JP7031199B2 - 圧電アクチュエータ、液体吐出ヘッド、及び、圧電アクチュエータの製造方法 - Google Patents

圧電アクチュエータ、液体吐出ヘッド、及び、圧電アクチュエータの製造方法 Download PDF

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Description

本発明は、圧電アクチュエータ、圧電アクチュエータを有する液体吐出ヘッド、及び、圧電アクチュエータの製造方法に関する。
圧電アクチュエータにおいて、複数の個別電極間の個別接点からの距離の違いによって、印加電圧にばらつきが生じる問題が知られている。当該問題を解決するため、特許文献１では、個別接点から遠くにある個別電極に隣接する位置に、共通電極と導通する導通配線を設けることが示されている。
特開２０１６－１２４１５３号公報
特許文献１では、共通電極が、基板の略全面に亘って形成され、全ての個別電極と対向している。この場合、共通電極の形成による残留応力が大きくなり、圧電アクチュエータ全体に反りが生じ、ひいては圧電アクチュエータが基板から剥離し得る。
本発明の目的は、圧電アクチュエータの反りを抑制すると共に、複数の個別電極において個別接点からの距離の違いによって印加電圧にばらつきが生じる問題を抑制することが可能な、圧電アクチュエータ、圧電アクチュエータを有する液体吐出ヘッド、及び、圧電アクチュエータの製造方法を提供することにある。
本発明の第１観点に係る圧電アクチュエータは、圧電体と、前記圧電体に対して前記圧電体の厚み方向の一方側に配置された、複数の個別電極と、前記圧電体に対して前記厚み方向の他方側に配置され、前記圧電体を挟んで前記複数の個別電極と前記厚み方向に対向する、共通電極と、前記複数の個別電極のそれぞれと繋がる、複数の個別接点と、前記共通電極と繋がる、共通接点と、を備え、前記複数の個別電極は、第１個別電極と、前記圧電体の面方向において前記第１個別電極よりも前記複数の個別接点のうち対応する個別接点から遠い位置に配置された、第２個別電極と、を含み、複数の前記第１個別電極は、前記面方向に沿った第１方向に配列され、第１個別電極列を構成し、 複数の前記第２個別電極は、前記第１方向に配列され、前記第１方向と直交しかつ前記面方向に沿った第２方向において前記第１個別電極列と並ぶ第２個別電極列を構成し、前記共通電極は、前記第１個別電極と前記厚み方向に対向する第１共通電極と、前記第１共通電極から前記面方向に離隔し、前記第２個別電極と前記厚み方向に対向する第２共通電極と、を含み、前記第１共通電極が複数の前記第１個別電極と前記厚み方向に対向すること及び前記第２共通電極が複数の前記第２個別電極と前記厚み方向に対向することの少なくとも一方を満たし、前記第１共通電極と前記第２共通電極とを接続する接続配線をさらに備え、複数の前記接続配線は、前記第１方向に隣接する前記複数の第１個別電極の間を通って、前記第２方向に延びていることを特徴とする。
本発明の第２観点に係る圧電アクチュエータは、圧電体と、前記圧電体に対して前記圧電体の厚み方向の一方側に配置された、複数の個別電極と、前記圧電体に対して前記厚み方向の他方側に配置され、前記圧電体を挟んで前記複数の個別電極と前記厚み方向に対向する、共通電極と、前記複数の個別電極のそれぞれと繋がる、複数の個別接点と、前記共通電極と繋がる、共通接点と、を備え、前記複数の個別電極は、前記圧電体の面方向に沿った第１方向に配列され、第１個別電極列を構成する、複数の第１個別電極と、前記第１方向に配列され、前記第１方向と直交しかつ前記面方向に沿った第２方向において前記第１個別電極列と並ぶ第２個別電極列を構成し、前記第２方向において前記複数の第１個別電極よりも前記複数の個別接点のうち対応する個別接点から遠い位置に配置された、複数の第２個別電極と、を含み、前記共通電極は、前記複数の第１個別電極の少なくとも１つと前記厚み方向に対向する第１共通電極と、前記第１共通電極から前記第２方向に離隔し、前記複数の第２個別電極の少なくとも１つと前記厚み方向に対向する第２共通電極と、を含み、前記第１共通電極及び前記第２共通電極の少なくとも一方が前記第１方向に延び、前記第１共通電極と前記第２共通電極とを接続する接続配線をさらに備え、複数の前記接続配線は、前記第１方向に隣接する前記複数の第１個別電極の間を通って、前記第２方向に延びていることを特徴とする。
本発明の第３観点に係る圧電アクチュエータは、圧電体と、前記圧電体に対して前記圧電体の厚み方向の一方側に配置された、複数の個別電極と、前記圧電体に対して前記厚み方向の他方側に配置され、前記圧電体を挟んで前記複数の個別電極と前記厚み方向に対向する、共通電極と、前記複数の個別電極のそれぞれと繋がる、複数の個別接点と、前記共通電極と繋がる、共通接点と、を備え、前記複数の個別電極は、第１個別電極と、前記圧電体の面方向において前記第１個別電極よりも前記複数の個別接点のうち対応する個別接点から遠い位置に配置された、第２個別電極と、を含み、前記共通電極は、前記第１個別電極と前記厚み方向に対向する第１共通電極と、前記第１共通電極から前記面方向に離隔し、前記第２個別電極と前記厚み方向に対向する第２共通電極と、を含み、前記第１共通電極が複数の前記第１個別電極と前記厚み方向に対向すること及び前記第２共通電極が複数の前記第２個別電極と前記厚み方向に対向することの少なくとも一方を満たし、前記第１共通電極と前記第２共通電極とを接続する接続配線をさらに備え、前記複数の個別電極と前記複数の個別接点とをそれぞれ繋ぐ複数の個別配線と、前記接続配線とは、互いに同じ層にあることを特徴とする。
本発明の第４観点に係る圧電アクチュエータは、圧電体と、前記圧電体に対して前記圧電体の厚み方向の一方側に配置された、複数の個別電極と、前記圧電体に対して前記厚み方向の他方側に配置され、前記圧電体を挟んで前記複数の個別電極と前記厚み方向に対向する、共通電極と、前記複数の個別電極のそれぞれと繋がる、複数の個別接点と、前記共通電極と繋がる、共通接点と、を備え、前記複数の個別電極は、前記圧電体の面方向に沿った第１方向に配列され、第１個別電極列を構成する、複数の第１個別電極と、前記第１方向に配列され、前記第１方向と直交しかつ前記面方向に沿った第２方向において前記第１個別電極列と並ぶ第２個別電極列を構成し、前記第２方向において前記複数の第１個別電極よりも前記複数の個別接点のうち対応する個別接点から遠い位置に配置された、複数の第２個別電極と、を含み、前記共通電極は、前記複数の第１個別電極の少なくとも１つと前記厚み方向に対向する第１共通電極と、前記第１共通電極から前記第２方向に離隔し、前記複数の第２個別電極の少なくとも１つと前記厚み方向に対向する第２共通電極と、を含み、前記第１共通電極及び前記第２共通電極の少なくとも一方が前記第１方向に延び、前記第１共通電極と前記第２共通電極とを接続する接続配線をさらに備え、前記複数の個別電極と前記複数の個別接点とをそれぞれ繋ぐ複数の個別配線と、前記接続配線とは、互いに同じ層にあることを特徴とする。
本発明の第５観点に係る圧電アクチュエータは、圧電体と、前記圧電体に対して前記圧電体の厚み方向の一方側に配置された、複数の個別電極と、前記圧電体に対して前記厚み方向の他方側に配置され、前記圧電体を挟んで前記複数の個別電極と前記厚み方向に対向する、共通電極と、前記複数の個別電極のそれぞれと繋がる、複数の個別接点と、前記共通電極と繋がる、共通接点と、を備え、前記複数の個別電極は、第１個別電極と、前記圧電体の面方向において前記第１個別電極よりも前記複数の個別接点のうち対応する個別接点から遠い位置に配置された、第２個別電極と、前記面方向において前記第２個別電極よりも前記複数の個別接点のうち対応する個別接点から遠い位置に配置された、第３個別電極と、を含み、前記共通電極は、前記第１個別電極と前記厚み方向に対向する第１共通電極と、前記第１共通電極から前記面方向に離隔し、前記第２個別電極と前記厚み方向に対向する第２共通電極と、前記第３個別電極と前記厚み方向に対向する第３共通電極と、を含み、前記第１共通電極が複数の前記第１個別電極と前記厚み方向に対向すること及び前記第２共通電極が複数の前記第２個別電極と前記厚み方向に対向することの少なくとも一方を満たし、前記第１共通電極と前記第２共通電極とを接続する接続配線をさらに備え、前記接続配線は、前記第１共通電極と前記第２共通電極との間に配置された第１接続部と、前記第２共通電極と前記第３共通電極との間に配置された第２接続部と、を含み、前記第２接続部は、前記第１接続部よりも断面積が大きいことを特徴とする。
本発明の第６観点に係る圧電アクチュエータは、圧電体と、前記圧電体に対して前記圧電体の厚み方向の一方側に配置された、複数の個別電極と、前記圧電体に対して前記厚み方向の他方側に配置され、前記圧電体を挟んで前記複数の個別電極と前記厚み方向に対向する、共通電極と、前記複数の個別電極のそれぞれと繋がる、複数の個別接点と、前記共通電極と繋がる、共通接点と、を備え、前記複数の個別電極は、前記圧電体の面方向に沿った第１方向に配列され、第１個別電極列を構成する、複数の第１個別電極と、前記第１方向に配列され、前記第１方向と直交しかつ前記面方向に沿った第２方向において前記第１個別電極列と並ぶ第２個別電極列を構成し、前記第２方向において前記複数の第１個別電極よりも前記複数の個別接点のうち対応する個別接点から遠い位置に配置された、複数の第２個別電極と、前記面方向において前記第２個別電極よりも前記複数の個別接点のうち対応する個別接点から遠い位置に配置された、第３個別電極と、を含み、前記共通電極は、前記複数の第１個別電極の少なくとも１つと前記厚み方向に対向する第１共通電極と、前記第１共通電極から前記第２方向に離隔し、前記複数の第２個別電極の少なくとも１つと前記厚み方向に対向する第２共通電極と、前記第３個別電極と前記厚み方向に対向する第３共通電極と、を含み、前記第１共通電極及び前記第２共通電極の少なくとも一方が前記第１方向に延び、前記第１共通電極と前記第２共通電極とを接続する接続配線をさらに備え、前記接続配線は、前記第１共通電極と前記第２共通電極との間に配置された第１接続部と、前記第２共通電極と前記第３共通電極との間に配置された第２接続部と、を含み、前記第２接続部は、前記第１接続部よりも断面積が大きいことを特徴とする。
本発明の第７観点に係る圧電アクチュエータは、圧電体と、前記圧電体に対して前記圧電体の厚み方向の一方側に配置された、複数の個別電極と、前記圧電体に対して前記厚み方向の他方側に配置され、前記圧電体を挟んで前記複数の個別電極と前記厚み方向に対向する、共通電極と、前記複数の個別電極のそれぞれと繋がる、複数の個別接点と、前記共通電極と繋がる、共通接点と、を備え、前記複数の個別電極は、第１個別電極と、前記圧電体の面方向において前記第１個別電極よりも前記複数の個別接点のうち対応する個別接点から遠い位置に配置された、第２個別電極と、を含み、前記共通電極は、前記第１個別電極と前記厚み方向に対向する第１共通電極と、前記第１共通電極から前記面方向に離隔し、前記第２個別電極と前記厚み方向に対向する第２共通電極と、を含み、前記第１共通電極が複数の前記第１個別電極と前記厚み方向に対向すること及び前記第２共通電極が複数の前記第２個別電極と前記厚み方向に対向することの少なくとも一方を満たし、前記第１共通電極と前記第２共通電極とを接続する接続配線をさらに備え、前記接続配線を構成する材料の電気抵抗は、前記共通電極を構成する材料の電気抵抗よりも低いことを特徴とする。
本発明の第８観点に係る圧電アクチュエータは、圧電体と、前記圧電体に対して前記圧電体の厚み方向の一方側に配置された、複数の個別電極と、前記圧電体に対して前記厚み方向の他方側に配置され、前記圧電体を挟んで前記複数の個別電極と前記厚み方向に対向する、共通電極と、前記複数の個別電極のそれぞれと繋がる、複数の個別接点と、前記共通電極と繋がる、共通接点と、を備え、前記複数の個別電極は、前記圧電体の面方向に沿った第１方向に配列され、第１個別電極列を構成する、複数の第１個別電極と、前記第１方向に配列され、前記第１方向と直交しかつ前記面方向に沿った第２方向において前記第１個別電極列と並ぶ第２個別電極列を構成し、前記第２方向において前記複数の第１個別電極よりも前記複数の個別接点のうち対応する個別接点から遠い位置に配置された、複数の第２個別電極と、を含み、前記共通電極は、前記複数の第１個別電極の少なくとも１つと前記厚み方向に対向する第１共通電極と、前記第１共通電極から前記第２方向に離隔し、前記複数の第２個別電極の少なくとも１つと前記厚み方向に対向する第２共通電極と、を含み、前記第１共通電極及び前記第２共通電極の少なくとも一方が前記第１方向に延び、前記第１共通電極と前記第２共通電極とを接続する接続配線をさらに備え、前記接続配線を構成する材料の電気抵抗は、前記共通電極を構成する材料の電気抵抗よりも低いことを特徴とする。
本発明に係る液体吐出ヘッドは、前記圧電アクチュエータと、前記圧電アクチュエータが配置される基板であって、前記複数の個別電極とそれぞれ前記厚み方向に対向する複数の圧力室が形成された、基板と、前記基板に対して前記圧電アクチュエータと反対側に配置され、前記複数の圧力室にそれぞれ連通する複数のノズルが形成された、ノズルプレートと、を備えたことを特徴とする。
本発明に係る圧電アクチュエータの製造方法は、圧電体を形成する圧電体形成工程と、前記圧電体に対して前記圧電体の厚み方向の一方側に、複数の個別電極を形成する個別電極形成工程と、前記圧電体に対して前記厚み方向の他方側に、前記圧電体を挟んで前記複数の個別電極と前記厚み方向に対向する共通電極を形成する共通電極形成工程と、前記複数の個別電極のそれぞれと繋がる複数の個別接点を形成する個別接点形成工程と、前記共通電極と繋がる共通接点を形成する共通接点形成工程と、前記複数の個別電極と前記複数の個別接点とをそれぞれ繋ぐ複数の個別配線を形成する個別配線形成工程と、を備え、前記個別電極形成工程において、第１個別電極と、前記圧電体の面方向において前記第１個別電極よりも前記複数の個別接点のうち対応する個別接点から遠い位置に配置された、第２個別電極とを含む、前記複数の個別電極を形成し、前記共通電極形成工程において、前記第１個別電極と前記厚み方向に対向する第１共通電極と、前記第１共通電極から前記面方向に離隔し、前記第２個別電極と前記厚み方向に対向する第２共通電極とを含む、前記共通電極を形成し、前記第１共通電極を複数の前記第１個別電極と前記厚み方向に対向させること及び前記第２共通電極を複数の前記第２個別電極と前記厚み方向に対向させることの少なくとも一方を行い、前記個別配線形成工程において、前記第１共通電極と前記第２共通電極とを接続する接続配線を、前記複数の個別配線と同じ工程で形成することを特徴とする。
別の観点において、本発明に係る圧電アクチュエータの製造方法は、圧電体を形成する圧電体形成工程と、前記圧電体に対して前記圧電体の厚み方向の一方側に、複数の個別電極を形成する個別電極形成工程と、前記圧電体に対して前記厚み方向の他方側に、前記圧電体を挟んで前記複数の個別電極と前記厚み方向に対向する共通電極を形成する共通電極形成工程と、前記複数の個別電極のそれぞれと繋がる複数の個別接点を形成する個別接点形成工程と、前記共通電極と繋がる共通接点を形成する共通接点形成工程と、前記複数の個別電極と前記複数の個別接点とをそれぞれ繋ぐ複数の個別配線を形成する個別配線形成工程と、を備え、前記個別電極形成工程において、前記圧電体の面方向に沿った第１方向に配列され、第１個別電極列を構成する、複数の第１個別電極と、前記第１方向に配列され、前記第１方向と直交しかつ前記面方向に沿った第２方向において前記第１個別電極列と並ぶ第２個別電極列を構成し、前記第２方向において前記複数の第１個別電極よりも前記複数の個別接点のうち対応する個別接点から遠い位置に配置された、複数の第２個別電極とを含む、前記複数の個別電極を形成し、前記共通電極形成工程において、前記複数の第１個別電極の少なくとも１つと前記厚み方向に対向する第１共通電極と、前記第１共通電極から前記第２方向に離隔し、前記複数の第２個別電極の少なくとも１つと前記厚み方向に対向する第２共通電極とを含む、前記共通電極を形成し、前記第１共通電極及び前記第２共通電極の少なくとも一方を前記第１方向に延在させ、前記個別配線形成工程において、前記第１共通電極と前記第２共通電極とを接続する接続配線を、前記複数の個別配線と同じ工程で形成することを特徴とする。
本発明の一実施形態に係るプリンタ１００の平面図である。 プリンタ１００に含まれるヘッド１の平面図である。 圧電アクチュエータ１２の共通電極１２ｂが形成された層を示すヘッド１の平面図である。 図２のＩＶ－ＩＶ線に沿ったヘッド１の断面図である。 図２に示す領域Ｖの拡大図である。 圧電アクチュエータ１２の製造方法を示すフロー図である。 図６のＳ１において共通電極１２ｂ１～１２ｂ４、共通配線１４及び連結配線１５が形成された状態を示すヘッド１の平面図である。 図６のＳ２において圧電体１２ｃが形成された状態を示すヘッド１の平面図である。 図６のＳ３において個別電極１２ｄが形成された状態を示すヘッド１の平面図である。
本発明の一実施形態に係るプリンタ１００は、図１に示すように、ヘッド１、キャリッジ２、プラテン３、搬送機構４及び制御部５を備えている。
プラテン３の上面に、用紙９が載置される。
キャリッジ２は、プラテン３の上方において、２本のガイドレール２ａ，２ｂに支持され、無端ベルト２ｃと連結されている。制御部５の制御によりキャリッジ駆動モータ２ｍが駆動されると、無端ベルト２ｃが走行し、ガイドレール２ａ，２ｂに沿ってキャリッジ２が走査方向に移動する。
ヘッド１は、シリアル式であって、キャリッジ２に取り付けられており、キャリッジ２と共に走査方向に移動する。ヘッド１の下面には、複数のノズル１１ｎ（図２及び図４参照）が形成されている。
搬送機構４は、搬送方向にプラテン３を挟んで配置された２つのローラ対４ａ，４ｂを有する。制御部５の制御により搬送モータ（図示略）が駆動されると、各ローラ対４ａ，４ｂが用紙９を挟持した状態で回転し、用紙９が搬送方向に搬送される。
制御部５は、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）及びＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）を有する。ＡＳＩＣは、ＲＯＭに格納されたプログラムに従い、記録処理等を実行する。記録処理において、制御部５は、ＰＣ等の外部装置から入力された記録指令（画像データを含む。）に基づき、ヘッド１のドライバＩＣ１９（図４参照）、キャリッジ駆動モータ２ｍ及び搬送モータ（図示略）を制御し、用紙９上に画像を記録する。具体的には、キャリッジ２と共にヘッド１を走査方向に移動させながらノズル１１ｎからインク滴を吐出させる吐出動作と、ローラ対４ａ，４ｂによって用紙９を搬送方向に所定量搬送する搬送動作とを、交互に行わせる。
次いで、図２～図５を参照し、ヘッド１の構成について説明する。
ヘッド１は、図２及び図４に示すように、流路基板１１、圧電アクチュエータ１２及びＣＯＦ１８を有する。
流路基板１１は、図４に示すように、リザーバ部材１１ａ、圧力室プレート１１ｂ及びノズルプレート１１ｃを有する。なお、図２では、リザーバ部材１１ａの図示を省略している。
圧力室プレート１１ｂには、複数の圧力室１１ｍが形成されている。ノズルプレート１１ｃには、複数の圧力室１１ｍにそれぞれ連通する複数のノズル１１ｎが形成されている。リザーバ部材１１ａには、複数の圧力室１１ｍに共通の流路であるリザーバ１１ｓが形成されている。リザーバ１１ｓは、インクを貯留するタンク（図示略）と連通している。
圧力室１１ｍは、図２に示すように、搬送方向に配列され、走査方向に並ぶ４つの圧力室列１１ｍ１～１１ｍ４を構成している。各圧力室列１１ｍ１～１１ｍ４において、圧力室１１ｍは搬送方向に等間隔に配置されている。４つの圧力室列１１ｍ１～１１ｍ４のうち図２の右側の２つの圧力室列１１ｍ１，１１ｍ２を構成する圧力室１１ｍは、搬送方向の位置が異なるように千鳥状に配列されている。４つの圧力室列１１ｍ１～１１ｍ４のうち図２の左側の２つの圧力室列１１ｍ３，１１ｍ４を構成する圧力室１１ｍは、搬送方向の位置が異なるように千鳥状に配列されている。
ノズル１１ｎは、図２に示すように、圧力室１１ｍと同様、搬送方向に配列され、走査方向に並ぶ４つのノズル列を構成している。各ノズル列において、ノズル１１ｎは搬送方向に等間隔に配置されている。４つのノズル列のうち図２の右側の２つのノズル列を構成するノズル１１ｎは、搬送方向の位置が異なるように千鳥状に配列されている。４つのノズル列のうち図２の左側の２つのノズル列を構成するノズル１１ｎは、搬送方向の位置が異なるように千鳥状に配列されている。
ノズルプレート１１ｃは、図４に示すように、圧力室プレート１１ｂの下面に接着されている。即ち、ノズルプレート１１ｃは、圧力室プレート１１ｂに対して圧電アクチュエータ１２と反対側に配置されている。
リザーバ部材１１ａは、圧力室プレート１１ｂの上面に、圧電アクチュエータ１２を介して接着されている。
リザーバ部材１１ａには、リザーバ１１ｓに加え、リザーバ１１ｓと複数の圧力室１１ｍのそれぞれとを連通させる複数の連通流路１１ｔ、及び、それぞれ搬送方向に延びる４つの凹部１１ａｘが形成されている。凹部１１ａｘは、リザーバ部材１１ａの下面に形成され、圧力室列１１ｍ１～１１ｍ４のそれぞれと鉛直方向に対向している。
圧力室プレート１１ｂの上面には、振動板１７が設けられている。振動板１７は、例えば圧力室プレート１１ｂを構成するシリコン単結晶基板の表面を酸化又は窒化することにより形成された、絶縁層であり、圧力室プレート１１ｂの上面の略全体に配置されている。振動板１７は、圧電アクチュエータ１２と圧力室プレート１１ｂとの間に配置され、複数の圧力室２６を覆っている。
振動板１７において、各連通流路１１ｔと鉛直方向に対向する部分には、貫通孔１７ｘが形成されている。ポンプ（図示略）の駆動により、タンク内のインクがリザーバ１１ｓに供給され、連通流路１１ｔ及び貫通孔１７ｘを通って、各圧力室１１ｍに供給される。
圧電アクチュエータ１２は、図４に示すように、圧力室プレート１１ｂの上面に振動板１７を介して配置され、圧力室プレート１１ｂに形成された全ての圧力室１１ｍを覆っている。
圧電アクチュエータ１２は、下から順に、共通電極１２ｂ、４つの圧電体１２ｃ及び複数の個別電極１２ｄを有する。
本実施形態では、鉛直方向が「圧電体１２ｃの厚み方向」に該当し、鉛直方向の上方が「圧電体１２ｃの厚み方向の一方側」に該当し、鉛直方向の下方が「圧電体１２ｃの厚み方向の他方側」に該当する。また、走査方向が「第２方向」「第３方向」「第４方向」に該当し、搬送方向が「第１方向」「第５方向」に該当する。また、走査方向及び搬送方向を含む水平方向が「圧電体１２ｃの面方向」に該当する。
共通電極１２ｂは、振動板１７の上面に配置されている。
共通電極１２ｂは、図２及び図３に示すように、走査方向に互いに離隔した、第１共通電極１２ｂ１、第２共通電極１２ｂ２、第３共通電極１２ｂ３及び第４共通電極１２ｂ４を含む。各共通電極１２ｂ１～１２ｂ４は、各圧力室列１１ｍ１～１１ｍ４を構成する複数の圧力室１１ｍに共通の電極であり、各圧力室列１１ｍ１～１１ｍ４を構成する複数の圧力室１１ｍと鉛直方向に対向している。換言すると、共通電極１２ｂは、圧力室列１１ｍ１～１１ｍ４に合わせて、４分割されている。また、各共通電極１２ｂ１～１２ｂ４は、図３及び図５に示すように、個別電極１２ｄの間と鉛直方向に対向する部分に、走査方向に延びるスリット１２ｂｓを有する。各共通電極１２ｂ１～１２ｂ４は、例えば白金（Ｐｔ）からなる。
圧電体１２ｃは、図２及び図３に示すように、各共通電極１２ｂ１～１２ｂ４の上面において、搬送方向に延び、各圧力室列１１ｍ１～１１ｍ４を構成する全ての圧力室１１ｍを覆っている。圧電体１２ｃは、例えばチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）からなる。
個別電極１２ｄは、各圧電体１２ｃの上面に複数配置され、圧力室１１ｍのそれぞれと鉛直方向に対向している。
即ち、個別電極１２ｄは、圧電体１２ｃに対して鉛直方向の上方に配置されている。共通電極１２ｂは、圧電体１２ｃに対して鉛直方向の下方に配置されている。共通電極１２ｂは、圧電体１２ｃを挟んで個別電極１２ｄと鉛直方向に対向している。
個別電極１２ｄは、図２に示すように、圧力室１１ｍと同様、搬送方向に配列され、走査方向に並ぶ４つの個別電極列１２ｄ１～１２ｄ４を構成している。各個別電極列１２ｄ１～１２ｄ４を構成する複数の個別電極１２ｄは、各共通電極１２ｂ１～１２ｂ４と鉛直方向に対向している。各個別電極列１２ｄ１～１２ｄ４において、個別電極１２ｄは搬送方向に等間隔に配置されている。４つの個別電極列１２ｄ１～１２ｄ４のうち図２の右側の２つの個別電極列１２ｄ１，１２ｄ２を構成する個別電極１２ｄは、搬送方向の位置が異なるように千鳥状に配列されている。４つの個別電極列１２ｄ１～１２ｄ４のうち図２の左側の２つの個別電極列１２ｄ３，１２ｄ４を構成する個別電極１２ｄは、搬送方向の位置が異なるように千鳥状に配列されている。
圧電体１２ｃにおいて個別電極１２ｄと共通電極１２ｂとで挟まれた部分は、個別電極１２ｄへの電圧の印加に応じて変形可能な、活性部１２ｘとして機能する。即ち、圧電アクチュエータ１２は、複数の圧力室１１ｍのそれぞれと対向する複数の活性部１２ｘを有する。個別電極１２ｄへの電圧の印加に応じて、活性部１２ｘが駆動すること（例えば、圧力室１１ｍに向かって凸となるように変形すること）により、圧力室１１ｍの容積が変化し、圧力室１１ｍ内のインクに圧力が付与され、ノズル１１ｎからインクが吐出される。
圧電アクチュエータ１２は、さらに、複数の個別配線１２ｅ、複数の個別接点１２ｆ、２つの共通接点１２ｇ、複数の接続配線１３、共通配線１４及び複数の連結配線１５を有する。これら配線１２ｅ，１３～１５及び接点１２ｆ，１２ｇは、互いに同じ材料（例えばアルミニウム（Ａｌ））からなる。
個別配線１２ｅは、個別電極１２ｄ毎に設けられており、個別電極１２ｄとこれに対応する個別接点１２ｆとを繋いでいる。接続配線１３は、共通電極１２ｂ１～１２ｂ４を互いに接続している。共通配線１４は、接続配線１３を介して共通電極１２ｂ１～１２ｂ４と共通接点１２ｇとを繋いでいる。
個別接点１２ｆ及び共通接点１２ｇは、図４に示すように、圧力室プレート１１ｂにおいてリザーバ部材１１ａに覆われていない部分と対向する位置に配置されている。
個別接点１２ｆ及び共通接点１２ｇは、圧電アクチュエータ１２に設けられた全ての個別電極１２ｄからなる群に対して、走査方向の一方側（図２の右側）において、搬送方向に１列に配列されている。個別接点１２ｆは、搬送方向に等間隔に配置されている。共通接点１２ｇは、複数の個別接点１２ｆを搬送方向に挟んでいる。
共通配線１４は、圧電アクチュエータ１２に設けられた全ての個別電極１２ｄからなる群に対して、走査方向の他方側（図２の左側）にある対向部分１４ａと、対向部分１４ａの搬送方向両側（本実施形態では、対向部分１４ａの搬送方向両端）から走査方向の一方側（図２の右側）に延びて２つの共通接点１２ｇにそれぞれ接続する２つの接続部分１４ｂとを含む。対向部分１４ａと２つの接続部分１４ｂとは、一体的に形成されており、複数の個別接点１２ｆの列とで個別電極１２ｄの群を取り囲んでいる。
対向部分１４ａは、搬送方向に長尺な矩形状の部分である。各接続部分１４ｂは、走査方向に長尺な矩形状の部分である。各接続部分１４ｂは、走査方向の他方側（図２の左側）の端部において、対向部分１４ａに繋がり、走査方向の一方側（図２の右側）の端部において、後述する絶縁膜１２ｉの貫通孔に入り込んだ部分（接点部１４ｂｘ）を介して、各共通接点１２ｇと電気的に接続されている。各接続部分１４ｂは、各共通電極１２ｂ１～１２ｂ４と、連結配線１５によって連結されている。
共通配線１４及び連結配線１５は、他の配線１２ｅ，１３よりも幅が大きい。各個別配線１２ｅ及び各接続配線１３の幅は、互いに略同じである。配線１２ｅ，１３～１５の厚みは、互いに略同じである。
走査方向において、図２の右側から順に、複数の個別接点１２ｆ及び２つの共通接点１２ｇの列、個別電極列１２ｄ１、個別電極列１２ｄ２、個別電極列１２ｄ３、個別電極列１２ｄ４、対向部分１４ａが配置されている。
即ち、複数の個別接点１２ｆは、個別電極列１２ｄ１に対して、走査方向において個別電極列１２ｄ２～１２ｄ４とは反対側に配置され、個別電極列１２ｄ２に対して、走査方向において個別電極列１２ｄ３，１２ｄ４とは反対側に配置され、個別電極列１２ｄ３に対して、走査方向において個別電極列１２ｄ４とは反対側に配置されている。
個別電極列１２ｄ２を構成する個別電極１２ｄは、走査方向において、個別電極列１２ｄ１を構成する個別電極１２ｄよりも、個別接点１２ｆから遠い位置に配置されている。個別電極列１２ｄ３を構成する個別電極１２ｄは、走査方向において、個別電極列１２ｄ１，１２ｄ２を構成する個別電極１２ｄよりも、個別接点１２ｆから遠い位置に配置されている。個別電極列１２ｄ４を構成する個別電極１２ｄは、走査方向において、個別電極列１２ｄ１～１２ｄ３を構成する個別電極１２ｄよりも、個別接点１２ｆから遠い位置に配置されている。
個別配線１２ｅ及び接続配線１３は、それぞれ、走査方向に延びている。各個別配線１２ｅは、走査方向の一端に、対応する個別電極１２ｄとの接点部１２ｅｘ（図４参照）を有し、走査方向の他端に、個別接点１２ｆを有する。
個別電極列１２ｄ４の個別電極１２ｄのうち搬送方向の両端に位置する個別電極を除く個別電極に接続する個別配線１２ｅは、各個別電極列１２ｄ１～１２ｄ３における、搬送方向に隣接する２つの個別電極１２ｄの間を通って、走査方向に延びている。個別電極列１２ｄ３の個別電極１２ｄのうち搬送方向の両端に位置する個別電極を除く個別電極に接続する個別配線１２ｅは、各個別電極列１２ｄ１，１２ｄ２における、搬送方向に隣接する２つの個別電極１２ｄの間を通って、走査方向に延びている。個別電極列１２ｄ２の個別電極１２ｄのうち搬送方向の両端に位置する個別電極を除く個別電極に接続する個別配線１２ｅは、個別電極列１２ｄ１における、搬送方向に隣接する２つの個別電極１２ｄの間を通って、走査方向に延びている。
複数の接続配線１３のうち、搬送方向の両端に位置する接続配線を除く接続配線は、それぞれ、各個別電極列１２ｄ１～１２ｄ３における、搬送方向に隣接する２つの個別電極１２ｄの間を通って、走査方向に延びている。
したがって、個別電極列１２ｄ３において、搬送方向に隣接する２つの個別電極１２ｄの間には、１本の個別配線１２ｅ及び１本の接続配線１３が配置されている。個別電極列１２ｄ２において、搬送方向に隣接する２つの個別電極１２ｄの間には、２本の個別配線１２ｅ及び１本の接続配線１３が配置されている。個別電極列１２ｄ１において、搬送方向に隣接する２つの個別電極１２ｄの間には、３本の個別配線１２ｅ及び１本の接続配線１３が配置されている。
各接続配線１３は、第１共通電極１２ｂ１における走査方向の一端から他端まで延びる第１横断部１３１と、第２共通電極１２ｂ２の走査方向の一端から他端まで延びる第２横断部１３２と、第３共通電極１２ｂ３の走査方向の一端から他端まで延びる第３横断部１３３と、第４共通電極１２ｂ４の走査方向の一端から他端まで延びる第４横断部１３４とを有する。各接続配線１３は、さらに、第１共通電極１２ｂ１と第２共通電極１２ｂ２との間に配置され、第１横断部１３１及び第２横断部１３２のそれぞれと繋がる第１接続部１３ａと、第２共通電極１２ｂ２と第３共通電極１２ｂ３との間に配置され、第２横断部１３２及び第３横断部１３３のそれぞれと繋がる第２接続部１３ｂと、第３共通電極１２ｂ３と第４共通電極１２ｂ４との間に配置され、第３横断部１３３及び第４横断部１３４のそれぞれと繋がる第３接続部１３ｃと、第４共通電極１２ｂ４と対向部分１４ａとの間に配置され、第４横断部１３４及び対向部分１４ａのそれぞれと繋がる第４接続部１３ｄとを有する。
各接続配線１３は、厚みは一定であるが、幅は走査方向の一方側（図２の右側）から他方側（図２の左側）に向かって（即ち、個別接点１２ｆの列から離れるにつれて）大きくなっている。具体的には、第４接続部１３ｄ及び第４横断部１３４の幅は互いに同じである。第３接続部１３ｃ及び第３横断部１３３の幅は互いに同じである。第２接続部１３ｂ及び第２横断部１３２の幅は互いに同じである。第１接続部１３ａ及び第１横断部１３１の幅は互いに同じである。そして、第４接続部１３ｄ及び第４横断部１３４の幅は、第３接続部１３ｃ及び第３横断部１３３の幅よりも大きい。第３接続部１３ｃ及び第３横断部１３３の幅は、第２接続部１３ｂ及び第２横断部１３２の幅よりも大きい。第２接続部１３ｂ及び第２横断部１３２の幅は、第１接続部１３ａ及び第１横断部１３１の幅よりも大きい。
また、各接続配線１３は、図２～図５（特に図５）に示すように、貫通孔１７ｘを取り囲むように環状に形成されている。各接続配線１３において、環状に形成された部分の内側には、連通流路１１ｔと貫通孔１７ｘとを接続する流路を画定するように、絶縁部１２ｊが設けられている（図４及び図５参照）。絶縁部１２ｊによって、接続配線１３を、貫通孔１７ｘを通るインクから遠ざけることができる。絶縁部１２ｊは、例えば二酸化シリコン（ＳｉＯ2）からなる。
なお、本実施形態では、各個別配線１２ｅと共通電極１２ｂとの間の絶縁性を高めるため、絶縁膜１２ｉ（図２では図示略。図４参照）が設けられている。絶縁膜１２ｉは、振動板１７の上面の略全体に配置され、共通電極１２ｂ１～１２ｂ４、圧電体１２ｃ、共通配線１４及び連結配線１５を覆っている。ただし、絶縁膜１２ｉは、活性部１２ｘの駆動を阻害しないよう、各個別電極１２ｄの外縁部のみを覆っており、各個別電極１２ｄの中央部は絶縁膜１２ｉから露出している。絶縁膜１２ｉは、例えば二酸化シリコン（ＳｉＯ2）からなる。
個別配線１２ｅ、接続配線１３、個別接点１２ｆ及び共通接点１２ｇは、絶縁膜１２ｉの上面に配置されている。即ち、個別配線１２ｅ、接続配線１３、個別接点１２ｆ及び共通接点１２ｇは、互いに同じ層にある。
共通配線１４及び連結配線１５は、共通電極１２ｂと同様、振動板１７の上面に配置されており、絶縁膜１２ｉの下側にある。即ち、共通電極１２ｂ、共通配線１４及び連結配線１５は、互いに同じ層にある。
個別配線１２ｅは、絶縁膜１２ｉの貫通孔に入り込んだ部分（接点部１２ｅｘ）を介して、個別電極１２ｄのそれぞれと電気的に接続されている。接続配線１３は、絶縁膜１２ｉの貫通孔に入り込んだ部分（接点部１３ｘ）を介して、共通電極１２ｂ１～１２ｂ４のそれぞれと電気的に接続されている。
接点部１２ｅｘは、各個別電極１２ｄにおける走査方向の一方側（図２～図５の右側）の端部に設けられている。
接点部１３ｘは、各共通電極１２ｂ１～１２ｂ４における走査方向の一方側（図５の右側）及び他方側（図５の左側）の各端部に設けられている。即ち、各接続配線１３は、各共通電極１２ｂ１～１２ｂ４との複数の接点部１３ｘを有する。これら接点部１３ｘは、各共通電極１２ｂ１～１２ｂ４における搬送方向に沿って直線状に延びる外縁部１２ｂｘに設けられている。
ＣＯＦ１８は、図４に示すように、ポリイミド等からなる絶縁性のシート１８ｂと、個別接点１２ｆのそれぞれと電気的に接続される複数の個別配線１８ｆと、共通接点１２ｇのそれぞれと電気的に接続される２つの共通配線（図示略）とを有する。
ＣＯＦ１８の一端は、個別配線１８ｆ及び共通配線が個別接点１２ｆ及び共通接点１２ｇのそれぞれと対向した状態で、接着剤Ａを介して流路基板１１に接着されている。ＣＯＦ１８の他端は、制御部５（図１参照）と電気的に接続されている。
ＣＯＦ１８の一端と他端との間に、ドライバＩＣ１９が実装されている。ドライバＩＣ１９は、制御部５からの信号に基づいて、活性部１２ｘを駆動するための駆動信号を生成し、当該駆動信号を各個別電極１２ｄに供給する。共通電極１２ｂの電位は、グランド電位に維持される。駆動信号が供給されると、個別電極１２ｄの電位は、所定の駆動電位とグランド電位との間で変化する。
個別電極１２ｄの電位がグランド電位から駆動電位に変化すると、個別電極１２ｄと共通電極１２ｂとの間に電位差が生じる。これにより、活性部１２ｘに、圧電体１２ｃの厚み方向に平行な電界が作用する。このとき、活性部１２ｘの分極方向（圧電体１２ｃの厚み方向）と、電界の方向とが一致することで、活性部１２ｘは、圧電体１２ｃの厚み方向に伸び、圧電体１２ｃの面方向に収縮する。活性部１２ｘの収縮変形に伴い、振動板１７及び圧電アクチュエータ１２における圧力室１１ｍと対向する部分が、圧力室１１ｍに向かって凸となるように変形する。これにより、圧力室１１ｍの容積が減少し、圧力室１１ｍ内のインクにエネルギーが付与され、圧力室１１ｍに連通するノズル１１ｎからインク滴が吐出される。
次いで、図６～図９を参照し、圧電アクチュエータ１２の製造方法について説明する。
なお、本実施形態では、圧電アクチュエータ１２の製造に先立って、圧力室プレート１１ｂとなるシリコン単結晶基板の表面を酸化又は窒化することにより、圧力室プレート１１ｂの上面に振動板１７を形成する。この段階では、圧力室プレート１１ｂとなるシリコン単結晶基板に圧力室１１ｍが形成されておらず、振動板１７の貫通孔１７ｘも形成されていない。
そして、振動板１７の上面に、例えばスパッタリングによる成膜とエッチングによるパターニングとによって、共通電極１２ｂ１～１２ｂ４、共通配線１４及び連結配線１５を形成する（Ｓ１：図７参照）。
Ｓ１の後、各共通電極１２ｂ１～１２ｂ４の上面に、圧電体１２ｃを形成する（Ｓ２：図８参照）。このとき、例えば、先ず、振動板１７の上面に、ゾルゲル法、スパッタリング等で、共通電極１２ｂ１～１２ｂ４、共通配線１４及び複数の連結配線１５を覆うように、圧電体１２ｃとなる連続した層を形成する。その後、各共通電極１２ｂ１～１２ｂ４と対向する部分に圧電体１２ｃとなる層が残るようにエッチングを行い、圧電体１２ｃを形成する。
Ｓ２の後、各圧電体１２ｃの上面に、マスク等を用いて、複数の個別電極１２ｄを形成する（Ｓ３：図９参照）。
Ｓ３の後、振動板１７の上面に、スパッタリング等により、共通電極１２ｂ１～１２ｂ４、圧電体１２ｃ、共通配線１４及び連結配線１５を覆うように、絶縁膜１２ｉを形成する（Ｓ４：図４参照））。
Ｓ４の後、絶縁膜１２ｉに、エッチング等により、接点部１２ｅｘ，１３ｘ，１４ｂｘ（図３及び図４参照）に対応する貫通孔と、各個別電極１２ｄを露出させる開口とを形成する（Ｓ５）。
Ｓ５の後、上記貫通孔に導電性材料を充填し、接点部１２ｅｘ，１３ｘ，１４ｂｘを形成する（Ｓ６：図３及び図４参照）。
Ｓ６の後、個別配線１２ｅ、接続配線１３、個別接点１２ｆ及び共通接点１２ｇを形成する（Ｓ７：図２参照）。このとき、例えば、先ず、絶縁膜１２ｉの上面の略全体に、スパッタリング等により、アルミニウム（Ａｌ）の膜を成形成する。次に、上記膜の一部をウェットエッチング等で部分的に除去することにより、個別配線１２ｅ、接続配線１３、個別接点１２ｆ及び共通接点１２ｇを同時に形成する。また、例えば、個別配線１２ｅ、接続配線１３、個別接点１２ｆ及び共通接点１２ｇを金（Ａｕ）で形成する場合は、マスク等を用い、マスクに覆われていない領域にメッキ法で金（Ａｕ）の膜を形成することにより、個別配線１２ｅ、接続配線１３、個別接点１２ｆ及び共通接点１２ｇを同時に形成してよい。
以上の工程により、圧電アクチュエータ１２が完成する。この後、圧力室プレート１１ｂとなるシリコン単結晶基板の表面に、リザーバ部材１１ａを接着する。そして、所定の厚みになるまでシリコン単結晶基板を研磨した後、シリコン単結晶基板の下面からエッチングを施して複数の圧力室１１ｍを形成する。この段階で、シリコン単結晶基板は圧力室プレート１１ｂとなる。さらに、振動板１７に貫通孔１７ｘを形成した後、圧力室プレート１１ｂの下面にノズルプレート１１ｃを接着し、ＣＯＦ１８の一端を接着剤Ａを介して流路基板１１に接着する。これにより、ヘッド１が完成する。
以上に述べたように、本実施形態によれば、共通電極１２ｂが、個別電極列１２ｄ１の個別電極１２ｄと対向する第１共通電極１２ｂ１と、個別電極列１２ｄ２の個別電極１２ｄと対向する第２共通電極１２ｂ２と、個別電極列１２ｄ３の個別電極１２ｄと対向する第３共通電極１２ｂ３と、個別電極列１２ｄ４の個別電極１２ｄと対向する第４共通電極１２ｂ４とを含む（図３参照）。この場合、共通電極１２ｂがヘッド１に形成された全ての個別電極１２ｄと対向するように形成された場合に比べ、共通電極１２ｂの形成による残留応力が小さくなり、圧電アクチュエータ１２の反りを抑制することができる。また、本実施形態では、個別電極列１２ｄ１～１２ｄ４の間で、個別接点１２ｆからの距離が異なるため、印加電圧にばらつきが生じ得る。この点に鑑みて、共通電極１２ｂ１～１２ｂ４を互いに接続する接続配線１３が設けられている。接続配線１３が設けられたことにより、共通電極１２ｂと共通接点１２ｇとの間を流れる電流の経路が増え、共通電極１２ｂと共通接点１２ｇとの間の全体的な電気抵抗が下がる。これにより、電圧降下が生じ難くなり、複数の個別電極１２ｄの間で個別接点１２ｆからの距離の違いによって印加電圧にばらつきが生じる問題を抑制することができる。
個別電極列１２ｄ１～１２ｄ４毎に、共通電極１２ｂ１～１２ｂ４が設けられている。この場合、簡単な構成によって圧電アクチュエータ１２の反りを抑制することができる。
個別配線１２ｅにおいて、各個別電極列１２ｄ２～１２ｄ４の個別電極１２ｄのうち搬送方向の両端に位置する個別電極を除く個別電極に接続する個別配線１２ｅは、当該個別電極列よりも個別接点１２ｆに近い位置にある個別電極列における、搬送方向に隣接する２つの個別電極１２ｄの間を通って、走査方向に延びている（図２参照）。この場合、個別配線１２ｅが複数の個別電極１２ｄからなる群の外側に延びる場合に比べ、圧電アクチュエータ１２の大型化を回避することができる。
接続配線１３においても、搬送方向の両端に位置する接続配線を除く接続配線は、それぞれ、各個別電極列１２ｄ１～１２ｄ３における、搬送方向に隣接する２つの個別電極１２ｄの間を通って、走査方向に延びている（図２参照）。この場合、接続配線１３が複数の個別電極１２ｄからなる群の外側に延びる場合に比べ、圧電アクチュエータ１２の大型化を回避することができる。
個別配線１２ｅと接続配線１３とは、互いに同じ層にある（図２及び図４参照）。この場合、１つの工程で個別配線１２ｅと接続配線１３とを形成し易く、接続配線１３を形成するための特別なプロセスの省略を図ることができる（図６のＳ７参照）。したがって、圧電アクチュエータ１２の製造工程数の増加を抑制することができる。
個別配線１２ｅと接続配線１３とは、互いに同じ材料（例えばアルミニウム（Ａｌ））からなる。この場合、１つの工程で個別配線１２ｅと接続配線１３とを形成し、接続配線１３を形成するための特別なプロセスを省略することを、容易に実現することができる（図６のＳ７参照）。したがって、圧電アクチュエータ１２の製造工程数の増加をより確実に抑制することができる。
個別配線１２ｅにおける個別電極１２ｄとの接点部１２ｅｘは、走査方向の一方側（図５の右側）の端部にあり、接続配線１３における各共通電極１２ｂ１～１２ｂ４との接点部１３ｘは、走査方向の他方側（図５の左側）にある。この場合、個別電極１２ｄから個別配線１２ｅを介して個別接点１２ｆに至るまでの経路、及び、各共通電極１２ｂ１～１２ｂ４から接続配線１３を介して共通配線１４の対向部分１４ａに至るまでの経路を、それぞれ短くすることができる。これにより、個別配線１２ｅ及び接続配線１３の負荷を低減することができる。
接続配線１３は、各共通電極１２ｂ１～１２ｂ４との複数の接点部１３ｘを有する（図５参照）。この場合、接点部１３ｘが１つだけの場合に比べ、接点部１３ｘへの電流の集中を低減することができる。
接点部１３ｘは、各共通電極１２ｂ１～１２ｂ４における搬送方向に沿って直線状に延びる外縁部１２ｂｘに設けられている（図５参照）。各共通電極１２ｂ１～１２ｂ４に設けられた凸部に接点部１３ｘが設けられた場合、接点部１３ｘへの電流の集中により、各共通電極１２ｂ１～１２ｂ４の電気抵抗が高くなってしまう。上記構成によれば、当該問題を抑制できる。
共通配線１４は、複数の個別電極１２ｄからなる群に対して、走査方向の他方側（図２の左側）にある対向部分１４ａと、対向部分１４ａの搬送方向両側（本実施形態では、対向部分１４ａの搬送方向両端）から走査方向の一方側（図２の右側）に延びて２つの共通接点１２ｇにそれぞれ接続する２つの接続部分１４ｂとを含む。この場合、共通配線１４が対向部分１４ａを含むことで、共通電極１２ｂから共通配線１４を介して共通接点１２ｇに至るまでの経路が長くなる。これにより、共通電極１２ｂと共通接点１２ｇとの間の全体的な電気抵抗をより一層下げることができる。
各共通電極１２ｂ１～１２ｂ４と、接続部分１４ｂとが、連結配線１５によって連結されている。この場合、接続配線１３だけでなく、連結配線１５が設けられたことで、共通電極１２ｂと共通接点１２ｇとの間を流れる電流の経路がさらに増え、共通電極１２ｂと共通接点１２ｇとの間の全体的な電気抵抗がより一層下がる。これにより、電圧降下がより生じ難くなり、複数の個別電極１２ｄにおいて個別接点１２ｆからの距離の違いによって印加電圧にばらつきが生じる問題をより確実に抑制することができる。
各共通電極１２ｂ１～１２ｂ４は、個別電極１２ｄの間と鉛直方向に対向する部分に、走査方向に延びるスリット１２ｂｓを有する（図３及び図５参照）。この場合、スリット１２ｂｓを設けたことで、圧電アクチュエータ１２の反りをより一層抑制することができ、かつ、活性部１２ｘの変位量を増加させることができる。
接続配線１３の幅は、走査方向の一方側（図２の右側）から他方側（図２の左側）に向かって（即ち、個別接点１２ｆの列から離れるにつれて）大きくなっている。接続配線１３の厚みは一定である。したがって、接続配線１３の断面積は、個別接点１２ｆの列から離れるにつれて大きくなっている。接続配線１３において、個別接点１２ｆの列から遠い位置にある部分ほど、活性部１２ｘの駆動による大きな電流を受け持つ。そのため、当該部分の断面積を大きくすることで、信頼性を高めることができる。また、接続配線１３において、個別接点１２ｆの列から遠い位置にある部分ほど、周囲にある個別配線１２ｅの数が少ない分、幅を大きくすることができる。
接続配線１３を構成する材料の電気抵抗（例えば、アルミニウム（Ａｌ）の場合、略２．８×１０-8Ωｍ）は、共通電極１２ｂ１～１２ｂ４を構成する材料の電気抵抗（例えば、白金（Ｐｔ）の場合、略１．０×１０-7Ωｍ）よりも低い。この場合、共通電極１２ｂ全体としての電気抵抗を下げることができる。
接続配線１３は、各共通電極１２ｂ１～１２ｂ４における走査方向の一端から他端まで延びている。この場合、電気抵抗の低い接続配線１３が、各共通電極１２ｂ１～１２ｂ４を横断しているため、共通電極１２ｂ全体の電気抵抗をより一層下げることができる。
接続配線１３は、各共通電極１２ｂ１～１２ｂ４における走査方向の一端から他端まで延びる横断部１３１～１３４と、共通電極１２ｂ１～１２ｂ４の間に配置され、横断部１３１～１３４のそれぞれと繋がる接続部１３ａ～１３ｃとを含む。この場合、電気抵抗の低い接続配線１３が、各共通電極１２ｂ１～１２ｂ４を横断し、さらに、各共通電極１２ｂ１～１２ｂ４の横断部１３１～１３４が接続部１３ａ～１３ｃを介して繋がっているため、共通電極１２ｂ全体の電気抵抗をより一層下げることができる。
接続配線１３は、振動板１７に形成された貫通孔１７ｘを取り囲むように、環状に形成されている（図２、図３及び図５参照）。この場合、接続配線１３の面積を大きくすることができる。また、電位が高い個別配線１２ｅを、貫通孔１７ｘを通るインクから遠ざけることができる。
＜変形例＞
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な設計変更が可能なものである。
液体吐出ヘッド内の流路の構成は、任意に変更可能である。例えば、リザーバは、上述の実施形態では圧力室に対してノズルと反対側（上側）にあるが、圧力室に対してノズルと同じ側（下側）にあってもよい。また、ノズルや圧力室の配置は任意であり、例えばノズルや圧力室が列を形成せずランダムに配置されてもよい。
個別電極が、圧電体に対して鉛直方向の下方に配置され、共通電極が、圧電体に対して鉛直方向の上方に配置されてもよい。
個別電極列の数は、４つに限定されず、２以上の任意の数であってよい。また、個別電極は、列を形成せずランダムに配置されてもよい。
共通電極は、１つの個別電極列に対して１つずつ設けられることに限定されず、２以上の個別電極列に対して１つずつ設けられてもよいし、１つの個別電極列に対して複数設けられてもよい。
共通電極にスリットを設けなくてもよい。
連結配線を省略してもよい。
第２共通電極は、第１共通電極から完全に分離していることに限定されず、第１共通電極と繋がる部分を有してよい。
個別配線及び／又は接続配線は、２つの個別電極の間を通って延びることに限定されず、複数の個別電極からなる群の外側に延びてもよい。
個別配線と接続配線とは、互いに別の層にあってもよい。また、個別配線と接続配線とは、互いに別の材料からなってもよい。
個別配線、接続配線を構成する材料は、アルミニウム（Ａｌ）に限定されず、アルミニウム合金（Ａｌ－Ｃｕ）、金（Ａｕ）等であってもよい。
共通電極を構成する材料は、白金（Ｐｔ）に限定されず、イリジウム（Ｉｒ）等であってもよい。
接続配線は、各共通電極の一端から他端まで延びなくてもよい。
上述の実施形態では、接続配線の厚みが一定で、接続配線の幅が個別接点から離れるにつれて大きくなっているが、これに限定されない。例えば、接続配線の幅が一定で、接続配線の厚みが個別接点から離れるにつれて大きくなってもよい。また、接続配線の断面積は、接続配線の延在方向において一定であってもよい。
接続配線における共通電極との接点部は、１つだけでもよい。また、接続配線における共通電極との接点部の位置、及び、個別配線における個別電極との接点部の位置は、特に限定されない。例えば、接続配線における共通電極との接点部が、共通電極に設けられた凸部に設けられてもよい。
圧電アクチュエータの製造方法は、図６に示すものに限定されない。例えば、上述の実施形態では、圧力室が形成されていない状態の圧力室プレート１１ｂとなる基板に、絶縁層に該当する振動板１７を形成し、その上に圧電アクチュエータ１２を形成するが、これに限定されず、圧力室プレート１１ｂとなる基板に圧力室を形成した後、振動板１７を形成し、その上に圧電アクチュエータ１２を形成してもよい。また、個別配線と接続配線とを、１つの工程で形成しなくてもよい。
液体吐出ヘッドは、シリアル式に限定されず、ライン式（即ち、位置が固定された状態で記録媒体に対して液体を吐出する方式）であってもよい。
ノズルから吐出される液体は、インクに限定されず、任意の液体（例えば、インク中の成分を凝集又は析出させる処理液等）であってよい。
記録媒体は、用紙に限定されず、記録可能な任意の媒体（例えば、布等）であってよい。
本発明は、プリンタに限定されず、ファクシミリ、コピー機、複合機等にも適用可能である。また、本発明は、画像の記録以外の用途で使用される液体吐出装置（例えば、基板に導電性の液体を吐出して導電パターンを形成する液体吐出装置）にも適用可能である。
本発明の圧電アクチュエータは、液体吐出装置に適用されることに限定されず、任意のアクチュエータ装置（例えば、固形の物体を動かすアクチュエータ装置、気体を加圧するアクチュエータ装置、液晶パネル等）に適用可能である。
１ ヘッド（液体吐出ヘッド）
１１ｂ 圧力室プレート（基板）
１１ｃ ノズルプレート
１１ｍ 圧力室
１１ｎ ノズル
１２ 圧電アクチュエータ
１２ｂ 共通電極
１２ｂ１ 第１共通電極
１２ｂ２ 第２共通電極
１２ｂ３ 第３共通電極
１２ｂｓ スリット
１２ｂｘ 外縁部
１２ｃ 圧電体
１２ｄ 個別電極
１２ｄ１～１２ｄ４ 個別電極列
１２ｅ 個別配線
１２ｅｘ 接点部
１２ｆ 個別接点
１２ｇ 共通接点
１２ｘ 活性部
１３ 接続配線
１３ａ 第１接続部
１３ｂ 第２接続部
１３１ 第１横断部
１３２ 第２横断部
１３ｘ 接点部
１４ 共通配線
１４ａ 対向部分
１４ｂ 接続部分
１５ 連結配線
１７ 振動板（絶縁層）
１７ｘ 貫通孔（流路）
１００ プリンタ

Claims (23)

  1. 圧電体と、
    前記圧電体に対して前記圧電体の厚み方向の一方側に配置された、複数の個別電極と、
    前記圧電体に対して前記厚み方向の他方側に配置され、前記圧電体を挟んで前記複数の個別電極と前記厚み方向に対向する、共通電極と、
    前記複数の個別電極のそれぞれと繋がる、複数の個別接点と、
    前記共通電極と繋がる、共通接点と、を備え、
    前記複数の個別電極は、第１個別電極と、前記圧電体の面方向において前記第１個別電極よりも前記複数の個別接点のうち対応する個別接点から遠い位置に配置された、第２個別電極と、を含み、
    複数の前記第１個別電極は、前記面方向に沿った第１方向に配列され、第１個別電極列を構成し、
    複数の前記第２個別電極は、前記第１方向に配列され、前記第１方向と直交しかつ前記面方向に沿った第２方向において前記第１個別電極列と並ぶ第２個別電極列を構成し、
    前記共通電極は、前記第１個別電極と前記厚み方向に対向する第１共通電極と、前記第１共通電極から前記面方向に離隔し、前記第２個別電極と前記厚み方向に対向する第２共通電極と、を含み、前記第１共通電極が複数の前記第１個別電極と前記厚み方向に対向すること及び前記第２共通電極が複数の前記第２個別電極と前記厚み方向に対向することの少なくとも一方を満たし、
    前記第１共通電極と前記第２共通電極とを接続する接続配線をさらに備え、
    複数の前記接続配線は、前記第１方向に隣接する前記複数の第１個別電極の間を通って、前記第２方向に延びていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
  2. 圧電体と、
    前記圧電体に対して前記圧電体の厚み方向の一方側に配置された、複数の個別電極と、
    前記圧電体に対して前記厚み方向の他方側に配置され、前記圧電体を挟んで前記複数の個別電極と前記厚み方向に対向する、共通電極と、
    前記複数の個別電極のそれぞれと繋がる、複数の個別接点と、
    前記共通電極と繋がる、共通接点と、を備え、
    前記複数の個別電極は、前記圧電体の面方向に沿った第１方向に配列され、第１個別電極列を構成する、複数の第１個別電極と、前記第１方向に配列され、前記第１方向と直交しかつ前記面方向に沿った第２方向において前記第１個別電極列と並ぶ第２個別電極列を構成し、前記第２方向において前記複数の第１個別電極よりも前記複数の個別接点のうち対応する個別接点から遠い位置に配置された、複数の第２個別電極と、を含み、
    前記共通電極は、前記複数の第１個別電極の少なくとも１つと前記厚み方向に対向する第１共通電極と、前記第１共通電極から前記第２方向に離隔し、前記複数の第２個別電極の少なくとも１つと前記厚み方向に対向する第２共通電極と、を含み、前記第１共通電極及び前記第２共通電極の少なくとも一方が前記第１方向に延び、
    前記第１共通電極と前記第２共通電極とを接続する接続配線をさらに備え、
    複数の前記接続配線は、前記第１方向に隣接する前記複数の第１個別電極の間を通って、前記第２方向に延びていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
  3. 前記第１共通電極は、前記第１個別電極列を構成する前記複数の第１個別電極と前記厚み方向に対向し、
    前記第２共通電極は、前記第２個別電極列を構成する前記複数の第２個別電極と前記厚み方向に対向することを特徴とする請求項１又は２に記載の圧電アクチュエータ。
  4. 前記複数の個別接点は、前記第１個別電極列に対して、前記第２方向において前記第２個別電極列とは反対側に配置され、
    前記複数の個別電極と前記複数の個別接点とをそれぞれ繋ぐ複数の個別配線のうち、前記複数の第２個別電極のそれぞれに繋がる複数の個別配線は、前記第１方向に隣接する複数の前記第１個別電極の間を通って、前記第２方向に延びていることを特徴とする請求項１～３のいずれか１項に記載の圧電アクチュエータ。
  5. 圧電体と、
    前記圧電体に対して前記圧電体の厚み方向の一方側に配置された、複数の個別電極と、
    前記圧電体に対して前記厚み方向の他方側に配置され、前記圧電体を挟んで前記複数の個別電極と前記厚み方向に対向する、共通電極と、
    前記複数の個別電極のそれぞれと繋がる、複数の個別接点と、
    前記共通電極と繋がる、共通接点と、を備え、
    前記複数の個別電極は、第１個別電極と、前記圧電体の面方向において前記第１個別電極よりも前記複数の個別接点のうち対応する個別接点から遠い位置に配置された、第２個別電極と、を含み、
    前記共通電極は、前記第１個別電極と前記厚み方向に対向する第１共通電極と、前記第１共通電極から前記面方向に離隔し、前記第２個別電極と前記厚み方向に対向する第２共通電極と、を含み、前記第１共通電極が複数の前記第１個別電極と前記厚み方向に対向すること及び前記第２共通電極が複数の前記第２個別電極と前記厚み方向に対向することの少なくとも一方を満たし、
    前記第１共通電極と前記第２共通電極とを接続する接続配線をさらに備え、
    前記複数の個別電極と前記複数の個別接点とをそれぞれ繋ぐ複数の個別配線と、前記接続配線とは、互いに同じ層にあることを特徴とする圧電アクチュエータ。
  6. 圧電体と、
    前記圧電体に対して前記圧電体の厚み方向の一方側に配置された、複数の個別電極と、
    前記圧電体に対して前記厚み方向の他方側に配置され、前記圧電体を挟んで前記複数の個別電極と前記厚み方向に対向する、共通電極と、
    前記複数の個別電極のそれぞれと繋がる、複数の個別接点と、
    前記共通電極と繋がる、共通接点と、を備え、
    前記複数の個別電極は、前記圧電体の面方向に沿った第１方向に配列され、第１個別電極列を構成する、複数の第１個別電極と、前記第１方向に配列され、前記第１方向と直交しかつ前記面方向に沿った第２方向において前記第１個別電極列と並ぶ第２個別電極列を構成し、前記第２方向において前記複数の第１個別電極よりも前記複数の個別接点のうち対応する個別接点から遠い位置に配置された、複数の第２個別電極と、を含み、
    前記共通電極は、前記複数の第１個別電極の少なくとも１つと前記厚み方向に対向する第１共通電極と、前記第１共通電極から前記第２方向に離隔し、前記複数の第２個別電極の少なくとも１つと前記厚み方向に対向する第２共通電極と、を含み、前記第１共通電極及び前記第２共通電極の少なくとも一方が前記第１方向に延び、
    前記第１共通電極と前記第２共通電極とを接続する接続配線をさらに備え、
    前記複数の個別電極と前記複数の個別接点とをそれぞれ繋ぐ複数の個別配線と、前記接続配線とは、互いに同じ層にあることを特徴とする圧電アクチュエータ。
  7. 前記複数の個別配線と、前記接続配線とは、互いに同じ材料からなることを特徴とする請求項６に記載の圧電アクチュエータ。
  8. 前記複数の個別接点は、前記複数の個別電極に対して、前記面方向に沿った第３方向の一方側にあり、
    前記共通電極と前記共通接点とを繋ぐ共通配線は、前記複数の個別電極に対して、前記第３方向の他方側にある部分を含み、
    前記複数の個別電極と前記複数の個別接点とをそれぞれ繋ぐ複数の個別配線は、前記複数の個別電極それぞれの前記一方側の端部に、前記複数の個別電極それぞれとの接点部を有し、
    前記接続配線は、前記第１共通電極及び前記第２共通電極それぞれの前記他方側の端部に、前記第１共通電極及び前記第２共通電極それぞれとの接点部を有することを特徴とする請求項１～７のいずれか１項に記載の圧電アクチュエータ。
  9. 前記接続配線は、前記第１共通電極及び前記第２共通電極の少なくとも一方との複数の接点部を有することを特徴とする請求項１～８のいずれか１項に記載の圧電アクチュエータ。
  10. 前記接続配線は、前記第１共通電極及び前記第２共通電極それぞれにおける前記面方向に沿って直線状に延びる外縁部に、前記第１共通電極及び前記第２共通電極それぞれとの接点部を有することを特徴とする請求項１～９のいずれか１項に記載の圧電アクチュエータ。
  11. 前記共通接点は、前記複数の個別電極に対して、前記面方向に沿った第４方向の一方側にあり、
    前記共通電極と前記共通接点とを繋ぐ共通配線は、前記複数の個別電極に対して、前記第４方向の他方側にある対向部分と、前記第４方向と直交しかつ前記面方向に沿った第５方向における前記対向部分の両側から前記第４方向に延びて前記共通接点に接続する接続部分と、を含むことを特徴とする請求項１～１０のいずれか１項に記載の圧電アクチュエータ。
  12. 前記第１共通電極及び前記第２共通電極のそれぞれと、前記接続部分とを連結する連結配線をさらに備えたことを特徴とする請求項１１に記載の圧電アクチュエータ。
  13. 前記第１共通電極及び前記第２共通電極の少なくとも一方は、前記複数の個別電極の間と前記厚み方向に対向する部分にスリットを有することを特徴とする請求項１～１２のいずれか１項に記載の圧電アクチュエータ。
  14. 圧電体と、
    前記圧電体に対して前記圧電体の厚み方向の一方側に配置された、複数の個別電極と、
    前記圧電体に対して前記厚み方向の他方側に配置され、前記圧電体を挟んで前記複数の個別電極と前記厚み方向に対向する、共通電極と、
    前記複数の個別電極のそれぞれと繋がる、複数の個別接点と、
    前記共通電極と繋がる、共通接点と、を備え、
    前記複数の個別電極は、第１個別電極と、前記圧電体の面方向において前記第１個別電極よりも前記複数の個別接点のうち対応する個別接点から遠い位置に配置された、第２個別電極と、前記面方向において前記第２個別電極よりも前記複数の個別接点のうち対応する個別接点から遠い位置に配置された、第３個別電極と、を含み、
    前記共通電極は、前記第１個別電極と前記厚み方向に対向する第１共通電極と、前記第１共通電極から前記面方向に離隔し、前記第２個別電極と前記厚み方向に対向する第２共通電極と、前記第３個別電極と前記厚み方向に対向する第３共通電極と、を含み、前記第１共通電極が複数の前記第１個別電極と前記厚み方向に対向すること及び前記第２共通電極が複数の前記第２個別電極と前記厚み方向に対向することの少なくとも一方を満たし、
    前記第１共通電極と前記第２共通電極とを接続する接続配線をさらに備え、
    前記接続配線は、前記第１共通電極と前記第２共通電極との間に配置された第１接続部と、前記第２共通電極と前記第３共通電極との間に配置された第２接続部と、を含み、
    前記第２接続部は、前記第１接続部よりも断面積が大きいことを特徴とする圧電アクチュエータ。
  15. 圧電体と、
    前記圧電体に対して前記圧電体の厚み方向の一方側に配置された、複数の個別電極と、
    前記圧電体に対して前記厚み方向の他方側に配置され、前記圧電体を挟んで前記複数の個別電極と前記厚み方向に対向する、共通電極と、
    前記複数の個別電極のそれぞれと繋がる、複数の個別接点と、
    前記共通電極と繋がる、共通接点と、を備え、
    前記複数の個別電極は、前記圧電体の面方向に沿った第１方向に配列され、第１個別電極列を構成する、複数の第１個別電極と、前記第１方向に配列され、前記第１方向と直交しかつ前記面方向に沿った第２方向において前記第１個別電極列と並ぶ第２個別電極列を構成し、前記第２方向において前記複数の第１個別電極よりも前記複数の個別接点のうち対応する個別接点から遠い位置に配置された、複数の第２個別電極と、前記面方向において前記第２個別電極よりも前記複数の個別接点のうち対応する個別接点から遠い位置に配置された、第３個別電極と、を含み、
    前記共通電極は、前記複数の第１個別電極の少なくとも１つと前記厚み方向に対向する第１共通電極と、前記第１共通電極から前記第２方向に離隔し、前記複数の第２個別電極の少なくとも１つと前記厚み方向に対向する第２共通電極と、前記第３個別電極と前記厚み方向に対向する第３共通電極と、を含み、前記第１共通電極及び前記第２共通電極の少なくとも一方が前記第１方向に延び、
    前記第１共通電極と前記第２共通電極とを接続する接続配線をさらに備え、
    前記接続配線は、前記第１共通電極と前記第２共通電極との間に配置された第１接続部と、前記第２共通電極と前記第３共通電極との間に配置された第２接続部と、を含み、
    前記第２接続部は、前記第１接続部よりも断面積が大きいことを特徴とする圧電アクチュエータ。
  16. 圧電体と、
    前記圧電体に対して前記圧電体の厚み方向の一方側に配置された、複数の個別電極と、
    前記圧電体に対して前記厚み方向の他方側に配置され、前記圧電体を挟んで前記複数の個別電極と前記厚み方向に対向する、共通電極と、
    前記複数の個別電極のそれぞれと繋がる、複数の個別接点と、
    前記共通電極と繋がる、共通接点と、を備え、
    前記複数の個別電極は、第１個別電極と、前記圧電体の面方向において前記第１個別電極よりも前記複数の個別接点のうち対応する個別接点から遠い位置に配置された、第２個別電極と、を含み、
    前記共通電極は、前記第１個別電極と前記厚み方向に対向する第１共通電極と、前記第１共通電極から前記面方向に離隔し、前記第２個別電極と前記厚み方向に対向する第２共通電極と、を含み、前記第１共通電極が複数の前記第１個別電極と前記厚み方向に対向すること及び前記第２共通電極が複数の前記第２個別電極と前記厚み方向に対向することの少なくとも一方を満たし、
    前記第１共通電極と前記第２共通電極とを接続する接続配線をさらに備え、
    前記接続配線を構成する材料の電気抵抗は、前記共通電極を構成する材料の電気抵抗よりも低いことを特徴とする圧電アクチュエータ。
  17. 圧電体と、
    前記圧電体に対して前記圧電体の厚み方向の一方側に配置された、複数の個別電極と、
    前記圧電体に対して前記厚み方向の他方側に配置され、前記圧電体を挟んで前記複数の個別電極と前記厚み方向に対向する、共通電極と、
    前記複数の個別電極のそれぞれと繋がる、複数の個別接点と、
    前記共通電極と繋がる、共通接点と、を備え、
    前記複数の個別電極は、前記圧電体の面方向に沿った第１方向に配列され、第１個別電極列を構成する、複数の第１個別電極と、前記第１方向に配列され、前記第１方向と直交しかつ前記面方向に沿った第２方向において前記第１個別電極列と並ぶ第２個別電極列を構成し、前記第２方向において前記複数の第１個別電極よりも前記複数の個別接点のうち対応する個別接点から遠い位置に配置された、複数の第２個別電極と、を含み、
    前記共通電極は、前記複数の第１個別電極の少なくとも１つと前記厚み方向に対向する第１共通電極と、前記第１共通電極から前記第２方向に離隔し、前記複数の第２個別電極の少なくとも１つと前記厚み方向に対向する第２共通電極と、を含み、前記第１共通電極及び前記第２共通電極の少なくとも一方が前記第１方向に延び、
    前記第１共通電極と前記第２共通電極とを接続する接続配線をさらに備え、
    前記接続配線を構成する材料の電気抵抗は、前記共通電極を構成する材料の電気抵抗よりも低いことを特徴とする圧電アクチュエータ。
  18. 前記接続配線は、前記第１共通電極及び前記第２共通電極の少なくとも一方における前記面方向の一端から他端まで延びていることを特徴とする請求項１７に記載の圧電アクチュエータ。
  19. 前記接続配線は、前記第１共通電極の前記一端から前記他端まで延びる第１横断部と、前記第２共通電極の前記一端から他端まで延びる第２横断部と、前記第１共通電極と前記第２共通電極との間に配置され、前記第１横断部及び前記第２横断部のそれぞれと繋がる接続部と、を含むことを特徴とする請求項１８に記載の圧電アクチュエータ。
  20. 請求項１～１９のいずれか１項に記載の、圧電アクチュエータと、
    前記圧電アクチュエータが配置される基板であって、前記複数の個別電極とそれぞれ前記厚み方向に対向する複数の圧力室が形成された、基板と、
    前記基板に対して前記圧電アクチュエータと反対側に配置され、前記複数の圧力室にそれぞれ連通する複数のノズルが形成された、ノズルプレートと、
    を備えたことを特徴とする液体吐出ヘッド。
  21. 前記圧電アクチュエータと前記基板との間に、前記複数の圧力室を覆う絶縁層であって、前記複数の圧力室に供給される液体が通る流路が形成された絶縁層が配置され、
    前記接続配線は、前記流路を取り囲むように、環状に形成されていることを特徴とする請求項２０に記載の液体吐出ヘッド。
  22. 圧電体を形成する圧電体形成工程と、
    前記圧電体に対して前記圧電体の厚み方向の一方側に、複数の個別電極を形成する個別電極形成工程と、
    前記圧電体に対して前記厚み方向の他方側に、前記圧電体を挟んで前記複数の個別電極と前記厚み方向に対向する共通電極を形成する共通電極形成工程と、
    前記複数の個別電極のそれぞれと繋がる複数の個別接点を形成する個別接点形成工程と、
    前記共通電極と繋がる共通接点を形成する共通接点形成工程と、
    前記複数の個別電極と前記複数の個別接点とをそれぞれ繋ぐ複数の個別配線を形成する個別配線形成工程と、を備え、
    前記個別電極形成工程において、第１個別電極と、前記圧電体の面方向において前記第１個別電極よりも前記複数の個別接点のうち対応する個別接点から遠い位置に配置された、第２個別電極とを含む、前記複数の個別電極を形成し、
    前記共通電極形成工程において、前記第１個別電極と前記厚み方向に対向する第１共通電極と、前記第１共通電極から前記面方向に離隔し、前記第２個別電極と前記厚み方向に対向する第２共通電極とを含む、前記共通電極を形成し、前記第１共通電極を複数の前記第１個別電極と前記厚み方向に対向させること及び前記第２共通電極を複数の前記第２個別電極と前記厚み方向に対向させることの少なくとも一方を行い、
    前記個別配線形成工程において、前記第１共通電極と前記第２共通電極とを接続する接続配線を、前記複数の個別配線と同じ工程で形成することを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。
  23. 圧電体を形成する圧電体形成工程と、
    前記圧電体に対して前記圧電体の厚み方向の一方側に、複数の個別電極を形成する個別電極形成工程と、
    前記圧電体に対して前記厚み方向の他方側に、前記圧電体を挟んで前記複数の個別電極と前記厚み方向に対向する共通電極を形成する共通電極形成工程と、
    前記複数の個別電極のそれぞれと繋がる複数の個別接点を形成する個別接点形成工程と、
    前記共通電極と繋がる共通接点を形成する共通接点形成工程と、
    前記複数の個別電極と前記複数の個別接点とをそれぞれ繋ぐ複数の個別配線を形成する個別配線形成工程と、を備え、
    前記個別電極形成工程において、前記圧電体の面方向に沿った第１方向に配列され、第１個別電極列を構成する、複数の第１個別電極と、前記第１方向に配列され、前記第１方向と直交しかつ前記面方向に沿った第２方向において前記第１個別電極列と並ぶ第２個別電極列を構成し、前記第２方向において前記複数の第１個別電極よりも前記複数の個別接点のうち対応する個別接点から遠い位置に配置された、複数の第２個別電極とを含む、前記複数の個別電極を形成し、
    前記共通電極形成工程において、前記複数の第１個別電極の少なくとも１つと前記厚み方向に対向する第１共通電極と、前記第１共通電極から前記第２方向に離隔し、前記複数の第２個別電極の少なくとも１つと前記厚み方向に対向する第２共通電極とを含む、前記共通電極を形成し、前記第１共通電極及び前記第２共通電極の少なくとも一方を前記第１方向に延在させ、
    前記個別配線形成工程において、前記第１共通電極と前記第２共通電極とを接続する接続配線を、前記複数の個別配線と同じ工程で形成することを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。
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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7352149B2 (ja) * 2019-08-01 2023-09-28 ブラザー工業株式会社 液体吐出ヘッド
JP7352148B2 (ja) * 2019-08-01 2023-09-28 ブラザー工業株式会社 液体吐出ヘッド
JP2021084256A (ja) * 2019-11-26 2021-06-03 株式会社リコー 液体吐出ヘッド、吐出ユニット、液体を吐出する装置

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011167955A (ja) 2010-02-19 2011-09-01 Seiko Epson Corp 液体噴射ヘッド用配線部材、及び、液体噴射ヘッド
JP2012124195A (ja) 2010-12-06 2012-06-28 Brother Ind Ltd 圧電アクチュエータ
US20150102835A1 (en) 2013-10-11 2015-04-16 Oce-Technologies B.V. Substrate plate for mems devices
JP2015182441A (ja) 2014-03-26 2015-10-22 ブラザー工業株式会社 液体吐出装置
JP2016124120A (ja) 2014-12-26 2016-07-11 ブラザー工業株式会社 液体吐出装置
JP2017056697A (ja) 2015-09-18 2017-03-23 コニカミノルタ株式会社 圧電アクチュエータユニット、インクジェットヘッド、インクジェット記録装置、ヘッドチップ及び配線基板
JP2017065050A (ja) 2015-09-30 2017-04-06 ブラザー工業株式会社 液体吐出装置及び液体吐出装置の製造方法
JP2017064922A (ja) 2015-09-28 2017-04-06 ブラザー工業株式会社 液体吐出装置

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5266609B2 (ja) 2005-03-28 2013-08-21 富士ゼロックス株式会社 圧電素子、液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置
JP4707510B2 (ja) 2005-09-14 2011-06-22 株式会社リコー 液滴吐出ヘッド、記録液カートリッジ及び画像形成装置
JP2013169061A (ja) * 2012-02-15 2013-08-29 Seiko Epson Corp 液滴噴射ヘッド
US20130222481A1 (en) * 2012-02-27 2013-08-29 Toshiba Tec Kabushiki Kaisha Inkjet head and method of manufacturing the same
JP6464842B2 (ja) * 2014-03-26 2019-02-06 ブラザー工業株式会社 液体吐出装置
JP6492648B2 (ja) 2014-12-26 2019-04-03 ブラザー工業株式会社 圧電アクチュエータ、液体吐出装置、及び、圧電アクチュエータの製造方法

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011167955A (ja) 2010-02-19 2011-09-01 Seiko Epson Corp 液体噴射ヘッド用配線部材、及び、液体噴射ヘッド
JP2012124195A (ja) 2010-12-06 2012-06-28 Brother Ind Ltd 圧電アクチュエータ
US20150102835A1 (en) 2013-10-11 2015-04-16 Oce-Technologies B.V. Substrate plate for mems devices
JP2015182441A (ja) 2014-03-26 2015-10-22 ブラザー工業株式会社 液体吐出装置
JP2016124120A (ja) 2014-12-26 2016-07-11 ブラザー工業株式会社 液体吐出装置
JP2017056697A (ja) 2015-09-18 2017-03-23 コニカミノルタ株式会社 圧電アクチュエータユニット、インクジェットヘッド、インクジェット記録装置、ヘッドチップ及び配線基板
JP2017064922A (ja) 2015-09-28 2017-04-06 ブラザー工業株式会社 液体吐出装置
JP2017065050A (ja) 2015-09-30 2017-04-06 ブラザー工業株式会社 液体吐出装置及び液体吐出装置の製造方法

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