JP7001274B2 - クラスタ並列読み出しを有する、スタック型の裏面照明型量子イメージセンサ - Google Patents
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Description
本出願は、2016年3月15日に出願された米国仮出願第62/308,861号の利益を主張するものであり、これは、引用による組み入れが許可されている、又は禁止されていない各PCT加盟国及び加盟地域のために、その全体が引用により本明細書に組み入れられる。
a)クラスタレベルBSI型jot層
b)CDS、SA及びADC
c)デジタルカーネル及びメモリ
d)チップレベル・イメージ処理
41:光検出器層
42:読み出し回路基板/ダイ
44:イメージ処理基板/ダイ
45:行スキャナ回路
47:接合相互接続部
49:イメージ処理回路
50:マイクロレンズ及びカラーフィルタアレイ層
Claims (15)
- 複数のシングルビット又はマルチビットjotを含むイメージングアレイ(40)であって、各jotが光子吸収に応答して電気信号を生成する、イメージングアレイと、
前記イメージングアレイと電気的に導通し、各jotに対して、前記jotの前記電気信号に対応するアナログ信号を量子化するように構成された読み出し回路(42)と、
を含むイメージングシステムであって、前記イメージングシステムは、前記イメージングアレイが前記読み出し回路の上方に垂直にスタックされた、3D垂直集積回路として構成され、
前記イメージングアレイは、複数のクラスタ(C i,j :i = 1, 2, 3 . . . M; j = 1, 2, 3 . . . N)として、構成されており、各クラスタは、それぞれ複数の前記jotを含んでおり、
前記各クラスタは、前記読み出し回路のそれぞれの読み出し回路ブロック(ASP、ADC、IP1 (i,j): i = 1, 2, 3 . . . M; j = 1, 2, 3 . . . N)) に電気的に結合され、並列に読み出されるように構成されており、各読み出し回路ブロックは、前記それぞれのクラスタから読み出されるそれぞれの複数の前記jotによって生成された前記電気信号に対応するデジタル信号を処理することに基づいて前記それぞれのクラスタに対応するデジタル値を生成するように構成されたそれぞれの一次イメージプロセッサ(IP1)を含んでおり、前記それぞれのクラスタに対応する前記デジタル値はそれぞれのメモリに格納されることを特徴とする、イメージングシステム。 - 前記イメージングアレイは、前記読み出し回路に対して前記クラスタのアレイとして構成されており、各クラスタは、n掛けるmのjotのアレイとして構成されており、n掛けるmはそれぞれ1より大きい数であることを特徴とする、請求項1に記載のイメージングシステム。
- カラーフィルタアレイ層が前記jotアレイの上に配置され、(i)それぞれのクラスタ内のすべてのjotが前記カラーフィルタアレイ層の共通カラーフィルタ要素の下方に配置されるか、又は(ii)それぞれのクラスタ内の異なるjotが、前記カラーフィルタアレイ層の2つ以上の異なるカラーフィルタ要素の下方に配置されることを特徴とする、請求項2に記載のイメージングシステム。
- 前記読み出し回路及び前記イメージングアレイは、導電性相互接続部によって互いに接合された分離した基板上に実装されることを特徴とする、請求項1~請求項3のいずれかに記載のイメージングシステム。
- 前記イメージングアレイは、前記読み出し回路に対してクラスタのアレイとして構成され、各クラスタは、n掛けるmのjotのアレイとして構成されており、n掛けるmはそれぞれ1より大きい数であり、そして、jotの各クラスタは、前記それぞれの読み出し回路ブロック内に含まれるそれぞれのアナログ処理回路(ASP)及びそれぞれのアナログ-デジタル変換器(ADC)によって読み出され、前記それぞれの読み出し回路ブロックは、それぞれのクラスタの下に配置され、かつ、前記読み出し回路内にあることを特徴とする、請求項4に記載のイメージングシステム。
- 前記jotは、共有又は非共有読み出し用に構成されることを特徴とする、請求項1~請求項5のいずれかに記載のイメージングシステム。
- ADCは、シングルビット、マルチビット、又はプログラム可能ビット幅解像度のいずれか1つとして構成されることを特徴とする、請求項1~請求項6のいずれかに記載のイメージングシステム。
- 電荷移動増幅器が実装されて利得をもたらすことを特徴とする、請求項1~請求項7のいずれかに記載のイメージングシステム。
- 前記読み出し回路及び前記イメージングアレイは、互いに導電性相互接続部によって接合された分離した基板上に実装され、前記イメージングアレイは、前記読み出し回路に対して前記クラスタのアレイとして構成され、各クラスタは、n掛けるmのjotのアレイとして構成されており、n掛けるmはそれぞれ1より大きい数であり、
それぞれの前記クラスタに対応する前記読み出し回路ブロックは、(i)デジタルカーネルとして構成される前記それぞれの一次イメージプロセッサ(IP1)及び(ii)前記それぞれのメモリを含むことを特徴とする、請求項1~請求項8のいずれかに記載のイメージングシステム。 - 前記デジタルカーネルは、閾値下方式で動作して、電力消費を削減することを特徴とする、請求項9に記載のイメージングシステム。
- 前記読み出し回路及び前記イメージングアレイは、導電性相互接続部によって互いに接合された分離した基板上に実装され、前記読み出し回路上に前記jotをスキャンアウトするための回路を含むことを特徴とする、請求項1~請求項10のいずれかに記載のイメージングシステム。
- 前記読み出し回路と電気的に導通する、その下方に垂直にスタックされた、イメージ処理回路をさらに含み、前記それぞれのメモリに格納された前記それぞれのクラスタに対応する前記デジタル値を処理するように構成されることを特徴とする、請求項1に記載のイメージングシステム。
- 前記読み出し回路、前記イメージングアレイ、及び前記イメージ処理回路は、導電性相互接続部によって互いに接合された3つの分離した基板上に実装されることを特徴とする、請求項12に記載のイメージングシステム。
- 前記イメージ処理回路は、jot信号に対応するデータを伝送するための回路を含むことを特徴とする、請求項13に記載のイメージングシステム。
- 前記イメージングアレイは、裏面照明用に構成され、前記jotピッチは500nmを超えないことを特徴とする、請求項1~請求項14のいずれかに記載のイメージングシステム。
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