JP7023097B2 - 真空チャンバおよび真空チャンバの扉の施錠方法 - Google Patents

真空チャンバおよび真空チャンバの扉の施錠方法 Download PDF

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Description

本発明の種々の側面および実施形態は、真空チャンバおよび真空チャンバの扉の施錠方法に関する。
容器の内部を真空状態にし、容器内に導入された処理ガス等により、容器内に配置された被処理基板に対して所定の処理を施すことにより半導体デバイスを製造する装置が知られている。また、近年、半導体デバイスの製造コストを下げるために、被処理基板が大型化する傾向にある。これにより、半導体デバイスの製造装置も大型化している。
半導体デバイスの製造装置が大型化すると、装置内部のメンテナンスを行う場合、作業者が装置内に進入して作業を行った方が効率的である場合がある。作業者が装置内に進入して作業を行う場合、作業者の安全を確保するために、装置内部の酸素濃度が所定の値以上となった場合に、装置内部へ進入するための扉が解錠される技術が知られている。
特開２００９－１９４３５８号公報
半導体デバイスの製造装置では、作業者が装置内部に進入することができるが、作業中の作業者は、装置内への進入口から見える場合が多い。そのため、装置内に作業者が残っていることに気付かずに、進入口の扉が閉じられてしまうことは少ない。ところで、フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）基板等を製造する装置は、半導体デバイスを製造する装置よりも大型である。また、近年、ＦＰＤのサイズも大型化する傾向にあり、ＦＰＤの製造装置も大型化する傾向にある。そのため、ＦＰＤの製造装置の内部で作業している作業者は、装置内への進入口から見えない場合がある。そのため、装置内に作業者が残っていることに気付かずに、進入口の扉が閉じられてしまうおそれがある。従って、ＦＰＤの製造装置のように大型の装置では、より一層の安全対策が求められる。
本発明の一側面は、容器と、蓋と、排気装置と、扉と、施錠部と、制御装置とを備える。容器は、被処理基板を収容する空間を有し、上部に開口部を有する。蓋は、開口部を開閉する。排気装置は、容器内を排気する。扉は、容器の側面に設けられ、作業者が容器内に進入する際に開けられる。施錠部は、扉を施錠および解錠する。制御装置は、蓋が開放されており、かつ、蓋が開口部を塞ぐことを妨げる介在部材が開口部に取り付けられていることを条件として扉を解錠するように施錠部を制御する。
本発明の種々の側面および実施形態によれば、ＦＰＤ等の製造装置の内部で作業している作業者の安全性をより一層高めることができる。
図１は、搬送チャンバの一例を示す斜視図である。 図２は、天板が開放された状態の搬送チャンバの一例を示す分解斜視図である。 図３は、ストッパーが取り付けられる位置付近のフランジの一例を示す拡大断面図である。 図４は、ストッパーが取り付けられた状態のフランジの一例を示す拡大断面図である。 図５は、扉付近の筐体の一例を示す拡大図である。 図６は、ロック部および突出部の詳細な一例を示す図である。 図７は、扉のレバーがロックされた状態の一例を示す図である。 図８は、扉のレバーがロックされた状態の一例を示す図である。 図９は、搬送チャンバの外側に面する側の扉の一例を示す図である。 図１０は、搬送チャンバの内側に面する側の扉の一例を示す図である。 図１１は、扉の一例を示す分解斜視図である。 図１２は、搬送チャンバ内に作業者が進入する際の扉の解錠処理の一例を示すフローチャートである。 図１３は、搬送チャンバ内から作業者が退出する際の扉の施錠処理の一例を示すフローチャートである。 図１４は、制御装置のハードウェアの一例を示す図である。
開示する真空チャンバは、容器と、第１の蓋と、排気装置と、扉と、施錠部と、制御装置とを備える。容器は、被処理基板を収容する空間を有し、上部に第１の開口部を有する。第１の蓋は、第１の開口部を開閉する。排気装置は、容器内を排気する。扉は、容器の側面に設けられ、作業者が容器内に進入する際に開けられる。施錠部は、扉を施錠および解錠する。制御装置は、第１の蓋が開放されており、かつ、第１の蓋が第１の開口部を塞ぐことを妨げる介在部材が第１の開口部に取り付けられていることを条件として扉を解錠するように施錠部を制御する。
また、開示する真空チャンバの１つの実施形態において、扉は、容器の側面に２個以上設けられていてもよい。
また、開示する真空チャンバは、開閉検出部と、全開検出部と、警報部とをさらに備えてもよい。開閉検出部は、それぞれの扉の開閉を検出する。全開検出部は、それぞれの扉の全開状態を検出する。警報部は、音および光の少なくともいずれかを用いて警報を発する。制御装置は、開閉検出部によって少なくともいずれかの扉の開放が検出された場合に、全ての扉の全開状態が検出されるまで、警報を発するように警報部を制御してもよい。
また、開示する真空チャンバは、１つの実施形態において、介在部材の取り外しを禁止する禁止部をさらに備えてもよく、制御装置は、開閉検出部によって少なくともいずれかの前記扉の開放が検出された場合に、介在部材の取り外しを禁止するように禁止部を制御してもよい。
また、開示する真空チャンバの１つの実施形態において、制御装置は、全ての扉が閉じられた場合に、介在部材の取り外しの禁止を解除するように禁止部を制御してもよい。
また、開示する真空チャンバの１つの実施形態において、制御装置は、介在部材が第１の開口部から取り外されており、かつ、第１の蓋が閉じられていることを条件として扉を施錠するように施錠部を制御してもよい。
また、開示する真空チャンバの１つの実施形態において、扉は、第２の開口部を有する枠部材と、枠部材の第２の開口部を塞ぐ第２の蓋と、第２の蓋を枠部材に固定する固定部材とを有していてもよく、固定部材は、扉が閉じられた状態において容器の内側に面する側からの作業者による手動操作により、枠部材への第２の蓋の固定を解除してもよい。
また、開示する真空チャンバの扉の施錠方法は、被処理基板を収容する空間を有し、上部に開口部を有する容器と、開口部を開閉する蓋と、容器内を排気する排気装置と、容器の側面に２個以上設けられ、作業者が容器内に進入するための複数の扉とを備える真空チャンバの扉の施錠方法であって、蓋が開口部を開放しており、かつ、蓋が開口部を塞ぐことを妨げる介在部材が開口部に取り付けられていることを条件として、それぞれの扉を解錠するステップと、少なくともいずれかの扉が開放された場合に、全ての扉が全開状態になるまで、音および光の少なくともいずれかを用いて警報を発するステップと、少なくともいずれかの前記扉が開放された場合に、介在部材の取り外しを禁止する禁止部を制御して介在部材の取り外しを禁止するステップと、全ての扉が閉じられた場合に、禁止部を制御して介在部材の取り外しの禁止を解除するステップと、介在部材が開口部から取り外されており、かつ、蓋が閉じられていることを条件として扉を施錠するステップとを含む。
以下に、開示する真空チャンバおよび真空チャンバの扉の施錠方法の実施形態について、図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下の本実施形態により、開示される真空チャンバおよび真空チャンバの扉の施錠方法が限定されるものではない。
［搬送チャンバ１０の構成］
図１は、搬送チャンバ１０の一例を示す斜視図である。図２は、天板が開放された状態の搬送チャンバ１０の一例を示す分解斜視図である。本実施形態における搬送チャンバ１０は、例えば、被処理基板であるＦＰＤ用ガラス基板に対してエッチング等の処理を行なうためのマルチチャンバータイプの真空処理システムに用いられる。搬送チャンバ１０は、真空チャンバの一例である。ＦＰＤとしては、例えば、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、発光ダイオード（ＬＥＤ）ディスプレイ、エレクトロルミネセンス（Electro Luminescence；ＥＬ）ディスプレイ、蛍光表示管（Vacuum Fluorescent Display；ＶＦＤ）、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）等が含まれる。
本実施形態における搬送チャンバ１０は、例えば図１および図２に示すように、内部に被処理基板を搬送するための搬送空間を有する筐体１１と、筐体１１の上部の上部開口１７に着脱自在に接合される天板１３とを備える。天板１３は、第１の蓋の一例である。なお、筐体１１内には、ロボットアーム等の搬送装置が設けられる。
筐体１１は、例えばアルミニウム、ステンレス、鉄鋼材料などの金属で形成されている。筐体１１は、搬送チャンバ１０の底部をなす底板１４と、底板１４に対して垂直に形成された一対の側壁１５ａおよび１５ｂと、底板１４に対して垂直に形成された一対の側壁１６ａおよび１６ｂとを備える。
側壁１６ａには、搬送用開口２０ａが形成されている。側壁１６ａには、例えばロードロック室が接合され、搬送用開口２０ａを介して、ロードロック室から未処理の被処理基板が搬送チャンバ１０内に搬入され、筐体１１内に設置された搬送装置に受け渡される。また、処理後の被処理基板が、搬送装置によって搬送チャンバ１０内から搬送用開口２０ａを介してロードロック室へ搬出される。
また、筐体１１の側壁１６ａに対向する側の側壁１６ｂには、搬送用開口２０ｂが形成されている。側壁１６ｂには、例えばプロセスチャンバが接合され、ロードロック室から搬入された未処理の被処理基板が、搬送装置によって搬送用開口２０ｂを介してプロセスチャンバ内に搬入され、プロセスチャンバによって被処理基板にエッチング等の所定の処理が施される。また、プロセスチャンバ内で処理が施された被処理基板は、搬送装置によって搬送用開口２０ｂを介して搬送チャンバ１０内に搬出される。
筐体１１の上端付近には、例えば図２に示すように、筐体１１のフランジ２２が設けられている。天板１３が筐体１１の上部開口１７を閉じる際には、フランジ２２によって天板１３が支持される。なお、フランジ２２と天板１３との間には、Ｏリングなどのシール部材が配置されることが好ましい。これにより、搬送チャンバ１０内の気密性を高めることができる。フランジ２２には、天板１３によって上部開口１７が閉じられていることを検出するセンサ３０が設けられている。本実施形態において、センサ３０は、例えば非接触の近接センサである。なお、センサ３０は、接触センサが用いられてもかまわない。センサ３０による検出結果は、後述する制御装置５１へ出力される。
筐体１１の底板１４には、搬送装置を設置するための下部開口２３と、排気口２４とが形成されている。排気口２４には、配管４０を介して排気装置４１が接続される。排気装置４１により、搬送チャンバ１０内の搬送空間を所定の真空度まで減圧することができる。
また、筐体１１の側壁１５ａおよび１５ｂには、それぞれ搬送用開口２１が形成されている。筐体１１の側壁１５ａおよび１５ｂのそれぞれの面には、例えばプロセスチャンバが接合される。そして、ロードロック室から搬入された未処理の被処理基板が、搬送装置によって搬送用開口２１を介してプロセスチャンバ内に搬入され、プロセスチャンバによって被処理基板にエッチング等の所定の処理が施される。また、プロセスチャンバ内で処理が施された被処理基板は、搬送装置によって搬送用開口２１を介して搬送チャンバ１０内に搬出される。
また、筐体１１の２カ所の側壁１２には、搬送チャンバ１０内のメンテナンス等を行うために作業者が搬送チャンバ１０内に進入するためのメンテナンス用開口３１が設けられている。メンテナンス用開口３１には、メンテナンス用開口３１を開閉するための扉３２が設けられている。メンテナンス用開口３１が扉３２によって閉じられることにより、搬送チャンバ１０内は気密に保たれる。なお、本実施形態において、メンテナンス用開口３１および扉３２は、筐体１１のそれぞれの側壁１２に設けられるが、他の形態として、メンテナンス用開口３１および扉３２は、筐体１１の他の側壁に設けられてもよい。
搬送チャンバ１０内に作業者が進入する場合には、外気を取り込むために、例えば図２に示すように、クレーン等により天板１３が上方に持ち上げられ、筐体１１の上部開口１７が開放される。そして、筐体１１の上部開口１７のフランジ２２にストッパー３３が取り付けられる。ストッパー３３がフランジ２２に取り付けられることにより、天板１３が誤って上部開口１７に下された場合であっても、筐体１１と天板１３との間には隙間が形成される。これにより、搬送チャンバ１０内の作業者の窒息が防止される。なお、ストッパー３３は、取り付けられていることが明示的にわかるように、表面が蛍光色等の目立つ色や柄等で着色され、ある程度の大きさがあることが好ましい。ストッパー３３は、介在部材の一例である。
図３は、ストッパー３３が取り付けられる位置付近のフランジ２２の一例を示す拡大断面図である。図４は、ストッパー３３が取り付けられた状態のフランジ２２の一例を示す拡大断面図である。フランジ２２には、例えば図３に示すように、ストッパー３３を取り付けるための凹部２２０が形成されている。凹部２２０の底部には、凹部２２０内にストッパー３３が取り付けられているか否かを検出するためのセンサ６０が設けられている。また、凹部２２０の側壁には、ロック片６２を移動させることにより、凹部２２０内に取り付けられたストッパー３３をロックするアクチュエータ６１が設けられている。
ストッパー３３の側面には、ロック片６２を受け入れるための凹部３３０が形成されている。例えば図４に示すように、凹部２２０内にストッパー３３が取り付けられた場合、センサ６０によってストッパー３３が取り付けられたことが検出される。センサ６０による検出結果は、後述する制御装置５１へ出力される。そして、アクチュエータ６１は、ロック片６２をストッパー３３に向かって移動させる。これにより、例えば図４に示すように、ロック片６２がストッパー３３の凹部３３０内に挿入され、ストッパー３３の取り外しが禁止される。アクチュエータ６１によるロック片６２の移動は、後述する制御装置５１によって制御される。アクチュエータ６１およびロック片６２は、禁止部の一例である。
また、本実施形態において、搬送チャンバ１０の筐体１１の２カ所の側壁１２には、例えば図２に示すように扉３２が１つずつ設けられている。このように、搬送チャンバ１０に扉３２が複数設けられることにより、１つの扉３２が開かなくなった場合でも、搬送チャンバ１０内の作業者は、搬送チャンバ１０内に閉じ込められることなく、他の扉３２から容易に脱出することができる。
なお、本実施形態では、搬送チャンバ１０に扉３２が２つ設けられているが、扉３２は３つ以上設けられていてもよい。また、扉３２のそれぞれは、他の扉３２が設けられた位置から極力離れた位置、例えば、搬送チャンバ１０の側壁の中で対向する側壁に設けられることが好ましい。これにより、搬送チャンバ１０内の作業者が、１つの扉３２までたどり着くことが困難な状況であっても、他の扉３２から容易かつ迅速に搬送チャンバ１０の外部に脱出することができる。
図５は、扉３２付近の筐体１１の一例を示す拡大図である。扉３２および扉３２が設けられた筐体１１の側壁１２には、扉３２の開閉を検出するためのセンサ１２０および１２１が設けられている。センサ１２０および１２１による検出結果は、後述する制御装置５１へ出力される。センサ１２０および１２１は、開閉検出部の一例である。また、扉３２が設けられた筐体１１の側壁１２には、開始スイッチ１２３およびリセットスイッチ１２４が設けられている。開始スイッチ１２３およびリセットスイッチ１２４の役割については後述する。なお、本実施形態において、開始スイッチ１２３およびリセットスイッチ１２４は、筐体１１の側壁１２に設けられるが、他の形態として、開始スイッチ１２３およびリセットスイッチ１２４は、筐体１１の他の側壁に設けられてもよい。
また、扉３２が設けられ筐体１１の側壁１２には、扉３２を施錠および解錠するための電磁ロック１２２が設けられている。電磁ロック１２２による扉３２の施錠および解錠は、後述する制御装置５１によって制御される。電磁ロック１２２は、施錠部の一例である。
扉３２には、作業者が扉３２を開閉する際に操作するレバー３４が設けられている。レバー３４には、開口３５が形成されている。電磁ロック１２２が解錠状態になっている場合、作業者がレバー３４を図５の矢印Ａの方向に回転させることにより、扉３２が矢印Ｂ方向に開く。扉３２の近傍の筐体１１の側壁１８には、ロック部１１０および突出部１１１が設けられている。
図６は、ロック部１１０および突出部１１１の詳細な一例を示す図である。ロック部１１０は、互いに離れるように移動可能であり、バネ等により互いに接触する方向に付勢された２つのローラー１１２ａおよび１１２ｂを有する。扉３２が開き、扉３２のレバー３４がローラー１１２ａと１１２ｂとの間に押し込まれることにより、ローラー１１２ａおよび１１２ｂが互いに離れるように移動する。
そして、さらに扉３２のレバー３４がローラー１１２ａと１１２ｂとの間に押し込まれることにより、レバー３４がローラー１１２ａおよび１１２ｂと筐体１１の側壁１８との間に達する。このとき、筐体１１の側壁１８に設けられた突出部１１１が、レバー３４の開口３５を貫通する。そして、例えば図７に示すように、バネ等の付勢力によりローラー１１２ａと１１２ｂとが互いに再び接触する。これにより、レバー３４がロックされ、扉３２の全開状態が維持される。ロック部１１０内には、図示しないセンサが設けられており、レバー３４のロック状態が検出される。ロック部１１０内のセンサによる検出結果は、後述する制御装置５１へ出力される。ロック部１１０内のセンサは、全開検出部の一例である。なお、レバー３４または扉３２を筐体１１の側壁１８から離れるように引っ張ることにより、ロック部１１０によるレバー３４のロック状態は容易に解除される。
突出部１１１には、例えば図８に示すように、開口が形成されている。ロック部１１０によってレバー３４がロックされている状態で、突出部１１１の開口にパドロックハスプ１１３が取り付けられる。パドロックハスプ１１３には、搬送チャンバ１０内で作業を行う作業者や、作業者を監督する監督者等がそれぞれ管理するカギに対応する南京錠が掛けられる。これにより、扉３２の全開状態が不用意に解除されることが防止される。
［扉３２の構造］
次に、扉３２の構造について説明する。図９は、搬送チャンバ１０の外側に面する側の扉３２の一例を示す図である。図１０は、搬送チャンバ１０の内側に面する側の扉３２の一例を示す図である。図１１は、扉３２の一例を示す分解斜視図である。
扉３２は、枠部材３２０、蓋３２１、および固定部材３２３を有する。枠部材３２０には、開口３２２が形成されている。蓋３２１の面積は、開口３２２の面積よりも大きい。蓋３２１は、第２の蓋の一例である。また、枠部材３２０の側面には、前述の電磁ロック１２２を受け入れるための凹部３２５が形成されている。
蓋３２１には、例えば図１１に示すように、略中央にネジ山が形成された凸部３２６が設けられている。凸部３２６は、開口３２２を介して、固定部材３２３の略中央に形成された穴３２７と、ハンドル３２４の略中央に形成された穴３２９とを貫通する。そして、ハンドル３２４を貫通した凸部３２６にナット３２８が取り付けられる。これにより、固定部材３２３によって蓋３２１が枠部材３２０に固定され、例えば図９および図１０に示した扉３２が構成される。なお、枠部材３２０と蓋３２１との間には、Ｏリングなどのシール部材が配置されることが好ましい。これにより、枠部材３２０と蓋３２１との間の気密性を高めることができる。
扉３２において、ハンドル３２４を回転させると、ナット３２８が脱落し、固定部材３２３による蓋３２１と枠部材３２０との固定が解除される。これにより、蓋３２１と固定部材３２３とを分離することが可能となり、枠部材３２０と固定部材３２３との隙間から蓋３２１を搬送チャンバ１０の外部へ押すことにより、凸部３２６が固定部材３２３の穴３２７から抜け、蓋３２１が枠部材３２０から脱落する。これにより、枠部材３２０の開口３２２が開放される。
扉３２が閉じられた状態で、ハンドル３２４は、搬送チャンバ１０の内側に位置する。ハンドル３２４は、ツールを用いなくても、人の手で容易に回転させることができる。搬送チャンバ１０の内側からハンドル３２４を回転させることにより、搬送チャンバ１０内の作業者は、扉３２を開けることなく扉３２を通過することができるようになる。そのため、搬送チャンバ１０内の作業者が、何らかの原因で搬送チャンバ１０内に閉じ込められた場合であっても、搬送チャンバ１０内の作業者は、容易に搬送チャンバ１０内から脱出することができる。
図１に戻って説明を続ける。搬送チャンバ１０には、ケーブル５０を介して制御装置５１が接続されている。制御装置５１は、搬送チャンバ１０に設けられた各種センサからの信号をケーブル５０を介して受信すると共に、搬送チャンバ１０内の各部をケーブル５０を介して制御する。
また、制御装置５１には、スピーカ５２および発光装置５３が接続されている。制御装置５１は、例えば、いずれかの扉３２が開放された場合に、全ての扉３２が全開状態となるか、全ての扉３２が閉じられるまで、スピーカ５２からの音、発光装置５３からの光、またはその両方により、警報を発生させる。扉３２が開放されているか否かは、それぞれの扉３２に設けられたセンサ１２０および１２１から出力された検出結果で判定される。また、扉３２が全開状態であるか否かは、それぞれの扉３２の近傍に設けられたロック部１１０が扉３２のレバー３４をロックしているか否かで判定される。スピーカ５２から発せられる音は、ブザー音やメロディ、注意を喚起する音声等である。また、スピーカ５２から発せられる音の音量は、例えば８０ｄＢ以上であることが好ましい。また、発光装置５３は、光の点滅や異なる色の光の切り替え等により警報を発生させる。スピーカ５２および発光装置５３は、警報部の一例である。
［搬送チャンバ１０の動作］
図１２は、搬送チャンバ１０内に作業者が進入する際の扉３２の解錠処理の一例を示すフローチャートである。図１２に示す各処理は、主として制御装置５１によって行われる。なお、搬送チャンバ１０内に作業者が進入する前に、作業者の手動操作により、搬送装置への電力供給を制御するブレーカーの遮断、および、搬送チャンバ１０内にガスを供給するバルブの閉塞等が行われる。そして、作業者は、扉３２付近に設けられた開始スイッチ１２３を押下する。これにより、制御装置５１は、図１２および後述する図１３に示す動作を開始する。
まず、制御装置５１は、開始スイッチ１２３から出力される信号を監視して、開始スイッチ１２３が押下されたか否かを判定する（Ｓ１００）。開始スイッチ１２３が押下された場合（Ｓ１００：Ｙｅｓ）、制御装置５１は、エネルギー供給の停止制御を実行する（Ｓ１０１）。ステップＳ１０１では、制御装置５１によって、搬送装置への電力供給の遮断、および、搬送チャンバ１０内にガスを供給する電磁バルブの閉塞等が行われる。これらの処理は、作業者の手動操作によっても行われるが、ステップＳ１０１において、電気的な制御によっても、搬送装置への電力供給、および、ガス供給バルブの閉塞等を再度行う。これにより、搬送装置への電力供給、および、ガス供給バルブの閉塞等が確実に実行される。
次に、制御装置５１は、センサ３０から出力された検出結果に基づいて、上部開口１７が開放されているか否かを判定する（Ｓ１０２）。天板１３がクレーン等により上方に持ち上げられ、上部開口１７が開放されると、センサ３０が上部開口１７の開放を検出する。上部開口１７が開放されていると判定した場合（Ｓ１０２：Ｙｅｓ）、制御装置５１は、センサ６０から出力された検出結果に基づいて、ストッパー３３が上部開口１７に取り付けられているか否かを判定する（Ｓ１０３）。フランジ２２の凹部２２０内にストッパー３３が差し込まれると、ストッパー３３が上部開口１７に取り付けられたことがセンサ６０によって検出される。
ストッパー３３が上部開口１７に取り付けられている場合（Ｓ１０３：Ｙｅｓ）、制御装置５１は、各扉３２の電磁ロック１２２を制御して全ての扉３２を解錠する（Ｓ１０４）。このように、上部開口１７が開放されており、かつ、上部開口１７にストッパー３３が取り付けられていることを条件に、扉３２を解錠することで、搬送チャンバ１０内が気密に保たれたまま、作業者が搬送チャンバ１０内に進入してしまうことを防止することができる。
次に、制御装置５１は、エネルギー供給の停止制御を再度実行する（Ｓ１０５）。ステップＳ１０５では、制御装置５１によって、搬送装置への電力供給の遮断、および、搬送チャンバ１０内にガスを供給する電磁バルブの閉塞等が再度行われる。搬送装置への電力供給、および、ガス供給バルブの閉塞等は、手動操作およびステップＳ１０１においても既に実行されているが、エネルギー供給の停止の確実性を担保するために、ステップＳ１０５においても制御装置５１によって再度実行される。
次に、制御装置５１は、それぞれの扉３２に設けられたセンサ１２０および１２１から出力された検出結果を参照して、いずれかの扉３２が開放されたか否かを判定する（Ｓ１０６）。いずれかの扉３２が開放された場合（Ｓ１０６：Ｙｅｓ）、制御装置５１は、フランジ２２に設けられたアクチュエータ６１を制御して、ロック片６２によりストッパー３３をロックさせる（Ｓ１０７）。これにより、開放された扉３２を介して搬送チャンバ１０内に作業者が進入した後にストッパー３３がフランジ２２から取り外されることが防止される。
次に、制御装置５１は、スピーカ５２からの音、発光装置５３からの光、またはその両方により、警報を開始する（Ｓ１０８）。そして、制御装置５１は、それぞれの扉３２の近傍に設けられたロック部１１０から出力された検出結果に基づいて、全ての扉３２が全開状態になったか否かを判定する（Ｓ１０９）。全開状態になっていない扉３２が存在する場合（Ｓ１０９：Ｎｏ）、制御装置５１は、警報を継続する。
一方、全ての扉３２が全開状態になった場合（Ｓ１０９：Ｙｅｓ）、制御装置５１は、警報を停止する（Ｓ１１０）。そして、作業者は、ロックされたレバー３４の開口３５を貫通している突出部１１１に、パドロックハスプ１１３を取り付ける。そして、作業に関係する関係者が、それぞれパドロックハスプ１１３に南京錠を取り付ける。そして、作業者は、搬送チャンバ１０内に進入して作業を開始する。
図１３は、搬送チャンバ１０内から作業者が退出する際の扉３２の施錠処理の一例を示すフローチャートである。図１３に示す各処理は、主として制御装置５１によって行われる。なお、扉３２が施錠される前に、作業の関係者がそれぞれパドロックハスプ１１３に取り付けられている南京錠を外し、突出部１１１からパドロックハスプ１１３を外す。そして、扉３２のレバー３４がロック部１１０から外され、扉３２を閉めることが可能となる。
まず、制御装置５１は、それぞれの扉３２の近傍に設けられたロック部１１０から出力された検出結果に基づいて、いずれかの扉３２の全開状態が解除されたか否かを判定する（Ｓ２００）。いずれかの扉３２の全開状態が解除された場合（Ｓ２００：Ｙｅｓ）、制御装置５１は、スピーカ５２からの音、発光装置５３からの光、またはその両方により、警報を開始する（Ｓ２０１）。これにより、搬送チャンバ１０内に残っている他の作業者は、扉３２がもうすぐ閉じられることを知ることができる。
そして、制御装置５１は、それぞれの扉３２に設けられたセンサ１２０および１２１から出力された検出結果を参照して、全ての扉３２が閉じられたか否かを判定する（Ｓ２０２）。全ての扉３２が閉じられていない場合（Ｓ２０２：Ｎｏ）、制御装置５１は、警報を継続する。
全ての扉３２が閉じられた場合（Ｓ２０２：Ｙｅｓ）、制御装置５１は、警報を停止する（Ｓ２０３）。そして、制御装置５１は、フランジ２２に設けられたアクチュエータ６１を制御して、ロック片６２によるストッパー３３のロックを解除させる（Ｓ２０４）。これにより、ストッパー３３を上部開口１７から取り外すことができるようになる。作業者は、ストッパー３３を上部開口１７から取り外す。
次に、制御装置５１は、センサ６０から出力された検出結果に基づいて、ストッパー３３が上部開口１７から取り外されているか否かを判定する（Ｓ２０５）。ストッパー３３が上部開口１７から取り外されている場合（Ｓ２０５：Ｙｅｓ）、制御装置５１は、センサ３０から出力された検出結果に基づいて、上部開口１７が閉じられているか否かを判定する（Ｓ２０６）。ストッパー３３が取り外されている場合、上部開口１７上には障害物がないので、天板１３は、上部開口１７を閉じることができる。天板１３がクレーン等により上部開口１７を塞ぐように上部開口１７上に載置されると、センサ３０によって上部開口１７が閉じられたことが検出される。
上部開口１７が閉じられていると判定した場合（Ｓ２０６：Ｙｅｓ）、制御装置５１は、各扉３２の電磁ロック１２２を制御して全ての扉３２を施錠する（Ｓ２０７）。これにより、上部開口１７が閉じられた状態で、作業者が搬送チャンバ１０内に進入することを防止することができる。
次に、作業者は、扉３２付近に設けられたリセットスイッチ１２４を押下する。制御装置５１は、リセットスイッチ１２４から出力される信号を監視して、リセットスイッチ１２４が押下されたか否かを判定する（Ｓ２０８）。リセットスイッチ１２４が押下された場合（Ｓ２０８：Ｙｅｓ）、制御装置５１は、エネルギー供給停止制御の解除を実行する（Ｓ２０９）。ステップＳ２０９では、制御装置５１によって、搬送装置への電力供給の遮断、および、搬送チャンバ１０内にガスを供給する電磁バルブの閉塞等が解除される。そして、作業者の手動操作により、搬送装置への電力供給を制御するブレーカーの遮断解除、および、搬送チャンバ１０内にガスを供給するバルブの開放等が行われる。これにより、被処理基板のプロセスが再開可能となる。
なお、ステップＳ２０７において、搬送チャンバ１０内に作業者が残っている状態で、全ての扉３２が誤って施錠された場合、搬送チャンバ１０内の作業者は、いずれかの扉３２に設けられたハンドル３２４を手動操作する。これにより、扉３２の枠部材３２０と蓋３２１との固定が解除され、作業者は、枠部材３２０の開口３２２を介して迅速に脱出することができる。
［制御装置５１のハードウェア］
図１４は、制御装置５１のハードウェアの一例を示す図である。制御装置５１は、例えば図１４に示すように、ＣＰＵ（Central Processing Unit）５１０、ＲＡＭ（Random Access Memory）５１１、ＲＯＭ（Read Only Memory）５１２、補助記憶装置５１３、通信インターフェイス（Ｉ／Ｆ）５１４、入出力インターフェイス（Ｉ／Ｆ）５１５、およびメディアインターフェイス（Ｉ／Ｆ）５１６を備える。
ＣＰＵ５１０は、ＲＯＭ５１２または補助記憶装置５１３に格納されたプログラムに基づいて動作し、各部の制御を行う。ＲＯＭ５１２は、制御装置５１の起動時にＣＰＵ５１０によって実行されるブートプログラムや、制御装置５１のハードウェアに依存するプログラム等を格納する。
補助記憶装置５１３は、例えばＨＤＤ（Hard Disk Drive）またはＳＳＤ（Solid State Drive）等であり、ＣＰＵ５１０によって実行されるプログラムおよび当該プログラムによって使用されるデータ等を格納する。ＣＰＵ５１０は、補助記憶装置５１３内に格納されたプログラムを、例えば補助記憶装置５１３から読み出してＲＡＭ５１１上にロードし、ロードしたプログラムを実行する。通信Ｉ／Ｆ５１４は、ケーブル５０を介して搬送チャンバ１０の各部、例えばセンサ３０やセンサ６０等から信号を受信してＣＰＵ５１０へ送り、ＣＰＵ５１０が生成した信号を、ケーブル５０を介して搬送チャンバ１０の各部、例えばアクチュエータ６１や電磁ロック１２２等へ送信する。
ＣＰＵ５１０は、入出力Ｉ／Ｆ５１５を介して、ディスプレイ等の出力装置、および、キーボードやマウス等の入力装置を制御する。ＣＰＵ５１０は、入出力Ｉ／Ｆ５１５を介して、入力装置からデータを取得する。また、ＣＰＵ５１０は、生成したデータを、入出力Ｉ／Ｆ５１５を介して出力装置へ出力する。
メディアＩ／Ｆ５１６は、記録媒体５１７に格納されたプログラムまたはデータ等を読み取り、補助記憶装置５１３に格納する。記録媒体５１７は、例えばＤＶＤ（Digital Versatile Disc）、ＰＤ（Phase change rewritable Disk）等の光学記録媒体、ＭＯ（Magneto-Optical disk）等の光磁気記録媒体、テープ媒体、磁気記録媒体、または半導体メモリ等である。なお、制御装置５１は、補助記憶装置５１３に格納されるプログラム等を、他の装置から、ケーブル５０等を介して取得し、取得したプログラム等を補助記憶装置５１３に格納してもよい。
以上、搬送チャンバ１０の実施形態について説明した。上記説明から明らかなように、本実施形態の搬送チャンバ１０によれば、ＦＰＤ等の製造装置の内部で作業している作業者の安全性をより一層高めることができる。
［その他］
上記した実施形態では、真空チャンバの一例として搬送チャンバ１０について説明した。しかし、開示の技術における真空チャンバは搬送チャンバ１０に限られず、真空状態の処理空間において処理を行う装置であれば、プロセスチャンバやロードロックチャンバ等であってもよい。また、プロセスチャンバは、エッチング装置に限られず、成膜装置や改質装置等であってもよい。
また、上記した実施形態において、制御装置５１は、例えば図１４に示すような汎用のコンピュータにより実現されるが、他の形態として、制御装置５１は、ＰＬＣ（Programmable Logic Controller）やリレー等のロジック回路で実現されてもよい。
また、上記した実施形態において、開始スイッチ１２３およびリセットスイッチ１２４はハードウェアスイッチであるが、他の形態として、開始スイッチ１２３およびリセットスイッチ１２４は、制御装置５１の入出力Ｉ／Ｆ５１５を介して制御装置５１に接続されたタッチパネルディスプレイ等に表示されるソフトウェアスイッチであってもよい。
１０ 搬送チャンバ
１１ 筐体
１１０ ロック部
１１１ 突出部
１１２ ローラー
１１３ パドロックハスプ
１２ 側壁
１２０ センサ
１２１ センサ
１２２ 電磁ロック
１２３ 開始スイッチ
１２４ リセットスイッチ
１３ 天板
１４ 底板
１５ 側壁
１６ 側壁
１７ 上部開口
１８ 側壁
２０ 搬送用開口
２１ 搬送用開口
２２ フランジ
２２０ 凹部
２３ 下部開口
２４ 排気口
３０ センサ
３１ メンテナンス用開口
３２ 扉
３２０ 枠部材
３２１ 蓋
３２２ 開口
３２３ 固定部材
３２４ ハンドル
３２５ 凹部
３２６ 凸部
３２７ 穴
３２８ ナット
３２９ 穴
３３ ストッパー
３３０ 凹部
３４ レバー
３５ 開口
４０ 配管
４１ 排気装置
５０ ケーブル
５１ 制御装置
５１０ ＣＰＵ
５１１ ＲＡＭ
５１２ ＲＯＭ
５１３ 補助記憶装置
５１４ 通信Ｉ／Ｆ
５１５ 入出力Ｉ／Ｆ
５１６ メディアＩ／Ｆ
５１７ 記録媒体
５２ スピーカ
５３ 発光装置
６０ センサ
６１ アクチュエータ
６２ ロック片

Claims (8)

  1. 被処理基板を収容する空間を有し、上部に第１の開口部を有する容器と、
    前記第１の開口部を開閉する第１の蓋と、
    前記容器内を排気する排気装置と、
    前記容器の側面に設けられ、作業者が前記容器内に進入するための扉と、
    前記扉を施錠および解錠する施錠部と、
    前記第１の蓋が開放されており、かつ、前記第１の蓋が前記第１の開口部を塞ぐことを妨げる介在部材が前記第１の開口部に取り付けられていることを条件として前記扉を解錠するように前記施錠部を制御する制御装置と
    を備えることを特徴とする真空チャンバ。
  2. 前記扉は、前記容器の側面に２個以上設けられていることを特徴とする請求項１に記載の真空チャンバ。
  3. それぞれの前記扉の開閉を検出する開閉検出部と、
    それぞれの前記扉の全開状態を検出する全開検出部と、
    音および光の少なくともいずれかを用いて警報を発する警報部と
    をさらに備え、
    前記制御装置は、
    前記開閉検出部によって少なくともいずれかの前記扉の開放が検出された場合に、全ての前記扉の全開状態が検出されるまで、前記警報を発するように前記警報部を制御することを特徴とする請求項２に記載の真空チャンバ。
  4. 前記介在部材の取り外しを禁止する禁止部をさらに備え、
    前記制御装置は、
    前記開閉検出部によって少なくともいずれかの前記扉の開放が検出された場合に、前記介在部材の取り外しを禁止するように前記禁止部を制御することを特徴とする請求項３に記載の真空チャンバ。
  5. 前記制御装置は、
    全ての前記扉が閉じられた場合に、前記介在部材の取り外しの禁止を解除するように前記禁止部を制御することを特徴とする請求項４に記載の真空チャンバ。
  6. 前記制御装置は、
    前記介在部材が前記第１の開口部から取り外されており、かつ、前記第１の蓋が閉じられていることを条件として前記扉を施錠するように前記施錠部を制御することを特徴とする請求項５に記載の真空チャンバ。
  7. 前記扉は、
    第２の開口部を有する枠部材と、
    前記枠部材の前記第２の開口部を塞ぐ第２の蓋と、
    前記第２の蓋を前記枠部材に固定する固定部材と
    を有し、
    前記固定部材は、
    前記扉が閉じられた状態において前記容器の内側に面する側からの作業者による手動操作により、前記枠部材への前記第２の蓋の固定を解除することを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の真空チャンバ。
  8. 被処理基板を収容する空間を有し、上部に開口部を有する容器と、
    前記開口部を開閉する蓋と、
    前記容器内を排気する排気装置と、
    前記容器の側面に２個以上設けられ、作業者が前記容器内に進入するための複数の扉と
    を備える真空チャンバの扉の施錠方法であって、
    前記蓋が前記開口部を開放しており、かつ、前記蓋が前記開口部を塞ぐことを妨げる介在部材が前記開口部に取り付けられていることを条件として、それぞれの前記扉を解錠するステップと、
    少なくともいずれかの前記扉が開放された場合に、全ての前記扉が全開状態になるまで、音および光の少なくともいずれかを用いて警報を発するステップと、
    少なくともいずれかの前記扉が開放された場合に、前記介在部材の取り外しを禁止する禁止部を制御して前記介在部材の取り外しを禁止するステップと、
    全ての前記扉が閉じられた場合に、前記禁止部を制御して前記介在部材の取り外しの禁止を解除するステップと、
    前記介在部材が前記開口部から取り外されており、かつ、前記蓋が閉じられていることを条件として前記扉を施錠するステップと
    を含むことを特徴とする真空チャンバの扉の施錠方法。
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