JP6990288B2 - 半導体発光装置 - Google Patents
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Description
実施の形態1に係る半導体発光素子及び半導体発光装置について説明する。
まず、本実施の形態に係る半導体発光素子及び半導体発光装置の全体構成について図1~図3を用いて説明する。図1及び図2Aは、それぞれ、本実施の形態に係る半導体発光装置10の全体構成を示す模式的な平面図及び断面図である。図1には、半導体発光素子20と実装基板11の平面視における平面図が示されている。図2Aには、図1のII-II線における半導体発光装置10の断面の一部が示されている。なお、図1、図2A及び以下の各図において、実装基板11の主面に垂直な方向をZ軸方向とし、Z軸方向に垂直であって、互いに垂直な二つの方向をX軸方向及びY軸方向としている。
次に、本実施の形態に係る半導体発光素子20及び半導体発光装置10の作用及び効果を説明する。
次に、本実施の形態に係る半導体発光装置10の製造方法について、図6A~図6Hを用いて説明する。図6A~図6Hは、本実施の形態に係る半導体発光装置10の製造方法の各工程を示す模式的な断面図である。
次に、上述した製造方法によって製造された半導体発光装置10の第1のn接続部材51及び第1のn端子領域51rの構成について説明する。まず、第1のn接続部材51の粒径及び硬度について、図7~図9を用いて説明する。図7は、Auの平均粒径と硬度との関係を示すグラフである。図8は、粒径の測定方法を説明するための図である。図9は、本実施の形態に係る第1のn接続部材51を押し潰した場合の粒径と厚さとの関係を示すグラフである。
次に、本実施の形態の変形例1に係る半導体発光素子について図12及び図13を用いて説明する。図12及び図13は、本変形例に係る半導体発光素子20aの構成を示す平面図及び断面図である。図12には、半導体発光素子20aのn配線電極層46の平面視における平面図が示されている。図13には、図12のXIII-XIII線における断面の一部が示されている。
次に、本実施の形態の変形例2に係る半導体発光素子について図14及び図15を用いて説明する。図14及び図15は、本変形例に係る半導体発光素子20bの構成を示す平面図及び断面図である。図14には、半導体発光素子20bのn配線電極層46の平面視における平面図が示されている。図15には、図14のXV-XV線における断面の一部が示されている。
実施の形態2に係る半導体発光素子及び半導体発光装置について説明する。本実施の形態に係る半導体発光素子及び半導体発光装置は、第1のn端子領域に加えて、第2のn接続部材が配置される第2のn端子領域を有する点において、実施の形態1に係る半導体発光素子及び半導体発光装置と相違する。以下本実施の形態に係る半導体発光素子及び半導体発光装置について実施の形態1に係る半導体発光素子及び半導体発光装置との相違点を中心に説明する。
まず、本実施の形態に係る半導体発光素子の構成について図16及び図17を用いて説明する。図16及び図17は、それぞれ、本実施の形態に係る半導体発光素子120の全体構成を示す模式的な平面図及び断面図である。図16には、半導体発光素子120のn配線電極層46の平面視における平面図が示されている。図17には、図16のXVII-XVII線における半導体発光素子120の断面の一部が示されている。
次に、本実施の形態に係る半導体発光素子120の作用及び効果を説明する。
次に、本実施の形態に係る半導体発光素子120の放熱性について、シミュレーション結果を用いて説明する。図20A及び図20Bは、それぞれ、シミュレーションにおいて用いた本実施の形態及び比較例に係る半導体発光素子の構成を示す模式的な平面図である。図20Aに示されるように、本シミュレーションで用いた半導体発光素子120は、42個の第1のn接続部材51と、36個の第2のn接続部材152と、8個のp接続部材60とを有する。なお、本実施の形態に係る半導体発光素子120の効果を説明するために、比較例に係る半導体発光素子についても併せてシミュレーションを行った。比較例に係る半導体発光素子1120は、図20Bに示すように、第1のn接続部材51を有さない点において、本実施の形態に係る半導体発光素子120と相違し、その他の点において一致する。
次に、本実施の形態に係る半導体発光素子120の製造方法について、図23A~図23Cを用いて説明する。図23A~図23Cは、本実施の形態に係る半導体発光素子120の製造方法の各工程を示す模式的な断面図である。
実施の形態3に係る半導体発光素子及び半導体発光装置について説明する。本実施の形態に係る半導体発光装置は、主に、第1のn接続部材及びp接続部材が、実装基板に配置された後で半導体発光素子に接合される点において実施の形態1に係る半導体発光装置と相違する。以下、本実施の形態に係る半導体発光素子及び半導体発光装置について、実施の形態1に係る半導体発光素子及び半導体発光装置との相違点を中心に説明する。
まず、本実施の形態に係る半導体発光素子及び半導体発光装置の構成について図24を用いて説明する。図24は、本実施の形態に係る半導体発光装置210の全体構成を示す模式的な断面図である。図24には、半導体発光装置210の図2Aと同様の断面が示されている。
次に、本実施の形態に係る半導体発光装置210の製造方法について、図25A~図25Cを用いて説明する。図25A~図25Cは、本実施の形態に係る半導体発光装置210の製造方法の各工程を示す模式的な断面図である。
次に、本実施の形態に係る半導体発光素子及び半導体発光装置の変形例について図26A及び図26Bを用いて説明する。図26Aは、本変形例に係る半導体発光装置210aの全体構成を示す模式的な断面図である。
実施の形態4に係る半導体発光素子及び半導体発光装置について説明する。本実施の形態に係る半導体発光装置は、主に、第1のn接続部材及びp接続部材が、半導体発光素子及び実装基板の両方に配置された後で互いに接合される点において実施の形態1に係る半導体発光装置と相違する。以下、本実施の形態に係る半導体発光素子及び半導体発光装置について、実施の形態1に係る半導体発光素子及び半導体発光装置との相違点を中心に説明する。
まず、本実施の形態に係る半導体発光素子及び半導体発光装置の構成について図27を用いて説明する。図27は、本実施の形態に係る半導体発光装置310の全体構成を示す模式的な断面図である。図27には、図2Aの半導体発光装置10と同様の断面が示されている。
次に、本実施の形態に係る半導体発光装置310の製造方法について、図28A~図28Cを用いて説明する。図28A~図28Cは、本実施の形態に係る半導体発光装置310の製造方法の各工程を示す模式的な断面図である。
以上、本開示に係る半導体発光素子及び半導体発光装置について、各実施の形態に基づいて説明したが、本開示は、上記各実施の形態に限定されるものではない。
11 実装基板
12 基板
15 第1の配線電極
15e、20ae、20be、51e 端部
16 第2の配線電極
20、20a、20b、120、220、220a、220b、320、1120 半導体発光素子
22 成長基板
30 半導体積層体
30b 底面
30e、30eb、30es n露出部
30s 内側面
32 n型層
34 発光層
36 p型層
42 p配線電極層
44 絶縁層
44a、44ab、44as 開口部
44ac、51rc 中心
46 n配線電極層
51、51b、51s、251、251a、251b、351 第1のn接続部材
51n 素子側n接続部材
51r、51rb、51rs、251ar、251br、251r、351r 第1のn端子領域
51w 側壁
56 シードメタル層
56M シードメタル膜
60、260、360 p接続部材
60p 素子側p接続部材
60r、260r、360r p端子領域
152 第2のn接続部材
152r 第2のn端子領域
251av、251bv 空洞部
251n 実装基板側n接続部材
260p 実装基板側p接続部材
Claims (17)
- 半導体発光素子と、第1の配線電極及び第2の配線電極を有する実装基板とを有する半導体発光装置であって、
前記半導体発光素子は、
n型層と、前記n型層の上方に配置された発光層と、前記発光層の上方に配置されたp型層とを有する半導体積層体であって、前記n型層が露出する凹部である1以上のn露出部を有する半導体積層体と、
前記p型層上に配置されたp配線電極層と、
前記1以上のn露出部の内側面と、前記p配線電極層の上方の一部とを連続的に覆い、前記1以上のn露出部の底面において前記n型層を露出する開口部を有する絶縁層と、
前記開口部において前記n型層に接し、前記絶縁層を介して前記p型層及び前記p配線電極層の上方に配置されたn配線電極層と、
外部との電気的接続用の導電性部材である1以上の第1のn接続部材とを有し、
前記1以上の第1のn接続部材は、Auで構成されるバンプであり、それぞれ、1以上の第1のn端子領域において前記n配線電極層と接続され、
前記1以上の第1のn接続部材の各々の、前記n配線電極層に近い方の端部における粒径は、前記n配線電極層から遠い方の端部における粒径より大きく、
前記1以上の第1のn接続部材の各々の前記n配線電極層から遠い方の端部における粒径は、0.9μm以上1.6μm以下であり、
平面視において前記1以上の第1のn端子領域は、前記開口部の上方の領域の少なくとも一部を含み、
前記半導体積層体の積層方向に平行な断面において、前記1以上の第1のn端子領域の下方に、前記n配線電極層及び前記p型層が配置され、
前記1以上の第1のn接続部材は、前記実装基板の前記第1の配線電極と接合され、
前記p配線電極層は、前記n配線電極層及び前記絶縁層から露出した領域において、導電性部材であるp接続部材を介して前記実装基板の第2の配線電極と接合される
半導体発光装置。 - 外部との電気的接続用の導電性部材である1以上の第2のn接続部材をさらに有し、
前記1以上の第2のn接続部材は、それぞれ、前記1以上のn露出部以外に配置された前記n配線電極層の1以上の第2のn端子領域において、前記n配線電極層と接続される
請求項1に記載の半導体発光装置。 - 前記1以上の第1のn接続部材と前記1以上の第2のn接続部材とは離間している
請求項2に記載の半導体発光装置。 - 前記1以上の第1のn接続部材の粒径は、前記n配線電極層の粒径よりも大きい
請求項1~3のいずれか1項に記載の半導体発光装置。 - 前記p配線電極層のうち、前記n配線電極層及び前記絶縁層から露出した領域に配置されるp接続部材と、
前記1以上の第1のn接続部材と前記n配線電極層との間、及び、前記p接続部材とp配線電極層との間に配置され、前記半導体積層体から遠い側の表面がAuからなるシードメタル層とを有し、
前記1以上の第1のn接続部材と前記p接続部材とは、Auからなる
請求項1~4のいずれか1項に記載の半導体発光装置。 - 前記p配線電極層のうち、前記n配線電極層及び前記絶縁層から露出した領域に配置されるp接続部材と、
前記1以上の第1のn接続部材と、前記n配線電極層との間に形成される空洞部とを有する
請求項1~5のいずれか1項に記載の半導体発光装置。 - 前記p配線電極層のうち、前記n配線電極層及び前記絶縁層から露出した領域に配置されるp接続部材を有し、
前記1以上の第1のn接続部材の各々は、1組の素子側n接続部材と実装基板側n接続部材とを含み、
前記p接続部材は、1組の素子側p接続部材と実装基板側p接続部材とを含み、
前記素子側n接続部材は、前記実装基板側n接続部材より前記半導体積層体に近い位置に配置され、
前記素子側p接続部材は、前記実装基板側p接続部材より前記半導体積層体に近い位置に配置される
請求項1~6のいずれか1項に記載の半導体発光装置。 - 前記1以上の第1のn接続部材の前記第1の配線電極との接合面における端部は、前記実装基板の前記第1の配線電極の端部に対して、前記第1の配線電極の内側に離間して配置されている
請求項1~7のいずれか1項に記載の半導体発光装置。 - 前記積層方向に平行な断面において、前記1以上の第1のn接続部材の、前記開口部上における粒径が、前記p型層上における粒径よりも大きい
請求項1~8のいずれか1項に記載の半導体発光装置。 - 前記積層方向に平行な断面において、前記1以上の第1のn接続部材は、前記n配線電極層側において、前記n配線電極層に近付くほど側壁が外側に広がっている
請求項1~9のいずれか1項に記載の半導体発光装置。 - 前記n配線電極層の平面視において、前記1以上の第1のn端子領域の総面積は、前記1以上のn露出部以外に配置された前記n配線電極層の総面積より大きい
請求項1~10のいずれか1項に記載の半導体発光装置。 - 前記n配線電極層の平面視において、前記1以上の第1のn端子領域の各々の面積は、前記半導体発光素子の端部に近い方が広い
請求項1~11のいずれか1項に記載の半導体発光装置。 - 前記n配線電極層の平面視において、前記開口部の面積は、前記半導体発光素子の端部に近い方が広い
請求項1~11のいずれか1項に記載の半導体発光装置。 - 前記n配線電極層の平面視において、前記1以上の第1のn端子領域の中心は、前記開口部の領域内にある
請求項1~13のいずれか1項に記載の半導体発光装置。 - 前記n配線電極層の平面視において、前記1以上の第1のn端子領域の中心は、前記開口部の中心と一致している
請求項1~14のいずれか1項に記載の半導体発光装置。 - 前記1以上のn露出部以外に配置された前記n配線電極層上に、外部との電気的接続用の導電性部材が配置される領域である1以上の第2のn端子領域が設定されている
請求項11~15のいずれか1項に記載の半導体発光装置。 - 前記n配線電極層の平面視において、前記1以上の第1のn端子領域及び前記1以上の第2のn端子領域の面積の総和が、前記1以上のn露出部以外に配置された前記n配線電極層の面積の総和より大きい
請求項2、3、16のいずれか1項に記載の半導体発光装置。
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