JP6939950B1

JP6939950B1 - Inspection equipment and inspection method

Info

Publication number: JP6939950B1
Application number: JP2020095171A
Authority: JP
Inventors: 宏三澤; 村上　慎一; 慎一村上
Original assignee: Sumitomo Metal Mining Co Ltd
Current assignee: Sumitomo Metal Mining Co Ltd
Priority date: 2020-06-01
Filing date: 2020-06-01
Publication date: 2021-09-22
Anticipated expiration: 2040-06-01
Also published as: JP2021189053A

Abstract

【課題】網目構造の目詰まり等を適切に検査できる技術を提供する。【解決手段】網目構造を有する板状の物体を鉛直方向に直立した状態で保持する保持部と、網目構造を撮像する撮像部と、物体と撮像部との相対位置を移動させる移動機構と、撮像部が撮像した画像を解析して網目構造の状態を判定する処理部と、を有する検査装置。【選択図】図１PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a technique capable of appropriately inspecting clogging of a mesh structure or the like. SOLUTION: A holding portion for holding a plate-shaped object having a network structure in an upright state in a vertical direction, an imaging unit for imaging the network structure, a moving mechanism for moving a relative position between the object and the imaging unit, and the like. An inspection device including a processing unit that analyzes an image captured by the imaging unit and determines the state of the network structure. [Selection diagram] Fig. 1

Description

本発明は、検査装置および検査方法に関する。 The present invention relates to an inspection device and an inspection method.

物体が有する網目構造により、粉体の分級が行われることがある（例えば特許文献１参照）。 Depending on the network structure of the object, the powder may be classified (see, for example, Patent Document 1).

特開２０１０−０６４０４９号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2010-064049

しかし、網目構造に目詰まり等が生じると、粉体の正確な分級を行えないおそれがある。本発明の目的は、網目構造の目詰まり等を適切に検査できる技術を提供することである。 However, if the network structure is clogged or the like, there is a risk that the powder cannot be classified accurately. An object of the present invention is to provide a technique capable of appropriately inspecting clogging of a network structure or the like.

本発明の一態様によれば、
網目構造を有する板状の物体を鉛直方向に直立した状態で保持する保持部と、
前記網目構造を撮像する撮像部と、
前記物体と前記撮像部との相対位置を移動させる移動機構と、
前記撮像部が撮像した画像を解析して前記網目構造の状態を判定する処理部と、
を有する検査装置が提供される。 According to one aspect of the invention
A holding part that holds a plate-shaped object with a mesh structure in an upright position in the vertical direction,
An imaging unit that images the network structure and
A moving mechanism that moves the relative position between the object and the imaging unit,
A processing unit that analyzes the image captured by the imaging unit to determine the state of the network structure, and
An inspection device having the above is provided.

本発明の他の態様によれば、
網目構造を有する板状の物体を鉛直方向に直立した状態で保持する工程と、
前記網目構造を撮像する工程と、
前記物体と撮像部との相対位置を移動させる工程と、
前記撮像部が撮像した画像を解析して前記網目構造の状態を判定する工程と、
を有する検査方法が提供される。 According to another aspect of the invention
The process of holding a plate-shaped object with a mesh structure upright in the vertical direction, and
The process of imaging the network structure and
The step of moving the relative position between the object and the imaging unit, and
A step of analyzing an image captured by the imaging unit to determine the state of the network structure,
An inspection method having the above is provided.

本発明によれば、網目構造の目詰まり等を適切に検査できる技術を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a technique capable of appropriately inspecting clogging or the like of a network structure.

図１は、本発明の一実施形態に係る検査装置の概略構成図である。FIG. 1 is a schematic configuration diagram of an inspection device according to an embodiment of the present invention. 図２は、本発明の一実施形態に係る検査装置の要部の構成例を示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing a configuration example of a main part of the inspection device according to the embodiment of the present invention. 図３は、本発明の一実施形態に係る検査装置におけるクランプ台の拡大図である。FIG. 3 is an enlarged view of a clamp base in the inspection device according to the embodiment of the present invention. 図４は、本発明の一実施形態に係る検査装置の要部の構成例を示す模式図である。FIG. 4 is a schematic view showing a configuration example of a main part of the inspection device according to the embodiment of the present invention. 図５は、本発明の一実施形態に係る検査方法の一例を示すフローチャートである。FIG. 5 is a flowchart showing an example of an inspection method according to an embodiment of the present invention.

＜物体の構成例＞
例えば、粉体の製造工程では、その一工程において、所定の粒径の原料粉体の分級が行われる。分級は、例えば、図２に示すように、篩として機能する網目構造３００を有する板状の物体（以下、「フランジ２００」と称する場合がある。）を用いて行われる。しかし、網目構造３００に目詰まり等が生じると、原料粉体の分級を良好に行えなくなってしまう。このため、網目構造３００の状態（目詰まり等）を定期的に検査する必要がある。 <Example of object configuration>
For example, in the powder manufacturing process, the raw material powder having a predetermined particle size is classified in one step. For example, as shown in FIG. 2, the classification is performed using a plate-shaped object having a network structure 300 functioning as a sieve (hereinafter, may be referred to as “flange 200”). However, if the network structure 300 is clogged or the like, the raw material powder cannot be classified satisfactorily. Therefore, it is necessary to periodically inspect the state of the mesh structure 300 (clogging, etc.).

フランジ２００は、例えば、図３に示すように、円形の枠１と、枠１よりも径の小さい同心円の枠２と、を有している。フランジ２００は、枠１に網本体（網目構造３００）を張り付けた後、枠１を合成樹脂により構成された部材で覆って形成されている。枠１，２は、金属材料により構成されている。網目構造３００は、金属繊維により構成されている。フランジ２００の直径は、０．７〜１．０ｍであり、網目構造３００の網目は、５０〜６３５メッシュである。 As shown in FIG. 3, the flange 200 has, for example, a circular frame 1 and a concentric frame 2 having a diameter smaller than that of the frame 1. The flange 200 is formed by attaching a net body (mesh structure 300) to the frame 1 and then covering the frame 1 with a member made of synthetic resin. The frames 1 and 2 are made of a metal material. The network structure 300 is made of metal fibers. The diameter of the flange 200 is 0.7 to 1.0 m, and the mesh of the mesh structure 300 is 50 to 635 mesh.

このように、フランジ２００は大きいので、検査の際、フランジ２００を検査装置にセットするのに作業者に大きな負担がかかってしまう。また、フランジ２００の網目構造３００が水平姿勢になるようにセットすると、網目構造３００が撓んでしまう。本実施形態の検査装置は、フランジ２００の網目構造３００の状態を適切に検査するために構成されている。 As described above, since the flange 200 is large, it puts a heavy burden on the operator to set the flange 200 in the inspection device at the time of inspection. Further, if the mesh structure 300 of the flange 200 is set so as to be in a horizontal posture, the mesh structure 300 bends. The inspection device of the present embodiment is configured to appropriately inspect the state of the mesh structure 300 of the flange 200.

＜本発明の一実施形態＞
以下に、本発明の一実施形態について、図面を用いて説明する。 <One Embodiment of the present invention>
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

（１）検査装置の構成例
本実施形態の検査装置１００は、図１に示すように、例えば、直立した状態の物体としてのフランジ２００について、そのフランジ２００が有する網目構造３００の状態を判定するように構成されている。本明細書において、フランジ２００が直立した状態とは、フランジ２００が有する網目構造３００の面が鉛直方向に沿って起立して配置された状態のことをいう。 (1) Configuration Example of Inspection Device As shown in FIG. 1, the inspection device 100 of the present embodiment determines, for example, the state of the mesh structure 300 of the flange 200 as an upright object. It is configured as follows. In the present specification, the state in which the flange 200 is upright means a state in which the surface of the mesh structure 300 of the flange 200 is arranged upright along the vertical direction.

このようなフランジ２００の網目構造３００の状態を判定するために、検査装置１００は、保持部１０と、撮像部１１と、光源１２と、移動機構１３と、処理部１４と、を有して構成されている。 In order to determine the state of the mesh structure 300 of the flange 200, the inspection device 100 includes a holding unit 10, an imaging unit 11, a light source 12, a moving mechanism 13, and a processing unit 14. It is configured.

本明細書において、鉛直方向をＺ方向とし、フランジ２００の面内方向において、Ｚ方向に直交する方向をＸ方向とし、フランジ２００の面内方向と直交する方向をＹ方向とする。ここで、フランジ２００の面内方向とは、フランジ２００の平面内の方向、すなわち、フランジ２００の平面に沿った方向のことである。 In the present specification, the vertical direction is the Z direction, the in-plane direction of the flange 200 is the X direction, and the direction orthogonal to the Z direction is the Y direction. Here, the in-plane direction of the flange 200 is a direction in the plane of the flange 200, that is, a direction along the plane of the flange 200.

図２に示すように、保持部１０は、フランジ２００を鉛直方向（Ｚ方向）に直立した状態で保持するように構成されている。保持部１０は、クランプ台Ａとしてのクランプ台２０と、クランプ台Ｂとしてのクランプ台３０と、を有している。具体的には、保持部１０は、２つのクランプ台２０と、１つのクランプ台３０と、を有しており、クランプ台３０は、２つのクランプ台２０の間に位置するように設けられている。図３と図４に示すように、クランプ台２０は、後述するトグルクランプ５とは別に、フランジ２００の枠２の外周端を支える支持面Ｓを有している。支持面Ｓ上に枠２の外周端を載置することにより、フランジ２００のＺ方向位置を確定することができる。このような２つのクランプ台２０を離間した２か所に配置することにより、２つのクランプ台２０に保持されるフランジ２００の中心位置が決定される。クランプ台２０と同様に、クランプ台３０も、図３と図４に示すように、支持面Ｔを有している。ただし、上述したように、２つのクランプ台２０の支持面Ｓ上に、フランジ２００の枠２の外周端を載置することにより、フランジ２００のＺ方向位置を確定することができる。従って、クランプ台３０の支持面Ｔでフランジ２００の枠２を保持する必要はなく、クランプ台３０の支持面Ｔは、フランジ２００の枠２の外周端からＺ方向に、例えば、０．１〜５ｍｍの隙間を空けて位置するように配置されている。 As shown in FIG. 2, the holding portion 10 is configured to hold the flange 200 in an upright state in the vertical direction (Z direction). The holding portion 10 has a clamp base 20 as a clamp base A and a clamp base 30 as a clamp base B. Specifically, the holding portion 10 has two clamp bases 20 and one clamp base 30, and the clamp base 30 is provided so as to be located between the two clamp bases 20. There is. As shown in FIGS. 3 and 4, the clamp base 20 has a support surface S that supports the outer peripheral end of the frame 2 of the flange 200, in addition to the toggle clamp 5 described later. By placing the outer peripheral end of the frame 2 on the support surface S, the position of the flange 200 in the Z direction can be determined. By arranging the two clamp bases 20 at two positions separated from each other, the center position of the flange 200 held by the two clamp bases 20 is determined. Like the clamp base 20, the clamp base 30 also has a support surface T as shown in FIGS. 3 and 4. However, as described above, the Z-direction position of the flange 200 can be determined by placing the outer peripheral end of the frame 2 of the flange 200 on the support surfaces S of the two clamp bases 20. Therefore, it is not necessary to hold the frame 2 of the flange 200 on the support surface T of the clamp base 30, and the support surface T of the clamp base 30 is in the Z direction from the outer peripheral end of the frame 2 of the flange 200, for example, 0.1 to 0. It is arranged so as to be located with a gap of 5 mm.

図３と図４に示すように、クランプ台２０には、クランプゴム２１と、クランプレバー２２と、を有するトグルクランプ５が設けられている。クランプレバー２２を操作することにより、クランプゴム２１がフランジ２００の枠１近傍を把持するクランプ状態と、クランプゴム２１がフランジ２００を把持しない非クランプ状態とを切り替えるように構成されている。また、クランプ台２０において、トグルクランプ５は、支点を中心に揺動するアーム２４の揺動端側に取り付けられており、アーム２４に連結するアーム２３のノブ２５を操作してアーム２３を矢印Ａ方向に移動させると、アーム２４が矢印Ｂ方向に移動するように構成されている。同様に、アーム２３を矢印Ｃ方向に移動させると、アーム２４が矢印Ｄ方向に移動するように構成されている。これにより、クランプ台２０は、クランプ位置、すなわち、フランジ２００の枠２の外周端を支える支持面Ｓの位置と、クランプゴム２１がフランジ２００を把持する位置と、を変更することができるので、異なる大きさのフランジ２００に対応することが可能となる。 As shown in FIGS. 3 and 4, the clamp base 20 is provided with a toggle clamp 5 having a clamp rubber 21 and a clamp lever 22. By operating the clamp lever 22, the clamp rubber 21 is configured to switch between a clamped state in which the flange 200 grips the vicinity of the frame 1 and a non-clamped state in which the clamp rubber 21 does not grip the flange 200. Further, in the clamp base 20, the toggle clamp 5 is attached to the swing end side of the arm 24 that swings around the fulcrum, and the knob 25 of the arm 23 connected to the arm 24 is operated to move the arm 23 with an arrow. When moved in the A direction, the arm 24 is configured to move in the arrow B direction. Similarly, when the arm 23 is moved in the direction of arrow C, the arm 24 is configured to move in the direction of arrow D. As a result, the clamp base 20 can change the clamp position, that is, the position of the support surface S that supports the outer peripheral end of the frame 2 of the flange 200, and the position where the clamp rubber 21 grips the flange 200. It is possible to handle flanges 200 of different sizes.

図４に示すように、クランプ台３０は、主として、クランプゴム２６と、クランプレバー２７と、を有するトグルクランプ６が設けられている。クランプ台２０と同様に、クランプレバー２７を操作することにより、クランプ状態と非クランプ状態とを切り替えるように構成されている。クランプ台３０は、フランジ２００の面内方向と直交する方向（Ｙ方向）の位置を規定するように構成されている。また、上述したように、クランプ台２０とクランプ台３０は、Ｙ方向の位置が揃うように、Ｘ方向に沿って一列に配置されている。これらにより、クランプ台３０は、フランジ２００をＹ方向に傾かないように保持することができる。 As shown in FIG. 4, the clamp base 30 is mainly provided with a toggle clamp 6 having a clamp rubber 26 and a clamp lever 27. Similar to the clamp base 20, the clamp lever 27 is operated to switch between the clamped state and the non-clamped state. The clamp base 30 is configured to define a position in a direction (Y direction) orthogonal to the in-plane direction of the flange 200. Further, as described above, the clamp base 20 and the clamp base 30 are arranged in a row along the X direction so that the positions in the Y direction are aligned. As a result, the clamp base 30 can hold the flange 200 so as not to tilt in the Y direction.

以上のように、本実施形態では、フランジ２００をＺ方向に直立させて保持部１０に保持させることができるので、フランジ２００をＸ方向に平置きする場合よりもフランジ２００の設置面積を小さくすることができる。これにより、検査装置１００を小型化することができる。また、フランジ２００をＺ方向に直立させて保持部１０に保持させることができるので、フランジ２００をＸ方向に平置きする場合に生じる網目構造３００の撓みを防止することができる。また、保持部１０にフランジ２００を保持させるときは、３つのクランプ台２０，３０にフランジ２００を仮置きし、その後、クランプレバー２２等を操作してフランジ２００を固定することができるので、少ない人数で作業をすることができる。 As described above, in the present embodiment, since the flange 200 can be upright in the Z direction and held by the holding portion 10, the installation area of the flange 200 is smaller than that in the case where the flange 200 is placed flat in the X direction. be able to. As a result, the inspection device 100 can be miniaturized. Further, since the flange 200 can be upright in the Z direction and held by the holding portion 10, it is possible to prevent the mesh structure 300 from bending when the flange 200 is placed flat in the X direction. Further, when the holding portion 10 holds the flange 200, the flange 200 can be temporarily placed on the three clamp bases 20 and 30, and then the clamp lever 22 or the like can be operated to fix the flange 200, which is less. You can work with a large number of people.

図１に示すように、撮像部１１は、その撮像方向が、フランジ２００の網目構造３００と直交するように配置されている。撮像部１１は、フランジ２００の網目構造３００を撮像するように構成されている。撮像部１１は、例えば、ＣＣＤ（ＣｈａｒｇｅｄＣｏｕｐｌｅｄＤｅｖｉｃｅ）、ＣＭＯＳ（ＣｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙＭｅｔａｌＯｘｉｄｅＳｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）等のイメージセンサを有するカメラを用いることができる。撮像部１１は、撮像部１１（カメラ）に備えられた不図示のレンズが集光した光を、不図示のイメージセンサによって電気信号に変換することにより、網目構造３００を撮像することができる。なお、本明細書において、撮像方向とは、撮像部１１がフランジ２００を撮像する方向であり、撮像部１１の光軸方向と言い換えることができる。 As shown in FIG. 1, the imaging unit 11 is arranged so that the imaging direction thereof is orthogonal to the mesh structure 300 of the flange 200. The imaging unit 11 is configured to image the mesh structure 300 of the flange 200. As the imaging unit 11, for example, a camera having an image sensor such as a CCD (Charged Coupled Device) or a CMOS (Complementary Metal Oxide Sensor) can be used. The imaging unit 11 can image the network structure 300 by converting the light collected by the lens (not shown) provided in the imaging unit 11 (camera) into an electric signal by an image sensor (not shown). In the present specification, the imaging direction is the direction in which the imaging unit 11 images the flange 200, which can be rephrased as the optical axis direction of the imaging unit 11.

光源１２は、フランジ２００を挟んで撮像部１１と向かい合う位置に配置されており、後述する第１移動機構４３により、撮像部１１と一緒に移動するように構成されている。光源１２は、撮像方向に平行な光を照射するように構成されている。光源１２が照射した光は、網目構造３００越しに撮像部１１に入射する。光源１２としては、例えば、狭指向角タイプのＬＥＤを用いることができる。また、光源１２は、光源１２が照射する光を平行光化するコリメータレンズを有していてもよい。 The light source 12 is arranged at a position facing the image pickup unit 11 with the flange 200 interposed therebetween, and is configured to move together with the image pickup unit 11 by the first moving mechanism 43 described later. The light source 12 is configured to irradiate light parallel to the imaging direction. The light emitted by the light source 12 is incident on the imaging unit 11 through the network structure 300. As the light source 12, for example, a narrow directivity angle type LED can be used. Further, the light source 12 may have a collimator lens that parallelizes the light emitted by the light source 12.

移動機構１３は、固定されたフランジ２００（網目構造３００）に対して、撮像部１１の位置を移動させるように構成されている。図１に示すように、移動機構１３は、第１移動機構４３と第２移動機構５３とを有している。第１移動機構４３は、撮像部１１と光源１２とを一緒にＺ方向に移動するように構成されている。第２移動機構５３は、撮像部１１と光源１２とを一緒にＸ方向に移動するように構成されている。具体的には、第２移動機構５３は、撮像台１５上、光源台１６上にそれぞれ配置されており、それぞれの第２移動機構５３上には、第１移動機構４３がそれぞれ配置されている。すなわち、第２移動機構５３は、第１移動機構４３をＸ方向に移動させることにより、間接的に撮像部１１と光源１２とをＸ方向に移動させることができるように構成されている。このように、第２移動機構５３が、撮像部１１と光源１２とをＸ方向に移動させつつ、第１移動機構４３が、撮像部１１と光源１２とをＺ方向に移動させるようことができる。第１移動機構４３と第２移動機構５３とは、それぞれ、電動モータや送りネジ等を組み合わせて構成することができる。 The moving mechanism 13 is configured to move the position of the imaging unit 11 with respect to the fixed flange 200 (mesh structure 300). As shown in FIG. 1, the moving mechanism 13 has a first moving mechanism 43 and a second moving mechanism 53. The first moving mechanism 43 is configured to move the imaging unit 11 and the light source 12 together in the Z direction. The second moving mechanism 53 is configured to move the imaging unit 11 and the light source 12 together in the X direction. Specifically, the second moving mechanism 53 is arranged on the image pickup table 15 and the light source table 16, respectively, and the first moving mechanism 43 is arranged on each of the second moving mechanisms 53. .. That is, the second moving mechanism 53 is configured so that the imaging unit 11 and the light source 12 can be indirectly moved in the X direction by moving the first moving mechanism 43 in the X direction. In this way, the second moving mechanism 53 can move the imaging unit 11 and the light source 12 in the X direction, while the first moving mechanism 43 can move the imaging unit 11 and the light source 12 in the Z direction. .. The first moving mechanism 43 and the second moving mechanism 53 can be configured by combining an electric motor, a feed screw, or the like, respectively.

処理部１４は、撮像部１１から送信された画像を解析して、網目構造３００の状態を判定する。そのために、処理部１４は、例えば、撮像部１１と、光源１２と、移動機構１３と、データを送受信可能なように構成されており、これらの各部へ動作指示を送信するとともに、撮像部１１から撮像画像を受信するようになっている。これにより、処理部１４は、撮像部１１が網目構造３００のどの部分を撮像しているかを把握しつつ、撮像部１１から送信された画像の解析を行うことができる。このような処理部１４としては、例えば、所定のプログラムを必要に応じて実行するコンピュータを用いることができる。なお、処理部１４が行う画像解析については、詳細を後述する。 The processing unit 14 analyzes the image transmitted from the imaging unit 11 to determine the state of the network structure 300. Therefore, the processing unit 14 is configured to be capable of transmitting and receiving data to, for example, an imaging unit 11, a light source 12, and a moving mechanism 13, and transmits operation instructions to each of these units while also transmitting an operation instruction to the imaging unit 11. The captured image is received from. As a result, the processing unit 14 can analyze the image transmitted from the image pickup unit 11 while grasping which part of the network structure 300 the image pickup unit 11 is capturing. As such a processing unit 14, for example, a computer that executes a predetermined program as needed can be used. The details of the image analysis performed by the processing unit 14 will be described later.

（２）検査装置を用いた検査方法
本実施形態の検査装置１００を用いたフランジ２００が有する網目構造３００の状態の検査方法について説明する。 (2) Inspection Method Using Inspection Device An inspection method for the state of the mesh structure 300 of the flange 200 using the inspection device 100 of the present embodiment will be described.

図５は、本実施形態の検査方法の一例を示すフローチャートである。本実施形態の検査方法は、例えば、設定工程Ｓ１０１と、移動・撮像工程Ｓ１０２と、撮像判断工程Ｓ１０３と、処理工程Ｓ１０４と、を有する。 FIG. 5 is a flowchart showing an example of the inspection method of the present embodiment. The inspection method of the present embodiment includes, for example, a setting step S101, a moving / imaging step S102, an imaging determination step S103, and a processing step S104.

以下の説明では、第１移動機構４３の移動方向であるＺ方向を上下方向とし、Ｙ方向を前後方向とし、第２移動機構５３の移動方向であるＸ方向を左右方向とする。また、上下方向の一方側であるＺ１方向側を「上」側とし、上下方向の他方側であるＺ２方向側を「下」側とする。左右方向の一方側であるＸ１方向側を「右」側とし、左右方向の他方側であるＸ２方向側を「左」側とする。前後方向の一方側であるＹ１方向側を「前」側とし、前後方向の他方側であるＹ２方向側を「後ろ」側とする（図２参照）。 In the following description, the Z direction, which is the moving direction of the first moving mechanism 43, is the vertical direction, the Y direction is the front-back direction, and the X direction, which is the moving direction of the second moving mechanism 53, is the left-right direction. Further, the Z1 direction side, which is one side in the vertical direction, is referred to as the "upper" side, and the Z2 direction side, which is the other side in the vertical direction, is referred to as the "lower" side. The X1 direction side, which is one side in the left-right direction, is the "right" side, and the X2 direction side, which is the other side in the left-right direction, is the "left" side. The Y1 direction side, which is one side in the front-rear direction, is the "front" side, and the Y2 direction side, which is the other side in the front-rear direction, is the "rear" side (see FIG. 2).

（設定工程Ｓ１０１）
設定工程Ｓ１０１では、保持部１０（クランプ台２０，３０）を用いてフランジ２００を保持する。具体的には、図２に示すように、フランジ２００（網目構造３００）が直立した状態となるように、フランジ２００を保持部１０に保持させる。このように保持部１０を用いることにより、フランジ２００を前後に傾かないように保持することができる。フランジ２００の保持部１０への設置は、検査装置１００の操作者（作業者）が行うようにすればよいが、専用の搬送ロボットを用いて行うようにしてもよい。 (Setting step S101)
In the setting step S101, the flange 200 is held by using the holding portions 10 (clamp bases 20 and 30). Specifically, as shown in FIG. 2, the flange 200 is held by the holding portion 10 so that the flange 200 (mesh structure 300) is in an upright state. By using the holding portion 10 in this way, the flange 200 can be held so as not to be tilted back and forth. The flange 200 may be installed on the holding portion 10 by an operator (operator) of the inspection device 100, but may be installed by using a dedicated transfer robot.

（移動・撮像工程Ｓ１０２）
移動・撮像工程Ｓ１０２では、まず、フランジ２００のＸ１方向右端における接線と、フランジ２００のＺ１方向上端における接線と、のＸＺ平面上での交点Ｐと対応する位置（以下、「開始位置」と称する場合がある。）に、撮像部１１と光源１２とを移動機構１３により移動させる。そして、開始位置において撮像部１１を用いて撮像をした後、移動機構１３によるフランジ２００に対する撮像部１１の位置移動と、撮像部１１による撮像と、を繰り返し行う。 (Movement / Imaging Step S102)
In the moving / imaging step S102, first, a position corresponding to the intersection P of the tangent line at the right end of the flange 200 in the X1 direction and the tangent line at the upper end of the flange 200 in the Z1 direction on the XZ plane (hereinafter referred to as “start position”). In some cases), the imaging unit 11 and the light source 12 are moved by the moving mechanism 13. Then, after taking an image using the image pickup unit 11 at the start position, the position movement of the image pickup unit 11 with respect to the flange 200 by the moving mechanism 13 and the image pickup by the image pickup unit 11 are repeatedly performed.

具体的には、開始位置において、撮像部１１により所定の領域を撮像した後、第１移動機構４３により撮像部１１と光源１２とをＺ２方向（下側）へ所定の距離だけ移動させて、撮像部１１によりフランジ２００（網目構造３００）についての撮像を行う。これらの動作を、撮像部１１と光源１２とがフランジ２００のＺ２方向の下端に到達するまで繰り返す。 Specifically, at the start position, after the imaging unit 11 images a predetermined region, the first moving mechanism 43 moves the imaging unit 11 and the light source 12 in the Z2 direction (lower side) by a predetermined distance. The image pickup unit 11 takes an image of the flange 200 (mesh structure 300). These operations are repeated until the imaging unit 11 and the light source 12 reach the lower end of the flange 200 in the Z2 direction.

撮像部１１と光源１２とがフランジ２００のＺ２方向の下端に到達したら、第２移動機構５３により撮像部１１と光源１２とをＸ２方向（左側）へ所定の距離だけ移動させる。そして、撮像部１１により所定の領域を撮像した後、第１移動機構４３により撮像部１１と光源１２とをＺ１方向（上側）へ所定の距離だけ移動させて、撮像部１１によりフランジ２００についての撮像を行う。これらの動作を、撮像部１１と光源１２とがフランジ２００のＺ１方向の上端に到達するまで繰り返す。以上の動作を動作Ａと称する。 When the image pickup unit 11 and the light source 12 reach the lower end of the flange 200 in the Z2 direction, the second movement mechanism 53 moves the image pickup unit 11 and the light source 12 in the X2 direction (left side) by a predetermined distance. Then, after imaging a predetermined region by the imaging unit 11, the imaging unit 11 and the light source 12 are moved in the Z1 direction (upper side) by a predetermined distance by the first moving mechanism 43, and the flange 200 is moved by the imaging unit 11. Take an image. These operations are repeated until the imaging unit 11 and the light source 12 reach the upper end of the flange 200 in the Z1 direction. The above operation is referred to as operation A.

撮像部１１と光源１２とがフランジ２００のＺ１方向の上端に到達したら、第２移動機構５３により撮像部１１と光源１２とをさらにＸ２方向（左側）へ所定の距離だけ移動させる。そして、撮像部１１により所定の領域を撮像した後、第１移動機構４３により撮像部１１と光源１２とをＺ２方向（下側）へ所定の距離だけ移動させて、撮像部１１によりフランジ２００についての撮像を行う。これらの動作を、撮像部１１と光源１２とがフランジ２００のＺ２方向の下端に到達するまで繰り返す。以上の動作を動作Ｂと称する。 When the image pickup unit 11 and the light source 12 reach the upper end of the flange 200 in the Z1 direction, the second movement mechanism 53 further moves the image pickup unit 11 and the light source 12 in the X2 direction (left side) by a predetermined distance. Then, after imaging a predetermined region by the imaging unit 11, the imaging unit 11 and the light source 12 are moved in the Z2 direction (lower side) by a predetermined distance by the first moving mechanism 43, and the flange 200 is moved by the imaging unit 11. Is imaged. These operations are repeated until the imaging unit 11 and the light source 12 reach the lower end of the flange 200 in the Z2 direction. The above operation is referred to as operation B.

上述した動作Ａ，Ｂを、例えば、フランジ２００のＸ２方向左端における接線と、フランジ２００のＺ２方向下端における接線と、のＸＺ平面上での交点Ｑと対応する位置（以下、「終了位置」と称する場合がある。）に、撮像部１１と光源１２とが移動機構１３により移動されるまで繰り返す。これにより、撮像部１１は、網目構造３００のＸＺ平面の全域を隈なく撮像することができる。 The above-mentioned operations A and B are, for example, positions corresponding to the intersection Q of the tangent line at the left end of the flange 200 in the X2 direction and the tangent line at the lower end of the flange 200 in the Z2 direction on the XZ plane (hereinafter, "end position"). The image pickup unit 11 and the light source 12 are repeated until they are moved by the moving mechanism 13. As a result, the image pickup unit 11 can take an entire image of the entire XZ plane of the network structure 300.

つまり、移動機構１３（第１移動機構４３と第２移動機構５３）は、直交二軸駆動なので、その動作範囲が矩形状となるが、その動作範囲の矩形内にフランジ２００の円形状の外周端が内包されていれば、撮像部１１がフランジ２００（網目構造３００）の全域を隈なく撮像することができる。その場合に、本実施形態のように、移動機構１３の動作範囲（矩形状）をフランジ２００（円形状）に外接するようにすることで、移動機構１３の動作範囲を最も小さくできる。 That is, since the moving mechanism 13 (the first moving mechanism 43 and the second moving mechanism 53) is orthogonally biaxially driven, its operating range is rectangular, but the circular outer circumference of the flange 200 is within the rectangular of the operating range. If the end is included, the image pickup unit 11 can take an image of the entire area of the flange 200 (mesh structure 300). In that case, the operating range of the moving mechanism 13 can be minimized by circumscribing the operating range (rectangular shape) of the moving mechanism 13 to the flange 200 (circular shape) as in the present embodiment.

（撮像判断工程Ｓ１０３）
撮像判断工程Ｓ１０３では、撮像部１１が網目構造３００の全域を隈なく撮像したか否かを判断する。具体的には、例えば、処理部１４が撮像部１１から受信した網目構造３００の撮像画像の部分データ（矩形領域）を合成して、網目構造３００の全体画像を構成することができるか否かを判断する。網目構造３００の全体画像を構成できる判断した場合は、次の処理工程Ｓ１０４に進む。網目構造３００の全体画像を構成できないと判断した場合は、移動・撮像工程Ｓ１０２を再び行う。 (Imaging determination step S103)
In the imaging determination step S103, it is determined whether or not the imaging unit 11 has completely imaged the entire area of the network structure 300. Specifically, for example, whether or not the processing unit 14 can synthesize the partial data (rectangular region) of the captured image of the network structure 300 received from the imaging unit 11 to form the entire image of the network structure 300. To judge. When it is determined that the entire image of the mesh structure 300 can be constructed, the process proceeds to the next processing step S104. If it is determined that the entire image of the network structure 300 cannot be formed, the moving / imaging step S102 is performed again.

（処理工程Ｓ１０４）
処理工程Ｓ１０４では、撮像部１１から送信された画像を解析して、網目構造３００の状態を判定する。具体的には、合成した矩形領域を構成する各画素のデータを解析する。例えば、各画素のデータの値の範囲を「０〜１００」とし、フランジ２００によって遮られない部分（例えば開始位置）の値を「９５以上」、フランジ２００の枠部によって完全に遮られる部分の値を「５未満」とすると、「９５」と「５」の境界を抽出することでフランジ２００の外周端縁を認識することができる。そして、フランジ２００の領域内で、「５未満」の部分（枠部）を除く範囲が網目構造３００の領域である。その網目構造３００の領域内で、所定の範囲（例えば「４０〜７０」）内であれば網目構造３００に目詰まりも穴開きもない状態と判定し、当該所定の範囲未満であれば網目構造３００に目詰まりが生じている状態と判定し、当該所定の範囲を超えていれば網目構造３００に穴があいている状態と判定する。 (Processing step S104)
In the processing step S104, the image transmitted from the imaging unit 11 is analyzed to determine the state of the network structure 300. Specifically, the data of each pixel constituting the combined rectangular region is analyzed. For example, the value range of the data of each pixel is "0 to 100", the value of the portion not blocked by the flange 200 (for example, the start position) is "95 or more", and the portion completely blocked by the frame portion of the flange 200. When the value is set to "less than 5", the outer peripheral edge of the flange 200 can be recognized by extracting the boundary between "95" and "5". Then, within the region of the flange 200, the range excluding the portion (frame portion) of "less than 5" is the region of the mesh structure 300. Within the region of the mesh structure 300, if it is within a predetermined range (for example, "40 to 70"), it is determined that the mesh structure 300 is not clogged or perforated, and if it is less than the predetermined range, the mesh structure is not clogged or perforated. It is determined that the 300 is clogged, and if it exceeds the predetermined range, it is determined that the network structure 300 has a hole.

（３）本実施形態に係る効果
本実施形態によれば、以下に示す１つまたは複数の効果を奏する。 (3) Effects of the present embodiment According to the present embodiment, one or more of the following effects are exhibited.

（ａ）本実施形態の処理部１４は、撮像部１１が撮像した画像を解析して網目構造３００の状態を判定するように構成されている。具体的には、処理部１４は、撮像部１１から送信された画像の構成データを、予め設定された判定基準と対比することにより、網目構造３００の状態（例えば、正常状態、目詰まり状態、穴あき状態のいずれに該当するか）を判定する。これにより、人為的な判定のバラツキやフランジ２００のサイズ違い等の影響を排除しつつ定量的な判定を行うことが可能となる。このように、判定の定量化によって検査の適切化を図ることができる。 (A) The processing unit 14 of the present embodiment is configured to analyze the image captured by the imaging unit 11 to determine the state of the network structure 300. Specifically, the processing unit 14 compares the configuration data of the image transmitted from the imaging unit 11 with the preset determination criteria to obtain a state of the network structure 300 (for example, a normal state, a clogging state, etc.). Which of the perforated states it corresponds to) is determined. As a result, it is possible to make a quantitative judgment while eliminating the influence of artificial judgment variation and the size difference of the flange 200. In this way, it is possible to optimize the inspection by quantifying the determination.

また、本実施形態の保持部１０は、フランジ２００を鉛直方向に直立した状態で保持するように構成されているので、フランジ２００をＸ方向に平置きする場合よりもフランジ２００の設置面積を小さくすることができる。これにより、検査装置１００を小型化することができる。このように検査装置１００を小型化することにより、検査スペースの省スペース化を図る場合であっても、検査を適切に行うことができる。 Further, since the holding portion 10 of the present embodiment is configured to hold the flange 200 in an upright state in the vertical direction, the installation area of the flange 200 is smaller than that in the case where the flange 200 is placed flat in the X direction. can do. As a result, the inspection device 100 can be miniaturized. By downsizing the inspection device 100 in this way, even when the inspection space is to be saved, the inspection can be appropriately performed.

本実施形態の保持部１０は、フランジ２００を鉛直方向に直立した状態で保持するように構成されている。これにより、フランジ２００の撮像中に、フランジ２００に付着した粉体が撮像部１１や光源１２に落下するおそれがない。従って、処理部１４は、光源１２等に落下した粉体の影響を受けずに正確な画像解析を行うことができるので、網目構造３００の検査を高精度に行うことができる。また、フランジ２００の撮像中に、撮像部１１や光源１２の清掃を頻繁に行う必要がないので、検査を効率よく行うことができる。このような高精度化や効率化等によっても、検査の適切化を図ることができる。 The holding portion 10 of the present embodiment is configured to hold the flange 200 in an upright state in the vertical direction. As a result, there is no possibility that the powder adhering to the flange 200 will fall on the imaging unit 11 or the light source 12 during the imaging of the flange 200. Therefore, since the processing unit 14 can perform accurate image analysis without being affected by the powder dropped on the light source 12 or the like, the network structure 300 can be inspected with high accuracy. Further, since it is not necessary to frequently clean the imaging unit 11 and the light source 12 during the imaging of the flange 200, the inspection can be performed efficiently. The inspection can be made more appropriate by improving the accuracy and efficiency.

本実施形態の保持部１０は、フランジ２００を鉛直方向に直立した状態で保持するように構成されているので、フランジ２００をＸ方向に平置きする場合に生じる網目構造３００の撓みを防止することができる。結果として、高精度の検査、検査の効率化を実現することができ、検査の適切化を図る上で非常に有用である。 Since the holding portion 10 of the present embodiment is configured to hold the flange 200 in an upright state in the vertical direction, it is necessary to prevent the mesh structure 300 from bending when the flange 200 is placed flat in the X direction. Can be done. As a result, high-precision inspection and efficiency of inspection can be realized, which is very useful for optimizing inspection.

本実施形態の移動機構１３は、フランジ２００と撮像部１１との相対位置を移動させるように構成されている。これにより、フランジ２００を領域ごとに撮像することができ、フランジ２００の全域を一度に撮像しなくてもよいので、フランジ２００の全域が一つの画角内に収まるように、撮像部１１の光学系を設定する必要がない。従って、必要以上に高解像度の撮像部１１を用いる必要はなく、簡素かつ低コストの構成の撮像部１１により検査を行うことができる。このように、簡素かつ低コストの構成の撮像部１１を用いる場合であっても、検査を適切に行うことができる。 The moving mechanism 13 of the present embodiment is configured to move the relative position between the flange 200 and the imaging unit 11. As a result, the flange 200 can be imaged for each region, and the entire area of the flange 200 does not have to be imaged at once. Therefore, the optics of the imaging unit 11 so that the entire area of the flange 200 is within one angle of view. There is no need to set the system. Therefore, it is not necessary to use the imaging unit 11 having a higher resolution than necessary, and the inspection can be performed by the imaging unit 11 having a simple and low-cost configuration. As described above, even when the imaging unit 11 having a simple and low-cost configuration is used, the inspection can be appropriately performed.

（ｂ）本実施形態の保持部１０は、２つのクランプ台２０と１つのクランプ台３０とを有している。従って、保持部１０にフランジ２００を保持させるときは、３つのクランプ台２０，３０にフランジ２００を仮置きし、その後、クランプレバーを操作してフランジ２００を固定することができるので、作業の少人数化を図ることができる。 (B) The holding portion 10 of the present embodiment has two clamp bases 20 and one clamp base 30. Therefore, when the holding portion 10 holds the flange 200, the flange 200 can be temporarily placed on the three clamp bases 20 and 30, and then the clamp lever can be operated to fix the flange 200, which requires less work. The number of people can be increased.

また、本実施形態の２つのクランプ台２０は、クランプ位置を変更可能に構成されているので、検査装置１００は、異なる大きさのフランジ２００にも対応することができる。 Further, since the two clamp bases 20 of the present embodiment are configured so that the clamp positions can be changed, the inspection device 100 can handle flanges 200 of different sizes.

（ｃ）本実施形態のクランプ台３０は、フランジ２００の面内方向と直交する方向（Ｙ方向）の位置を規定するように構成されている。これにより、フランジ２００をＹ方向に傾かないように保持することができ、フランジ２００と撮像部１１との距離を一定に保つことができるので、網目構造３００の検査を高精度に行うことができ、検査を適切に行う上で非常に有用である。 (C) The clamp base 30 of the present embodiment is configured to define a position in a direction (Y direction) orthogonal to the in-plane direction of the flange 200. As a result, the flange 200 can be held so as not to be tilted in the Y direction, and the distance between the flange 200 and the imaging unit 11 can be kept constant, so that the mesh structure 300 can be inspected with high accuracy. , Very useful for proper inspection.

（ｄ）本実施形態の第１移動機構４３は、撮像部１１と光源１２とを一緒にＺ方向に移動するように構成されており、第２移動機構５３は、撮像部１１と光源１２とを一緒にＸ方向に移動するように構成されている。このように、移動機構１３（第１移動機構４３と第２移動機構５３）は、直交二軸駆動であり、第１移動機構４３と第２移動機構５３との動作を繰り返すことにより、撮像部１１は、フランジ２００（網目構造３００）の全域を隈なく撮像することができる。また、比較的サイズの大きいフランジ２００を移動させずに、比較的サイズの小さい撮像部１１と光源１２を移動させるように構成されているので、検査装置１００の構成をより簡素にすることができる。このように、簡素な構成の検査装置１００を用いる場合であっても、検査を適切に行うことができる。 (D) The first moving mechanism 43 of the present embodiment is configured to move the imaging unit 11 and the light source 12 together in the Z direction, and the second moving mechanism 53 includes the imaging unit 11 and the light source 12. Are configured to move together in the X direction. As described above, the moving mechanism 13 (the first moving mechanism 43 and the second moving mechanism 53) is an orthogonal biaxial drive, and by repeating the operation of the first moving mechanism 43 and the second moving mechanism 53, the imaging unit Reference numeral 11 can capture the entire area of the flange 200 (mesh structure 300). Further, since the relatively small image pickup unit 11 and the light source 12 are configured to move without moving the relatively large flange 200, the configuration of the inspection device 100 can be further simplified. .. As described above, even when the inspection device 100 having a simple structure is used, the inspection can be appropriately performed.

（ｅ）本実施形態の検査装置１００は、フランジ２００を挟んで撮像部１１と対向する位置で、フランジ２００に対して光を照射する光源１２を有している。これにより、網目構造３００の画像に表された光の量に基づいて、網目構造３００の状態を判定することができる。すなわち、網目構造３００の画像のパターン認識や形状解析等を要することなく、画像の輝度（明度）データのみで、網目構造３００の状態を定量的に判定することができる。結果として、検査の効率化を実現することができ、このことは、検査の適切化を図る上で非常に有用である。 (E) The inspection device 100 of the present embodiment has a light source 12 that irradiates the flange 200 with light at a position facing the imaging unit 11 with the flange 200 in between. Thereby, the state of the network structure 300 can be determined based on the amount of light represented in the image of the network structure 300. That is, the state of the network structure 300 can be quantitatively determined only by the brightness (brightness) data of the image without requiring pattern recognition, shape analysis, or the like of the image of the network structure 300. As a result, the efficiency of the inspection can be realized, which is very useful for the optimization of the inspection.

（ｆ）本実施形態の検査装置１００は、粉体を分級する篩（フランジ２００）を検査するように構成されている。検査装置１００により、フランジ２００の交換時期を明確に判断することができ、正確な粉体の分級を実現することができる。 (F) The inspection device 100 of the present embodiment is configured to inspect a sieve (flange 200) for classifying powder. The inspection device 100 can clearly determine the replacement time of the flange 200, and can realize accurate powder classification.

＜本発明の他の実施形態＞
以上、本発明の実施形態について具体的に説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。 <Other Embodiments of the Present Invention>
Although the embodiments of the present invention have been specifically described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made without departing from the gist thereof.

上述の実施形態では、光源１２を有する検査装置１００を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、光源１２を有しない検査装置１００を用いてもよい。但し、フランジ２００を挟んで撮像部１１と対向する位置に配置された光源１２を有する方が、網目構造３００の画像に表された光の量のみに基づいて、定量的に網目構造３００の状態を判定することができ、検査の適切化を図る上で有用である。 In the above-described embodiment, the inspection device 100 having the light source 12 has been described as an example, but the present invention is not limited thereto. For example, the inspection device 100 that does not have the light source 12 may be used. However, it is better to have the light source 12 arranged at a position facing the imaging unit 11 with the flange 200 in between, so that the state of the network structure 300 is quantitatively based only on the amount of light shown in the image of the network structure 300. Can be determined, which is useful for optimizing the inspection.

また、上述の実施形態では、第１移動機構４３により、撮像部１１と光源１２とをＺ方向に移動させ、第２移動機構５３により、撮像部１１と光源１２とをＸ方向に移動させる場合について説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、第１移動機構４３により、撮像部１１と光源１２とを、Ｚ方向以外のフランジ２００の面内方向の一方向に移動させ、第２移動機構５３により、撮像部１１と光源１２とを当該一方向と直交する方向に移動させるようにしてもよい。この場合においても、撮像部１１は、フランジ２００（網目構造３００）の全域を隈なく撮像することができる。 Further, in the above-described embodiment, the first moving mechanism 43 moves the imaging unit 11 and the light source 12 in the Z direction, and the second moving mechanism 53 moves the imaging unit 11 and the light source 12 in the X direction. However, the present invention is not limited to this. For example, the first moving mechanism 43 moves the imaging unit 11 and the light source 12 in one direction in the in-plane direction of the flange 200 other than the Z direction, and the second moving mechanism 53 moves the imaging unit 11 and the light source 12 to each other. It may be moved in a direction orthogonal to the one direction. Even in this case, the image pickup unit 11 can take an image of the entire area of the flange 200 (mesh structure 300).

また、上述の実施形態では、固定されたフランジ２００（網目構造３００）に対し、移動機構１３により、撮像部１１と光源１２とをＸ方向とＺ方向に移動させる場合について説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、所定の移動機構により、フランジ２００をＸ方向に移動させ、第１移動機構４３により、撮像部１１と光源１２とをＺ方向に移動させるようにしてもよい。また、所定の２つの移動機構により、フランジ２００をＸ方向とＺ方向にそれぞれ移動させるように構成させるようにしてもよい。これらの場合においても、撮像部１１は、フランジ２００（網目構造３００）の全域を隈なく撮像することができる。 Further, in the above-described embodiment, the case where the image pickup unit 11 and the light source 12 are moved in the X direction and the Z direction by the moving mechanism 13 with respect to the fixed flange 200 (mesh structure 300) has been described. Is not limited to this. For example, the flange 200 may be moved in the X direction by a predetermined moving mechanism, and the imaging unit 11 and the light source 12 may be moved in the Z direction by the first moving mechanism 43. Further, the flange 200 may be configured to move in the X direction and the Z direction by two predetermined moving mechanisms, respectively. Even in these cases, the image pickup unit 11 can take an image of the entire area of the flange 200 (mesh structure 300).

また、上述の実施形態では、撮像部１１の撮像開始点を交点Ｐとし、撮像部１１の撮像終了点を交点Ｑする場合について説明したが、本発明はこれに限定されない。撮像開始点と撮像終了点は、検査対象であるフランジ２００の交点Ｐ，Ｑよりも外方側にあれば特に限定されない。従って、例えば、予め検査対象となるフランジ２００のうち、最もサイズの大きいフランジ２００に合わせて撮像開始点と撮像終了点の設定しておくことで、サイズの異なるフランジ２００を検査するたび毎にこれらを設定し直す必要がない。これにより、効率的に検査をすることができ、検査の適切化を図る上で有用である。一方、サイズの異なるフランジ２００毎に対応する移動機構１３の動作範囲を設定し、移動機構１３の無駄な動作を省くようにすることも検査の効率化につながり、検査の適切化を図る上で有用である。 Further, in the above-described embodiment, the case where the imaging start point of the imaging unit 11 is set as the intersection P and the imaging end point of the imaging unit 11 is set as the intersection Q has been described, but the present invention is not limited to this. The imaging start point and imaging end point are not particularly limited as long as they are on the outer side of the intersections P and Q of the flange 200 to be inspected. Therefore, for example, by setting the imaging start point and the imaging end point according to the flange 200 having the largest size among the flanges 200 to be inspected in advance, each time the flanges 200 having different sizes are inspected, these are set. There is no need to reset. As a result, the inspection can be performed efficiently, which is useful for optimizing the inspection. On the other hand, setting the operating range of the moving mechanism 13 corresponding to each of the flanges 200 having different sizes to eliminate unnecessary operation of the moving mechanism 13 also leads to the efficiency of the inspection and makes the inspection appropriate. It is useful.

また、上述の実施形態では、撮像部１１は、Ｚ方向に移動した後、停止して撮像し、その後またＺ方向に移動し、停止して撮像を繰り返す間欠動作をする場合について説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、撮像部１１は、Ｚ方向に移動しながら連写する、という連続的な動作を行うようにしてもよい。 Further, in the above-described embodiment, the case where the imaging unit 11 moves in the Z direction, then stops and takes an image, then moves in the Z direction again, stops, and repeats the imaging has been described. The present invention is not limited to this. For example, the imaging unit 11 may perform a continuous operation of continuously shooting while moving in the Z direction.

１００検査装置
１枠
２枠
５トグルクランプ
６トグルクランプ
１０保持部
１１撮像部
１２光源
１３移動機構
１４処理部
１５撮像台
１６照明台
２０クランプ台
Ｓ支持面
Ｔ支持面
２１クランプゴム
２２クランプレバー
２３アーム
２４アーム
２５ノブ
２６クランプゴム
２７クランプレバー
３０クランプ台
４３第１移動機構
５３第２移動機構
２００フランジ
３００網目構造
100 Inspection device 1 Frame 2 Frame 5 Toggle clamp 6 Toggle clamp 10 Holding part 11 Imaging unit 12 Light source 13 Moving mechanism 14 Processing unit 15 Imaging stand 16 Lighting stand 20 Clamp stand S Support surface T Support surface 21 Clamp rubber 22 Clamp lever 23 Arm 24 Arm 25 Knob 26 Clamp rubber 27 Clamp lever 30 Clamp base 43 First movement mechanism 53 Second movement mechanism 200 Flange 300 Mesh structure

Claims

網目構造を有する板状の物体を鉛直方向に直立した状態で保持する保持部と、
前記網目構造を撮像する撮像部と、
前記物体と前記撮像部との相対位置を移動させる移動機構と、
前記撮像部が撮像した画像を解析して前記網目構造の状態を判定する処理部と、
を有し、
前記保持部は、複数のクランプ台を有し、
前記複数のクランプ台のうちの少なくとも２つのクランプ台Ａは、前記物体の鉛直方向位置を確定するように構成されており、
前記複数のクランプ台のうちの前記クランプ台Ａとは異なるクランプ台Ｂは、前記２つのクランプ台Ａの間に設けられ、前記物体の面内方向と直交する方向の位置を規定するように構成されている、
検査装置。 A holding part that holds a plate-shaped object with a mesh structure in an upright position in the vertical direction,
An imaging unit that images the network structure and
A moving mechanism that moves the relative position between the object and the imaging unit,
A processing unit that analyzes the image captured by the imaging unit to determine the state of the network structure, and
Have a,
The holding portion has a plurality of clamp bases and has a plurality of clamp bases.
At least two clamp bases A of the plurality of clamp bases are configured to determine the vertical position of the object.
The clamp base B, which is different from the clamp base A among the plurality of clamp bases, is provided between the two clamp bases A and is configured to define a position in a direction orthogonal to the in-plane direction of the object. Has been
Inspection equipment.

前記クランプ台Ａは、前記物体の大きさに応じてクランプ位置を変更可能に構成されている、
請求項１に記載の検査装置。 The clamp base A is configured so that the clamp position can be changed according to the size of the object.
The inspection device according to claim 1.

前記移動機構は、前記撮像部を前記物体の面内方向の一方向に移動させる第１移動機構と、前記撮像部を前記一方向と直交する方向に移動させる第２移動機構と、を有する、
請求項１または２に記載の検査装置。 The moving mechanism includes a first moving mechanism that moves the imaging unit in one direction in the in-plane direction of the object, and a second moving mechanism that moves the imaging unit in a direction orthogonal to the one direction.
The inspection device according to claim 1 or 2.

前記一方向は、鉛直方向である、
請求項３項に記載の検査装置。 The one direction is the vertical direction,
The inspection device according to claim 3.

前記物体を挟んで前記撮像部と対向する位置で、前記物体に対して光を照射する光源をさらに有し、
前記撮像部は、前記網目構造を通過した前記光源からの光を受光し、
前記処理部は、前記撮像部が受光した光の量を解析して前記網目構造の状態を判定する、
請求項１〜４のいずれか１項に記載の検査装置。 Further having a light source for irradiating the object with light at a position facing the imaging unit with the object in between.
The imaging unit receives light from the light source that has passed through the network structure, and receives light.
The processing unit analyzes the amount of light received by the imaging unit to determine the state of the network structure.
The inspection device according to any one of claims 1 to 4.

前記物体は、粉体を分級する篩である、
請求項１〜５のいずれか１項に記載の検査装置。 The object is a sieve for classifying powders,
The inspection device according to any one of claims 1 to 5.

網目構造を有する板状の物体を鉛直方向に直立した状態で保持する工程と、
前記網目構造を撮像する工程と、
前記物体と撮像部との相対位置を移動させる工程と、
前記撮像部が撮像した画像を解析して前記網目構造の状態を判定する工程と、
を有し、
前記物体を鉛直方向に直立した状態で保持する工程では、少なくとも２つのクランプ台Ａにより、前記物体の鉛直方向位置を確定し、前記２つのクランプ台Ａの間に設けられ、前記クランプ台Ａとは異なるクランプ台Ｂにより、前記物体の面内方向と直交する方向の位置を規定する、
検査方法。 The process of holding a plate-shaped object with a mesh structure upright in the vertical direction, and
The process of imaging the network structure and
The step of moving the relative position between the object and the imaging unit, and
A step of analyzing an image captured by the imaging unit to determine the state of the network structure,
Have a,
In the step of holding the object upright in the vertical direction, at least two clamp bases A determine the vertical position of the object, and the object is provided between the two clamp bases A and the clamp base A. Defines the position of the object in a direction orthogonal to the in-plane direction by a different clamp base B.
Inspection method.