JP5381054B2 - ロードポート - Google Patents
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Description
2…パージステージ
23、24…パージポート(注入用パージポート、排出用パージポート)
3…オープナステージ
33…開口部
34…ドア部
35、36…サブパージ部(トップサブパージ部、サイドサブパージ部)
4…移動機構
9…FOUP
A…クリーンルーム
B…半導体製造装置
Claims (2)
- クリーンルーム内において半導体製造装置に隣接して設けられ、搬送されてきたFOUPを受け取り当該FOUP内に格納されているウェーハを前記半導体製造装置内と当該FOUP内との間で出し入れするロードポートであって、
パージステージと、
当該パージステージに水平方向に並べて設けられ、且つ前記半導体製造装置内に通じる開口部及び当該開口部を開閉可能なドア部を有するオープナステージと、
前記FOUPを前記パージステージと前記オープナステージとの間で少なくとも水平方向に移動させる移動機構とを具備してなり、
前記パージステージに、前記FOUPの底部に設けた注入口及び排出口に嵌合した状態で連結可能であり且つ前記FOUP内の気体雰囲気を窒素又は乾燥空気に置換可能なパージポートを設け、
前記移動機構を、前記FOUPを上面に載せ置くことが可能なメインテーブルと、当該メインテーブルを前記パージステージと前記オープナステージとの間で水平移動させる水平移動部とを備えた構成としていることを特徴とするロードポート。 - 前記オープナステージに、前記ドア部を作動させて前記開口部を開放した際に、前記FOUP内に窒素又は乾燥空気を吹き込み得るサブパージ部を設け、前記サブパージ部は、前記開口部のうち開口上縁部近傍に設けたトップサブパージ部、又は前記開口部のうち両側縁部近傍に設けたサイドサブパージ部の少なくとも何れか一方によって構成したものである請求項1に記載のロードポート。
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