plan view.

接合工程の後、注入工程として、図１７に示すように、注入部４（図２参照）から密封空間３に作動液２が注入される。この際、まず、密封空間３が真空引きされて減圧され、その後に、作動液２が密封空間３に注入される。注入時、作動液２は、下側注入流路凹部１７と上側注入流路凹部２６とにより形成された注入流路を通過する。 After the joining step, as an injection step, as shown in FIG. 17, the working fluid 2 is injected into the sealed space 3 from the injection portion 4 (see FIG. 2). At this time, first, the sealed space 3 is evacuated to reduce the pressure, and then the working fluid 2 is injected into the sealed space 3 . During injection, the working liquid 2 passes through the injection channel formed by the lower injection channel recess 17 and the upper injection channel recess 26 .

作動液２の注入の後、上述した注入流路が封止される。例えば、注入部４にレーザを照射し、注入部４を部分的に溶融させて注入流路を封止するようにしてもよい。このことにより、密封空間３と外部との連通が遮断され、作動液２が密封空間３に封入される。このようにして、密封空間３内の作動液２が外部に漏洩することが防止される。なお、封止のためには、注入部４をかしめてもよく、またはろう付けしてもよい。 After the injection of the working liquid 2, the injection channel mentioned above is sealed. For example, the injection section 4 may be irradiated with a laser to partially melt the injection section 4 to seal the injection channel. As a result, communication between the sealed space 3 and the outside is cut off, and the hydraulic fluid 2 is enclosed in the sealed space 3 . Thus, the hydraulic fluid 2 in the sealed space 3 is prevented from leaking to the outside. For sealing, the injection part 4 may be crimped or brazed.

以上のようにして、本形態のベーパーチャンバ１が得られる。 As described above, the vapor chamber 1 of this embodiment is obtained.

次に、ベーパーチャンバ１の作動方法、すなわち、デバイスＤの冷却方法について説明する。 Next, a method of operating the vapor chamber 1, that is, a method of cooling the device D will be described.

上述のようにして得られたベーパーチャンバ１は、モバイル端末等のハウジング内に設置されるとともに、下側シート１０の下面１０ｂに、被冷却対象物であるＣＰＵ等のデバイスＤが取り付けられる。このとき、ベーパーチャンバ１の下面１０ｂに配置されたグリスや熱伝導フィラー入りのテープなどのサーマルインターフェースマテリアル、又は、粘着シートを介してデバイスＤにベーパーチャンバが取り付けられても良い。
密封空間３内に注入された作動流体の量は少ないため、密封空間３内の作動液２は、その表面張力によって、密封空間３の壁面、すなわち、下側蒸気流路凹部１２の（底面１２ａを含む）壁面、上側蒸気流路凹部２１の（底面２１ａを含む）壁面に付着する。 The vapor chamber 1 obtained as described above is installed in a housing of a mobile terminal or the like, and a device D such as a CPU, which is an object to be cooled, is attached to the lower surface 10b of the lower sheet 10 . At this time, the vapor chamber may be attached to the device D via a thermal interface material such as a tape containing grease or heat conductive filler placed on the lower surface 10b of the vapor chamber 1, or via an adhesive sheet.
Since the amount of the working fluid injected into the sealed space 3 is small, the working fluid 2 in the sealed space 3 moves against the wall surface of the sealed space 3, that is, the bottom surface 12a of the lower steam flow channel recess 12 due to its surface tension. ) wall surface (including the bottom surface 21 a ) of the upper steam channel recess 21 .

この状態でデバイスＤが発熱すると、下側蒸気流路凹部１２のうち蒸発部１１に存在する作動液２が、デバイスＤから熱を受ける。この際、デバイスＤからの熱の一部は、下側シート１０の下側シート凹部５０および下側蒸気流路凹部１２の下側底面凸部５１を介して、作動液２に移動する。受けた熱は潜熱として吸収されて作動液２が蒸発（気化）し、蒸気が生成される。生成された蒸気の多くは、密封空間３を構成する第１流路（第１下側流路溝１２Ｇ１と第１上側流路溝２１Ｇ１とによる流路、第２下側流路溝１２Ｇ２と第２上側流路溝２１Ｇ２とによる流路）を通りデバイスＤから離隔するように拡散する（図４の実線矢印および図５の実線矢印参照）。これにより蒸気は、蒸発部１１から離れ、蒸気の多くは、比較的温度の低い周縁部に向かって輸送される。周縁部に拡散した蒸気は、周縁部において放熱して冷却される。周縁部において下側シート１０および上側シート２０が蒸気から受けた熱は、ハウジング部材Ｈ（図３参照）を介して外部に伝達される。この際、蒸気からの熱の一部は、上側蒸気流路凹部２１の上側底面凸部６１および上側シート２０の上側シート凹部６０を介して、外部に伝達されるとともに、下側シート１０の下側シート凹部５０および下側蒸気流路凹部１２の下側底面凸部５１を介しても、外部に伝達される。 When the device D heats up in this state, the working fluid 2 existing in the evaporating portion 11 of the lower steam flow channel concave portion 12 receives heat from the device D. As shown in FIG. At this time, part of the heat from the device D is transferred to the working fluid 2 via the lower sheet concave portion 50 of the lower sheet 10 and the lower bottom surface convex portion 51 of the lower steam channel concave portion 12 . The received heat is absorbed as latent heat, and the working fluid 2 evaporates (vaporizes) to generate steam. Most of the generated steam passes through the first flow path (the first lower flow groove 12G1 and the first upper flow groove 21G1, the second lower flow groove 12G2 and the first upper flow groove 21G1) that constitute the sealed space 3. 2 upper channel grooves 21G2) and diffuses away from the device D (see solid line arrows in FIGS. 4 and 5). As a result, the steam leaves the evaporating section 11 and most of the steam is transported toward the relatively low-temperature periphery. The vapor diffused to the peripheral portion is cooled by radiating heat at the peripheral portion. The heat received by the lower sheet 10 and the upper sheet 20 from the steam at the periphery is transmitted to the outside through the housing member H (see FIG. 3). At this time, part of the heat from the steam is transmitted to the outside through the upper bottom surface convex portion 61 of the upper steam flow channel concave portion 21 and the upper sheet concave portion 60 of the upper sheet 20, and It is also transmitted to the outside via the side seat concave portion 50 and the lower bottom surface convex portion 51 of the lower steam flow channel concave portion 12 .

蒸気は、周縁部に放熱することにより、蒸発部１１において吸収した潜熱を失って凝縮して作動液２となる。作動液２の多くは、下側蒸気流路凹部１２の壁面または上側蒸気流路凹部２１の壁面に付着して、下側液流路部３０に達する。ここで、蒸発部１１では作動液２が蒸発し続けているため、下側液流路部３０のうち蒸発部１１以外の部分における作動液２は、蒸発部１１に向かって毛細管作用により輸送される（図４の破線矢印参照）。このことにより、下側蒸気流路凹部１２の壁面および上側蒸気流路凹部２１の壁面に付着した作動液２は、下側液流路部３０に向かって移動し、下側液流路部３０内に入り込む。すなわち、図示しない連絡溝を通過して主流溝３１からなる第２流路に入り込み、各主流溝３１および各連絡溝に、作動液２が充填される。このため、充填された作動液２は、各主流溝３１の毛細管作用により、蒸発部１１に向かう推進力を得て、第２流路を通って蒸発部１１に向かって円滑に輸送される。 By radiating heat to the peripheral portion, the steam loses the latent heat absorbed in the evaporating portion 11 and condenses into the working fluid 2 . Most of the working liquid 2 adheres to the wall surface of the lower steam flow channel recess 12 or the wall surface of the upper steam flow channel recess 21 and reaches the lower liquid flow channel portion 30 . Here, since the working fluid 2 continues to evaporate in the evaporating portion 11, the working fluid 2 in the portion other than the evaporating portion 11 of the lower liquid flow path portion 30 is transported toward the evaporating portion 11 by capillary action. (see dashed arrow in FIG. 4). As a result, the working fluid 2 adhering to the wall surface of the lower steam flow channel recess 12 and the wall surface of the upper steam flow channel recess 21 moves toward the lower liquid flow channel portion 30, get inside. That is, the working fluid 2 passes through the communication grooves (not shown) and enters the second flow paths formed by the main grooves 31, and the main grooves 31 and the communication grooves are filled with the hydraulic fluid 2. As shown in FIG. Therefore, the working fluid 2 filled therein obtains a driving force toward the evaporating portion 11 due to the capillary action of each main groove 31 and is smoothly transported toward the evaporating portion 11 through the second flow path.

蒸発部１１に達した作動液２は、デバイスＤから再び熱を受けて蒸発する。このようにして、作動液２が、相変化、すなわち蒸発と凝縮とを繰り返しながらベーパーチャンバ１内を還流してデバイスＤの熱を移動させて放出する。この結果、デバイスＤが冷却される。 The working fluid 2 that has reached the evaporator 11 receives heat from the device D again and evaporates. In this way, the working fluid 2 circulates in the vapor chamber 1 while repeating phase changes, that is, evaporation and condensation, thereby transferring heat from the device D and releasing it. As a result, the device D is cooled.

本形態のベーパーチャンバ１によれば、下側シート１０の下面１０ｂのうち平面視で下側蒸気流路凹部１２に重なる位置に、下側蒸気流路凹部１２に向かって凹む下側シート凹部５０が設けられている。このことにより、デバイスＤから熱を受ける受熱面として作用する下面１０ｂの表面積を増大させることができる。このため、デバイスＤと下面１０ｂとの間の熱抵抗を低減することができ、デバイスＤから作動液２に効率良く熱が移動することができる。この結果、熱輸送効率を向上させることができる。さらに下側シート凹部５０によりサーマルインターフェースマテリアルや粘着シートの接着面積を増やすことができるので、デバイスＤとの密着性の向上も図ることができる。
なお、ベーパーチャンバ１に対するデバイスＤとハウジングＨの位置は本形態に限られず、デバイスＤとハウジングＨの位置を入れ替えたり、デバイスＤとベーパーチャンバ１の間にハウジングＨを設けたりしても良い。 According to the vapor chamber 1 of this embodiment, the lower seat recessed portion 50 recessed toward the lower steam flow channel recessed portion 12 is located on the lower surface 10b of the lower seat 10 at a position overlapping the lower steam flow channel recessed portion 12 in plan view. is provided. As a result, the surface area of the lower surface 10b acting as a heat receiving surface that receives heat from the device D can be increased. Therefore, the thermal resistance between the device D and the lower surface 10b can be reduced, and heat can be transferred from the device D to the working fluid 2 efficiently. As a result, heat transport efficiency can be improved. Furthermore, since the bonding area of the thermal interface material and the adhesive sheet can be increased by the lower sheet concave portion 50, the adhesion with the device D can be improved.
The positions of the device D and the housing H with respect to the vapor chamber 1 are not limited to the present embodiment, and the positions of the device D and the housing H may be exchanged, or the housing H may be provided between the device D and the vapor chamber 1 .

また、本形態のベーパーチャンバ１によれば、下側蒸気流路凹部１２の底面１２ａのうち平面視で下側シート凹部５０に重なる位置に、下側蒸気流路凹部１２の内側に突出する下側底面凸部５１が設けられている。このことにより、下側蒸気流路凹部１２の底面１２ａの表面積を増大させることができる。このため、下側シート１０と作動液２との間の熱抵抗を低減することができ、デバイスＤから作動液２により一層効率良く熱が移動することができる。すなわち、デバイスＤの起動時に、下側蒸気流路凹部１２の壁面に付着していた作動液２を迅速に蒸発させることができる。このため、下側液流路部３０において発生した蒸気の拡散が、下側蒸気流路凹部１２の壁面に付着していた作動液２によって阻害されることを防止でき、蒸気を円滑に拡散させることができる。この結果、熱輸送効率をより一層向上させることができる。更に言えば、拡散接合時の熱膨張によって、下側シート凹部５０および下側底面凸部５１が形成されているため、下側蒸気流路底部１０ｃの厚さｔ３（図１６参照）を小さくすることができる。この点においても、デバイスＤと作動液２との間の熱抵抗を低減することができる。 Further, according to the vapor chamber 1 of the present embodiment, the bottom surface 12a of the lower steam flow path recess 12 projects inwardly from the bottom surface 12a of the lower steam flow path recess 12 at a position overlapping the lower seat recess 50 in a plan view. A side bottom convex portion 51 is provided. As a result, the surface area of the bottom surface 12a of the lower steam channel recess 12 can be increased. Therefore, the thermal resistance between the lower sheet 10 and the working fluid 2 can be reduced, and heat can be transferred from the device D to the working fluid 2 more efficiently. That is, when the device D is activated, the working liquid 2 adhering to the wall surface of the lower steam flow path concave portion 12 can be quickly evaporated. Therefore, the diffusion of the vapor generated in the lower liquid flow path portion 30 can be prevented from being hindered by the working fluid 2 adhering to the wall surface of the lower vapor flow path concave portion 12, and the vapor can be diffused smoothly. be able to. As a result, heat transport efficiency can be further improved. Furthermore, since the lower sheet concave portion 50 and the lower bottom surface convex portion 51 are formed by thermal expansion during diffusion bonding, the thickness t3 (see FIG. 16) of the lower steam channel bottom portion 10c is reduced. be able to. Also in this respect, the thermal resistance between the device D and the working fluid 2 can be reduced.

また、本形態によれば、上側シート２０の上面２０ｂのうち平面視で上側蒸気流路凹部２１に重なる位置に、上側蒸気流路凹部２１に向かって凹む上側シート凹部６０が設けられている。このことにより、外部に熱を放出する放熱面として作用する上面２０ｂの表面積を増大させることができる。このため、上面２０ｂと外部との間の熱抵抗を低減することができ、作動液２の蒸気から外部に効率良く熱が移動することができる。この結果、熱輸送効率を向上させることができる。 Further, according to this embodiment, the upper sheet recessed portion 60 recessed toward the upper steam flow path recessed portion 21 is provided at a position overlapping the upper steam flow path recessed portion 21 in plan view on the upper surface 20b of the upper sheet 20 . As a result, the surface area of the upper surface 20b acting as a heat radiation surface for releasing heat to the outside can be increased. Therefore, thermal resistance between the upper surface 20b and the outside can be reduced, and heat can be efficiently transferred from the vapor of the working fluid 2 to the outside. As a result, heat transport efficiency can be improved.

また、本形態によれば、上側蒸気流路凹部２１の底面２１ａのうち平面視で上側シート凹部６０に重なる位置に、上側蒸気流路凹部２１の内側に突出する上側底面凸部６１が設けられている。このことにより、上側蒸気流路凹部２１の底面２１ａの表面積を増大させることができる。このため、上側シート２０と作動液２との間の熱抵抗を低減することができ、デバイスＤから作動液２により一層効率良く熱が移動することができる。すなわち、デバイスＤの起動時に、上側蒸気流路凹部２１の壁面に付着していた液状の作動液２を迅速に蒸発させることができる。このため、下側液流路部３０において蒸発した作動液２の蒸気の拡散が、上側蒸気流路凹部２１の壁面に付着していた作動液２によって阻害されることを防止でき、蒸気を円滑に拡散させることができる。この結果、熱輸送効率をより一層向上させることができる。更に言えば、拡散接合時の熱膨張によって、上側シート凹部６０および上側底面凸部６１が形成されているため、厚さｔ５（図１６参照）を小さくすることができる。この点においても、作動液２と外部との間の熱抵抗を低減することができる。 Further, according to the present embodiment, the upper bottom surface convex portion 61 projecting inwardly of the upper steam channel recessed portion 21 is provided at a position of the bottom surface 21a of the upper steam channel recessed portion 21 that overlaps the upper seat recessed portion 60 in plan view. ing. As a result, the surface area of the bottom surface 21a of the upper steam passage recess 21 can be increased. Therefore, the thermal resistance between the upper sheet 20 and the working fluid 2 can be reduced, and heat can be transferred from the device D to the working fluid 2 more efficiently. That is, when the device D is activated, the liquid working fluid 2 adhering to the wall surface of the upper steam flow channel concave portion 21 can be quickly evaporated. Therefore, it is possible to prevent the diffusion of the vapor of the working fluid 2 evaporated in the lower liquid flow path portion 30 from being hindered by the working fluid 2 adhering to the wall surface of the upper vapor flow path concave portion 21, so that the vapor can flow smoothly. can be diffused into As a result, heat transport efficiency can be further improved. Furthermore, since the upper sheet concave portion 60 and the upper bottom surface convex portion 61 are formed by thermal expansion during diffusion bonding, the thickness t5 (see FIG. 16) can be reduced. Also in this respect, the thermal resistance between the working fluid 2 and the outside can be reduced.

また、本形態によれば、上述したように、下側シート１０の下面１０ｂに下側シート凹部５０が設けられている。このことにより、外部に熱を放出する下側蒸気流路凹部１２の周縁部（デバイスＤから離れた部分）においても、下面１０ｂの表面積が増大しているため、下面１０ｂと外部との間の熱抵抗を低減することができる。このため、蒸気から外部に効率良く熱が移動することができ、熱輸送効率を向上させることができる。 Further, according to this embodiment, the lower sheet recessed portion 50 is provided in the lower surface 10b of the lower sheet 10 as described above. As a result, since the surface area of the lower surface 10b is increased even at the periphery of the lower steam flow passage concave portion 12 (the portion away from the device D) that emits heat to the outside, the space between the lower surface 10b and the outside Thermal resistance can be reduced. Therefore, heat can be efficiently transferred from the steam to the outside, and heat transport efficiency can be improved.

また、本形態によれば、上述したように、下側蒸気流路凹部１２の底面１２ａに、下側底面凸部５１が設けられている。このことにより、外部に熱を放出する下側蒸気流路凹部１２の周縁部においても、下側蒸気流路凹部１２の底面１２ａの表面積が増大しているため、下側シート１０と作動液２との間の熱抵抗を低減することができる。このため、蒸気から外部により一層効率良く熱が移動することができ、熱輸送効率をより一層向上させることができる。 Further, according to this embodiment, as described above, the bottom surface 12 a of the lower steam flow path recess 12 is provided with the lower bottom surface protrusion 51 . As a result, the surface area of the bottom surface 12a of the lower steam channel recess 12 is increased even at the periphery of the lower steam channel recess 12 that releases heat to the outside. can reduce the thermal resistance between Therefore, heat can be transferred from the steam to the outside more efficiently, and the heat transport efficiency can be further improved.

また、本形態によれば、下側シート凹部５０は、互いに隣り合う一対の下側流路壁部１３の間に配置されている。このことにより、下側シート凹部５０を、拡散接合時に加熱される下側シート１０および上側シート２０の温度、および／または各シート１０、２０に加えられる圧力を調整することで、容易に形成することができる。ベーパーチャンバ１の製造工程が煩雑になることを抑え、製造コストの増大を抑制できる。 Further, according to this embodiment, the lower seat recessed portion 50 is arranged between a pair of lower flow path wall portions 13 adjacent to each other. Thereby, the lower sheet concave portion 50 can be easily formed by adjusting the temperature of the lower sheet 10 and the upper sheet 20 heated during diffusion bonding and/or the pressure applied to each sheet 10, 20. be able to. It is possible to prevent the manufacturing process of the vapor chamber 1 from becoming complicated, and to suppress an increase in the manufacturing cost.

また、本形態によれば、上側シート凹部６０は、互いに隣り合う一対の上側流路壁部２２の間に配置されている。このことにより、上側シート凹部６０を、拡散接合時に加熱される下側シート１０および上側シート２０の温度、および／または各シート１０、２０に加えられる圧力を調整することで、容易に形成することができる。ベーパーチャンバ１の製造工程が煩雑になることを抑え、製造コストの増大を抑制できる。 Further, according to this embodiment, the upper seat recessed portion 60 is arranged between a pair of upper flow path wall portions 22 adjacent to each other. As a result, the upper sheet concave portion 60 can be easily formed by adjusting the temperature of the lower sheet 10 and the upper sheet 20 heated during diffusion bonding and/or the pressure applied to each sheet 10, 20. can be done. It is possible to prevent the manufacturing process of the vapor chamber 1 from becoming complicated, and to suppress an increase in the manufacturing cost.

また、本形態によれば、下側シート凹部５０および上側シート凹部６０を、接合工程時に形成することができる。このため、ベーパーチャンバ１の製造工程が煩雑になることを抑え、製造コストの増大を抑制できる。 Further, according to this embodiment, the lower sheet recess 50 and the upper sheet recess 60 can be formed during the joining process. For this reason, the manufacturing process of the vapor chamber 1 can be prevented from becoming complicated, and an increase in manufacturing cost can be suppressed.

また、本形態では、下側シート１０の下面１０ｂの下側シート凹部５０、および、上側シート２０の上面２０ｂの上側シート凹部６０により、この部位においてベーパーチャンバ１が薄くなっている。従って、ベーパーチャンバ１の作動により内圧が上昇して膨れが生じるような場面、および、ベーパーチャンバ１の非作動時における作動流体の凍結によって作動流体が膨張して膨れが生じるような場面であっても、下側シート凹部５０および上側シート凹部６０が、下面１０ｂ、および、上面２０ｂの他の部位と面一になってさらに膨れるに至るまではベーパーチャンバ１の膨れとはならない。従って、ベーパーチャンバ１の膨れによる問題の発生を緩和することができる。そして、本形態のように、下側シート凹部５０と下側底面凸部５１とが平面視で重なり合う位置に設けられている場合において、下側シート凹部５０が湾曲形状であることで、より高い効果を得ることができる。 In addition, in this embodiment, the vapor chamber 1 is thin at this portion due to the lower sheet recessed portion 50 of the lower surface 10b of the lower sheet 10 and the upper sheet recessed portion 60 of the upper surface 20b of the upper sheet 20 . Therefore, there are situations in which the internal pressure rises due to the operation of the vapor chamber 1 and causes swelling, and cases in which the working fluid expands and causes swelling due to freezing of the working fluid when the vapor chamber 1 is not in operation. However, the vapor chamber 1 does not swell until the lower seat recess 50 and the upper seat recess 60 become flush with other portions of the lower surface 10b and the upper surface 20b and further swell. Therefore, the occurrence of problems due to swelling of the vapor chamber 1 can be alleviated. Further, in the case where the lower seat recessed portion 50 and the lower bottom surface protruding portion 51 are provided at positions overlapping each other in a plan view as in this embodiment, the lower seat recessed portion 50 has a curved shape, so that the height is increased. effect can be obtained.

また、下側シート１０の下面１０ｂと下側蒸気流路凹部１２との間に設けられた下側蒸気流路底部１０ｃの厚さｔ３を、下面１０ｂと下側液流路部３０との間に設けられた下側液流路底部１０ｄの厚さｔ４よりも小さくしたとき（図６参照）、下側液流路部３０よりも下側蒸気流路凹部１２をデバイスＤの熱を受ける下面１０ｂに近づけることができる。これによれば、デバイスＤからの熱は、下側液流路部３０よりも下側蒸気流路凹部１２に早く到達することができ、下側蒸気流路凹部１２において作動液２の蒸発を促進させることが可能となる。すなわち、デバイスＤの起動時に、蒸気流路凹部１２の壁面に付着していた作動液２を迅速に蒸発させることができる。このため、下側液流路部３０において生じた蒸気の拡散が、下側蒸気流路凹部１２の壁面に付着していた作動液２によって阻害されることを抑制でき、蒸気を円滑に拡散させることができる。一方、下側液流路部３０では、下側蒸気流路凹部１２よりも下面１０ｂから遠ざけることができ、作動液が蒸発することを抑制できる。このため、下側液流路部３０内に作動液２の蒸気による気泡が発生して、作動液２の流れが妨げられるような流路閉塞が発生することを抑えることができる。 Also, the thickness t3 of the lower steam channel bottom portion 10c provided between the lower surface 10b of the lower sheet 10 and the lower steam channel concave portion 12 is set to the thickness t3 between the lower surface 10b and the lower liquid channel portion 30. When the thickness t4 of the lower liquid flow path bottom portion 10d provided in the device D is smaller than the thickness t4 (see FIG. 6), the vapor flow path recessed portion 12 below the lower liquid flow path portion 30 is the lower surface that receives the heat of the device D. 10b can be approached. According to this, the heat from the device D can reach the lower vapor passage concave portion 12 earlier than the lower liquid passage portion 30 , and the working liquid 2 can be evaporated in the lower vapor passage concave portion 12 . It is possible to promote That is, when the device D is activated, the working liquid 2 adhering to the wall surface of the vapor channel concave portion 12 can be quickly evaporated. Therefore, it is possible to prevent the diffusion of the vapor generated in the lower liquid flow path portion 30 from being hindered by the working fluid 2 adhering to the wall surface of the lower vapor flow path concave portion 12, thereby smoothly diffusing the vapor. be able to. On the other hand, the lower liquid flow path portion 30 can be further away from the lower surface 10b than the lower steam flow path recessed portion 12, thereby suppressing evaporation of the working liquid. For this reason, it is possible to prevent flow channel clogging, such as obstruction of the flow of the working fluid 2, caused by the generation of bubbles due to the vapor of the working fluid 2 in the lower liquid flow channel portion 30 .

なお、上述した本形態のベーパーチャンバ１においては、下側シート１０の下面１０ｂに下側シート凹部５０が設けられるとともに、上側シート２０の上面２０ｂに上側シート凹部６０が設けられている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、下側シート凹部５０および上側シート凹部６０のうちの一方は、設けられていなくてもよい。この場合においても、熱輸送効率を向上させることができる。下側シート凹部５０が設けられない場合には、上側シート２０が第１シートとなり、上側シート凹部６０が第１シート凹部となる。 In the vapor chamber 1 of the present embodiment described above, an example in which the lower sheet recess 50 is provided on the lower surface 10b of the lower sheet 10 and the upper sheet recess 60 is provided on the upper surface 20b of the upper sheet 20 will be described. bottom. However, the present invention is not limited to this, and one of the lower seat recess 50 and the upper seat recess 60 may not be provided. Also in this case, heat transport efficiency can be improved. If the lower sheet recess 50 is not provided, the upper sheet 20 becomes the first sheet and the upper sheet recess 60 becomes the first sheet recess.

また、上述した本形態のベーパーチャンバ１においては、下側蒸気流路凹部１２の底面１２ａに設けられた下側底面凸部５１が、細長く連続して延びている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはない。例えば、下側底面凸部５１は、第１方向Ｘおよび第２方向Ｙのうち対応する方向に断続的に形成されていてもよい。この場合、下側蒸気流路凹部１２の底面１２ａの表面積を増大させることができ、下側シート１０と作動液２との間の熱抵抗をより一層低減することができる。すなわち、デバイスＤの起動時に、下側蒸気流路凹部１２の壁面に付着していた作動液２を迅速に蒸発させることができる。 Further, in the vapor chamber 1 of the present embodiment described above, an example in which the lower bottom surface convex portion 51 provided on the bottom surface 12a of the lower steam flow passage concave portion 12 extends continuously and slenderly has been described. However, it is not limited to this. For example, the lower bottom surface convex portion 51 may be intermittently formed in the corresponding direction of the first direction X and the second direction Y. As shown in FIG. In this case, the surface area of the bottom surface 12a of the lower steam channel recess 12 can be increased, and the thermal resistance between the lower sheet 10 and the working fluid 2 can be further reduced. That is, when the device D is activated, the working liquid 2 adhering to the wall surface of the lower steam flow path concave portion 12 can be quickly evaporated.

また、上述した本形態のベーパーチャンバ１においては、上側蒸気流路凹部２１の底面２１ａに設けられた上側底面凸部６１が、細長く連続して延びている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、上側底面凸部６１は、第１方向Ｘおよび第２方向Ｙのうち対応する方向に断続的に形成されていてもよい。この場合、上側蒸気流路凹部２１の底面２１ａの表面積を増大させることができ、上側シート２０と作動液２との間の熱抵抗をより一層低減することができる。すなわち、デバイスＤの起動時に、上側蒸気流路凹部２１の壁面に付着していた作動液２を迅速に蒸発させることができる。 Further, in the vapor chamber 1 of the present embodiment described above, an example in which the upper bottom surface convex portion 61 provided on the bottom surface 21a of the upper steam flow passage concave portion 21 extends continuously and slenderly has been described. However, the present invention is not limited to this, and the upper bottom surface convex portion 61 may be intermittently formed in the corresponding one of the first direction X and the second direction Y. As shown in FIG. In this case, the surface area of the bottom surface 21a of the upper steam channel recess 21 can be increased, and the thermal resistance between the upper sheet 20 and the working fluid 2 can be further reduced. That is, when the device D is activated, the working liquid 2 adhering to the wall surface of the upper steam flow channel concave portion 21 can be quickly evaporated.

また、上述した本形態のベーパーチャンバ１においては、上側シート２０の上側流路壁部２２が、ベーパーチャンバ１の長手方向に沿って細長く延びている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、上側流路壁部２２の形状は任意である。例えば、上側流路壁部２２は、円柱状のボスとして形成されていてもよい。この場合においても、上側シート凹部６０を、互いに隣り合う一対の上側流路壁部２２の間に形成することができる。また、この場合には、上側流路壁部２２は、下側流路壁部１３に平面視で重なるように配置して、上側流路壁部２２の下面２２ａを、下側流路壁部１３の上面１３ａに接触させることが好適である。 Also, in the vapor chamber 1 of the present embodiment described above, an example in which the upper flow path wall portion 22 of the upper sheet 20 elongates along the longitudinal direction of the vapor chamber 1 has been described. However, it is not limited to this, and the shape of the upper flow path wall portion 22 is arbitrary. For example, the upper flow path wall portion 22 may be formed as a cylindrical boss. Also in this case, the upper sheet recessed portion 60 can be formed between a pair of upper flow path wall portions 22 adjacent to each other. Further, in this case, the upper flow path wall portion 22 is arranged so as to overlap the lower flow path wall portion 13 in a plan view, and the lower surface 22a of the upper flow path wall portion 22 is positioned on the lower flow path wall portion. 13 is preferably in contact with the upper surface 13a.

また、上述した本形態のベーパーチャンバ１においては、下側シート凹部５０、下側底面凸部５１、上側シート凹部６０および上側底面凸部６１が、接合工程時に形成される例について説明した。しかしながら、このことに限られることはない。例えば、下側シート凹部５０および下側底面凸部５１は、図１１に示す下側流路溝形成工程時に形成されてもよい。この場合、図１８に示すように、下側シート凹部５０および下側底面凸部５１は、下側蒸気流路凹部１２および下側液流路部３０とともに、プレス加工によって形成されてもよい。 Further, in the vapor chamber 1 of the present embodiment described above, an example in which the lower sheet recess 50, the lower bottom surface protrusion 51, the upper sheet recess 60, and the upper bottom surface protrusion 61 are formed during the bonding process has been described. However, it is not limited to this. For example, the lower sheet concave portion 50 and the lower bottom surface convex portion 51 may be formed during the lower flow channel forming step shown in FIG. In this case, as shown in FIG. 18 , the lower seat recess 50 and the lower bottom surface protrusion 51 may be formed by pressing together with the lower steam channel recess 12 and the lower liquid channel 30 .

より具体的には、図１０に示す第１準備工程において下側材料シートＭ１を準備した後、下側流路溝形成工程において、下側材料シートＭ１がプレス加工される。この場合、下側シート１０の上面１０ａは第１下側金型７０を介して押圧され、下面１０ｂは第２下側金型７１を介して押圧される。 More specifically, after the lower material sheet M1 is prepared in the first preparation step shown in FIG. 10, the lower material sheet M1 is pressed in the lower flow channel forming step. In this case, the upper surface 10a of the lower sheet 10 is pressed via the first lower mold 70, and the lower surface 10b is pressed via the second lower mold 71. As shown in FIG.

第１下側金型７０は、下側蒸気流路凹部１２の各下側流路溝１２Ｇ１、１２Ｇ２、１２Ｇ３に対応する形状を有する金型凸部７０ａと、下側液流路部３０に対応する形状を有する金型凸部７０ｂと、を含んでいる。平板状の下側材料シートＭ１を、第１下側金型７０を用いてプレス加工することにより、図１８に示すように、下側底面凸部５１を含む下側蒸気流路凹部１２と、下側液流路部３０と、を形成することができる。また、第２下側金型７１は、下側シート凹部５０に対応する形状を有する金型凸部７１ａを含んでいる。このことにより、下側材料シートＭ１の下面Ｍ１ｂに、下側シート凹部５０を形成することができる。 The first lower mold 70 corresponds to the mold protrusion 70a having a shape corresponding to each of the lower flow channel grooves 12G1, 12G2, and 12G3 of the lower steam flow channel recess 12 and the lower liquid flow channel 30. and a mold protrusion 70b having a shape that By pressing the flat plate-shaped lower material sheet M1 using the first lower mold 70, as shown in FIG. A lower liquid flow path portion 30 can be formed. The second lower mold 71 also includes a mold projection 71 a having a shape corresponding to the lower seat recess 50 . As a result, the lower sheet concave portion 50 can be formed in the lower surface M1b of the lower material sheet M1.

同様にして、上側シート凹部６０および上側底面凸部６１も、上側蒸気流路凹部２１を形成する上側流路溝形成工程時に形成されてもよい。この場合、図１９に示すように、上側シート凹部６０および上側底面凸部６１は、上側蒸気流路凹部２１ととともに、プレス加工によって形成されてもよい。 Similarly, the upper sheet concave portion 60 and the upper bottom surface convex portion 61 may also be formed during the upper flow channel groove forming step for forming the upper steam flow channel concave portion 21 . In this case, as shown in FIG. 19, the upper seat recess 60 and the upper bottom surface protrusion 61 may be formed by press working together with the upper steam flow channel recess 21 .

より具体的には、図１２に示す第２準備工程において上側材料シートＭ２を準備した後、上側流路溝形成工程において、上側材料シートＭ２がプレス加工される。この場合、上側シート２０の下面２０ａは、第１上側金型８０を介して押圧され、上面２０ｂは第２上側金型８１を介して押圧される。 More specifically, after the upper material sheet M2 is prepared in the second preparation process shown in FIG. 12, the upper material sheet M2 is pressed in the upper flow channel forming process. In this case, the lower surface 20 a of the upper sheet 20 is pressed through the first upper mold 80 and the upper surface 20 b is pressed through the second upper mold 81 .

第１上側金型８０は、上側蒸気流路凹部２１の各上側流路溝２１Ｇ１、２１Ｇ２、２１Ｇ３に対応する形状を有する金型凸部８０ａを含んでいる。平板状の上側材料シートＭ２を、第１上側金型８０を用いてプレス加工することにより、図１９に示すように、上側底面凸部６１を含む上側蒸気流路凹部２１を形成することができる。また、第２上側金型８１は、上側シート凹部６０に対応する形状を有する金型凸部８１ａを含んでいる。このことにより、上側材料シートＭ２の上面Ｍ２ｂに、上側シート凹部６０を形成することができる。 The first upper mold 80 includes a mold projection 80a having a shape corresponding to each of the upper flow channel grooves 21G1, 21G2, 21G3 of the upper steam flow channel recess 21. As shown in FIG. By pressing the flat upper material sheet M2 using the first upper mold 80, as shown in FIG. . The second upper mold 81 also includes a mold projection 81 a having a shape corresponding to the upper sheet recess 60 . As a result, the upper sheet recess 60 can be formed in the upper surface M2b of the upper material sheet M2.

下側シート凹部５０を下側流路溝形成工程としてプレス加工によって形成するとともに、上側シート凹部６０を上側流路溝形成工程としてプレス加工によって形成する場合、下側シート１０および上側シート２０の温度および各シート１０、２０に加えられる圧力は、各シート１０、２０を恒久的に接合できれば任意とすることができ、拡散接合を容易化させることができる。 When the lower sheet recessed portion 50 is formed by pressing in the lower flow channel forming step and the upper sheet recessed portion 60 is formed by pressing in the upper flow channel forming step, the temperature of the lower sheet 10 and the upper sheet 20 is And the pressure applied to each sheet 10, 20 can be arbitrary as long as each sheet 10, 20 can be permanently bonded, and diffusion bonding can be facilitated.

また、プレス加工によって下側シート凹部５０および下側底面凸部５１が形成されるため、プレス加工前の厚さｔ３’（図１５参照）よりも、プレス加工後の厚さｔ３（図１６参照）を小さくすることができる。このため、デバイスＤと作動液２との間の熱抵抗を低減することができる。同様に、上側シート凹部６０および上側底面凸部６１が形成されるため、プレス加工前の厚さｔ５’（図１５参照）よりも、プレス加工後の厚さｔ５（図１６参照）を小さくすることができる。このため、デバイスＤと作動液２との間の熱抵抗を低減することができる。 In addition, since the lower sheet concave portion 50 and the lower bottom surface convex portion 51 are formed by press working, the thickness t3 after press working (see FIG. 16) is greater than the thickness t3′ before press working (see FIG. 15). ) can be reduced. Therefore, thermal resistance between the device D and the working fluid 2 can be reduced. Similarly, since the upper sheet concave portion 60 and the upper bottom surface convex portion 61 are formed, the thickness t5 after pressing (see FIG. 16) is made smaller than the thickness t5′ before pressing (see FIG. 15). be able to. Therefore, thermal resistance between the device D and the working fluid 2 can be reduced.

以上では、エッチングによるベーパーチャンバの製造、およびプレス加工によるベーパーチャンバの製造について説明したが、製造方法はこれに限らず、切削加工、レーザ加工、および３Ｄプリンタによる加工によりベーパーチャンバを製造することもできる。
例えば３Ｄプリンタによりベーパーチャンバを製造する場合にはベーパーチャンバを複数のシートを接合して作製する必要がなく、接合部のないベーパーチャンバとすることが可能となる。 In the above, manufacturing of the vapor chamber by etching and manufacturing of the vapor chamber by pressing are explained, but the manufacturing method is not limited to this, and the vapor chamber can also be manufactured by cutting, laser processing, and processing with a 3D printer. can.
For example, when a vapor chamber is manufactured by a 3D printer, it is not necessary to manufacture the vapor chamber by bonding a plurality of sheets, and it is possible to create a vapor chamber without a bonded portion.

上述した本形態のベーパーチャンバ１においては、上側シート２０の下面２０ａに、上側蒸気流路凹部２１が設けられている例について説明した。しかしながら、上側蒸気流路凹部２１は、設けられていなくてもよい。この場合、上側シート２０の下面２０ａは、全体的に平坦状に形成され、下側蒸気流路凹部１２の各第１下側流路溝１２Ｇ１、第２下側流路溝１２Ｇ２および第３下側流路溝１２Ｇ３を覆うとともに露出されるようになる。このことにより、ベーパーチャンバ１の機械的強度を向上させることができる。 In the vapor chamber 1 of the present embodiment described above, an example in which the upper vapor flow path concave portion 21 is provided on the lower surface 20a of the upper sheet 20 has been described. However, the upper steam channel recess 21 may not be provided. In this case, the lower surface 20a of the upper sheet 20 is formed flat as a whole, and the first lower channel groove 12G1, the second lower channel groove 12G2 and the third lower channel groove 12G2 of the lower steam channel concave portion 12 are formed. The side channel groove 12G3 is covered and exposed. Thereby, the mechanical strength of the vapor chamber 1 can be improved.

さらに、上述した本形態のベーパーチャンバ１においては、下側シート１０の上面１０ａに、下側蒸気流路凹部１２が設けられている例について説明した。これに限らず、図２０～図２２に示すように、下側蒸気流路凹部１２は、設けられていなくてもよい。 Furthermore, in the vapor chamber 1 of the present embodiment described above, an example in which the upper surface 10a of the lower sheet 10 is provided with the lower steam flow path concave portion 12 has been described. Not limited to this, as shown in FIGS. 20 to 22, the lower steam flow passage concave portion 12 may not be provided.

図２０に示す変形例においては、下側シート１０の上面１０ａのうち、下側液流路部３０の主流溝３１および連絡溝が形成されている領域以外の領域は、平坦状に形成されており、上側蒸気流路凹部２１の各第１上側流路溝２１Ｇ１、第２上側流路溝２１Ｇ２および第３上側流路溝２１Ｇ３を覆うとともに露出されている。このことにより、ベーパーチャンバ１の機械的強度を向上させることができる。
また、図２０に示す変形例では、下側シート１０の上面１０ａおよび下面１０ｂのうち平面視で上側蒸気流路凹部２１に重なる部分が、平坦状に形成されている例が示されている。 In the modification shown in FIG. 20, the upper surface 10a of the lower sheet 10 is formed flat except for the main grooves 31 and the connecting grooves of the lower liquid flow path portion 30. In the modification shown in FIG. It covers and exposes each of the first upper channel groove 21G1, the second upper channel groove 21G2 and the third upper channel groove 21G3 of the upper steam channel concave portion 21. As shown in FIG. Thereby, the mechanical strength of the vapor chamber 1 can be improved.
Further, in the modification shown in FIG. 20, the portion of the upper surface 10a and the lower surface 10b of the lower sheet 10 that overlap with the upper steam flow passage concave portion 21 in plan view is formed flat.

図２１に示す変形例では、下側シート１０の下面１０ｂのうち上側蒸気流路凹部２１に重なる部分に、下側シート凹部５０が形成されている。また、下側シート１０の上面１０ａのうち、平面視で下側シート凹部５０に重なる位置に、上側蒸気流路凹部２１に突出する上面凸部９０が設けられている。この上面凸部９０は、図６等に示す下側底面凸部５１と同様の形状を有することができるとともに同様にして形成することができる。これらの変形例では、上側シート２０の厚さＴ２が、下側シート１０の厚さＴ１よりも大きくなっている例が示されている。しかしながら、このことに限られることはなく、上側底面凸部６１と上面１０ａとの間に、蒸気が流れることができる隙間が形成されれば、上側シート２０の厚さＴ２は下側シート１０の厚さＴ１よりも大きくなくてもよい。 In the modification shown in FIG. 21, a lower seat recess 50 is formed in a portion of the lower surface 10b of the lower seat 10 that overlaps with the upper steam flow channel recess 21. As shown in FIG. Further, an upper surface convex portion 90 is provided on the upper surface 10a of the lower seat 10 so as to project into the upper steam flow channel concave portion 21 at a position overlapping the lower seat concave portion 50 in a plan view. The upper surface protrusion 90 can have the same shape as the lower bottom surface protrusion 51 shown in FIG. 6 and the like, and can be formed in the same manner. These modifications show examples in which the thickness T2 of the upper sheet 20 is greater than the thickness T1 of the lower sheet 10 . However, the present invention is not limited to this, and the thickness T2 of the upper sheet 20 is less than that of the lower sheet 10 if a gap is formed between the upper bottom surface convex portion 61 and the upper surface 10a through which steam can flow. It does not have to be larger than the thickness T1.

図２０および図２１に示す変形例においては、作動液２が通る第２流路として、下側シート１０に下側液流路部３０が設けられ、蒸気が通る第１流路として、上側シート２０に第１上側流路溝２１Ｇ１が設けられている。このことにより、液流路部である第２流路と蒸気流路部である第１流路を、互いに異なるシートに形成することができる。このため、液流路部の深さと、蒸気流路部の深さを、容易に異ならせることができる。 In the modification shown in FIGS. 20 and 21, the lower sheet 10 is provided with a lower liquid flow path portion 30 as the second flow path through which the hydraulic fluid 2 passes, and the upper sheet 10 is provided as the first flow path through which the vapor passes. 20 is provided with a first upper channel groove 21G1. As a result, the second flow path, which is the liquid flow path portion, and the first flow path, which is the vapor flow path portion, can be formed on different sheets. Therefore, the depth of the liquid flow path and the depth of the vapor flow path can be easily made different.

図２２に示す変形例においては、下側シート１０の上面１０ａ及び下面１０ｂのいずれも平坦とされている。一方、上側シート２０の下面２０ａ側の上側流路壁部２２に第２流路となる主流溝３２および連絡溝が配置されている。
下側シート１０の上面１０ａの一部が、第１流路となる第１上側流路溝２１Ｇ１、第２上側流路溝２１Ｇ２および第３上側流路溝２１Ｇ３を覆うとともに露出されている。このことにより、ベーパーチャンバ１の機械的強度を向上させることができる。 In the modification shown in FIG. 22, both the upper surface 10a and the lower surface 10b of the lower sheet 10 are flat. On the other hand, in the upper flow path wall portion 22 on the side of the lower surface 20a of the upper sheet 20, a main flow groove 32 and a communication groove that serve as a second flow path are arranged.
A portion of the upper surface 10a of the lower sheet 10 is exposed while covering the first upper flow groove 21G1, the second upper flow groove 21G2, and the third upper flow groove 21G3, which serve as the first flow paths. Thereby, the mechanical strength of the vapor chamber 1 can be improved.

また、図２０～図２２に示す変形例においては、下側シート１０と上側シート２０との位置決めの精度を緩和することができる。すなわち、下側シート１０に下側蒸気流路凹部１２が設けられている場合には、下側蒸気流路凹部１２の壁面と上側蒸気流路凹部２１の壁面とが位置合わせされるように、下側シート１０と上側シート２０とを精度良く位置決めすることが好ましい。これに対して、図２０～図２２に示す変形例では、下側シート１０に下側蒸気流路凹部１２が設けられないことにより、下側シート１０と上側シート２０との位置決めの精度を緩和することができる。 20 to 22, the accuracy of positioning the lower sheet 10 and the upper sheet 20 can be relaxed. That is, when the lower sheet 10 is provided with the lower steam channel recess 12, the wall surface of the lower steam channel recess 12 and the wall surface of the upper steam channel recess 21 are aligned with each other. It is preferable to position the lower sheet 10 and the upper sheet 20 with high accuracy. On the other hand, in the modifications shown in FIGS. 20 to 22, the lower sheet 10 is not provided with the lower steam flow path concave portion 12, so that the positioning accuracy between the lower sheet 10 and the upper sheet 20 is relaxed. can do.

ここまでのベーパーチャンバ１は、下側シート１０である第１シートおよび上側シート２０である第２シートの２つのシートからなる例を説明した。ただし、これに限られることはなく、図２３～図２５に示したように３つ以上のシートによるベーパーチャンバであってもよい。図２３、図２４は３つのシートからなるベーパーチャンバの例、図２５は４つのシートからなるベーパーチャンバの例である。 Up to this point, the vapor chamber 1 has been described as an example comprising two sheets, the first sheet being the lower sheet 10 and the second sheet being the upper sheet 20 . However, the present invention is not limited to this, and may be a vapor chamber with three or more sheets as shown in FIGS. 23-25. 23 and 24 are examples of a vapor chamber consisting of three sheets, and FIG. 25 is an example of a vapor chamber consisting of four sheets.

図２３に示したベーパーチャンバは、下側シート１０（第１シート）、上側シート２０（第２シート）、および、中間シート１００（第３シート）の積層体からなる。
下側シート１０と上側シート２０との間に挟まれるように中間シート１００が配置され、下側シート１０の上面１０ａが中間シート１００の下面１００ｂに接触し、上側シート２０の下面２０ａが中間シート１００の上面１００ａに接触し、それぞれ接合されている。接合の態様は上記した通りである。 The vapor chamber shown in FIG. 23 consists of a laminate of a lower sheet 10 (first sheet), an upper sheet 20 (second sheet) and an intermediate sheet 100 (third sheet).
An intermediate sheet 100 is arranged so as to be sandwiched between the lower sheet 10 and the upper sheet 20, the upper surface 10a of the lower sheet 10 contacts the lower surface 100b of the intermediate sheet 100, and the lower surface 20a of the upper sheet 20 contacts the intermediate sheet. 100 are in contact with the upper surface 100a and are respectively bonded. The mode of bonding is as described above.

ここでは下側シート１０は、下側シート凹部５０および下側底面凸部５１を備えており、他の部位は上面１０ａおよび下面１０ｂのいずれも平坦である。
同様に、上側シート２０は、上側シート凹部６０および上側底面凸部６１を備えており、他の部位は上面２０ａおよび下面１０ｂのいずれも平坦である。 Here, the lower sheet 10 has a lower sheet concave portion 50 and a lower bottom surface convex portion 51, and other portions are flat on both the upper surface 10a and the lower surface 10b.
Similarly, the upper sheet 20 has an upper sheet concave portion 60 and an upper bottom surface convex portion 61, and other portions are flat on both the upper surface 20a and the lower surface 10b.

中間シート１００には、流路溝１０１、流路壁１０２、および主流溝３２が備えられている。
流路溝１０１は、中間シート１００を厚さ方向に貫通した溝であり、上述した第１下側流路溝１２Ｇ１と第１上側流路溝２１Ｇ１とを重ねて第１流路を構成する溝であり、これに相当する形態および位置に配置される。中間シート１００には、上述した第２下側流路溝１２Ｇ２と第２上側流路溝２１Ｇ２と重ねて第１流路を構成する溝、および、第３下側流路溝１２Ｇ３と第３上側流路溝２１Ｇ３とを重ねた流路に相当する溝を備えている。
流路壁１０２は、下側流路壁部１３と下側流路壁部２２とを重ねた壁部に相当する形態および位置に配置される壁部である。
主流溝３２は、上述の主流溝３２と同様に第２流路を構成する形態および配置を有する溝であり、中間シート１００の下面１００ｂに備えられている。 The intermediate sheet 100 is provided with channel grooves 101 , channel walls 102 , and mainstream grooves 32 .
The flow channel 101 is a groove penetrating the intermediate sheet 100 in the thickness direction, and the first lower flow channel 12G1 and the first upper flow channel 21G1 are overlapped to form the first flow channel. and arranged in a form and position corresponding to this. The intermediate sheet 100 has a groove that overlaps the second lower flow groove 12G2 and the second upper flow groove 21G2 to form the first flow path, and a third lower flow groove 12G3 and a third upper flow groove 12G3. It has a groove corresponding to a flow path that overlaps with the flow path groove 21G3.
The channel wall 102 is a wall portion arranged in a form and position corresponding to a wall portion in which the lower channel wall portion 13 and the lower channel wall portion 22 are overlapped.
The main groove 32 is a groove having a shape and arrangement that form a second flow path, like the main groove 32 described above, and is provided on the lower surface 100 b of the intermediate sheet 100 .

そして、下側シート凹部５０、下側底面凸部５１、上側シート凹部６０、および上側底面凸部６１は、ベーパーチャンバの平面視で流路溝１０１に重なる位置に配置されている。 The lower seat recess 50, the lower bottom surface protrusion 51, the upper seat recess 60, and the upper bottom surface protrusion 61 are arranged at positions overlapping the flow channel 101 in plan view of the vapor chamber.

図２４に示したベーパーチャンバも、下側シート１０（第１シート）、上側シート２０（第２シート）、および、中間シート１００（第３シート）の積層体である。
図２４に示したベーパーチャンバでは、図２３に示したベーパーチャンバに対して主流溝３２の断面積が広くされているとともに、ここにウィック材１０３が配置されている。ウィック材１０３は、毛細管力を生じさせるような微細な構造を有する材料であり、例えば、焼結粒子、より線、不織布、メッシュ材等を挙げることができる。なお本形態の主流溝３２は上記した形態の主流溝３２よりも大きく形成されているが、第１流路と第２流路との関係は上記と同様に考えることができる。
これによればウィック材１０３により毛細管力を生じさせることができるため主流溝３２を微細に作製する必要がないため形状精度の管理を緩和することができる。 The vapor chamber shown in FIG. 24 is also a laminate of a lower sheet 10 (first sheet), an upper sheet 20 (second sheet) and an intermediate sheet 100 (third sheet).
In the vapor chamber shown in FIG. 24, the cross-sectional area of the main groove 32 is made wider than in the vapor chamber shown in FIG. 23, and the wick material 103 is arranged here. The wick material 103 is a material having such a fine structure as to generate capillary force, and examples thereof include sintered particles, twisted wire, non-woven fabric, and mesh material. Although the main groove 32 of this embodiment is formed larger than the main groove 32 of the above-described embodiment, the relationship between the first flow path and the second flow path can be considered in the same manner as described above.
According to this, since capillary force can be generated by the wick material 103, there is no need to finely fabricate the main groove 32, so control of shape accuracy can be relaxed.

図２５に示したベーパーチャンバは、下側シート１０（第１シート）、上側シート２０（第２シート）、および、２つの中間シート１００（第３シート）、１１０（第４シート）の積層体からなる。
下側シート１０と上側シート２０との間に挟まれるように中間シート１００、１１０が配置され、下側シート１０の上面１０ａが中間シート１００の下面１００ｂに接触し、中間シート１００の上面１００ａが中間シート１１０の下面１１０ｂに接触し、上側シート２０の下面２０ａが中間シート１１０の上面１１０ａに接触し、それぞれ接合されている。接合の態様は上記した通りである。 The vapor chamber shown in FIG. 25 is a stack of a lower sheet 10 (first sheet), an upper sheet 20 (second sheet) and two intermediate sheets 100 (third sheet) and 110 (fourth sheet). consists of
Intermediate sheets 100 and 110 are arranged so as to be sandwiched between the lower sheet 10 and the upper sheet 20, the upper surface 10a of the lower sheet 10 contacts the lower surface 100b of the intermediate sheet 100, and the upper surface 100a of the intermediate sheet 100 contacts the lower surface 100b of the intermediate sheet 100. The bottom surface 110b of the intermediate sheet 110 is in contact, and the bottom surface 20a of the upper sheet 20 is in contact with the top surface 110a of the intermediate sheet 110 and joined together. The mode of bonding is as described above.

ここでは下側シート１０は、下側シート凹部５０および下側底面凸部５１を備えており、他の部位は上面１０ａおよび下面１０ｂのいずれも平坦である。
同様に、上側シート２０は、上側シート凹部６０および上側底面凸部６１を備えており、他の部位は上面２０ａおよび下面１０ｂのいずれも平坦である。 Here, the lower sheet 10 has a lower sheet concave portion 50 and a lower bottom surface convex portion 51, and other portions are flat on both the upper surface 10a and the lower surface 10b.
Similarly, the upper sheet 20 has an upper sheet concave portion 60 and an upper bottom surface convex portion 61, and other portions are flat on both the upper surface 20a and the lower surface 10b.

中間シート１００には、第１下側流路溝１２Ｇ１、下側流路壁部１３、および主流溝３１が備えられている。
本形態における第１下側流路溝１２Ｇ１は、中間シート１００を厚さ方向に貫通した溝であるが、それ以外においては上述した第１下側流路溝１２Ｇ１と同様の形態および位置に配置することができる。同様にして、中間シート１００には、上述した第２下側流路溝１２Ｇ２に相当する流路溝、および、第３下側流路溝１２Ｇ３に相当する流路溝も備えている。
下側流路壁部１３は、上述した下側流路壁部１３と同様の形態及び位置に配置することができる。
本形態における主流溝３１は、中間シート１００を厚さ方向に貫通した溝であるが、上述の主流溝３２と同様の形態および配置であり、中間シート１００の下側流路壁部１３に備えられている。 The intermediate sheet 100 is provided with a first lower channel groove 12</b>G<b>1 , a lower channel wall portion 13 and a mainstream groove 31 .
The first lower flow groove 12G1 in this embodiment is a groove that penetrates the intermediate sheet 100 in the thickness direction, but is otherwise arranged in the same form and position as the above-described first lower flow groove 12G1. can do. Similarly, the intermediate sheet 100 also has a channel groove corresponding to the second lower channel groove 12G2 and a channel groove corresponding to the third lower channel groove 12G3.
The lower channel wall portion 13 can be arranged in the same form and position as the lower channel wall portion 13 described above.
The main groove 31 in this embodiment is a groove penetrating the intermediate sheet 100 in the thickness direction, but has the same form and arrangement as the main groove 32 described above, and is provided in the lower flow path wall portion 13 of the intermediate sheet 100. It is

中間シート１１０には、第１上側流路溝２１Ｇ１および上側流路壁部２２が備えられている。
本形態における第２上側流路溝２１Ｇ１は、中間シート１１０を厚さ方向に貫通した溝であるが、それ以外においては上述した第２上側流路溝２１Ｇ１と同様の形態および位置に配置することができる。同様にして、中間シート１１０には、上述した第２上側流路溝２１Ｇ２に相当する流路溝、および、第３上側流路溝２１Ｇ３に相当する流路溝も備えている。
上側流路壁部２２は、上述した上側流路壁部２２と同様の形態及び位置に配置することができる。 The intermediate sheet 110 is provided with the first upper channel groove 21G1 and the upper channel wall portion 22 .
The second upper flow groove 21G1 in the present embodiment is a groove that penetrates the intermediate sheet 110 in the thickness direction, but is otherwise arranged in the same form and position as the above-described second upper flow groove 21G1. can be done. Similarly, the intermediate sheet 110 also has a channel groove corresponding to the second upper channel groove 21G2 and a channel groove corresponding to the third upper channel groove 21G3.
The upper channel wall 22 can be arranged in the same configuration and position as the upper channel wall 22 described above.

そして、第１下側流路溝１２Ｇ１と第１上側流路溝２１Ｇ１とがベーパーチャンバの平面視で重なるように配置されて第１流路とされる。一方、下側流路壁部１３と上側流路壁部２２とがベーパーチャンバの平面視で重なるように配置されて主流溝３１により第２流路とされる。
さらに、下側シート凹部５０、下側底面凸部５１、上側シート凹部６０、および上側底面凸部６１は、ベーパーチャンバの平面視で第１下側流路溝１２Ｇ１および第１上側流路溝２１Ｇ１に重なる位置に配置されている。 The first lower channel groove 12G1 and the first upper channel groove 21G1 are arranged so as to overlap each other in a plan view of the vapor chamber to form a first channel. On the other hand, the lower channel wall portion 13 and the upper channel wall portion 22 are arranged so as to overlap each other in a plan view of the vapor chamber, and are formed into a second channel by the main groove 31 .
Furthermore, the lower seat recess 50, the lower bottom surface protrusion 51, the upper seat recess 60, and the upper bottom surface protrusion 61 are arranged in the same manner as the first lower flow groove 12G1 and the first upper flow groove 21G1 in plan view of the vapor chamber. are placed in overlapping positions.

図２６には、ここまで説明したベーパーチャンバに具備されていた下側シート凹部５０、下側底面凸部５１、上側シート凹部６０、および上側底面凸部６１の代わりに、その凹凸関係が反対となった、下側シート凸部５０’、下側底面凹部５１’、上側シート凸部６０’、および上側底面凹部６１’が具備されたベーパーチャンバを説明する断面図を表した。
このベーパーチャンバでは、ベーパーチャンバの平面視で第１下側流路溝１２Ｇ１および第１上側流路溝２１Ｇ１に重なる位置に、下側シート１０の下面１０ｂに下側シート凸部５０’、上側シート２０の上面２０ｂに上側シート凸部６０’がそれぞれ配置されている。一方、下側シート１０の上面１０ａ側には下側底面凹部５１’、上側シート２０の下面２０ａに上側底面凹部６１’がそれぞれ配置されている。
これら、下側シート凸部５０’、下側底面凹部５１’、上側シート凸部６０’、および上側底面凹部６１’は、上記した形態に具備された下側シート凹部５０、下側底面凸部５１、上側シート凹部６０、および上側底面凸部６１に対してその凹凸関係が反対になったこと以外は、同様に考えることができる。 In FIG. 26, instead of the lower seat recess 50, the lower bottom surface protrusion 51, the upper seat recess 60, and the upper bottom surface protrusion 61 provided in the vapor chamber described so far, the uneven relationship is reversed. 5 shows a cross-sectional view illustrating a vapor chamber provided with a lower seat protrusion 50', a lower bottom surface recess 51', an upper seat protrusion 60', and an upper bottom surface recess 61'.
In this vapor chamber, a lower sheet convex portion 50' and an upper sheet convex portion 50' are provided on the lower surface 10b of the lower sheet 10 at positions overlapping the first lower flow channel groove 12G1 and the first upper flow channel groove 21G1 in plan view of the vapor chamber. 20, an upper sheet convex portion 60' is arranged on the upper surface 20b thereof. On the other hand, on the upper surface 10a side of the lower sheet 10, a lower bottom surface recessed portion 51' is arranged, and on the lower surface 20a of the upper sheet 20, an upper bottom surface recessed portion 61' is arranged.
The lower sheet convex portion 50', the lower bottom surface concave portion 51', the upper sheet convex portion 60', and the upper bottom surface concave portion 61' are the lower sheet concave portion 50 and the lower bottom surface convex portion provided in the form described above. 51, the upper sheet concave portion 60, and the upper bottom surface convex portion 61, except that the concave/convex relationship is reversed.

このような形態のベーパーチャンバによれば、上記した効果の他、第１流路（蒸気流路）の流動抵抗を下げることができるとともに、蒸気流路が凝縮液で閉塞してしまう可能性を低減することができる。 According to the vapor chamber having such a configuration, in addition to the effects described above, the flow resistance of the first flow path (vapor flow path) can be reduced, and the possibility of clogging the vapor flow path with condensate can be reduced. can be reduced.

本開示の上記形態および変形例はそのままに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記形態および変形例に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の形態とすることができる。各形態および変形例に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。 The above-described forms and modifications of the present disclosure are not limited as they are, and can be embodied by modifying the constituent elements without departing from the gist thereof. Further, various forms can be made by appropriately combining the plurality of constituent elements disclosed in the above forms and modifications. Some components may be deleted from all the components shown in each form and modification.

１ ベーパーチャンバ
２ 作動液
３ 密封空間
４ 注入部
１０ 下側シート
１１ 蒸発部
１２ 下側蒸気流路凹部
１２ａ 底面
１３ 下側流路壁部
１３ａ 上面
２０ 上側シート
２１ 上側蒸気流路凹部
２１ａ 底面
２２ 上側流路壁部
２２ａ 下面
５０ 下側シート凹部
５１ 下側底面凸部
６０ 上側シート凹部
６１ 上側底面凸部
７０ 第１下側金型
７０ａ、７０ｂ 金型凸部
７１ 第２下側金型
７１ａ 金型凸部
８０ 第１上側金型
８０ａ 金型凸部
８１ 第２上側金型
８１ａ 金型凸部
９０ 上面凸部
Ｍ１ 下側材料シート
Ｍ１ａ 上面
Ｍ１ｂ 下面
Ｍ２ 上側材料シート
Ｍ２ａ 下面
Ｍ２ｂ 上面 1 vapor chamber 2 working fluid 3 sealed space 4 injection part 10 lower sheet 11 evaporating part 12 lower steam channel recess 12a bottom surface 13 lower channel wall part 13a upper surface 20 upper sheet 21 upper steam channel recess 21a bottom surface 22 upper side Flow path wall portion 22a Lower surface 50 Lower sheet concave portion 51 Lower bottom surface convex portion 60 Upper sheet concave portion 61 Upper bottom surface convex portion 70 First lower molds 70a, 70b Mold convex portion 71 Second lower mold 71a Mold Projection 80 First upper mold 80a Mold projection 81 Second upper mold 81a Mold projection 90 Upper surface projection M1 Lower material sheet M1a Upper surface M1b Lower surface M2 Upper material sheet M2a Lower surface M2b Upper surface

Claims (3)

作動流体が封入された密封空間を有するベーパーチャンバであって、
前記密封空間には、
気体状態の前記作動流体が流れる複数の蒸気流路と、
隣り合う複数の前記蒸気流路間に設けられ、液体状態の前記作動流体が流れるウィック材と、
が備えられ、
平面視で前記蒸気流路に重なる位置の前記ベーパーチャンバの外面の少なくとも一部には凹部及び凸部の少なくともいずれかが具備されており、
前記凹部及び前記凸部は、前記蒸気流路が延びる方向に直交する断面において湾曲した形状である、
ベーパーチャンバ。 A vapor chamber having a sealed space in which a working fluid is enclosed,
In the sealed space,
a plurality of vapor flow paths through which the gaseous working fluid flows;
a wick material provided between the plurality of adjacent vapor flow paths and through which the working fluid in a liquid state flows;
is provided,
At least a portion of the outer surface of the vapor chamber at a position overlapping the steam flow path in plan view is provided with at least one of a concave portion and a convex portion,
The concave portion and the convex portion each have a curved shape in a cross section orthogonal to the direction in which the steam flow path extends.
vapor chamber. 作動流体が封入された密封空間を有するベーパーチャンバであって、
前記密封空間には、
気体状態の前記作動流体が流れる複数の蒸気流路と、
隣り合う複数の前記蒸気流路間に設けられ、液体状態の前記作動流体が流れる液流路またはウィック材と、
が備えられ、
平面視で前記蒸気流路に重なる位置の前記ベーパーチャンバの外面の少なくとも一部には凹部が具備されており、
前記凹部は、前記蒸気流路が延びる方向に直交する断面において前記蒸気流路の幅方向の全体にわたって設けられている、
ベーパーチャンバ。 A vapor chamber having a sealed space in which a working fluid is enclosed,
In the sealed space,
a plurality of vapor flow paths through which the gaseous working fluid flows;
a liquid channel or wick material provided between the plurality of adjacent vapor channels and through which the working fluid in a liquid state flows;
is provided,
a recess is provided in at least a portion of the outer surface of the vapor chamber at a position overlapping the steam flow path in a plan view,
The recess is provided over the entire width direction of the steam channel in a cross section perpendicular to the direction in which the steam channel extends,
vapor chamber. 作動流体が封入された密封空間を有するベーパーチャンバであって、
前記密封空間には、
気体状態の前記作動流体が流れる複数の蒸気流路と、
隣り合う複数の前記蒸気流路間に設けられ、液体状態の前記作動流体が流れる液流路またはウィック材と、
が備えられ、
平面視で前記蒸気流路に重なる位置の前記ベーパーチャンバの外面の少なくとも一部には凹部が具備されており、
前記凹部は、平面視で前記液流路または前記ウィック材に重なる位置には設けられていない、ベーパーチャンバ。 A vapor chamber having a sealed space in which a working fluid is enclosed,
In the sealed space,
a plurality of vapor flow paths through which the gaseous working fluid flows;
a liquid channel or wick material provided between the plurality of adjacent vapor channels and through which the working fluid in a liquid state flows;
is provided,
a recess is provided in at least a portion of the outer surface of the vapor chamber at a position overlapping the steam flow path in a plan view,
The vapor chamber, wherein the concave portion is not provided at a position overlapping the liquid flow path or the wick material in plan view.

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