JP7102303B2 - X線検査装置及びx線発生器高さ調整方法 - Google Patents
X線検査装置及びx線発生器高さ調整方法 Download PDFInfo
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Description
本発明に係るX線発生器高さ調整方法において、前記X線減衰率の高い部材は角柱状の棒材であり、前記棒材が、前記隙間を開けるために薄板に設けられた一対のスペーサ上に配置されることを特徴とする。
この方法により、X線減衰率の高い部材を所定高さの隙間を開けて載置部材に載置するときに、載置部材の上面の高さのばらつきの影響を受け難くすることができる。
X線減衰率の高い部材を所定高さの隙間を開けて前記コンベア2に載置し、前記X線発生器9から発生したX線を前記X線検出器10で検出し、前記X線検出器10で検出した前記検出素子配列方向の検出量の波形に基づいて、前記X線発生器9の前記高さ方向の位置を最適な位置に移動させる。
2 コンベア(載置部材)
2A コンベア上面
9 X線発生器
10 X線検出器
10A 検出素子
20 調整治具
40 制御部
41 位置調整部
42 駆動制御部
60 高さ調整機構
W 被検査物
Claims (5)
- X線を発生するX線発生器(9)と、
X線を検出するX線検出器(10)と、を備え、
前記X線発生器と前記X線検出器とが、被検査物(W)が載置される載置部材(2)の上面に沿う幅方向に対向して配置され、
前記X線検出器の複数の検出素子(10A)が前記載置部材の上面に直交する高さ方向に配列されたX線検査装置であって、
前記X線発生器の前記高さ方向の位置を調整する高さ調整機構(60)と、
X線減衰率の高い主部材を所定高さの隙間を開けて前記載置部材に載置可能な調整治具を前記載置部材上に載置したときに得られる前記X線検出器で検出した前記検出素子配列方向の検出量の波形において、所定の閾値を設定して抽出される、前記X線発生器が発生するX線が前記隙間を通過する区間の長さに基づいて、前記X線発生器の前記高さ方向の最適位置を判定し、前記高さ調整機構に調整させる位置調整部(41)と、を備えたX線検査装置。 - 前記調整治具は、前記幅方向に前記主部材と平行に配置される前記主部材よりX線減衰率が低い補助部材を有し、
前記位置調整部は、前記X線検出器側に前記補助部材が配置されるように前記載置部材上に前記調整治具を載置したときの前記波形の形状に基づいて、前記X線発生器を移動させる移動方向を判定すること特徴とする請求項1に記載のX線検査装置。 - 前記高さ調整機構を制御して前記X線発生器を移動させる駆動制御部(42)を有し、
前記駆動制御部は、前記位置調整部が判定した移動方向へ前記X線発生器を移動するように前記高さ調整機構を制御すること特徴とする請求項2に記載のX線検査装置。 - X線発生器とX線検出器とが、被検査物が載置される載置部材の上面に沿う幅方向に対向して配置され、前記X線検出器の複数の検出素子が前記載置部材の上面に直交する高さ方向に配列されたX線検査装置において、前記載置部材の上面に対するX線発生器高さ調整方法であって、
X線減衰率の高い部材を所定高さの隙間を開けて前記載置部材に載置する段階と、
前記X線発生器から発生したX線を前記X線検出器で検出する段階と、
前記X線検出器で検出した前記検出素子配列方向の検出量の波形において、所定の閾値を設定して抽出される、前記X線発生器が発生するX線が前記隙間を通過する区間の長さに基づいて、前記X線発生器の前記高さ方向の位置を最適な位置に移動させる段階と、を含むこと特徴とするX線発生器高さ調整方法。 - 前記X線減衰率の高い部材は角柱状の棒材であり、
前記棒材が、前記隙間を開けるために薄板に設けられた一対のスペーサ上に配置されることを特徴とする請求項4に記載のX線発生器高さ調整方法。
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