JP6939950B1 - 検査装置および検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】網目構造の目詰まり等を適切に検査できる技術を提供する。【解決手段】網目構造を有する板状の物体を鉛直方向に直立した状態で保持する保持部と、網目構造を撮像する撮像部と、物体と撮像部との相対位置を移動させる移動機構と、撮像部が撮像した画像を解析して網目構造の状態を判定する処理部と、を有する検査装置。【選択図】図１

Description

本発明は、検査装置および検査方法に関する。

物体が有する網目構造により、粉体の分級が行われることがある（例えば特許文献１参照）。

特開２０１０−０６４０４９号公報

しかし、網目構造に目詰まり等が生じると、粉体の正確な分級を行えないおそれがある。本発明の目的は、網目構造の目詰まり等を適切に検査できる技術を提供することである。

本発明の一態様によれば、
網目構造を有する板状の物体を鉛直方向に直立した状態で保持する保持部と、
前記網目構造を撮像する撮像部と、
前記物体と前記撮像部との相対位置を移動させる移動機構と、
前記撮像部が撮像した画像を解析して前記網目構造の状態を判定する処理部と、
を有する検査装置が提供される。

本発明の他の態様によれば、
網目構造を有する板状の物体を鉛直方向に直立した状態で保持する工程と、
前記網目構造を撮像する工程と、
前記物体と撮像部との相対位置を移動させる工程と、
前記撮像部が撮像した画像を解析して前記網目構造の状態を判定する工程と、
を有する検査方法が提供される。

本発明によれば、網目構造の目詰まり等を適切に検査できる技術を提供することができる。

図１は、本発明の一実施形態に係る検査装置の概略構成図である。 図２は、本発明の一実施形態に係る検査装置の要部の構成例を示す斜視図である。 図３は、本発明の一実施形態に係る検査装置におけるクランプ台の拡大図である。 図４は、本発明の一実施形態に係る検査装置の要部の構成例を示す模式図である。 図５は、本発明の一実施形態に係る検査方法の一例を示すフローチャートである。

＜物体の構成例＞
例えば、粉体の製造工程では、その一工程において、所定の粒径の原料粉体の分級が行われる。分級は、例えば、図２に示すように、篩として機能する網目構造３００を有する板状の物体（以下、「フランジ２００」と称する場合がある。）を用いて行われる。しかし、網目構造３００に目詰まり等が生じると、原料粉体の分級を良好に行えなくなってしまう。このため、網目構造３００の状態（目詰まり等）を定期的に検査する必要がある。

フランジ２００は、例えば、図３に示すように、円形の枠１と、枠１よりも径の小さい同心円の枠２と、を有している。フランジ２００は、枠１に網本体（網目構造３００）を張り付けた後、枠１を合成樹脂により構成された部材で覆って形成されている。枠１，２は、金属材料により構成されている。網目構造３００は、金属繊維により構成されている。フランジ２００の直径は、０．７〜１．０ｍであり、網目構造３００の網目は、５０〜６３５メッシュである。

このように、フランジ２００は大きいので、検査の際、フランジ２００を検査装置にセットするのに作業者に大きな負担がかかってしまう。また、フランジ２００の網目構造３００が水平姿勢になるようにセットすると、網目構造３００が撓んでしまう。本実施形態の検査装置は、フランジ２００の網目構造３００の状態を適切に検査するために構成されている。

＜本発明の一実施形態＞
以下に、本発明の一実施形態について、図面を用いて説明する。

（１）検査装置の構成例
本実施形態の検査装置１００は、図１に示すように、例えば、直立した状態の物体としてのフランジ２００について、そのフランジ２００が有する網目構造３００の状態を判定するように構成されている。本明細書において、フランジ２００が直立した状態とは、フランジ２００が有する網目構造３００の面が鉛直方向に沿って起立して配置された状態のことをいう。

このようなフランジ２００の網目構造３００の状態を判定するために、検査装置１００は、保持部１０と、撮像部１１と、光源１２と、移動機構１３と、処理部１４と、を有して構成されている。

本明細書において、鉛直方向をＺ方向とし、フランジ２００の面内方向において、Ｚ方向に直交する方向をＸ方向とし、フランジ２００の面内方向と直交する方向をＹ方向とする。ここで、フランジ２００の面内方向とは、フランジ２００の平面内の方向、すなわち、フランジ２００の平面に沿った方向のことである。

図２に示すように、保持部１０は、フランジ２００を鉛直方向（Ｚ方向）に直立した状態で保持するように構成されている。保持部１０は、クランプ台Ａとしてのクランプ台２０と、クランプ台Ｂとしてのクランプ台３０と、を有している。具体的には、保持部１０は、２つのクランプ台２０と、１つのクランプ台３０と、を有しており、クランプ台３０は、２つのクランプ台２０の間に位置するように設けられている。図３と図４に示すように、クランプ台２０は、後述するトグルクランプ５とは別に、フランジ２００の枠２の外周端を支える支持面Ｓを有している。支持面Ｓ上に枠２の外周端を載置することにより、フランジ２００のＺ方向位置を確定することができる。このような２つのクランプ台２０を離間した２か所に配置することにより、２つのクランプ台２０に保持されるフランジ２００の中心位置が決定される。クランプ台２０と同様に、クランプ台３０も、図３と図４に示すように、支持面Ｔを有している。ただし、上述したように、２つのクランプ台２０の支持面Ｓ上に、フランジ２００の枠２の外周端を載置することにより、フランジ２００のＺ方向位置を確定することができる。従って、クランプ台３０の支持面Ｔでフランジ２００の枠２を保持する必要はなく、クランプ台３０の支持面Ｔは、フランジ２００の枠２の外周端からＺ方向に、例えば、０．１〜５ｍｍの隙間を空けて位置するように配置されている。

図３と図４に示すように、クランプ台２０には、クランプゴム２１と、クランプレバー２２と、を有するトグルクランプ５が設けられている。クランプレバー２２を操作することにより、クランプゴム２１がフランジ２００の枠１近傍を把持するクランプ状態と、クランプゴム２１がフランジ２００を把持しない非クランプ状態とを切り替えるように構成されている。また、クランプ台２０において、トグルクランプ５は、支点を中心に揺動するアーム２４の揺動端側に取り付けられており、アーム２４に連結するアーム２３のノブ２５を操作してアーム２３を矢印Ａ方向に移動させると、アーム２４が矢印Ｂ方向に移動するように構成されている。同様に、アーム２３を矢印Ｃ方向に移動させると、アーム２４が矢印Ｄ方向に移動するように構成されている。これにより、クランプ台２０は、クランプ位置、すなわち、フランジ２００の枠２の外周端を支える支持面Ｓの位置と、クランプゴム２１がフランジ２００を把持する位置と、を変更することができるので、異なる大きさのフランジ２００に対応することが可能となる。

図４に示すように、クランプ台３０は、主として、クランプゴム２６と、クランプレバー２７と、を有するトグルクランプ６が設けられている。クランプ台２０と同様に、クランプレバー２７を操作することにより、クランプ状態と非クランプ状態とを切り替えるように構成されている。クランプ台３０は、フランジ２００の面内方向と直交する方向（Ｙ方向）の位置を規定するように構成されている。また、上述したように、クランプ台２０とクランプ台３０は、Ｙ方向の位置が揃うように、Ｘ方向に沿って一列に配置されている。これらにより、クランプ台３０は、フランジ２００をＹ方向に傾かないように保持することができる。

以上のように、本実施形態では、フランジ２００をＺ方向に直立させて保持部１０に保持させることができるので、フランジ２００をＸ方向に平置きする場合よりもフランジ２００の設置面積を小さくすることができる。これにより、検査装置１００を小型化することができる。また、フランジ２００をＺ方向に直立させて保持部１０に保持させることができるので、フランジ２００をＸ方向に平置きする場合に生じる網目構造３００の撓みを防止することができる。また、保持部１０にフランジ２００を保持させるときは、３つのクランプ台２０，３０にフランジ２００を仮置きし、その後、クランプレバー２２等を操作してフランジ２００を固定することができるので、少ない人数で作業をすることができる。

図１に示すように、撮像部１１は、その撮像方向が、フランジ２００の網目構造３００と直交するように配置されている。撮像部１１は、フランジ２００の網目構造３００を撮像するように構成されている。撮像部１１は、例えば、ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅｄ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ）、ＣＭＯＳ（Ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ Ｍｅｔａｌ Ｏｘｉｄｅ Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）等のイメージセンサを有するカメラを用いることができる。撮像部１１は、撮像部１１（カメラ）に備えられた不図示のレンズが集光した光を、不図示のイメージセンサによって電気信号に変換することにより、網目構造３００を撮像することができる。なお、本明細書において、撮像方向とは、撮像部１１がフランジ２００を撮像する方向であり、撮像部１１の光軸方向と言い換えることができる。

光源１２は、フランジ２００を挟んで撮像部１１と向かい合う位置に配置されており、後述する第１移動機構４３により、撮像部１１と一緒に移動するように構成されている。光源１２は、撮像方向に平行な光を照射するように構成されている。光源１２が照射した光は、網目構造３００越しに撮像部１１に入射する。光源１２としては、例えば、狭指向角タイプのＬＥＤを用いることができる。また、光源１２は、光源１２が照射する光を平行光化するコリメータレンズを有していてもよい。

移動機構１３は、固定されたフランジ２００（網目構造３００）に対して、撮像部１１の位置を移動させるように構成されている。図１に示すように、移動機構１３は、第１移動機構４３と第２移動機構５３とを有している。第１移動機構４３は、撮像部１１と光源１２とを一緒にＺ方向に移動するように構成されている。第２移動機構５３は、撮像部１１と光源１２とを一緒にＸ方向に移動するように構成されている。具体的には、第２移動機構５３は、撮像台１５上、光源台１６上にそれぞれ配置されており、それぞれの第２移動機構５３上には、第１移動機構４３がそれぞれ配置されている。すなわち、第２移動機構５３は、第１移動機構４３をＸ方向に移動させることにより、間接的に撮像部１１と光源１２とをＸ方向に移動させることができるように構成されている。このように、第２移動機構５３が、撮像部１１と光源１２とをＸ方向に移動させつつ、第１移動機構４３が、撮像部１１と光源１２とをＺ方向に移動させるようことができる。第１移動機構４３と第２移動機構５３とは、それぞれ、電動モータや送りネジ等を組み合わせて構成することができる。

処理部１４は、撮像部１１から送信された画像を解析して、網目構造３００の状態を判定する。そのために、処理部１４は、例えば、撮像部１１と、光源１２と、移動機構１３と、データを送受信可能なように構成されており、これらの各部へ動作指示を送信するとともに、撮像部１１から撮像画像を受信するようになっている。これにより、処理部１４は、撮像部１１が網目構造３００のどの部分を撮像しているかを把握しつつ、撮像部１１から送信された画像の解析を行うことができる。このような処理部１４としては、例えば、所定のプログラムを必要に応じて実行するコンピュータを用いることができる。なお、処理部１４が行う画像解析については、詳細を後述する。

（２）検査装置を用いた検査方法
本実施形態の検査装置１００を用いたフランジ２００が有する網目構造３００の状態の検査方法について説明する。

図５は、本実施形態の検査方法の一例を示すフローチャートである。本実施形態の検査方法は、例えば、設定工程Ｓ１０１と、移動・撮像工程Ｓ１０２と、撮像判断工程Ｓ１０３と、処理工程Ｓ１０４と、を有する。

以下の説明では、第１移動機構４３の移動方向であるＺ方向を上下方向とし、Ｙ方向を前後方向とし、第２移動機構５３の移動方向であるＸ方向を左右方向とする。また、上下方向の一方側であるＺ１方向側を「上」側とし、上下方向の他方側であるＺ２方向側を「下」側とする。左右方向の一方側であるＸ１方向側を「右」側とし、左右方向の他方側であるＸ２方向側を「左」側とする。前後方向の一方側であるＹ１方向側を「前」側とし、前後方向の他方側であるＹ２方向側を「後ろ」側とする（図２参照）。

（設定工程Ｓ１０１）
設定工程Ｓ１０１では、保持部１０（クランプ台２０，３０）を用いてフランジ２００を保持する。具体的には、図２に示すように、フランジ２００（網目構造３００）が直立した状態となるように、フランジ２００を保持部１０に保持させる。このように保持部１０を用いることにより、フランジ２００を前後に傾かないように保持することができる。フランジ２００の保持部１０への設置は、検査装置１００の操作者（作業者）が行うようにすればよいが、専用の搬送ロボットを用いて行うようにしてもよい。

（移動・撮像工程Ｓ１０２）
移動・撮像工程Ｓ１０２では、まず、フランジ２００のＸ１方向右端における接線と、フランジ２００のＺ１方向上端における接線と、のＸＺ平面上での交点Ｐと対応する位置（以下、「開始位置」と称する場合がある。）に、撮像部１１と光源１２とを移動機構１３により移動させる。そして、開始位置において撮像部１１を用いて撮像をした後、移動機構１３によるフランジ２００に対する撮像部１１の位置移動と、撮像部１１による撮像と、を繰り返し行う。

具体的には、開始位置において、撮像部１１により所定の領域を撮像した後、第１移動機構４３により撮像部１１と光源１２とをＺ２方向（下側）へ所定の距離だけ移動させて、撮像部１１によりフランジ２００（網目構造３００）についての撮像を行う。これらの動作を、撮像部１１と光源１２とがフランジ２００のＺ２方向の下端に到達するまで繰り返す。

撮像部１１と光源１２とがフランジ２００のＺ２方向の下端に到達したら、第２移動機構５３により撮像部１１と光源１２とをＸ２方向（左側）へ所定の距離だけ移動させる。そして、撮像部１１により所定の領域を撮像した後、第１移動機構４３により撮像部１１と光源１２とをＺ１方向（上側）へ所定の距離だけ移動させて、撮像部１１によりフランジ２００についての撮像を行う。これらの動作を、撮像部１１と光源１２とがフランジ２００のＺ１方向の上端に到達するまで繰り返す。以上の動作を動作Ａと称する。

撮像部１１と光源１２とがフランジ２００のＺ１方向の上端に到達したら、第２移動機構５３により撮像部１１と光源１２とをさらにＸ２方向（左側）へ所定の距離だけ移動させる。そして、撮像部１１により所定の領域を撮像した後、第１移動機構４３により撮像部１１と光源１２とをＺ２方向（下側）へ所定の距離だけ移動させて、撮像部１１によりフランジ２００についての撮像を行う。これらの動作を、撮像部１１と光源１２とがフランジ２００のＺ２方向の下端に到達するまで繰り返す。以上の動作を動作Ｂと称する。

上述した動作Ａ，Ｂを、例えば、フランジ２００のＸ２方向左端における接線と、フランジ２００のＺ２方向下端における接線と、のＸＺ平面上での交点Ｑと対応する位置（以下、「終了位置」と称する場合がある。）に、撮像部１１と光源１２とが移動機構１３により移動されるまで繰り返す。これにより、撮像部１１は、網目構造３００のＸＺ平面の全域を隈なく撮像することができる。

つまり、移動機構１３（第１移動機構４３と第２移動機構５３）は、直交二軸駆動なので、その動作範囲が矩形状となるが、その動作範囲の矩形内にフランジ２００の円形状の外周端が内包されていれば、撮像部１１がフランジ２００（網目構造３００）の全域を隈なく撮像することができる。その場合に、本実施形態のように、移動機構１３の動作範囲（矩形状）をフランジ２００（円形状）に外接するようにすることで、移動機構１３の動作範囲を最も小さくできる。

（撮像判断工程Ｓ１０３）
撮像判断工程Ｓ１０３では、撮像部１１が網目構造３００の全域を隈なく撮像したか否かを判断する。具体的には、例えば、処理部１４が撮像部１１から受信した網目構造３００の撮像画像の部分データ（矩形領域）を合成して、網目構造３００の全体画像を構成することができるか否かを判断する。網目構造３００の全体画像を構成できる判断した場合は、次の処理工程Ｓ１０４に進む。網目構造３００の全体画像を構成できないと判断した場合は、移動・撮像工程Ｓ１０２を再び行う。

（処理工程Ｓ１０４）
処理工程Ｓ１０４では、撮像部１１から送信された画像を解析して、網目構造３００の状態を判定する。具体的には、合成した矩形領域を構成する各画素のデータを解析する。例えば、各画素のデータの値の範囲を「０〜１００」とし、フランジ２００によって遮られない部分（例えば開始位置）の値を「９５以上」、フランジ２００の枠部によって完全に遮られる部分の値を「５未満」とすると、「９５」と「５」の境界を抽出することでフランジ２００の外周端縁を認識することができる。そして、フランジ２００の領域内で、「５未満」の部分（枠部）を除く範囲が網目構造３００の領域である。その網目構造３００の領域内で、所定の範囲（例えば「４０〜７０」）内であれば網目構造３００に目詰まりも穴開きもない状態と判定し、当該所定の範囲未満であれば網目構造３００に目詰まりが生じている状態と判定し、当該所定の範囲を超えていれば網目構造３００に穴があいている状態と判定する。

（３）本実施形態に係る効果
本実施形態によれば、以下に示す１つまたは複数の効果を奏する。

（ａ）本実施形態の処理部１４は、撮像部１１が撮像した画像を解析して網目構造３００の状態を判定するように構成されている。具体的には、処理部１４は、撮像部１１から送信された画像の構成データを、予め設定された判定基準と対比することにより、網目構造３００の状態（例えば、正常状態、目詰まり状態、穴あき状態のいずれに該当するか）を判定する。これにより、人為的な判定のバラツキやフランジ２００のサイズ違い等の影響を排除しつつ定量的な判定を行うことが可能となる。このように、判定の定量化によって検査の適切化を図ることができる。

また、本実施形態の保持部１０は、フランジ２００を鉛直方向に直立した状態で保持するように構成されているので、フランジ２００をＸ方向に平置きする場合よりもフランジ２００の設置面積を小さくすることができる。これにより、検査装置１００を小型化することができる。このように検査装置１００を小型化することにより、検査スペースの省スペース化を図る場合であっても、検査を適切に行うことができる。

本実施形態の保持部１０は、フランジ２００を鉛直方向に直立した状態で保持するように構成されている。これにより、フランジ２００の撮像中に、フランジ２００に付着した粉体が撮像部１１や光源１２に落下するおそれがない。従って、処理部１４は、光源１２等に落下した粉体の影響を受けずに正確な画像解析を行うことができるので、網目構造３００の検査を高精度に行うことができる。また、フランジ２００の撮像中に、撮像部１１や光源１２の清掃を頻繁に行う必要がないので、検査を効率よく行うことができる。このような高精度化や効率化等によっても、検査の適切化を図ることができる。

本実施形態の保持部１０は、フランジ２００を鉛直方向に直立した状態で保持するように構成されているので、フランジ２００をＸ方向に平置きする場合に生じる網目構造３００の撓みを防止することができる。結果として、高精度の検査、検査の効率化を実現することができ、検査の適切化を図る上で非常に有用である。

本実施形態の移動機構１３は、フランジ２００と撮像部１１との相対位置を移動させるように構成されている。これにより、フランジ２００を領域ごとに撮像することができ、フランジ２００の全域を一度に撮像しなくてもよいので、フランジ２００の全域が一つの画角内に収まるように、撮像部１１の光学系を設定する必要がない。従って、必要以上に高解像度の撮像部１１を用いる必要はなく、簡素かつ低コストの構成の撮像部１１により検査を行うことができる。このように、簡素かつ低コストの構成の撮像部１１を用いる場合であっても、検査を適切に行うことができる。

（ｂ）本実施形態の保持部１０は、２つのクランプ台２０と１つのクランプ台３０とを有している。従って、保持部１０にフランジ２００を保持させるときは、３つのクランプ台２０，３０にフランジ２００を仮置きし、その後、クランプレバーを操作してフランジ２００を固定することができるので、作業の少人数化を図ることができる。

また、本実施形態の２つのクランプ台２０は、クランプ位置を変更可能に構成されているので、検査装置１００は、異なる大きさのフランジ２００にも対応することができる。

（ｃ）本実施形態のクランプ台３０は、フランジ２００の面内方向と直交する方向（Ｙ方向）の位置を規定するように構成されている。これにより、フランジ２００をＹ方向に傾かないように保持することができ、フランジ２００と撮像部１１との距離を一定に保つことができるので、網目構造３００の検査を高精度に行うことができ、検査を適切に行う上で非常に有用である。

（ｄ）本実施形態の第１移動機構４３は、撮像部１１と光源１２とを一緒にＺ方向に移動するように構成されており、第２移動機構５３は、撮像部１１と光源１２とを一緒にＸ方向に移動するように構成されている。このように、移動機構１３（第１移動機構４３と第２移動機構５３）は、直交二軸駆動であり、第１移動機構４３と第２移動機構５３との動作を繰り返すことにより、撮像部１１は、フランジ２００（網目構造３００）の全域を隈なく撮像することができる。また、比較的サイズの大きいフランジ２００を移動させずに、比較的サイズの小さい撮像部１１と光源１２を移動させるように構成されているので、検査装置１００の構成をより簡素にすることができる。このように、簡素な構成の検査装置１００を用いる場合であっても、検査を適切に行うことができる。

（ｅ）本実施形態の検査装置１００は、フランジ２００を挟んで撮像部１１と対向する位置で、フランジ２００に対して光を照射する光源１２を有している。これにより、網目構造３００の画像に表された光の量に基づいて、網目構造３００の状態を判定することができる。すなわち、網目構造３００の画像のパターン認識や形状解析等を要することなく、画像の輝度（明度）データのみで、網目構造３００の状態を定量的に判定することができる。結果として、検査の効率化を実現することができ、このことは、検査の適切化を図る上で非常に有用である。

（ｆ）本実施形態の検査装置１００は、粉体を分級する篩（フランジ２００）を検査するように構成されている。検査装置１００により、フランジ２００の交換時期を明確に判断することができ、正確な粉体の分級を実現することができる。

＜本発明の他の実施形態＞
以上、本発明の実施形態について具体的に説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。

上述の実施形態では、光源１２を有する検査装置１００を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、光源１２を有しない検査装置１００を用いてもよい。但し、フランジ２００を挟んで撮像部１１と対向する位置に配置された光源１２を有する方が、網目構造３００の画像に表された光の量のみに基づいて、定量的に網目構造３００の状態を判定することができ、検査の適切化を図る上で有用である。

また、上述の実施形態では、第１移動機構４３により、撮像部１１と光源１２とをＺ方向に移動させ、第２移動機構５３により、撮像部１１と光源１２とをＸ方向に移動させる場合について説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、第１移動機構４３により、撮像部１１と光源１２とを、Ｚ方向以外のフランジ２００の面内方向の一方向に移動させ、第２移動機構５３により、撮像部１１と光源１２とを当該一方向と直交する方向に移動させるようにしてもよい。この場合においても、撮像部１１は、フランジ２００（網目構造３００）の全域を隈なく撮像することができる。

また、上述の実施形態では、固定されたフランジ２００（網目構造３００）に対し、移動機構１３により、撮像部１１と光源１２とをＸ方向とＺ方向に移動させる場合について説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、所定の移動機構により、フランジ２００をＸ方向に移動させ、第１移動機構４３により、撮像部１１と光源１２とをＺ方向に移動させるようにしてもよい。また、所定の２つの移動機構により、フランジ２００をＸ方向とＺ方向にそれぞれ移動させるように構成させるようにしてもよい。これらの場合においても、撮像部１１は、フランジ２００（網目構造３００）の全域を隈なく撮像することができる。

また、上述の実施形態では、撮像部１１の撮像開始点を交点Ｐとし、撮像部１１の撮像終了点を交点Ｑする場合について説明したが、本発明はこれに限定されない。撮像開始点と撮像終了点は、検査対象であるフランジ２００の交点Ｐ，Ｑよりも外方側にあれば特に限定されない。従って、例えば、予め検査対象となるフランジ２００のうち、最もサイズの大きいフランジ２００に合わせて撮像開始点と撮像終了点の設定しておくことで、サイズの異なるフランジ２００を検査するたび毎にこれらを設定し直す必要がない。これにより、効率的に検査をすることができ、検査の適切化を図る上で有用である。一方、サイズの異なるフランジ２００毎に対応する移動機構１３の動作範囲を設定し、移動機構１３の無駄な動作を省くようにすることも検査の効率化につながり、検査の適切化を図る上で有用である。

また、上述の実施形態では、撮像部１１は、Ｚ方向に移動した後、停止して撮像し、その後またＺ方向に移動し、停止して撮像を繰り返す間欠動作をする場合について説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、撮像部１１は、Ｚ方向に移動しながら連写する、という連続的な動作を行うようにしてもよい。

１００ 検査装置
１ 枠
２ 枠
５ トグルクランプ
６ トグルクランプ
１０ 保持部
１１ 撮像部
１２ 光源
１３ 移動機構
１４ 処理部
１５ 撮像台
１６ 照明台
２０ クランプ台
Ｓ 支持面
Ｔ 支持面
２１ クランプゴム
２２ クランプレバー
２３ アーム
２４ アーム
２５ ノブ
２６ クランプゴム
２７ クランプレバー
３０ クランプ台
４３ 第１移動機構
５３ 第２移動機構
２００ フランジ
３００ 網目構造

Claims (7)

1. 網目構造を有する板状の物体を鉛直方向に直立した状態で保持する保持部と、
   前記網目構造を撮像する撮像部と、
   前記物体と前記撮像部との相対位置を移動させる移動機構と、
   前記撮像部が撮像した画像を解析して前記網目構造の状態を判定する処理部と、
   を有し、
   前記保持部は、複数のクランプ台を有し、
   前記複数のクランプ台のうちの少なくとも２つのクランプ台Ａは、前記物体の鉛直方向位置を確定するように構成されており、
   前記複数のクランプ台のうちの前記クランプ台Ａとは異なるクランプ台Ｂは、前記２つのクランプ台Ａの間に設けられ、前記物体の面内方向と直交する方向の位置を規定するように構成されている、
   検査装置。
2. 前記クランプ台Ａは、前記物体の大きさに応じてクランプ位置を変更可能に構成されている、
   請求項１に記載の検査装置。
3. 前記移動機構は、前記撮像部を前記物体の面内方向の一方向に移動させる第１移動機構と、前記撮像部を前記一方向と直交する方向に移動させる第２移動機構と、を有する、
   請求項１または２に記載の検査装置。
4. 前記一方向は、鉛直方向である、
   請求項３項に記載の検査装置。
5. 前記物体を挟んで前記撮像部と対向する位置で、前記物体に対して光を照射する光源をさらに有し、
   前記撮像部は、前記網目構造を通過した前記光源からの光を受光し、
   前記処理部は、前記撮像部が受光した光の量を解析して前記網目構造の状態を判定する、
   請求項１〜４のいずれか１項に記載の検査装置。
6. 前記物体は、粉体を分級する篩である、
   請求項１〜５のいずれか１項に記載の検査装置。
7. 網目構造を有する板状の物体を鉛直方向に直立した状態で保持する工程と、
   前記網目構造を撮像する工程と、
   前記物体と撮像部との相対位置を移動させる工程と、
   前記撮像部が撮像した画像を解析して前記網目構造の状態を判定する工程と、
   を有し、
   前記物体を鉛直方向に直立した状態で保持する工程では、少なくとも２つのクランプ台Ａにより、前記物体の鉛直方向位置を確定し、前記２つのクランプ台Ａの間に設けられ、前記クランプ台Ａとは異なるクランプ台Ｂにより、前記物体の面内方向と直交する方向の位置を規定する、
   検査方法。

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