JP6957227B2 - 空気圧式アクチュエータ、及び能動的防振システムの動作方法 - Google Patents

Description

本発明は、とりわけ固定防振システムにおいて使用するように構成された空気圧式アクチュエータに関する。

さらに、本発明は、能動的防振システムの動作方法、及び空気圧式アクチュエータを備えた防振システムにも関する。

具体的には、本発明は、半導体デバイス加工のためのリソグラフィシステム及び／又は度量衡システムを防振的に支持するために使用する、固定された、すなわち動かないように設置された防振システムに関する。

本出願は、２０１６年６月２３日に出願された欧州特許出願第１６１７５９０９．７号の優先権を主張するものであり、この文献の開示はその全体が引用により組み入れられる。

通常、とりわけ半導体加工のためのリソグラフィ装置又は度量衡装置を支持するために使用されるような固定防振システムは、複数の防振装置上に取り付けられたテーブルで構成される。

慣例からは、とりわけ地震性振動、又は防振すべき負荷（機械）によって生じる振動を相殺する能動的制御システムを備えた能動的防振システムが知られている。例えば、床上及び／又は防振すべき負荷上に配置されたセンサを用いて振動を測定することができる。取得された測定値を制御装置が使用して、能動的防振のためのアクチュエータを駆動するために使用される補償信号を能動的に生成する。慣例では、空気圧式又は機械式（例えば、コイルばね）防振装置内又はこのような装置上に配置された、主に磁気によるアクチュエータを用いて対抗力を生じる。

加工する半導体デバイスのサイズと共に、この目的で使用するシステムのサイズも増加する。従って、アクチュエータがもたらす必要のある反力はますます大きくなり、これによって電動アクチュエータの使用はさらに困難になる。この結果、磁気的原理に従って動作する複数のアクチュエータを１つの作用方向に並列に接続することが必要になる。このことは、利用可能な設置空間が制限されることに起因して、用途によっては複雑又は不可能である。磁気アクチュエータの使用は、アクチュエータからの常に存在する放熱によってさらに制限される。

確かに、磁気アクチュエータを駆動する必要性は、防振システムの空気圧レベルの制御を能動的防振に組み込むことによって低下させることができる。しかしながら、このことは、必ずしも上述した短所を排除するのに十分ではない。

欧州特許出願公開第２７５９７３６号明細書（Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｄｙｎａｍｉｃｓ Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ社）には、コイルばねを備えた機械的防振装置が開示されている。

欧州特許出願公開第２９９８６１１号明細書（Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｄｙｎａｍｉｃｓ Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ社）には、交換可能な板ばねアセンブリを通じて適合できる特性の空気ばねを備えるとともに、水平方向に防振効果をもたらす屈曲ペンデュラムを備えた防振装置が開示されている。

欧州特許出願公開第２７５９７３６号明細書 欧州特許出願公開第２９９８６１１号明細書

しかしながら、通常、ベローズ形シリンダ、空気圧人工筋及び空気圧シリンダなどの慣例から知られている空気圧式アクチュエータは、シリンダとピストンとの間に存在する摩擦力、及び／又は実際の作用方向に対して横向きに存在する力成分に起因して１方向にしか効果的でなく、一般的な固定防振システムの防振装置にはそれほど適していない。

本発明は、この背景に鑑み、先行技術の短所を軽減するという目的に基づくものである。

具体的には、本発明は、能動的固定防振システムにも適した空気圧式アクチュエータを提供することを目的とする。

本発明の目的は、独立請求項のいずれかに記載の空気圧式アクチュエータ、及び能動的防振システムの動作方法によって既に達成されている。

従属請求項の主題、明細書及び図面からは、本発明の好ましい実施形態及び改善が明らかになる。

本発明は、空気圧式アクチュエータ、すなわち、とりわけ空気圧によって動作するアクチュエータに関する。

この空気圧式アクチュエータは、とりわけ半導体デバイス加工機械及びシステムを防振的に支持するために使用されるような固定防振システムにおいて使用されるように構成される。

空気圧式アクチュエータは、ピストンを含む作動空間を備える。ピストンは、その軸方向の運動方向に力を生じるように作動空間内で動くことができる。

作動空間は、ピストンが両側から圧力を受けることによって単純な形で２つの逆方向に力を生じることができるように、ピストンによって第１の圧力室及び第２の圧力室に分割される。

ピストンの動きによって生じる摩擦力及び振動を最小化するために、ピストンは作動空間の内面から間隙によって離間する。

従って、ピストンは、作動空間によって画定されるシリンダによって導かれるのではなく、むしろ通常の動作状態中にピストンが作動空間の内面に係合しないように作動空間の内面から十分に離間する。

しかしながら、本発明によれば、ピストンは、軸方向、すなわちピストンの作用方向にしか動くことができず、すなわち空気圧式アクチュエータは、正確に１つの空間方向に力を生じるように設計される。

ピストンが作用方向に対して横向きに傾斜又は変位するのを防ぐことにより、アクチュエータの駆動時に所望の作用方向に対して横向きに生じる力が最小化又は防止される。

好ましい実施形態では、ピストンが、互いに間隔を空けた少なくとも２つの板ばねによって軸方向に導かれる。

とりわけ、一方の板ばねを第１の圧力室内に配置し、さらなる板ばねを第２の圧力室内に配置することが検討される。

これらの板ばねは、ピストンが作用方向に対して横向きに傾斜も変位もしないことを保証する。

第１の圧力室と第２圧力室、及びこれらの板ばねは、実質的に鏡面対称であり、すなわちこれらは、ほぼ同じ形状及び同じ寸法を有することが好ましい。

とりわけ、この板ばねとしては、欧州特許出願公開第２９９８６１１号明細書に記載されている内側リング及び外側リングを有する板ばねを使用することができる。

第１の圧力室及び第２の圧力室は、それぞれ膜によって密封されることが好ましい。

この膜は、少なくともピストンと内面との間の間隙に及ぶ。

発明の好ましい実施形態では、膜がピストンに及ぶ。

具体的には、作動空間のハウジングに締結され、とりわけ作動空間のハウジングによってクランプ留めされ、別様に作動空間全体に及び、従ってそれぞれの圧力室を既に閉じている膜を使用することが検討される。

このようにして、圧力室のピストン側にとりわけ軽量の密封性をもたらすことができる。

発明の好ましい実施形態では、ピストンが、圧力室内に突出するそれぞれのスペーサを介してそれぞれの板ばねに接続される。

このようにして、板ばねは、作動空間の広い範囲にわたって半径方向に延びることができる。

さらに、本発明の１つの実施形態によって検討されるように、スペーサは、ピストンに膜を固定するために使用することもできる。

本発明の別の実施形態では、ピストンとスペーサが一体に形成される。

とりわけ、スペーサは、それぞれの圧力室内に軸方向に延びるピストンの中心拡張部とすることができる。

本発明の好ましい実施形態では、ピストンが、作動空間の外壁から外に突出する少なくとも１つの拡張部を含む。

この拡張部は、とりわけ円周リングとして構成することができる。

本発明の好ましい実施形態では、ピストンが、複数の横方向に突出する拡張部を備える。具体的には、ピストンは、水平方向に横向きに突出する少なくとも３つの拡張部を備える。

（これらの）拡張部は、防振すべき負荷又は基部（床）にピストンを結合する役割を果たす。

この目的のために、空気圧式アクチュエータは、軸方向に対して横向きに防振性を加える手段を有することが好ましい。

従って、アクチュエータは、基部又は防振すべき負荷から、その作用方向に対して横向きに分離される。このことは、この空間方向におけるアクチュエータの剛性が、作用方向における剛性よりも、具体的には少なくとも１０倍小さいことを意味する。

とりわけ、この結合は、ピストンが対称的に力を受けるように、ピストンの円周まわりに分布する少なくとも３地点において行うことができる。

従って、円周リングとして設計された拡張部の代わりに、それぞれが作動空間のハウジングから外に突出する複数の個々の拡張部を使用することもできる。

とりわけ、基に又は防振すべき負荷へのピストンの結合には、屈曲ロッド、屈曲ペンデュラム、ケーブル又はワイヤを使用することができる。

軸方向に対して横向きに防振性を加える手段は、ピストンの作動空間の外部に配置されることが好ましい。

とりわけ、ピストンの作用方向に対して横向きに防振効果をもたらす手段をピストンの作動空間に隣接して横向きに配置することが検討される。

さらに、本発明は、上述した異なる空間方向に効果的な空気圧式アクチュエータを少なくとも２つ備える、防振システムのための防振装置にも関する。

とりわけ、この防振装置は、１つの垂直方向に効果的な空気圧式アクチュエータと、１つの水平方向に効果的な空気圧式アクチュエータとを備えることが検討される。

本発明による防振装置は、とりわけ空気圧式防振装置又は機械式防振装置として、具体的にはコイルばねを含む機械式防振装置として設計され、少なくとも水平方向に効果的なばねに加えて、２つの空気圧式アクチュエータを備える。

さらに、本発明は、上述した空気圧式アクチュエータを備えた能動的防振システムにも関する。とりわけ、この防振システムは、それぞれが少なくとも２つの空気圧式アクチュエータを備えた防振装置を備える。

具体的には、床及び／又は防振すべき負荷の振動を検出する少なくとも１つのセンサに接続され、センサ信号に基づいてフィードフォワード制御を介して補償信号を生成する制御装置を備える、能動的固定防振システムに関連する。

さらに、本発明は、能動的防振システム、とりわけ上述した防振システムの動作方法にも関する。

この方法は、少なくとも１方向に効果的な空気圧式アクチュエータを制御装置によって駆動するステップを含む。

制御装置は、空気圧式アクチュエータの作動空間内の圧力を制御する弁に接続される。

空気圧式アクチュエータよってもたらされる力、及び／又は空気圧式アクチュエータの圧力室内の圧力がセンサによって測定され、制御装置によって収集される。

補償力を生じるために、空気圧式アクチュエータは、弁を通じてアクチュエータの作動空間内の圧力を調整する制御装置によって制御される。

圧力は、圧力室内の流体の非線形特性を考慮して制御される。

空気は、油圧流体とは対照的に圧縮性であり、従って、例えばアクチュエータの作動空間内に空気を流入させる弁の開放時間は、その結果として得られる力に比例しない。

これを、例えばデジタル又はアナログ制御フィルタによって補償することができる。比例スライド弁、比例圧力弁、又は高速切換え弁を使用することもできる。

この方法に使用する空気圧式アクチュエータは、少なくとも１方向に力を生じる。上述したような空気圧式アクチュエータ、すなわち２つの逆方向に力を生じることができるアクチュエータを使用することが好ましい。

本発明による空気圧式アクチュエータの例示的な実施形態の概略断面図である。 アクチュエータの作用方向に対して横向きに防振性をもたらす追加手段を示す、アクチュエータの側部立面図である。 本発明によるアクチュエータを備えた防振装置を含む防振システムの概略図である。 本発明によるアクチュエータの例示的な実施形態の断面図である。 アクチュエータの分解図である。 アクチュエータの分解図である。 既に屈曲ロッドが取り付けられているアクチュエータの斜視図である。 図４〜図７のアクチュエータが取り付けられた、本発明による防振装置の斜視図である。

以下、概略的に示す例示的な実施形態を用いて、図１〜図８の図面を参照しながら本発明の主題をさらに詳細に説明する。

図１は、本発明によるアクチュエータ１の例示的な実施形態の概略断面図である。

空気圧式アクチュエータ１は、ピストン５が動くことができる作動空間３を取り囲むハウジング２を備える。作動空間は、圧縮空気を流入させることができる作業体積を画定する。

作動空間３は、ピストン５によって第１の圧力室４ａと第２の圧力室４ｂとに分割される。

圧力室４ａは、空気圧ポート１３ａを含み、圧力室４ｂは、空気圧ポート１３ｂを備える。

この別様に密封された圧力室４ａ及び４ｂには、ポート１３ａ及び１３ｂを介して圧縮空気を導入することができる。

このようにして、ピストン５によって、軸２４に沿った力である力を軸方向に生じることができる。

既知の空気圧シリンダとは対照的に、作動空間３のハウジング２の内面７とピストン５との間には間隙６が設けられ、この結果、ピストン５の移動中に摩擦力が発生しない。間隙６の幅は、少なくとも０．１ｍｍであり、少なくとも０．５ｍｍであることが好ましく、少なくとも１ｍｍであることが最も好ましい。

間隙６を通じて流体が漏れないように圧力室４ａ及び４ｂを密封するために、少なくとも間隙６にわたってそれぞれの弾性膜１２ａ、１２ｂが設けられる。

この例示的な実施形態では、膜１２ａ、１２ｂが、ピストン５全体に及ぶと同時にピストン５に接続される。

さらに、膜１２ａ、１２ｂは、その縁部に沿ってハウジング２の外壁２５にクランプ留めされる。

ピストン５を軸方向に導くために、圧力室４ａ及び圧力室４ｂの両方にそれぞれの板ばね９ａ、９ｂが設けられ、それぞれのスペーサ１０ａ及び１０ｂを介してピストン５に接続される。

板ばね９ａ及び９ｂは、作動空間３の外壁２５にも締結され、具体的には外壁２５にクランプ留めされる。

板ばね９ａ、９ｂは、必要になるはずの密閉手段を避けるために、圧力室４ａ及び４ｂ内にそれぞれ締結されることが好ましい。

板ばね９ａ及び９ｂは、軸２４に対して垂直に延び、具体的には内側リング及び外側リングを有する板ばねとして構成することができる。

ピストン５の両側には、スペーサ１０ａ、１０ｂがそれぞれ固定され、この例示的な実施形態では、ピストン５に膜１２ａ、１２ｂを締結する役割も果たす。

この例示的な実施形態では、空気圧式アクチュエータ１が、その中心を作用方向に延びる軸２４に関して、基本的に回転対称な形状を有する。

さらに、第１及び第２の圧力室４ａ、４ｂ、並びに板ばね９ａ、９ｂ及び膜１２ａ、１２ｂは、実質的に同一に構成される。板ばね９ａ及び９ｂは、その形状及び機能の面から鏡面対称に取り付けられる。

ハウジング２の外壁２５は、拡張部８が軸２４に対して垂直に突出する開口部１１を有する。

拡張部８は、空気圧式アクチュエータ１の動作中に外壁２５に係合しないように、開口部１１内に十分な隙間を有すると理解されるであろう。

この例示的な実施形態では、拡張部８が円周リングとして構成される。拡張部８は、ハウジングの両半分を結合する構成要素（図示せず）が通って延びる開口部を有することができる。

拡張部８は、基部又は防振すべき負荷にピストン５を結合する役割を果たす。

円周リングの代わりに、空気圧式アクチュエータ１の円周まわりに分散した複数の拡張部（図示せず）を設けることもできると理解されるであろう。

図２は、空気圧式アクチュエータ１の概略的側部立面図であり、この図には、防振すべき負荷１５（又は基部）にピストン５を結合する構成要素をさらに示す。

この例示的な実施形態では、拡張部８の円周まわりに拡張部８上の３つの屈曲ロッド１４ａ〜１４ｃが均一に分布して、防振すべき負荷１５に接続される。

屈曲ロッド１４ａ〜１４ｃは、空気圧式アクチュエータ１の効果的な軸に対して横向きに防振性をもたらす。

屈曲ロッド１４ａ〜１４ｃは、作用方向（図１の軸２４）には高い剛性を示すが、横向きに作用する力には屈服し、これによって基部及び防振すべき負荷を空気圧式アクチュエータ１の作用方向に対して横向きに分離する。

図３は、防振システム１６の概略図である。

防振システム１６は、とりわけ半導体デバイス（図示せず）を加工するリソグラフィシステム及び度量衡システムを配置できる、防振のために取り付けられたテーブル１７を備える。

テーブル１７は、床１９に結合された複数の防振装置１８上に載る。

防振装置１８は、空気ばね又は機械ばねとして構成することができる。

防振装置１８は、上述した空気圧式アクチュエータ１を少なくとも２つ含み、１つのアクチュエータは、水平空間方向に効果的であり、１つのアクチュエータは、垂直空間方向に効果的である。

防振システムは、さらなるアクチュエータ、具体的にはボイスコイル原理に基づく磁気アクチュエータを備えることもできると理解されるであろう。

この例示的な実施形態では、地震性振動がセンサ２０によって検出され、上部にアセンブリが配置されたテーブル１７である防振すべき負荷の振動がセンサ２１によって検出される。

センサ２１及び２０からの信号に基づいて、制御装置２２が補償信号を生成し、これによって空気圧式アクチュエータ１の圧力室内の圧力を調整する弁２３を制御する。

この例示的な実施形態では、１つのそれぞれの弁２３しか概略的に示していないが、圧力室の各ポートにそれぞれの弁が設けられることは言うまでもない。

空気が圧縮性であることを考慮するために、アクチュエータ１は、圧力室内の圧力、及び／又はセンサ（図示せず）によって測定された前記空気圧式アクチュエータ（１）の前記ピストン（５）によって生じる力に基づくフィードフォワード制御を通じて制御することができる。

以下、図４〜図７を参照して、本発明によるアクチュエータの例示的な実施形態をさらに詳細に説明する。

図４は、空気圧式アクチュエータ１の断面斜視図である。

この例示的な実施形態では、ピストンが、３つの部品５ａ〜５ｃで構成される。

この例示的な実施形態においても、部品５ａ〜５ｃで構成されるピストンは、作動空間を２つの圧力室４ａ、４ｂに分割する。

スペーサ１０ａは、板ばね９ａ及び膜１２ａをピストンにクランプ留めする。

言うまでもなく、圧力室４ａと鏡面対称に配置された下側の圧力室も同様に構成される。

図５は、図４に示すアクチュエータの分解図である。

ここでは、ハウジング（図４の２）の２つの部品が互いに分離され、３つの部品（図４の５ａ〜５ｃ）で構成されたピストン５が見て取れる。

ピストン５は、横方向外向きに突出する３つの拡張部８ａ〜８ｃを有し、これらの拡張部は、この例示的な実施形態ではピストン５の円周まわりにそれぞれ１２０°の間隔で分布することが分かる。

図６は、上側ハウジング部分及びピストンを省略したさらなる分解図である。

ここでは、特にピストンに板ばね９ｂ及び膜１２ｂを取り付けるために使用されるスペーサ１０ｂが見て取れる。

板ばね９ｂは、実質的に円形の形状を有し、内側リング及び外側リングを備える。

図７には、上述したアクチュエータ１を示しており、ここではアクチュエータ１の作用方向に対して垂直の防振性をもたらす役割を果たす３つのそれぞれの屈曲バー１４ａ〜１４ｃが両側に取り付けられている。

アクチュエータのハウジング２からは、拡張部８ｂが横方向外向きに突出していることが分かる。

ハウジング内部には、屈曲ロッド１４ａ及び１４ｃの拡張部が位置する。従って、ハウジングには、屈曲ロッド１４ａ及び１４ｃを通す２つのボアが設けられる。

図８は、能動的防振のために図４〜図７に示すアクチュエータ１を取り付けた防振装置１８の斜視図である。

本明細書に示すアクチュエータ１は、水平方向に補償力を生じるために使用される。

防振装置１８は、防振を目的として好ましくは垂直方向及び水平方向の両方に効果的なばねを収容するハウジング２８を備える。このばねは、空気ばね（図示せず）として構成されることが好ましい。

ハウジング２８は、地面への接続を提供する基部２６に接続される。

上部２７は、ばね上に防振的に支持され、防振すべき負荷への結合に使用される。

アクチュエータ１は、ハウジング２８に取り付けられる。

上部２７は、屈曲ロッド１４ａ、１４ｂが取り付けられるブラケット２９を有する。

屈曲ロッド１４ａ〜１４ｃは、防振される負荷である上部をアクチュエータ１に結合する。

とりわけ、ここでは拡張部８ｂに接続された屈曲ロッド１４ｂが見て取れる。

屈曲ロッド１４ａ〜１４ｃは、ねじ３０によって予め組み込まれる。

アクチュエータの動作中、屈曲ロッド１４ａ〜１４ｃは、張力のみによって負荷を加えられ、防振的に支持された負荷からアクチュエータ１を垂直方向に分離する。

防振装置１８は、垂直方向に効果的なさらなるアクチュエータ１（図示せず）をさらに含むことが好ましいと理解されるであろう。

本発明は、大きな力を生じることができる、磁気アクチュエータとの置換に特に適したコンパクトなアクチュエータを提供することができる。

１ 空気圧式アクチュエータ
２ ハウジング
３ 作動空間
４ａ、４ｂ 圧力室
５ ピストン
５ａ〜５ｃ 部品
６ 間隙
７ 内面
８、８ａ〜８ｃ 拡張部
９ａ、９ｂ 板ばね
１０ａ、１０ｂ スペーサ
１１ 開口部
１２ａ、１２ｂ 膜
１３ａ、１３ｂ ポート
１４ａ〜１４ｃ 屈曲ロッド
１５ 負荷
１６ 防振システム
１７ テーブル
１８ 防振装置
１９ 床
２０ センサ
２１ センサ
２２ 制御装置
２３ 弁
２４ 軸
２５ 外壁
２６ 基部
２７ 上部
２８ ハウジング
２９ ブラケット
３０ ねじ

Claims (16)

1. とりわけ固定防振システム（１６）のために構成された空気圧式アクチュエータ（１）であって、ピストン（５）を含む作動空間（３）を備え、前記ピストン（５）は、前記作動空間を第１の圧力室（４ａ）と第２の圧力室（４ｂ）とに分割し、前記ピストン（５）は、前記作動空間（３）の内面（７）から間隙（６）によって離間し、前記ピストン（５）は、軸方向にのみ移動可能であり、
   前記ピストン（５）は、互いに間隔を空けた少なくとも２つの板ばね（９ａ、９ｂ）によって前記軸方向に導かれることを特徴とする、空気圧式アクチュエータ（１）。
2. 前記板ばね（９ａ、９ｂ）は、圧力室（４ａ、４ｂ）内に締結される、請求項１に記載の空気圧式アクチュエータ（１）。
3. 前記第１の圧力室（４ａ）内に１つの板ばね（９ａ）が配置され、前記第２の圧力室（４ｂ）内に別の板ばね（９ｂ）が配置される、請求項１又は２に記載の空気圧式アクチュエータ（１）。
4. 前記第１の圧力室（４ａ）及び前記第２の圧力室（４ｂ）は、それぞれ膜（１２ａ、１２ｂ）によって密封される、請求項１から３のいずれか１項に記載の空気圧式アクチュエータ（１）。
5. 前記膜（１２ａ、１２ｂ）は、前記ピストン（５）にわたる、請求項４に記載の空気圧式アクチュエータ（１）。
6. 前記ピストン（５）は、前記圧力室（４ａ、４ｂ）内に突出するそれぞれのスペーサ（１０ａ、１０ｂ）を通じて前記板ばね（９ａ、９ｂ）に接続される、請求項２から５のいずれか１項に記載の空気圧式アクチュエータ（１）。
7. 前記ピストン（５）は、前記作動空間（３）の外壁（２５）から外に突出する少なくとも１つの拡張部（８）を有する、請求項１から６のいずれか１項に記載の空気圧式アクチュエータ（１）。
8. 前記ピストン（５）は、複数の横方向に突出する拡張部（８）を有する、請求項１から７のいずれか１項に記載の空気圧式アクチュエータ（１）。
9. 前記ピストン（５）は、少なくとも３つの横方向に突出する拡張部（８）を有する、請求項１から８のいずれか１項に記載の空気圧式アクチュエータ（１）。
10. 前記空気圧式アクチュエータ（１）は、前記軸方向に対して横向きに防振性を加える手段を備える、請求項１から９のいずれか１項に記載の空気圧式アクチュエータ（１）。
11. 前記ピストン（５）は、防振すべき負荷（１５）又は基部に、少なくとも１つの屈曲ロッド（１４ａ〜１４ｃ）、屈曲ペンデュラム、ケーブル又はワイヤを介して接続される、請求項１から１０のいずれか１項に記載の空気圧式アクチュエータ（１）。
12. 前記軸方向に対して横向きに防振性を加える前記手段は、前記作動空間（３）の外部に配置される、請求項１０に記載の空気圧式アクチュエータ（１）。
13. 前記ピストン（５）は、前記防振すべき負荷（１５）又は前記基部に、前記ピストン（５）の円周まわりに分布する複数の屈曲ロッド（１４ａ〜１４ｃ）、屈曲ペンデュラム、ケーブル又はワイヤを介して接続される、請求項１１に記載の空気圧式アクチュエータ（１）。
14. 防振システム（１６）のための防振装置（１８）であって、請求項１から１３のいずれか１項に記載の少なくとも空気圧式アクチュエータ（１）を少なくとも２つ備え、該少なくとも２つの空気圧式アクチュエータ（１）は、異なる方向に効果的である、防振装置（１８）。
15. 能動的防振システム（１６）であって、請求項１から１４のいずれか１項に記載の空気圧式アクチュエータ（１）を含む、能動的防振システム（１６）。
16. 請求項１から１５のいずれか１項に記載の能動的防振システム（１６）の動作方法であって、
    少なくとも１方向に効果的な空気圧式アクチュエータの作動空間（３）内の圧力を制御する弁（２３）に接続された制御装置（２２）によって前記空気圧式アクチュエータ（１）を駆動するステップと、
    前記空気圧式アクチュエータ（１）の前記ピストン（５）によって生じる力、及び／又は前記空気圧式アクチュエータ（１）の圧力室（４ａ、４ｂ）内の圧力を測定するステップと、
    前記制御装置（２２）が、前記圧力室（４ａ、４ｂ）内の流体の非線形特性を考慮して前記空気圧式アクチュエータ（１）を制御するステップと、
    を含む方法。

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