JP2007073412A - 高輝度放電ランプおよびその高輝度放電ランプを用いた照射装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1の透明誘電体管1と第2の透明誘電体管4で、独立した複数の放電空間D1とD2を構成する。各放電空間に放電発光媒体AとBを充填して、異なるプラズマ状態を形成して、異なる波長の光を発生する。各透明誘電体管1、3、4に設けた共通電極2と、電極5、6の間に、独立に高周波電力を印加して、各放電発光媒体AとBを個別に発光させる。異なる波長の光が、透明誘電体管1、3、4を通って同一方向に放射される。
【選択図】図1
Description
2 共通電極
3 透明誘電体管
4 第2の透明誘電体管
5 電極
6 電極
7 ランプ
8 被照射物
9 チャンバ
10 ランプ
11 ランプ
Claims (8)
- 独立した複数の放電空間を構成する複数の透明誘電体壁と、異なるプラズマ状態を形成して異なる波長の光が発生するように各放電空間に充填された放電発光媒体と、前記透明誘電体壁に形成した電極と、前記電極に独立に高周波電力を印加する電源と、前記各放電発光媒体を個別に発光させる制御手段とを具備する高輝度放電ランプにおいて、前記透明誘電体壁を、異なる波長の光が同一方向に放射されるように構成したことを特徴とする高輝度放電ランプ。
- 前記放電空間は同心円筒状であり、前記複数の透明誘電体壁は、一体化され分離不可能であることを特徴とする請求項1記載の高輝度放電ランプ。
- 前記放電空間は、長手方向に平行に分離された直方体形状または円筒状の領域であり、前記複数の誘電体壁は、一体化され分離不可能であることを特徴とする請求項1記載の高輝度放電ランプ。
- 前記放電発光媒体は、希ガスまたはハロゲンガスまたは水銀またはそれらの混合ガスであることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の高輝度放電ランプ。
- 前記放電発光媒体は、希ガスと金属沃化物の混合ガスであることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の高輝度放電ランプ。
- 請求項1〜5のいずれかに記載の高輝度放電ランプを光源として用いることを特徴とする照射装置。
- 第1の放電発光媒体が充填されて第1の紫外線を放射する第1の放電空間と、前記第1の放電空間を構成する第1の透明誘電体と、前記第1の誘電体に設けられ、第1の高周波電力を受けて前記第1の放電発光媒体を励起する第1の電極と、第2の放電発光媒体が充填されて前記第1の紫外線とは異なる第2の紫外線を放射する第2の放電空間と、前記第2の放電空間を構成する第2の透明誘電体と、前記第2の透明誘電体に設けられ、第2の高周波電力を受けて前記第2の放電発光媒体を励起する第2の電極と、前記第1と第2の放電空間は実質的に平行であり、前記第1と第2の透明誘電体は一体不可分に互いに固着されており、前記各透明誘電体と前記各放電空間の相対的位置関係は、前記第1の紫外線が、前記第1の透明誘電体と前記第2の放電空間と前記第2の透明誘電体を経て放射され、前記第2の紫外線が、前記第2の透明誘電体を経て前記第1の紫外線と同じ方向に放射されるように構成されていることを特徴とする高輝度放電ランプ。
- 請求項1〜7のいずれかに記載の高輝度放電ランプを複数本備えて光源とし、前記高輝度放電ランプからの異なる波長の光が同一方向から被照射物に照射されるように前記高輝度放電ランプを配置したことを特徴とする照射装置。
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