JP7107332B2 - 分離膜の洗浄方法 - Google Patents
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Description
ケイ素含有排水はケイ素濃度が5mg/L以上50mg/L以下であり、
分離膜はUF膜若しくはMF膜である、
分離膜の洗浄方法。
水溶性フッ化水素塩を含有する溶液に酸洗浄した分離膜を接触させ、
水溶性フッ化水素塩を含有する溶液に接触させた分離膜をアルカリ洗浄することを含み、
ケイ素含有排水はケイ素濃度が5mg/L以上50mg/L以下であり、
分離膜はUF膜若しくはMF膜である、
分離膜の洗浄方法。
水溶性フッ化水素塩を含有する溶液に酸洗浄した分離膜を接触させ、
水溶性フッ化水素塩を含有する溶液に接触させた分離膜をアルカリ洗浄し、
アルカリ洗浄した分離膜を酸洗浄することを含み、
ケイ素含有排水はケイ素濃度が5mg/L以上50mg/L以下であり、
分離膜はUF膜若しくはMF膜である、
分離膜の洗浄方法。
〔7〕 水溶性フッ化水素塩がフッ化アンモニウムである、〔1〕~〔6〕のいずれかひとつに記載の洗浄方法。
所定の頻度にて〔1〕~〔7〕のいずれかひとつに記載の洗浄方法を行うことを含む、
ケイ素含有排水の処理方法。
分離膜を用いて凝集処理後のケイ素含有排水を膜分離若しくは除濁し、
所定の頻度にて〔1〕~〔7〕のいずれかひとつに記載の洗浄方法を行うことを含む、
ケイ素含有排水の処理方法。
〔10〕 凝集処理する前のケイ素含有排水は、ケイ素濃度が5mg/L以上50mg/L以下である、〔9〕に記載の処理方法。
分離膜としては、例えば、ポリエチレン(PE)、4フッ化エチレン(PTFE)、ポリプロピレン(PP)、酢酸セルロース(CA)、ポリアクリロニトリル(PAN)、ポリイミド(PI)、ポリスルホン(PS)、ポリエーテルスルホン(PES)などの有機材料からなる膜;ならびに酸化アルミニウム(アルミナ:Al2O3)、酸化ジルコニウム(ジルコニア:ZrO2)、酸化チタン(チタニア:TiO2)、ステンレス(SUS)などの無機材料からなる膜を挙げることができる。
分離膜とフッ化水素塩溶液との接触は、分離膜若しくは膜モジュールを水処理装置から取り外して、または分離膜若しくは膜モジュールを水処理装置に取り付けたままで行うことができる。
取り外した分離膜若しくは膜モジュールは、フッ化水素塩溶液に浸漬することによって、フッ化水素塩溶液を吹きかけることによって、若しくはフッ化水素塩溶液を垂れ流すことによって、フッ化水素塩溶液と接触させることができる。取り付けたままの分離膜若しくは膜モジュールは、膜分離処理を休止し、フッ化水素塩溶液による逆流洗浄、フッ化水素塩溶液によるフラッシング洗浄、フッ化水素塩溶液による浸け置き洗浄などを行うことによって、フッ化水素塩溶液と接触させることができる。
本発明のケイ素含有排水の処理方法の別の形態は、ケイ素含有排水に無機凝集剤を添加して凝集処理し、分離膜を用いて凝集処理後のケイ素含有排水を膜分離若しくは除濁し、所定の頻度にて前述した本発明の洗浄方法を行うことを含む。
凝集処理においては、通常、凝集剤が用いられる。凝集剤には、無機凝集剤と有機凝集剤とがある。本発明においては、硫酸アルミニウム、ポリ硫酸第二鉄、ポリ塩化アルミニウム、塩化第二鉄などの無機凝集剤が好ましく用いられる。これら凝集剤は1種を単独で若しくは2種以上を組み合わせて用いることができる。
凝集剤の添加量は、処理対象であるケイ素含有排水における凝集効果を観察して適宜に調節することができ、具体的には、好ましくは5.0~50質量%/SS、より好ましくは5.0~30質量%/SS、さらに好ましくは7.0~20質量%/SSである。凝集剤の使用によって、膜分離若しくは除濁の効率が向上する。一方で、凝集剤を添加した箇所の下流にある分離膜に凝集剤由来の金属成分や有機物が付着することがある。
膜分離処理若しくは除濁処理においては、所定の頻度にて、膜の物理洗浄を行うことが好ましい。物理洗浄の頻度は、例えば、膜分離処理若しくは除濁処理30秒間~60分間に1回が好ましい。物理洗浄は、逆流洗浄、空気洗浄(エアスクラビング)等によって行うことができる。
半導体の製造工場に設置された排ガス無害化用の湿式排ガス処理装置から排出された水の浄化処理に用いられた分離膜(外径1.4mm、孔径0.02μm、ポリフッ化ビニルデン製のUF膜、中空糸型モジュール)を用意した。該分離膜は、SEM-EDS(測定倍率:500倍)による質量組成分析の結果、表1に示す元素を含有するものであった。Fe、Si、Fが検出された。
分離膜から中空糸を切り出した。中空糸はFeによって茶褐色を呈していた。それを薬液に、6時間浸漬した。浸漬中の中空糸の色の変化を観察した。
5質量%硫酸、
5質量%硝酸、
5質量%塩酸、
5質量%シュウ酸水溶液(以下、「薬液1」という。)、
5質量%水酸化ナトリウムと0.5質量%asCl2次亜塩素酸ナトリウムとの水溶液(以下、薬液2」という。)、および
5質量%フッ化アンモニウム水溶液(以下、「薬液3」という。)
を用いた。
図2に示すような評価用膜分離装置を以下のようにして組み立てた。
分離膜から中空糸11を切り出した。両端にチーズ継手14にて枝管15を設けてなる本管12に中空糸11を挿入し、中空糸の一方の端Aを本管の一方の端Aにてポッティング材13で固定し、本管の他方の端Bにて中空糸11の他方の端Cが本管12の外に出るようにポッティング材13で固定して、膜長さ7.5cm、膜面積10.6cm2の単糸モジュール10を得た。中空糸の端Aにある開口はポッティング材で塞がっている。外に出た中空糸の端Cの開口に処理水ライン24を繋いだ。本管の端Aにある枝管15に給水ライン21を繋いだ。本管の端Bにある枝管に排水ライン22を繋いだ。給水ライン21と処理水ライン24に圧力計を取り付けた。排水ライン22の途中から循環ライン23を分岐させて給水ライン21の途中に繋いで液を循環できるようにした。
その後、単糸モジュール内に薬液を留めた状態で2時間放置して、中空糸に薬液を含侵させた(薬液含浸)。
循環ラインのバルブを閉じ、排水ラインのバルブを開き、給水ラインから純水を単糸モジュールに供給し、中空糸を、排水ラインのpHが中性となるまで濯いだ(純粋濯ぎ)。
排水ラインのバルブを閉じ、処理水ラインのバルブを開き、給水ラインから純水を単糸モジュールに供給し、液をFlux4m/dayで処理水ラインに排出させた(純水供給)。給水ラインの圧力と処理水ラインの圧力を測定し、その差(換算差圧)を記録した。
換算差圧を記録したのち、純水の供給を停止した。
5質量%シュウ酸水溶液(pH1.6、「薬液1」)、
5質量%水酸化ナトリウムと0.5質量%asCl2次亜塩素酸ナトリウムとの水溶液(pH13、「薬液2」)、
5質量%シュウ酸と1質量%アスコルビン酸ナトリウムとの水溶液(pH2.3、以下「薬液4」という。)、
5質量%フッ化アンモニウム水溶液(pH2.9、「薬液3」)、および
1質量%フッ化アンモニウム水溶液(硫酸によるpH調整,pH3、以下「薬液5」という。)を用いた。
実験例2と同じ方法で評価用膜分離装置を組み立てた。図4に示す洗浄スケジュールに従って以下のように単糸モジュールを洗浄した。
処理水ラインのバルブを閉じ、循環ラインのバルブを開き、給水ラインから薬液3を単糸モジュールに5分間循環させた。その後、単糸モジュール内に薬液3を留めた状態で6時間放置して、中空糸に薬液3を含侵させた。
循環ラインのバルブを閉じ、排水ラインのバルブを開き、給水ラインから純水を単糸モジュールに供給し、中空糸を、排水ラインのpHが中性となるまで濯いだ。
排水ラインのバルブを閉じ、処理水ラインのバルブを開き、給水ラインから純水を単糸モジュールに供給し、液をFlux4m/dayで処理水ラインに排出させた。給水ラインの圧力と処理水ラインの圧力を測定し、その差(換算差圧)を記録した。
換算差圧を記録したのち、純水の供給を停止した。
処理水ラインのバルブを閉じ、循環ラインのバルブを開き、給水ラインから2質量%シュウ酸と1質量%アスコルビン酸との水溶液(以下、「薬液6」という。)を単糸モジュールに5分間循環させた。その後、単糸モジュール内に薬液6を留めた状態で2時間放置して、中空糸に薬液6を含侵させた。
循環ラインのバルブを閉じ、排水ラインのバルブを開き、給水ラインから純水を単糸モジュールに供給し、中空糸を、排水ラインのpHが中性となるまで濯いだ。
排水ラインのバルブを閉じ、処理水ラインのバルブを開き、給水ラインから純水を単糸モジュールに供給し、液をFlux4m/dayで処理水ラインに排出させた。給水ラインの圧力と処理水ラインの圧力を測定し、その差(換算差圧)を記録した。
換算差圧を記録したのち、純水の供給を停止した。
処理水ラインのバルブを閉じ、循環ラインのバルブを開き、給水ラインから1質量%水酸化ナトリウムと0.5質量%asCl2次亜塩素酸ナトリウムとの水溶液(以下、「薬液7」という。)を単糸モジュールに5分間循環させた。その後、単糸モジュール内に薬液7を留めた状態で15時間放置して、中空糸に薬液7を含侵させた。
循環ラインのバルブを閉じ、排水ラインのバルブを開き、給水ラインから純水を単糸モジュールに供給し、中空糸を、排水ラインのpHが中性となるまで濯いだ。
排水ラインのバルブを閉じ、処理水ラインのバルブを開き、給水ラインから純水を単糸モジュールに供給し、液をFlux4m/dayで処理水ラインに排出させた。給水ラインの圧力と処理水ラインの圧力を測定し、その差(換算差圧)を記録した。
換算差圧を記録したのち、純水の供給を停止した。
処理水ラインのバルブを閉じ、循環ラインのバルブを開き、給水ラインから2質量%シュウ酸水溶液(以下、「薬液8」という。)を単糸モジュールに5分間循環させた。その後、単糸モジュール内に薬液8を留めた状態で2時間放置して、中空糸に薬液8を含侵させた。
循環ラインのバルブを閉じ、排水ラインのバルブを開き、給水ラインから純水を単糸モジュールに供給し、中空糸を、排水ラインのpHが中性となるまで濯いだ。
排水ラインのバルブを閉じ、処理水ラインのバルブを開き、給水ラインから純水を単糸モジュールに供給し、液をFlux4m/dayで処理水ラインに排出させた。給水ラインの圧力と処理水ラインの圧力を測定し、その差(換算差圧)を記録した。結果を図5に示す。
換算差圧を記録したのち、給水ラインから純水を単糸モジュールに供給し、液をFlux16m/dayで処理水ラインに排出させた。給水ラインの圧力と処理水ラインの圧力を測定し、その差(換算差圧)を記録した。結果を図6に示す。
6時間のフッ化水素塩洗浄と2時間の第一酸洗浄の順序を逆にした以外は実験例3と同じ方法で換算差圧を記録した。結果を図5および図6に示す。
6時間のフッ化水素塩洗浄と2時間の第一酸洗浄を、8時間のフッ化水素塩洗浄に変えた以外は実験例3と同じ方法で換算差圧を記録した。結果を図5および図6に示す。
第二酸洗浄において用いる薬液8を薬液6に変えた以外は実験例4と同じ方法で換算差圧を記録した。結果を図5に示す。なお、Flux16m/dayでの水運転は行わなかった。
2:本管
3:ポッティング材
4:チーズ継手
5:枝管
A:原水
B:膜不透過水
C:膜透過水
10:単糸モジュール
21:給水ライン
22:排水ライン
23:循環ライン
24:処理水ライン
c1~c3:薬液供給口
p:純水供給口
Claims (9)
- ケイ素含有排水に凝集剤を添加して凝集処理し、
分離膜を用いて凝集処理後のケイ素含有排水を膜分離若しくは除濁し、
所定の頻度にて水溶性フッ化水素塩を含有する溶液にケイ素含有排水の膜分離若しくは除濁に使用した分離膜を接触させることを含む分離膜の洗浄方法を行うことを含み、
膜分離若しくは除濁に供するケイ素含有排水はケイ素濃度が5mg/L以上50mg/L以下であり、
分離膜はUF膜若しくはMF膜であり、且つ
水溶性フッ化水素塩を含有する溶液は燐化合物または弗素含有酸を含有しない、
ケイ素含有排水の処理方法。 - ケイ素含有排水の膜分離若しくは除濁に使用した分離膜を、酸洗浄および/またはアルカリ洗浄することをさらに含む、請求項1に記載の処理方法。
- ケイ素含有排水に凝集剤を添加して凝集処理し、
分離膜を用いて凝集処理後のケイ素含有排水を膜分離若しくは除濁し、
所定の頻度にてケイ素含有排水の膜分離若しくは除濁に使用した分離膜を酸洗浄し、水溶性フッ化水素塩を含有する溶液に酸洗浄した分離膜を接触させ、水溶性フッ化水素塩を含有する溶液に接触させた分離膜をアルカリ洗浄することを含む分離膜の洗浄方法を行うことを含み、
膜分離若しくは除濁に供するケイ素含有排水はケイ素濃度が5mg/L以上50mg/L以下であり、
分離膜はUF膜若しくはMF膜であり、且つ
水溶性フッ化水素塩を含有する溶液は燐化合物または弗素含有酸を含有しない、
ケイ素含有排水の処理方法。 - ケイ素含有排水に凝集剤を添加して凝集処理し、
分離膜を用いて凝集処理後のケイ素含有排水を膜分離若しくは除濁し、
所定の頻度にてケイ素含有排水の膜分離若しくは除濁に使用した分離膜を酸洗浄し、水溶性フッ化水素塩を含有する溶液に酸洗浄した分離膜を接触させ、水溶性フッ化水素塩を含有する溶液に接触させた分離膜をアルカリ洗浄し、アルカリ洗浄した分離膜を酸洗浄することを含む分離膜の洗浄方法を行うことを含み、
膜分離若しくは除濁に供するケイ素含有排水はケイ素濃度が5mg/L以上50mg/L以下であり、
分離膜はUF膜若しくはMF膜であり、且つ
水溶性フッ化水素塩を含有する溶液は燐化合物または弗素含有酸を含有しない、
ケイ素含有排水の処理方法。 - ケイ素含有排水に凝集剤を添加して凝集処理し、
分離膜を用いて凝集処理後のケイ素含有排水を膜分離若しくは除濁し、
所定の頻度にて水溶性フッ化水素塩を含有する溶液にケイ素含有排水の膜分離若しくは除濁に使用した分離膜を接触させることを含む分離膜の洗浄方法を行うことを含み、
水溶性フッ化水素塩を含有する溶液は燐化合物または弗素含有酸を含有しない、
ケイ素含有排水の処理方法。 - 水溶性フッ化水素塩を含有する溶液は、水溶性フッ化水素塩の濃度が1~10%であり且つpHが5未満である、請求項1~5のいずれかひとつに記載の処理方法。
- 水溶性フッ化水素塩を含有する溶液は、水溶性フッ化水素塩の濃度が3~7%であり且つpHが5未満である、請求項1~5のいずれかひとつに記載の処理方法。
- 水溶性フッ化水素塩がフッ化アンモニウムである、請求項1~7のいずれかひとつに記載の処理方法。
- 凝集処理する前のケイ素含有排水は、ケイ素濃度が5mg/L以上50mg/L以下である、請求項1~8に記載の処理方法。
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