CN112204704B - 准分子灯 - Google Patents
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Abstract
本发明为一种准分子灯，在包括一对平面部和一对侧面部的扁平的大致矩形截面形状的放电容器的平面部的各个外表面上配置有一对外部电极，在外部电极的端部设置延伸到比上述平面部间的距离小的区域的辅助电极，向外部电极供电的导线在比上述平面部间的距离小的区域中与辅助电极连接。
Description
技术领域
本发明涉及一种准分子灯，具备具有扁平的矩形截面形状的放电容器，特别涉及一种在放电容器的外表面上设置有电极的准分子灯。
背景技术
准分子灯能够放射紫外线、特别是波长较短的紫外线，因此被利用于半导体制造工序、液晶制造工序、臭氧产生装置等。
在日本特开2013-098015号公报(专利文献1)中公开有这种准分子灯的例子。
图5示出所述准分子灯21，该放电容器22的整体成为扁平的矩形截面形状，在该放电容器22的平面部23的外表面上对置地设置有外部电极24，这些外部电极24与未图示的高频电源连接。
该放电容器22例如使用波长200nm以下的紫外线的透射性优良的材料、例如合成石英玻璃等石英玻璃、蓝宝石玻璃等。
然后，在上述放电容器22的内部，根据所使用的光的波长，作为发光气体而封入有氙气、氪气等稀有气体、或者这些稀有气体与氯等卤素气体的混合气体。
此外，在放电容器22的两端，安装有用于将准分子灯21固定于光照射装置的灯座30、30。
所述准分子灯21的构造例如在日本特开2013-149546号公报(专利文献2)中示出，其具体构造如图6所示。
放电容器22包括具有扁平的矩形截面形状的玻璃管221、以及***且熔敷于其两端的密封部件222，在密封部件222上设置有排气管223。此时，密封部件222从玻璃管221的端部向内部***若干量而熔敷，玻璃管221的端部形成比密封部件222向外侧突出的末端部224。
然后，在该专利文献2的现有技术中，在外部电极24的端部设置有平板状电极25，在该平板状电极25上通过玻璃焊锡27等焊接连接有向外部电极24供电的导线26。
然后，如图6的(B)所示那样，以对放电容器22的端部进行覆盖的方式安装有灯座30。
然而，这样的准分子灯如上述那样被使用于各种用途，但在臭氧产生装置等对流动的气体进行处理的准分子灯中，以使灯沿着被处理气体的流动方向的方式配置其长边方向，而对气体照射真空紫外光。
在这样的情况下，如图7所示那样，存在如下那样的问题：被处理气体在灯座30的后方(尾流侧)产生旋涡，气体产生紊流，无法沿着准分子灯21的放电容器22顺畅地流动，无法高效地进行处理。
如图6所示那样，供电用的导线26通过玻璃焊锡27焊接连接在外部电极24(的平板状电极25)上，因此在放电容器22的厚度方向(外部电极间的厚度方向)上焊接部(焊锡)27从外表面突出，由此灯座30的厚度与放电容器22的厚度相比大非常多，由此产生进一步的不良情况。
此外，来自准分子灯的真空紫外光在气体中的射程较短，被周围的气体吸收而衰减。即使在将这样的准分子灯利用为对气体处理以外的被处理物直接照射真空紫外光的光源的情况下，由于灯座与灯的厚度相比变得相当厚，因此也无法将准分子灯与被处理物接近配置，存在无法有效地照射紫外光这样的不良情况。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2013-098015号公报
专利文献2：日本特开2013-149546号公报
发明内容
发明要解决的课题
本发明的课题在于，鉴于上述现有技术的问题点而提供一种准分子灯，在包括一对平面部和一对侧面部的扁平的大致矩形截面形状的放电容器的上述平面部的各个外表面上配置有一对外部电极，在该准分子灯中，能够使设置在放电容器的端部的灯座的厚度尽量小，能够对被处理物进行紫外光的有效的照射，并且，适合于使气体在灯的长边方向上流通而进行处理的装置。
用于解决课题的手段
为了解决上述课题，本发明的特征在于，在上述外部电极的端部设置延伸到比上述平面部间的距离小的区域的辅助电极，向上述外部电极供电的导线在比上述平面部间的距离小的区域中与上述辅助电极连接。
此外，其特征在于，上述放电容器包括扁平的大致矩形截面形状的玻璃管、以及熔敷在其端部附近的密封部件，上述玻璃管的端部比上述密封部件向外侧突出而形成末端部，在上述末端部的平面部上在上述外部电极的对置方向上形成凹部，上述辅助电极延伸到该凹部，在该凹部中上述导线与上述辅助电极连接。
此外，其特征在于，在上述放电容器的端部形成夹紧密封部而对该放电容器进行封闭，上述辅助电极延伸到上述夹紧密封部，在该夹紧密封部中上述导线与上述辅助电极连接。
发明的效果
根据本发明，在外部电极的端部设置辅助电极，在比上述外部电极间的距离小的区域中，向上述外部电极供电的导线与上述辅助电极连接，因此导线以及其焊接部不会比上述平面部在厚度方向上较大地突出，能够尽量避免对其进行覆盖的灯座比放电容器的厚度突出，因此不会妨碍被处理气体的流动，使其沿着灯的放电容器顺畅地流动，能够进行有效的处理。
此外，即使在对气体以外的被处理物直接照射紫外光的情况下，也能够将灯与被处理物接近配置，能够抑制空气导致的真空紫外光的衰减而进行有效的处理。
附图说明
图1是本发明的第一实施例的俯视图(A)、侧视图(B)、立体图(C)。
图2是连接了导线的状态的立体图(A)和局部侧截面图(B)。
图3是本发明的第二实施例的立体图。
图4是连接了导线的状态的立体图(A)和局部侧截面图(B)。
图5是现有的准分子灯的立体图。
图6是现有例的连接了导线的状态的立体图(A)和局部截面图(B)。
图7是现有的准分子灯的不良情况的说明图。
具体实施方式
图1表示本发明的准分子灯1，图2表示连接有导线的状态。此外，在图1、2中，为了避免烦杂而省略了排气管(参照图6)。
准分子灯1具有扁平的大致矩形截面形状的放电容器2，该放电容器2包括一对矩形状的平面部3、3、以及沿着其长边方向的侧缘部的一对侧面部4、4。如图1的(B)所示那样，在该放电容器2的平面部3、3的外表面上设置有一对外部电极5、5。而且，在放电容器2内部的放电空间中，作为放电气体而封入有稀有气体以及氯气。稀有气体从氪气、氙气等中选择。
在放电容器2的平面部3、3的外表面上，能够通过例如金等金属糊剂的涂敷或者粘贴转印纸，来形成上述外部电极5、5。所述外部电极5为，以至少一方的电极具备透光部的方式例如形成为网状，经由透光部射出在放电空间中生成的紫外线。
然后，在上述外部电极5的一端部形成有所谓的平板状电极6。
此外，放电容器2的截面形状不需要准确地为扁平矩形状，也可以是平面部3以及/或者侧面部4向外部侧鼓出若干的形状，也可以相反地向内部侧凹进的形状。并且，也能够采用梯形形状、平行四边形形状，在本申请说明书中，将这些统称为大致矩形形状。
在该第一实施例中，放电容器2包括截面为大致扁平矩形状的筒状玻璃管2a、以及熔敷在其端部附近的密封部件2b，玻璃管2a的端部比上述密封部件2b向外侧突出而形成末端部2c。然后，在该末端部2c上，在上述外部电极5所对置的方向上形成有凹部8、8。
在上述外部电极5(平板状电极6)连接有辅助电极7，并延伸到上述凹部8。
该辅助电极7可以通过印刷来形成，此外也能够利用分配器对导电糊剂进行涂敷且使其干燥来形成。
然后，如图2所示那样，向外部电极5供电的导线10，在该凹部8内通过玻璃焊锡11等与辅助电极7焊接连接。此时，玻璃焊锡11优选收敛在凹部8的上表面、即比平面部3低的位置。
当在具有上述构成的放电容器2的端部安装图6的(B)所示那样的灯座时，能够不妨碍焊接部(玻璃焊锡)11，使灯座的厚度成为最小。
图3、4表示另外的第二实施例，在放电容器2的端部形成有在平面部3方向上被压溃的夹紧密封部9。通过将放电容器2的端部加热软化、并对其进行按压、压溃来成型该夹紧密封部9，由此放电容器2被密闭。
然后，在设置在放电容器2的平面部3上的外部电极5的端部的平板状电极6连接辅助电极7，该辅助电极7以沿着放电容器2的外表面的形式延伸到夹紧密封部9。
图4的(A)、(B)表示向外部电极5供电的导线10的连接构造，导线10在夹紧密封部9上通过玻璃焊锡11等与辅助电极7焊接连接。
根据该实施例，导线10在夹紧密封部9上与辅助电极7焊接连接，因此该焊接部(玻璃焊锡)11不会在放电容器2的平面部3、3间的厚度方向上较大地突出，根据情况不同，能够收敛在厚度方向的范围内，即使在该端部安装灯座(参照图6的(B))，也能够使其厚度较小而成为薄型，不会较大超过平面部3、3间的厚度。
此外，在该实施例中示出辅助电极7的宽度小于外部电极5的宽度的情况，但是也可以不特别地设为小宽度，例如使其与外部电极5为相同宽度。
此外，在图1、2的实施例以及图3、4的实施例中，在外部电极5的端部设置有平板状电极6，但也能够成为将其省略的构造。
如以上那样，在本发明中，在设置在放电容器的平面部的外部电极的端部设置辅助电极，在比上述外部电极间的距离小的区域中，导线与上述辅助电极连接，因此能够起到如下效果：导线以及其焊接部不会比上述平面部在厚度方向上较大地突出，且还能够尽量避免对其进行覆盖的灯座比放电容器的厚度大地突出。
符号的说明
1：准分子灯
2：放电容器
2a：玻璃管
2b：密封部件
2c：末端部
3：平面部
4：侧面部
5：外部电极
6：平板状电极
7：辅助电极
8：凹部
9：夹紧密封部
10：导线
11：焊锡(焊接部)
Claims (3)
1.一种准分子灯，在包括一对平面部和一对侧面部的扁平的大致矩形截面形状的放电容器的上述平面部的各个外表面上配置有一对外部电极，其特征在于，
上述一对外部电极中至少一方电极具有用于使在上述放电容器内生成的紫外线透射的透光部，
在上述外部电极的端部设置延伸到比上述平面部间的距离小的区域的辅助电极，
向上述外部电极供电的导线在比上述平面部间的距离小的区域中与上述辅助电极连接。
2.如权利要求1所述的准分子灯，其特征在于，
上述放电容器包括扁平的大致矩形截面形状的玻璃管、以及熔敷在其端部附近的密封部件，上述玻璃管的端部比上述密封部件向外侧突出而形成末端部，
在上述末端部的平面部上在上述外部电极的对置方向上形成凹部，上述辅助电极延伸到该凹部，在该凹部中上述导线与上述辅助电极连接。
3.如权利要求1所述的准分子灯，其特征在于，
在上述放电容器的端部形成夹紧密封部而对该放电容器进行封闭，上述辅助电极延伸到上述夹紧密封部，在该夹紧密封部中上述导线与上述辅助电极连接。
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