JP7029641B2 - エキシマランプ - Google Patents
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Description
特開2013-098015号公報(特許文献1)にはそのようなエキシマランプの例が開示されている。
図5にかかるエキシマランプ21が示されており、その放電容器22は、全体が偏平な矩形断面形状をなし、該放電容器22の平面部23の外表面上には外部電極24が対向して設けられていて、これら外部電極24は不図示の高周波電源に接続されている。
そして、前記放電容器22の内部には、使用される光の波長により、発光ガスとして、キセノンガス、クリプトンガスなどの希ガス、または、これらと塩素などのハロゲンガスとの混合ガスが封入される。
また、放電容器22の両端には、エキシマランプ21を光照射装置に固定するためのランプベース30、30が取り付けられている。
放電容器22は、偏平な矩形断面形状を有するガラス管221と、その両端に挿入・溶着された封止部材222とからなり、封止部材222には排気管223が設けられている。このとき、封止部材222は、ガラス管221の端部から若干量だけ内部に挿入されて溶着されていて、ガラス管221の端部は封止部材222よりも外側に突出する裾部224を形成する。
そして、図6(B)に示すように、放電容器22の端部を覆うようにランプベース30が取り付けられている。
このような場合、図7に示すように、被処理気体がランプベース30の後方(後流側)において渦を発生してしまい、気体に乱流が生じ、ランプ21の放電容器22に沿った円滑な流れができずに、効率的な処理ができないという問題がある。
図6に示すように、給電用のリード線26が外部電極24(のベタ状電極25)上にハンダ27により溶接接続されるので、放電容器22の厚さ方向(外部電極間の厚さ方向)で外表面から溶接部(ハンダ)27が突出することで、ランプベース30の厚さが放電容器22の厚さよりもかなり大きくなることで、より一層の不具合が生じている。
また、前記放電容器が偏平な略矩形断面形状のガラス管と、その端部近傍に溶着された封止部材とからなり、前記ガラス管の端部は前記封止部材よりも外側に突出して裾部を形成し、前記裾部の平面部に前記外部電極の対向する方向に凹部を形成し、前記補助電極は当該凹部にまで延在し、当該凹部において前記リード線が前記補助電極に接続されていることを特徴とする。
また、前記放電容器の端部にピンチシール部を形成して当該放電容器を密閉し、前記補助電極は前記ピンチシール部にまで延在し、当該ピンチシール部において前記リード線が前記補助電極に接続されていることを特徴とする。
また、気体以外の被処理物に直接紫外光を照射する場合にあっても、ランプと被処理物を近接配置でき、空気による真空紫外光の減衰を抑制して効果的な処理ができる。
エキシマランプ1は、一対の矩形状の平面部3、3と、その長手方向の側縁部に沿った一対の側面部4、4とからなる、偏平な略矩形断面形状の放電容器2を有する。図1(B)に示されるように、この放電容器2の平面部3、3の外表面上には一対の外部電極5、5が設けられている。そして放電容器2の内部の放電空間には、放電ガスとして希ガスと塩素ガスが封入されている。希ガスは、クリプトン、キセノンなどから選択される。
そして、前記外部電極5の一端部にはいわゆるベタ状電極6が形成されている。
なお、放電容器2の断面形状は、正確に扁平矩形状である必要はなく、平面部3及び/又は側面部4が、外部側に若干だけ膨出する形状であってもよいし、逆に内部側に凹む形状であってもよい。更には、台形形状や平行四辺形形状も採用できるものであり、本願明細書では、これらを総称して、略矩形形状と表記している。
前記外部電極5(ベタ状電極6)には補助電極7が接続されていて、前記凹部8にまで延在している。
この補助電極7は、印刷により形成してもよく、また、ディスペンサで導電ペーストを塗布し乾燥することにより形成することもできる。
そして、放電容器2の平面部3上に設けられた外部電極5の端部のベタ状電極6には補助電極7が接続され、この補助電極7は放電容器2の外表面に沿う形でピンチシール部9まで延びている。
なお、この実施例では、補助電極7は外部電極5よりも小幅なものが示されているが、特に小幅とすることなく、例えば、外部電極5と同幅のものであってもよい。
また、図1、2の実施例および図3、4の実施例では、外部電極5の端部にベタ状電極6が設けられているが、これを省いた構造とすることもできる。
2 :放電容器
2a:ガラス管
2b:封止部材
2c:裾部
3 :平面部
4 :側面部
5 :外部電極
6 :ベタ状電極
7 :補助電極
8 :凹部
9 :ピンチシール部
10:リード線
11:ハンダ(溶接部)
Claims (4)
- 一対の平面部と一対の側面部とからなる、偏平な略矩形断面形状の放電容器の前記平面部のそれぞれの外表面に一対の外部電極が配置されてなるエキシマランプにおいて、
前記一対の外部電極のうちの少なくとも一方の電極は、前記放電容器内で生成された紫外線を透過させるための光透過部を有し、
前記外部電極の端部に、前記平面部間の距離よりも小さくされた領域にまで延在する補助電極を設け、
前記外部電極に給電するリード線が、前記平面部間の距離よりも小さくされた領域において前記補助電極に接続されていることを特徴とするエキシマランプ。 - 前記補助電極は、前記外部電極より小幅であることを特徴とする請求項1に記載のエキシマランプ。
- 前記放電容器が偏平な略矩形断面形状のガラス管と、その端部近傍に溶着された封止部材とからなり、前記ガラス管の端部は前記封止部材よりも外側に突出して裾部を形成し、
前記裾部の平面部に前記外部電極の対向する方向に凹部を形成し、前記補助電極は当該凹部にまで延在し、当該凹部において前記リード線が前記補助電極に接続されていることを特徴とする請求項1または2に記載のエキシマランプ。 - 前記放電容器の端部にピンチシール部を形成して当該放電容器を密閉し、前記補助電極は前記ピンチシール部にまで延在し、当該ピンチシール部において前記リード線が前記補助電極に接続されていることを特徴とする請求項1または2に記載のエキシマランプ。
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