JP6953189B2 - 基板処理装置 - Google Patents
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Description
請求項7に記載の発明は、基板を処理する基板処理装置であって、チャンバと、前記チャンバ内において基板を保持する基板保持部と、前記基板に処理液を供給する処理液供給部と、前記基板に供給された前記処理液を前記チャンバの外部へと導く排液管と、前記排液管に接続され、前記排液管における前記処理液の流れが滞った際に、前記排液管内の前記処理液が導かれる臨時排液部と、前記臨時排液部における前記処理液の存否を検出する液検出部とを備え、前記臨時排液部が、前記排液管から分岐点にて直接的に分岐して上方へと延びる分岐配管を備え、前記分岐配管が、前記排液管の前記分岐点よりも上方に位置する合流点にて前記排液管に合流する。
請求項8に記載の発明は、請求項7に記載の基板処理装置であって、前記臨時排液部が、前記分岐配管に接続されて前記分岐配管内のガスを送出するガス送出部をさらに備える。
請求項9に記載の発明は、基板を処理する基板処理装置であって、チャンバと、前記チャンバ内において基板を保持する基板保持部と、前記基板に処理液を供給する処理液供給部と、前記基板に供給された前記処理液を前記チャンバの外部へと導く排液管と、前記排液管に接続され、前記排液管における前記処理液の流れが滞った際に、前記排液管内の前記処理液が導かれる臨時排液部と、前記臨時排液部における前記処理液の存否を検出する液検出部とを備え、前記処理液供給部が、前記基板に複数種類の処理液を個別に供給し、前記基板処理装置が、前記チャンバの外部にて前記排液管に接続され、前記複数種類の処理液の送液先を切り替える切り替えバルブをさらに備え、前記臨時排液部が、前記チャンバと前記切り替えバルブとの間にて前記排液管に接続される。
5 処理液供給部
9 基板
11 チャンバ
31 基板保持部
61,61b,61c 共通排液管
62 切り替えバルブ
64 液検出部
65,65a,65b,65c 臨時排液部
81 処理液
91 (基板の)上面
614,615 分岐継手
651 受液部
652,652a,652b,652c 臨時排液管
659 ガス送出部
J1 中心軸
Claims (9)
- 基板を処理する基板処理装置であって、
チャンバと、
前記チャンバ内において基板を保持する基板保持部と、
前記基板に処理液を供給する処理液供給部と、
前記基板に供給された前記処理液を前記チャンバの外部へと導く排液管と、
前記排液管に接続され、前記排液管における前記処理液の流れが滞った際に、前記排液管内の前記処理液が導かれる臨時排液部と、
前記臨時排液部における前記処理液の存否を検出する液検出部と、
を備え、
前記臨時排液部は、前記排液管から導かれた前記処理液を一時的に貯溜可能である一時貯溜部を備え、
前記一時貯溜部は、前記チャンバの外部に配置され、
前記液検出部は、前記一時貯溜部の下流において、前記処理液の存否を検出することを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置であって、
前記臨時排液部が、前記排液管から分岐点にて直接的に分岐して上方へと延びる分岐配管を備えることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項2に記載の基板処理装置であって、
前記分岐配管が、前記排液管の前記分岐点よりも上方に位置する合流点にて前記排液管に合流することを特徴とする基板処理装置。 - 請求項3に記載の基板処理装置であって、
前記臨時排液部が、前記分岐配管に接続されて前記分岐配管内のガスを送出するガス送出部をさらに備えることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1ないし4のいずれかに記載の基板処理装置であって、
前記処理液が、固体の溶質を溶媒に溶かした溶液を含むことを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1ないし5のいずれかに記載の基板処理装置であって、
前記処理液供給部が、前記基板に複数種類の処理液を個別に供給し、
前記基板処理装置が、前記チャンバの外部にて前記排液管に接続され、前記複数種類の処理液の送液先を切り替える切り替えバルブをさらに備え、
前記臨時排液部が、前記チャンバと前記切り替えバルブとの間にて前記排液管に接続されることを特徴とする基板処理装置。 - 基板を処理する基板処理装置であって、
チャンバと、
前記チャンバ内において基板を保持する基板保持部と、
前記基板に処理液を供給する処理液供給部と、
前記基板に供給された前記処理液を前記チャンバの外部へと導く排液管と、
前記排液管に接続され、前記排液管における前記処理液の流れが滞った際に、前記排液管内の前記処理液が導かれる臨時排液部と、
前記臨時排液部における前記処理液の存否を検出する液検出部と、
を備え、
前記臨時排液部が、前記排液管から分岐点にて直接的に分岐して上方へと延びる分岐配管を備え、
前記分岐配管が、前記排液管の前記分岐点よりも上方に位置する合流点にて前記排液管に合流することを特徴とする基板処理装置。 - 請求項7に記載の基板処理装置であって、
前記臨時排液部が、前記分岐配管に接続されて前記分岐配管内のガスを送出するガス送出部をさらに備えることを特徴とする基板処理装置。 - 基板を処理する基板処理装置であって、
チャンバと、
前記チャンバ内において基板を保持する基板保持部と、
前記基板に処理液を供給する処理液供給部と、
前記基板に供給された前記処理液を前記チャンバの外部へと導く排液管と、
前記排液管に接続され、前記排液管における前記処理液の流れが滞った際に、前記排液管内の前記処理液が導かれる臨時排液部と、
前記臨時排液部における前記処理液の存否を検出する液検出部と、
を備え、
前記処理液供給部が、前記基板に複数種類の処理液を個別に供給し、
前記基板処理装置が、前記チャンバの外部にて前記排液管に接続され、前記複数種類の処理液の送液先を切り替える切り替えバルブをさらに備え、
前記臨時排液部が、前記チャンバと前記切り替えバルブとの間にて前記排液管に接続されることを特徴とする基板処理装置。
Applications Claiming Priority (2)
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JP2016116916 | 2016-06-13 | ||
JP2016116916 | 2016-06-13 |
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Family Applications (1)
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JP2017109867A Active JP6953189B2 (ja) | 2016-06-13 | 2017-06-02 | 基板処理装置 |
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