JP6969930B2 - プローブ - Google Patents
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Description
本発明の第1の実施形態に係るプローブは、図1に示すように、側面を貫通する螺旋状の切り込みが形成されたバネ部を有する管形状のバレル10と、バレル10の端部の開口端から先端部が露出した状態でバレル10に接合された棒形状のプランジャー20とを備える。バレル10のバネ部には、螺旋状の複数の切り込みが互いに交わらずに形成されている。即ち、バネ部は、中心軸が同一のコイルバネをそれぞれ構成する複数の素線からなる多重螺旋形状である。
図3に示す本発明の第2の実施形態に係るプローブは、バレル10のバネ部の多重螺旋形状を構成するコイルバネの1つが、他のコイルバネよりも放熱性を高くした放熱用コイルバネC1である。例えば、放熱用コイルバネC1に、他のコイルバネC2の材料よりも熱伝導率が高い材料を使用する。
図5(a)及び図5(b)に示す本発明の第2の実施形態の第1の変形例に係るプローブでは、放熱用コイルバネC1の基体11に埋め込まれた放熱材12の一部が、バレル10の表面に露出している。つまり、放熱材12の全体が基体11に囲まれていない点が図4(a)及び図4(b)に示したプローブと異なる。
図7(a)及び図7(b)に示す第2の実施形態の第2の変形例に係るプローブでは、放熱材12が、基体11の表面に全体が露出して配置されている。つまり、放熱材12が基体11に埋め込まれた部分を有さない点が第1の変形例と異なる。
本発明の第2の実施形態の第3の変形例に係るプローブは、図8(a)及び図8(b)に示すように、放熱材12が、基体11の表面に全体が露出して配置された表面領域121、及び、表面領域121と一部が接触して基体11に埋め込まれた埋込領域122を有する。つまり、基体11に埋め込まれた放熱材12とバレル10の表面に配置された放熱材12とが一体化されている。
本発明の第3の実施形態に係るプローブは、図10に示すように、バレル10のバネ部の最も外側に絶縁材料からなる絶縁層40が配置されている。このため、仮に隣接するプローブ同士が接触しても、プローブ同士は絶縁層40によって電気的に絶縁されるためにプローブ間のショートを抑制できる。他は、図1に示したプローブと同様である。
上記のように本発明は実施形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
11…基体
12…放熱材
20…プランジャー
30…接合部
40…絶縁層
C1…放熱用コイルバネ
Claims (12)
- 側面を貫通する螺旋状の複数の切り込みが互いに交わらずに形成されたバネ部を有する管形状のバレルと、
前記バレルの端部の開口端から先端部が露出した状態で前記バレルに接合された棒形状のプランジャーと
を備え、
前記バネ部が、中心軸が同一のコイルバネをそれぞれ構成する複数の素線からなる多重螺旋形状であり、前記複数の素線の線径が互いに異なることを特徴とするプローブ。 - 前記複数の素線がそれぞれ構成する前記コイルバネの少なくとも1つが、他の前記コイルバネよりも放熱性を高くした放熱用コイルバネであることを特徴とする請求項1に記載のプローブ。
- 前記放熱用コイルバネに、他の前記コイルバネの材料よりも熱伝導率が高い材料が使用されていることを特徴とする請求項2に記載のプローブ。
- 前記放熱用コイルバネが、
導電性を有する基体と、
前記基体よりも熱伝導率の高い材料からなり、前記基体に接触する放熱材と
を有することを特徴とする請求項3に記載のプローブ。 - 前記放熱材が、前記基体に周囲を囲まれて前記基体の内部に埋め込まれていることを特徴とする請求項4に記載のプローブ。
- 前記基体に埋め込まれた前記放熱材の表面の一部が、前記バネ部で前記バレルの表面に露出していることを特徴とする請求項4に記載のプローブ。
- 前記基体に周囲を囲まれて前記基体の内部に埋め込まれた前記放熱材と、表面の一部が前記バレルの表面に露出した前記放熱材とが、前記基体の膜厚方向に積層されていることを特徴とする請求項4に記載のプローブ。
- 前記放熱材が、前記基体の表面に全体が露出して配置されていることを特徴とする請求項4に記載のプローブ。
- 前記放熱材が、前記基体の表面に全体が露出して配置された表面領域、及び前記表面領域と一部が接触して前記基体に埋め込まれた埋込領域を有することを特徴とする請求項4に記載のプローブ。
- 前記放熱材が導電性を有することを特徴とする請求項4乃至9のいずれか1項に記載のプローブ。
- 前記バネ部の最も外側に絶縁材料からなる絶縁層が配置されていることを特徴とする請求項1乃至10のいずれか1項に記載のプローブ。
- 前記複数の素線がそれぞれ構成する前記コイルバネの少なくとも1つが、他の前記コイルバネと異なる材料からなることを特徴とする請求項1に記載のプローブ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017161169A JP6969930B2 (ja) | 2017-08-24 | 2017-08-24 | プローブ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017161169A JP6969930B2 (ja) | 2017-08-24 | 2017-08-24 | プローブ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2019039756A JP2019039756A (ja) | 2019-03-14 |
JP6969930B2 true JP6969930B2 (ja) | 2021-11-24 |
Family
ID=65727525
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017161169A Active JP6969930B2 (ja) | 2017-08-24 | 2017-08-24 | プローブ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6969930B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102202827B1 (ko) * | 2020-10-27 | 2021-01-14 | (주) 네스텍코리아 | 프로브 핀 및 이를 적용한 동축 프로브 조립체 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3090950U (ja) * | 2002-06-24 | 2003-01-10 | 株式会社精研 | 測定用プローブ |
US7393214B2 (en) * | 2006-02-17 | 2008-07-01 | Centipede Systems, Inc. | High performance electrical connector |
US7601009B2 (en) * | 2006-05-18 | 2009-10-13 | Centipede Systems, Inc. | Socket for an electronic device |
US7491069B1 (en) * | 2008-01-07 | 2009-02-17 | Centipede Systems, Inc. | Self-cleaning socket for microelectronic devices |
JP2010281583A (ja) * | 2009-06-02 | 2010-12-16 | Nidec-Read Corp | 検査用治具 |
US20120176122A1 (en) * | 2010-03-30 | 2012-07-12 | Yoshihiro Hirata | Contact probe, linked body of contact probes, and manufacturing methods thereof |
JP2012220451A (ja) * | 2011-04-13 | 2012-11-12 | Seiken Co Ltd | 検査ユニット |
JP6017123B2 (ja) * | 2011-07-20 | 2016-10-26 | 株式会社日本マイクロニクス | 電気信号を通すプローブ、これを用いた電気的接続装置、及びプローブの製造方法 |
JP6546719B2 (ja) * | 2014-02-07 | 2019-07-17 | 株式会社日本マイクロニクス | 接触検査装置 |
DE102015004151B4 (de) * | 2015-03-31 | 2022-01-27 | Feinmetall Gmbh | Verfahren zur Herstellung einer Federkontaktstift-Anordnung mit mehreren Federkontaktstiften |
-
2017
- 2017-08-24 JP JP2017161169A patent/JP6969930B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2019039756A (ja) | 2019-03-14 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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