JP7053986B2 - アクチュエータと光走査装置 - Google Patents
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Description
図1は、第1の実施の形態に係る光走査装置の光走査部の一例を示す上面側の平面図である。本実施の形態に係る光走査部100は、セラミックパッケージとパッケージカバー等のパッケージ部材に収容して用いることができる。
図3は、第2の実施の形態に係る光走査装置の光走査部の一例を示す上面側の平面図である。光走査部は、ミラーと、ミラー支持部122と、水平駆動梁132A、132Bと、垂直駆動梁172A、172Bと、固定枠181とを有する。ミラー支持部122の上面にミラーが支持されている。ミラーを支持するミラー支持部122の水平回転軸AXH方向の両側に水平駆動梁132A、132Bが配置され、水平駆動梁132A、132Bの一方の端部がミラー支持部122に接続され、他方の端部が固定枠181に接続されている。水平駆動梁132A、132Bは、水平回転軸AXHと直交する垂直回転軸AXVの方向に延在する複数の矩形状の水平梁を有し、隣接する水平梁の端部同士が折り返し部により連結され、全体としてジグザグ状の蛇腹構造を有する。
図7は第3の実施の形態に係る光走査装置の光走査部の一例を示す上面側の平面図である。故障検知用配線パターン10の経路上に抵抗変化式の測温抵抗体28が設けられていることを除いては、図1に示される光走査部と同様である。図7の光走査部では、故障検知用配線パターン10の経路上であって、可動枠160上に、測温抵抗体28が設けられている。通常時は測温抵抗体28を含む故障検知用配線パターン10の抵抗値を監視して、光走査部の温度の計測に用いられる。故障検知用配線パターン10が断線して導通が検出されなくなった場合には、駆動梁の折損が生じたものと判断される。測温抵抗体28としては、抵抗変化式のサーミスタを用いることができる。また、測温抵抗体以外の機能素子を故障検知用配線パターン10の経路上に配置することも可能であり、例えば歪ゲージを設けることで、歪みを監視することが可能である。さらなる配線を追加しないで温度測定あるいは歪み測定等の機能を付与することができる。
図8は第4の実施の形態に係る光走査装置の光走査部の一例を示す上面側の平面図である。故障検知用配線パターンとして、第1の配線パターン29と第2の配線パターン32が設けられていることを除いては、図1に示される光走査部と同様である。
図9は、第5の実施の形態に係る光走査装置の光走査部の一例を示す上面側の平面図である。光走査部は、ミラーを揺動させて光源から照射されるレーザ入射光を走査する部分であり、例えば圧電素子によりミラーを駆動させるMEMSミラー等である。光走査部に設けられたミラーにレーザ入射光を入射して、ミラーから出射される光を2次元に走査する。
図10は、第6の実施の形態に係る光走査装置の光走査部の一例を示す上面側の平面図である。光走査部は、ミラーを揺動させて光源から照射されるレーザ入射光を走査する部分であり、例えば圧電素子によりミラーを駆動させるMEMSミラー等である。光走査部に設けられたミラーにレーザ入射光を入射して、ミラーから出射される光を2次元に走査する。
11、12 端子
13 故障検知用配線パターン
14、15 端子
16 故障検知用配線パターン
17、18、19、20 端子
22 第1の配線パターン
23、24 端子
25 第2の配線パターン
26、27 端子
28 測温抵抗体
29 第1の配線パターン
30、31 端子
32 第2の配線パターン
33、34 端子
40 故障検知用配線パターン
41、42 端子
43 故障検知用配線パターン
44,45 端子
46 第1の配線パターン
47、48 端子
49 第2の配線パターン
50、51 端子
100 光走査部
110 ミラー
120 ミラー支持部
121A、121B 連結梁
122 ミラー支持部
130A、130B 水平駆動梁
131A、131B 水平駆動源
131A1、131A2、131A3、131A4 水平駆動源
131B1、131B2、131B3、131B4 水平駆動源
132A、132B 水平駆動梁
160 可動枠
170A、170B 垂直駆動梁
171A、171B 垂直駆動源
171A1、171A2 垂直駆動源
171B1、171B2 垂直駆動源
172A、172B 垂直駆動梁
180、181 固定枠
195,196 変位取得用センサ
220 ミラー支持部
231A、231B 水平駆動梁
260 可動枠
271A、271B 垂直駆動梁
280 固定枠
Claims (9)
- 駆動対象物と、
前記駆動対象物を支持する駆動梁と、
前記駆動梁を支持する固定枠と、
前記駆動梁を駆動して前記駆動対象物を所定の軸の周りに揺動させる駆動源と、を有し、
前記駆動梁は、前記所定の軸に垂直な方向に延在する複数の梁の隣接する端部同士が連結されて全体としてジグザグ状の蛇腹構造を有し、
前記複数の梁の上に形成された前記駆動源の外周に沿って、前記複数の梁の上を引き回されて形成され、前記固定枠の上に端子を有する故障検知用配線パターンを有する
アクチュエータ。 - 前記駆動対象物の外周に配置して設けられた可動枠と、
前記駆動対象物を支持して前記可動枠の内周に接続された第2の駆動梁と、
前記第2の駆動梁を駆動して前記駆動対象物を第2の所定の軸の周りに揺動させる第2の駆動源と、をさらに有し、
前記駆動梁は、前記可動枠及び前記第2の駆動梁を介して前記駆動対象物を支持する
請求項1に記載のアクチュエータ。 - 前記故障検知用配線パターンが前記駆動梁及び前記第2の駆動梁の上を引き回されて形成されている
請求項2に記載のアクチュエータ。 - 前記故障検知用配線パターンが前記駆動梁の上を引き回されて形成され、前記第2の駆動梁の上を引き回されておらず、
前記駆動梁及び前記第2の駆動梁の上を引き回されて形成され、前記固定枠の上に端子を有する第2の故障検知用配線パターンをさらに有する
請求項2に記載のアクチュエータ。 - 前記第2の駆動梁は、前記第2の所定の軸に垂直な方向に延在する複数の第2の梁を有し、隣接する前記第2の梁の端部同士が連結されて全体としてジグザグ状の蛇腹構造を有し、前記駆動対象物を前記第2の所定の軸の周りに揺動する
請求項2乃至4のいずれか1項に記載のアクチュエータ。 - 前記第2の駆動梁は、前記第2の所定の軸の方向に延在する捻れ梁であり、前記駆動対象物を前記第2の所定の軸の周りに揺動する
請求項2乃至4のいずれか1項に記載のアクチュエータ。 - 前記駆動対象物を支持し、第2の所定の軸に垂直な方向に延在する複数の第2の梁を有し、隣接する前記第2の梁の端部同士が連結されて全体としてジグザグ状の蛇腹構造を有し、前記駆動対象物を前記第2の所定の軸の周りに揺動する第2の駆動梁と、
前記第2の駆動梁を駆動して前記駆動対象物を第2の所定の軸の周りに揺動させる第2の駆動源と、をさらに有する
請求項1に記載のアクチュエータ。 - 前記故障検知用配線パターンは、前記駆動梁と前記第2の駆動梁の上を引き回されて形成されている
請求項7に記載のアクチュエータ。 - ミラーと、
前記ミラーを支持するミラー支持体と、
前記ミラー支持体を支持する駆動梁と、
前記駆動梁を支持する固定枠と、
前記駆動梁を駆動して前記ミラー支持体を所定の軸の周りに揺動させる駆動源と、を有し、
前記駆動梁は、前記所定の軸に垂直な方向に延在する複数の梁の隣接する端部同士が連結されて全体としてジグザグ状の蛇腹構造を有し、
前記複数の梁の上に形成された前記駆動源の外周に沿って、前記複数の梁の上を引き回されて形成され、前記固定枠の上に端子を有する故障検知用配線パターンを有する
光走査装置。
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