JP6986221B2 - 孔電極基板の製造方法、孔電極基板および半導体装置 - Google Patents
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Description
ケイ素又はケイ素化合物を含有し、第1表面に孔が設けられた基板を準備し、
前記孔の側壁を覆う側壁部分と、前記第1表面上において前記側壁部分に連続する表面部分と、を有する孔電極を形成し、
前記表面部分の外縁の少なくとも一部を覆い、前記表面部分の側面に接する第1配線を形成することを具備し、
前記孔電極の形成は、前記側壁部分及び前記表面部分のそれぞれの少なくとも一部を構成する導電層を無電解めっきにより形成することを具備する、孔電極基板の製造方法が提供される。
前記絶縁層を貫通する貫通孔を形成し、
前記絶縁層上に、前記貫通孔を通じて前記第1配線に接続された第2配線を形成することを具備してもよい。
前記表面部分が、前記孔の周縁部を覆う環状部と、前記環状部から前記孔の径方向外方に延びる線状部と、を有するように行い、
前記第1配線の形成は、
前記第1配線が前記表面部分のうち前記環状部又は前記線状部の少なくとも一部を覆うように行ってもよい。
前記孔の側壁を覆う側壁部分と、前記第1表面上において前記側壁部分に連続する表面部分と、を有する孔電極と、
前記表面部分の外縁の少なくとも一部を覆い、前記表面部分の側面に接する第1配線と、を備える、孔電極基板。
前記絶縁層上において前記貫通孔を通じて前記第1配線に接続された第2配線と、を備えてもよい。
前記孔の周縁部を覆う環状部と、
前記環状部から前記孔の径方向外方に延びる線状部と、を有し、
第1配線は、前記表面部分のうち前記環状部又は前記線状部の少なくとも一部を覆っていてもよい。
ケイ素又はケイ素化合物を含有し、第1表面に孔が設けられた基板と、前記孔の側壁を覆う側壁部分および前記第1表面上において前記側壁部分に連続する表面部分を有する孔電極と、前記表面部分の外縁の少なくとも一部を覆い、前記表面部分の側面に接する第1配線と、を有する少なくとも1つの孔電極基板と、
前記孔電極基板に電気的に接続された半導体素子と、を備える、半導体装置が提供される。
前記複数の孔電極基板および前記半導体チップは、前記第1表面に交差する方向に重なっていてもよい。
基板2は、第1表面21と、第1表面21の反対側の第2表面22とを有する。図1Bの例において、第1表面21と第2表面22とは互いに平行である。基板2の内部に第1貫通電極3を位置させるため、基板2には、孔の一例として、第1表面21から第2表面22まで基板2を貫通する第1貫通孔23が設けられている。第1貫通孔23は、貫通方向すなわち基板2の厚み方向D1に垂直な断面において円形状を有する。また、図示はしないが、第1貫通孔23と、その内部に位置する貫通電極3および絶縁層9とは、厚み方向D1に直交する基板2の表面方向に間隔を空けて複数設けられている。
第1貫通電極3は、中空部を有するコンフォーマルビアタイプの貫通電極である。図1Aおよび図1Bに示すように、第1貫通電極3は、側壁部分31と、表面部分の一例である第1表面部分32および第2表面部分33とを有する。
第1表面部分32側の第1配線41は、第1表面21上および第1表面部分32上に位置し、導電性を有する層である。第2表面部分33側の第1配線42は、第2表面22上および第2表面部分33上に位置し、導電性を有する層である。
次に、本実施形態の貫通電極基板1の製造方法について説明する。
図6Aは、本実施形態の第1の変形例による貫通電極基板1を示す断面図である。図6Aに示すように、第1の変形例の貫通電極基板1は、図1Aおよび図1Bの貫通電極基板1の構成に加えて、更に、第1配線41、42上の絶縁層61、62と、絶縁層61、62上の第2配線81、82とを備える。
図7Aは、本実施形態の第2の変形例による貫通電極基板1を示す平面図である。図7Bは、本実施形態の第2の変形例による貫通電極基板1を示す平面図である。図7Bは、図7AのVIIB−VIIB断面図である。図1A、図1Bの貫通電極基板1では、第1配線41、42が円環形状の表面部分32、33の外縁を全周にわたって覆っている。
図8は、本実施形態の第3の変形例による貫通電極基板1を示す断面図である。図9は、本実施形態の第4の変形例による貫通電極基板1を示す断面図である。図8に示すように、表面部分32、33の内縁の少なくとも一部を絶縁層9で覆ってもよい。また、図9に示すように、表面部分32、33の内縁の少なくとも一部を覆う絶縁層9を、第1配線41、42の内縁で覆ってもよい。
図10は、本実施形態の第5の変形例による孔通電極基板1を示す断面図である。これまでは、孔電極基板の一例として、貫通電極基板1について説明した。図10に示すように、本開示の一態様は、孔として有底穴230すなわち凹部が設けられた基板2と、有底穴230の内部の孔電極3と、孔電極3の表面部分32の外縁の少なくとも一部を覆う第1配線41とを備えた孔電極基板1であってもよい。孔電極3は、有底穴230を覆う底壁部分33を有する点が、貫通電極3と異なる。
図11は、本実施形態の第6の変形例による半導体装置1000を示す図である。半導体装置1000は、第1面21に直交する厚み方向D1に重なるように配置すなわち積層された複数の貫通電極基板1を備えている。各貫通電極基板1は、LSI基板1001に電気的に接続されている。各貫通電極基板1は、例えば、既述した第1配線41、42に電気的に接続されたDRAM等の図示しない半導体素子と、第1配線41、42に電気的に接続された接続端子1002とを有している。厚み方向D1に隣り合う貫通電極基板1同士は、その接続端子1002同士を互いに対向させている。そして、厚み方向D1に隣り合う貫通電極基板1同士は、互いに対向する接続端子1002間に位置するバンプ1003を介して電気的に接続されている。また、厚み方向D1においてLSI基板1001に隣り合う貫通電極基板1は、その接続端子1002をLSI基板1001の接続端子1004に対向させている。そして、LSI基板1001と、LSI基板1001に隣り合う貫通電極基板1とは、互いに対向する接続端子1002、1004間に位置するバンプ1005を介して電気的に接続されている。バンプ1003、1005は、例えば、インジウム、銅、金等の金属である。
図13は、上記各態様の孔電極基板1を適用できる製品の例を示す図である。本開示の実施形態に係る孔電極基板1は、様々な製品に適用できる。例えば、孔電極基板1は、ノート型パーソナルコンピュータ110、タブレット端末120、携帯電話130、スマートフォン140、デジタルビデオカメラ150、デジタルカメラ160、デジタル時計170、サーバ180等に搭載できる。
2 基板
21 第1表面
3 第1貫通電極
31 側壁部分
32 第1表面部分
41 第1配線
Claims (18)
- ケイ素又はケイ素化合物を含有し、第1表面に孔が設けられた基板を準備し、
前記孔の側壁を覆う側壁部分と、前記第1表面上において前記側壁部分に連続する表面部分と、を有する孔電極を形成し、
前記表面部分の外縁の少なくとも一部を覆い、前記表面部分の側面に接する第1配線を形成することを具備し、
前記孔電極の形成は、前記側壁部分及び前記表面部分のそれぞれの少なくとも一部を構成する導電層を無電解めっきにより形成することを具備し、
前記孔は、前記第1表面から前記第1表面の反対側の第2表面まで前記基板を貫通するように設けられており、
前記孔電極の形成は、前記第2表面上において前記側壁部分に連続する第2の表面部分を更に有するように行う、孔電極基板の製造方法。 - 前記第1配線が、前記基板の前記第1表面及び前記孔電極の前記表面部分に接触するとともにチタンを含有する層を含む、請求項1に記載の孔電極基板の製造方法。
- 前記第1配線上に絶縁層を形成し、
前記絶縁層を貫通する貫通孔を形成し、
前記絶縁層上に、前記貫通孔を通じて前記第1配線に接続された第2配線を形成することを具備する請求項1または2に記載の孔電極基板の製造方法。 - 前記第1配線の形成は、物理成膜で行う請求項1〜3のいずれか1項に記載の孔電極基板の製造方法。
- 前記物理成膜は、スパッタリングである請求項4に記載の孔電極基板の製造方法。
- 前記第1配線の形成は、化学成膜で行う請求項1〜3のいずれか1項に記載の孔電極基板の製造方法。
- 前記基板は、ガラス基板である請求項1〜6のいずれか1項に記載の孔電極基板の製造方法。
- 前記無電解めっきは、無電解銅めっきである請求項1〜7のいずれか1項に記載の孔電極基板の製造方法。
- 前記表面部分の形成は、
前記表面部分が、前記孔の周縁部を覆う環状部と、前記環状部から前記孔の径方向外方に延びる線状部と、を有するように行い、
前記第1配線の形成は、
前記第1配線が前記表面部分のうち前記環状部又は前記線状部の少なくとも一部を覆うように行う請求項1〜8のいずれか1項に記載の孔電極基板の製造方法。 - 前記線状部の形成は、前記径方向に直交する方向の前記線状部の幅が0μmより大きい50μm以下となるように行う請求項9に記載の孔電極基板の製造方法。
- ケイ素又はケイ素化合物を含有し、第1表面に孔が設けられた基板と、
前記孔の側壁を覆う側壁部分と、前記第1表面上において前記側壁部分に連続する表面部分と、を有する孔電極と、
前記表面部分の外縁の少なくとも一部を覆い、前記表面部分の側面に接する第1配線と、を備え、
前記孔は、前記第1表面から前記第1表面の反対側の第2表面まで前記基板を貫通するように設けられており、
前記孔電極は、前記第2表面上において前記側壁部分に連続する第2の表面部分を更に有する、孔電極基板。 - 前記第1配線が、前記基板の前記第1表面及び前記孔電極の前記表面部分に接触するとともにチタンを含有する層を含む、請求項11に記載の孔電極基板。
- 貫通孔が設けられた前記第1配線上の絶縁層と、
前記絶縁層上において前記貫通孔を通じて前記第1配線に接続された第2配線と、を備える請求項11または12に記載の孔電極基板。 - 前記基板は、ガラス基板である請求項11〜13のいずれか1項に記載の孔電極基板。
- 前記表面部分は、
前記孔の周縁部を被覆する環状部と、
前記環状部から前記孔の径方向外方に延びる線状部と、を有し、
第1配線は、前記表面部分のうち前記環状部又は前記線状部の少なくとも一部を覆っている請求項11〜14のいずれか1項に記載の孔電極基板。 - 前記径方向に直交する方向の前記線状部の幅は、0μmより大きい50μm以下である請求項15に記載の孔電極基板。
- ケイ素又はケイ素化合物を含有し、第1表面に孔が設けられた基板と、前記孔の側壁を覆う側壁部分および前記第1表面上において前記側壁部分に連続する表面部分を有する孔電極と、前記表面部分の外縁の少なくとも一部を覆い、前記表面部分の側面に接する第1配線と、を有する少なくとも1つの孔電極基板と、
前記孔電極基板に電気的に接続された前記孔電極基板と別体の半導体素子と、を備え、
前記孔は、前記第1表面から前記第1表面の反対側の第2表面まで前記基板を貫通するように設けられており、
前記孔電極は、前記第2表面上において前記側壁部分に連続する第2の表面部分を更に有する、半導体装置。 - 前記孔電極基板を複数備え、
前記複数の孔電極基板は、前記第1表面に交差する方向に重なっている、請求項17に記載の半導体装置。
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