JP6939950B1 - Inspection equipment and inspection method - Google Patents
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Abstract
【課題】網目構造の目詰まり等を適切に検査できる技術を提供する。【解決手段】網目構造を有する板状の物体を鉛直方向に直立した状態で保持する保持部と、網目構造を撮像する撮像部と、物体と撮像部との相対位置を移動させる移動機構と、撮像部が撮像した画像を解析して網目構造の状態を判定する処理部と、を有する検査装置。【選択図】図1PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a technique capable of appropriately inspecting clogging of a mesh structure or the like. SOLUTION: A holding portion for holding a plate-shaped object having a network structure in an upright state in a vertical direction, an imaging unit for imaging the network structure, a moving mechanism for moving a relative position between the object and the imaging unit, and the like. An inspection device including a processing unit that analyzes an image captured by the imaging unit and determines the state of the network structure. [Selection diagram] Fig. 1
Description
本発明は、検査装置および検査方法に関する。 The present invention relates to an inspection device and an inspection method.
物体が有する網目構造により、粉体の分級が行われることがある(例えば特許文献1参照)。 Depending on the network structure of the object, the powder may be classified (see, for example, Patent Document 1).
しかし、網目構造に目詰まり等が生じると、粉体の正確な分級を行えないおそれがある。本発明の目的は、網目構造の目詰まり等を適切に検査できる技術を提供することである。 However, if the network structure is clogged or the like, there is a risk that the powder cannot be classified accurately. An object of the present invention is to provide a technique capable of appropriately inspecting clogging of a network structure or the like.
本発明の一態様によれば、
網目構造を有する板状の物体を鉛直方向に直立した状態で保持する保持部と、
前記網目構造を撮像する撮像部と、
前記物体と前記撮像部との相対位置を移動させる移動機構と、
前記撮像部が撮像した画像を解析して前記網目構造の状態を判定する処理部と、
を有する検査装置が提供される。
According to one aspect of the invention
A holding part that holds a plate-shaped object with a mesh structure in an upright position in the vertical direction,
An imaging unit that images the network structure and
A moving mechanism that moves the relative position between the object and the imaging unit,
A processing unit that analyzes the image captured by the imaging unit to determine the state of the network structure, and
An inspection device having the above is provided.
本発明の他の態様によれば、
網目構造を有する板状の物体を鉛直方向に直立した状態で保持する工程と、
前記網目構造を撮像する工程と、
前記物体と撮像部との相対位置を移動させる工程と、
前記撮像部が撮像した画像を解析して前記網目構造の状態を判定する工程と、
を有する検査方法が提供される。
According to another aspect of the invention
The process of holding a plate-shaped object with a mesh structure upright in the vertical direction, and
The process of imaging the network structure and
The step of moving the relative position between the object and the imaging unit, and
A step of analyzing an image captured by the imaging unit to determine the state of the network structure,
An inspection method having the above is provided.
本発明によれば、網目構造の目詰まり等を適切に検査できる技術を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a technique capable of appropriately inspecting clogging or the like of a network structure.
<物体の構成例>
例えば、粉体の製造工程では、その一工程において、所定の粒径の原料粉体の分級が行われる。分級は、例えば、図2に示すように、篩として機能する網目構造300を有する板状の物体(以下、「フランジ200」と称する場合がある。)を用いて行われる。しかし、網目構造300に目詰まり等が生じると、原料粉体の分級を良好に行えなくなってしまう。このため、網目構造300の状態(目詰まり等)を定期的に検査する必要がある。
<Example of object configuration>
For example, in the powder manufacturing process, the raw material powder having a predetermined particle size is classified in one step. For example, as shown in FIG. 2, the classification is performed using a plate-shaped object having a
フランジ200は、例えば、図3に示すように、円形の枠1と、枠1よりも径の小さい同心円の枠2と、を有している。フランジ200は、枠1に網本体(網目構造300)を張り付けた後、枠1を合成樹脂により構成された部材で覆って形成されている。枠1,2は、金属材料により構成されている。網目構造300は、金属繊維により構成されている。フランジ200の直径は、0.7〜1.0mであり、網目構造300の網目は、50〜635メッシュである。
As shown in FIG. 3, the
このように、フランジ200は大きいので、検査の際、フランジ200を検査装置にセットするのに作業者に大きな負担がかかってしまう。また、フランジ200の網目構造300が水平姿勢になるようにセットすると、網目構造300が撓んでしまう。本実施形態の検査装置は、フランジ200の網目構造300の状態を適切に検査するために構成されている。
As described above, since the
<本発明の一実施形態>
以下に、本発明の一実施形態について、図面を用いて説明する。
<One Embodiment of the present invention>
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
(1)検査装置の構成例
本実施形態の検査装置100は、図1に示すように、例えば、直立した状態の物体としてのフランジ200について、そのフランジ200が有する網目構造300の状態を判定するように構成されている。本明細書において、フランジ200が直立した状態とは、フランジ200が有する網目構造300の面が鉛直方向に沿って起立して配置された状態のことをいう。
(1) Configuration Example of Inspection Device As shown in FIG. 1, the
このようなフランジ200の網目構造300の状態を判定するために、検査装置100は、保持部10と、撮像部11と、光源12と、移動機構13と、処理部14と、を有して構成されている。
In order to determine the state of the
本明細書において、鉛直方向をZ方向とし、フランジ200の面内方向において、Z方向に直交する方向をX方向とし、フランジ200の面内方向と直交する方向をY方向とする。ここで、フランジ200の面内方向とは、フランジ200の平面内の方向、すなわち、フランジ200の平面に沿った方向のことである。
In the present specification, the vertical direction is the Z direction, the in-plane direction of the
図2に示すように、保持部10は、フランジ200を鉛直方向(Z方向)に直立した状態で保持するように構成されている。保持部10は、クランプ台Aとしてのクランプ台20と、クランプ台Bとしてのクランプ台30と、を有している。具体的には、保持部10は、2つのクランプ台20と、1つのクランプ台30と、を有しており、クランプ台30は、2つのクランプ台20の間に位置するように設けられている。図3と図4に示すように、クランプ台20は、後述するトグルクランプ5とは別に、フランジ200の枠2の外周端を支える支持面Sを有している。支持面S上に枠2の外周端を載置することにより、フランジ200のZ方向位置を確定することができる。このような2つのクランプ台20を離間した2か所に配置することにより、2つのクランプ台20に保持されるフランジ200の中心位置が決定される。クランプ台20と同様に、クランプ台30も、図3と図4に示すように、支持面Tを有している。ただし、上述したように、2つのクランプ台20の支持面S上に、フランジ200の枠2の外周端を載置することにより、フランジ200のZ方向位置を確定することができる。従って、クランプ台30の支持面Tでフランジ200の枠2を保持する必要はなく、クランプ台30の支持面Tは、フランジ200の枠2の外周端からZ方向に、例えば、0.1〜5mmの隙間を空けて位置するように配置されている。
As shown in FIG. 2, the
図3と図4に示すように、クランプ台20には、クランプゴム21と、クランプレバー22と、を有するトグルクランプ5が設けられている。クランプレバー22を操作することにより、クランプゴム21がフランジ200の枠1近傍を把持するクランプ状態と、クランプゴム21がフランジ200を把持しない非クランプ状態とを切り替えるように構成されている。また、クランプ台20において、トグルクランプ5は、支点を中心に揺動するアーム24の揺動端側に取り付けられており、アーム24に連結するアーム23のノブ25を操作してアーム23を矢印A方向に移動させると、アーム24が矢印B方向に移動するように構成されている。同様に、アーム23を矢印C方向に移動させると、アーム24が矢印D方向に移動するように構成されている。これにより、クランプ台20は、クランプ位置、すなわち、フランジ200の枠2の外周端を支える支持面Sの位置と、クランプゴム21がフランジ200を把持する位置と、を変更することができるので、異なる大きさのフランジ200に対応することが可能となる。
As shown in FIGS. 3 and 4, the
図4に示すように、クランプ台30は、主として、クランプゴム26と、クランプレバー27と、を有するトグルクランプ6が設けられている。クランプ台20と同様に、クランプレバー27を操作することにより、クランプ状態と非クランプ状態とを切り替えるように構成されている。クランプ台30は、フランジ200の面内方向と直交する方向(Y方向)の位置を規定するように構成されている。また、上述したように、クランプ台20とクランプ台30は、Y方向の位置が揃うように、X方向に沿って一列に配置されている。これらにより、クランプ台30は、フランジ200をY方向に傾かないように保持することができる。
As shown in FIG. 4, the
以上のように、本実施形態では、フランジ200をZ方向に直立させて保持部10に保持させることができるので、フランジ200をX方向に平置きする場合よりもフランジ200の設置面積を小さくすることができる。これにより、検査装置100を小型化することができる。また、フランジ200をZ方向に直立させて保持部10に保持させることができるので、フランジ200をX方向に平置きする場合に生じる網目構造300の撓みを防止することができる。また、保持部10にフランジ200を保持させるときは、3つのクランプ台20,30にフランジ200を仮置きし、その後、クランプレバー22等を操作してフランジ200を固定することができるので、少ない人数で作業をすることができる。
As described above, in the present embodiment, since the
図1に示すように、撮像部11は、その撮像方向が、フランジ200の網目構造300と直交するように配置されている。撮像部11は、フランジ200の網目構造300を撮像するように構成されている。撮像部11は、例えば、CCD(Charged Coupled Device)、CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)等のイメージセンサを有するカメラを用いることができる。撮像部11は、撮像部11(カメラ)に備えられた不図示のレンズが集光した光を、不図示のイメージセンサによって電気信号に変換することにより、網目構造300を撮像することができる。なお、本明細書において、撮像方向とは、撮像部11がフランジ200を撮像する方向であり、撮像部11の光軸方向と言い換えることができる。
As shown in FIG. 1, the
光源12は、フランジ200を挟んで撮像部11と向かい合う位置に配置されており、後述する第1移動機構43により、撮像部11と一緒に移動するように構成されている。光源12は、撮像方向に平行な光を照射するように構成されている。光源12が照射した光は、網目構造300越しに撮像部11に入射する。光源12としては、例えば、狭指向角タイプのLEDを用いることができる。また、光源12は、光源12が照射する光を平行光化するコリメータレンズを有していてもよい。
The
移動機構13は、固定されたフランジ200(網目構造300)に対して、撮像部11の位置を移動させるように構成されている。図1に示すように、移動機構13は、第1移動機構43と第2移動機構53とを有している。第1移動機構43は、撮像部11と光源12とを一緒にZ方向に移動するように構成されている。第2移動機構53は、撮像部11と光源12とを一緒にX方向に移動するように構成されている。具体的には、第2移動機構53は、撮像台15上、光源台16上にそれぞれ配置されており、それぞれの第2移動機構53上には、第1移動機構43がそれぞれ配置されている。すなわち、第2移動機構53は、第1移動機構43をX方向に移動させることにより、間接的に撮像部11と光源12とをX方向に移動させることができるように構成されている。このように、第2移動機構53が、撮像部11と光源12とをX方向に移動させつつ、第1移動機構43が、撮像部11と光源12とをZ方向に移動させるようことができる。第1移動機構43と第2移動機構53とは、それぞれ、電動モータや送りネジ等を組み合わせて構成することができる。
The moving
処理部14は、撮像部11から送信された画像を解析して、網目構造300の状態を判定する。そのために、処理部14は、例えば、撮像部11と、光源12と、移動機構13と、データを送受信可能なように構成されており、これらの各部へ動作指示を送信するとともに、撮像部11から撮像画像を受信するようになっている。これにより、処理部14は、撮像部11が網目構造300のどの部分を撮像しているかを把握しつつ、撮像部11から送信された画像の解析を行うことができる。このような処理部14としては、例えば、所定のプログラムを必要に応じて実行するコンピュータを用いることができる。なお、処理部14が行う画像解析については、詳細を後述する。
The
(2)検査装置を用いた検査方法
本実施形態の検査装置100を用いたフランジ200が有する網目構造300の状態の検査方法について説明する。
(2) Inspection Method Using Inspection Device An inspection method for the state of the
図5は、本実施形態の検査方法の一例を示すフローチャートである。本実施形態の検査方法は、例えば、設定工程S101と、移動・撮像工程S102と、撮像判断工程S103と、処理工程S104と、を有する。 FIG. 5 is a flowchart showing an example of the inspection method of the present embodiment. The inspection method of the present embodiment includes, for example, a setting step S101, a moving / imaging step S102, an imaging determination step S103, and a processing step S104.
以下の説明では、第1移動機構43の移動方向であるZ方向を上下方向とし、Y方向を前後方向とし、第2移動機構53の移動方向であるX方向を左右方向とする。また、上下方向の一方側であるZ1方向側を「上」側とし、上下方向の他方側であるZ2方向側を「下」側とする。左右方向の一方側であるX1方向側を「右」側とし、左右方向の他方側であるX2方向側を「左」側とする。前後方向の一方側であるY1方向側を「前」側とし、前後方向の他方側であるY2方向側を「後ろ」側とする(図2参照)。
In the following description, the Z direction, which is the moving direction of the first moving
(設定工程S101)
設定工程S101では、保持部10(クランプ台20,30)を用いてフランジ200を保持する。具体的には、図2に示すように、フランジ200(網目構造300)が直立した状態となるように、フランジ200を保持部10に保持させる。このように保持部10を用いることにより、フランジ200を前後に傾かないように保持することができる。フランジ200の保持部10への設置は、検査装置100の操作者(作業者)が行うようにすればよいが、専用の搬送ロボットを用いて行うようにしてもよい。
(Setting step S101)
In the setting step S101, the
(移動・撮像工程S102)
移動・撮像工程S102では、まず、フランジ200のX1方向右端における接線と、フランジ200のZ1方向上端における接線と、のXZ平面上での交点Pと対応する位置(以下、「開始位置」と称する場合がある。)に、撮像部11と光源12とを移動機構13により移動させる。そして、開始位置において撮像部11を用いて撮像をした後、移動機構13によるフランジ200に対する撮像部11の位置移動と、撮像部11による撮像と、を繰り返し行う。
(Movement / Imaging Step S102)
In the moving / imaging step S102, first, a position corresponding to the intersection P of the tangent line at the right end of the
具体的には、開始位置において、撮像部11により所定の領域を撮像した後、第1移動機構43により撮像部11と光源12とをZ2方向(下側)へ所定の距離だけ移動させて、撮像部11によりフランジ200(網目構造300)についての撮像を行う。これらの動作を、撮像部11と光源12とがフランジ200のZ2方向の下端に到達するまで繰り返す。
Specifically, at the start position, after the
撮像部11と光源12とがフランジ200のZ2方向の下端に到達したら、第2移動機構53により撮像部11と光源12とをX2方向(左側)へ所定の距離だけ移動させる。そして、撮像部11により所定の領域を撮像した後、第1移動機構43により撮像部11と光源12とをZ1方向(上側)へ所定の距離だけ移動させて、撮像部11によりフランジ200についての撮像を行う。これらの動作を、撮像部11と光源12とがフランジ200のZ1方向の上端に到達するまで繰り返す。以上の動作を動作Aと称する。
When the
撮像部11と光源12とがフランジ200のZ1方向の上端に到達したら、第2移動機構53により撮像部11と光源12とをさらにX2方向(左側)へ所定の距離だけ移動させる。そして、撮像部11により所定の領域を撮像した後、第1移動機構43により撮像部11と光源12とをZ2方向(下側)へ所定の距離だけ移動させて、撮像部11によりフランジ200についての撮像を行う。これらの動作を、撮像部11と光源12とがフランジ200のZ2方向の下端に到達するまで繰り返す。以上の動作を動作Bと称する。
When the
上述した動作A,Bを、例えば、フランジ200のX2方向左端における接線と、フランジ200のZ2方向下端における接線と、のXZ平面上での交点Qと対応する位置(以下、「終了位置」と称する場合がある。)に、撮像部11と光源12とが移動機構13により移動されるまで繰り返す。これにより、撮像部11は、網目構造300のXZ平面の全域を隈なく撮像することができる。
The above-mentioned operations A and B are, for example, positions corresponding to the intersection Q of the tangent line at the left end of the
つまり、移動機構13(第1移動機構43と第2移動機構53)は、直交二軸駆動なので、その動作範囲が矩形状となるが、その動作範囲の矩形内にフランジ200の円形状の外周端が内包されていれば、撮像部11がフランジ200(網目構造300)の全域を隈なく撮像することができる。その場合に、本実施形態のように、移動機構13の動作範囲(矩形状)をフランジ200(円形状)に外接するようにすることで、移動機構13の動作範囲を最も小さくできる。
That is, since the moving mechanism 13 (the first moving
(撮像判断工程S103)
撮像判断工程S103では、撮像部11が網目構造300の全域を隈なく撮像したか否かを判断する。具体的には、例えば、処理部14が撮像部11から受信した網目構造300の撮像画像の部分データ(矩形領域)を合成して、網目構造300の全体画像を構成することができるか否かを判断する。網目構造300の全体画像を構成できる判断した場合は、次の処理工程S104に進む。網目構造300の全体画像を構成できないと判断した場合は、移動・撮像工程S102を再び行う。
(Imaging determination step S103)
In the imaging determination step S103, it is determined whether or not the
(処理工程S104)
処理工程S104では、撮像部11から送信された画像を解析して、網目構造300の状態を判定する。具体的には、合成した矩形領域を構成する各画素のデータを解析する。例えば、各画素のデータの値の範囲を「0〜100」とし、フランジ200によって遮られない部分(例えば開始位置)の値を「95以上」、フランジ200の枠部によって完全に遮られる部分の値を「5未満」とすると、「95」と「5」の境界を抽出することでフランジ200の外周端縁を認識することができる。そして、フランジ200の領域内で、「5未満」の部分(枠部)を除く範囲が網目構造300の領域である。その網目構造300の領域内で、所定の範囲(例えば「40〜70」)内であれば網目構造300に目詰まりも穴開きもない状態と判定し、当該所定の範囲未満であれば網目構造300に目詰まりが生じている状態と判定し、当該所定の範囲を超えていれば網目構造300に穴があいている状態と判定する。
(Processing step S104)
In the processing step S104, the image transmitted from the
(3)本実施形態に係る効果
本実施形態によれば、以下に示す1つまたは複数の効果を奏する。
(3) Effects of the present embodiment According to the present embodiment, one or more of the following effects are exhibited.
(a)本実施形態の処理部14は、撮像部11が撮像した画像を解析して網目構造300の状態を判定するように構成されている。具体的には、処理部14は、撮像部11から送信された画像の構成データを、予め設定された判定基準と対比することにより、網目構造300の状態(例えば、正常状態、目詰まり状態、穴あき状態のいずれに該当するか)を判定する。これにより、人為的な判定のバラツキやフランジ200のサイズ違い等の影響を排除しつつ定量的な判定を行うことが可能となる。このように、判定の定量化によって検査の適切化を図ることができる。
(A) The
また、本実施形態の保持部10は、フランジ200を鉛直方向に直立した状態で保持するように構成されているので、フランジ200をX方向に平置きする場合よりもフランジ200の設置面積を小さくすることができる。これにより、検査装置100を小型化することができる。このように検査装置100を小型化することにより、検査スペースの省スペース化を図る場合であっても、検査を適切に行うことができる。
Further, since the holding
本実施形態の保持部10は、フランジ200を鉛直方向に直立した状態で保持するように構成されている。これにより、フランジ200の撮像中に、フランジ200に付着した粉体が撮像部11や光源12に落下するおそれがない。従って、処理部14は、光源12等に落下した粉体の影響を受けずに正確な画像解析を行うことができるので、網目構造300の検査を高精度に行うことができる。また、フランジ200の撮像中に、撮像部11や光源12の清掃を頻繁に行う必要がないので、検査を効率よく行うことができる。このような高精度化や効率化等によっても、検査の適切化を図ることができる。
The holding
本実施形態の保持部10は、フランジ200を鉛直方向に直立した状態で保持するように構成されているので、フランジ200をX方向に平置きする場合に生じる網目構造300の撓みを防止することができる。結果として、高精度の検査、検査の効率化を実現することができ、検査の適切化を図る上で非常に有用である。
Since the holding
本実施形態の移動機構13は、フランジ200と撮像部11との相対位置を移動させるように構成されている。これにより、フランジ200を領域ごとに撮像することができ、フランジ200の全域を一度に撮像しなくてもよいので、フランジ200の全域が一つの画角内に収まるように、撮像部11の光学系を設定する必要がない。従って、必要以上に高解像度の撮像部11を用いる必要はなく、簡素かつ低コストの構成の撮像部11により検査を行うことができる。このように、簡素かつ低コストの構成の撮像部11を用いる場合であっても、検査を適切に行うことができる。
The moving
(b)本実施形態の保持部10は、2つのクランプ台20と1つのクランプ台30とを有している。従って、保持部10にフランジ200を保持させるときは、3つのクランプ台20,30にフランジ200を仮置きし、その後、クランプレバーを操作してフランジ200を固定することができるので、作業の少人数化を図ることができる。
(B) The holding
また、本実施形態の2つのクランプ台20は、クランプ位置を変更可能に構成されているので、検査装置100は、異なる大きさのフランジ200にも対応することができる。
Further, since the two
(c)本実施形態のクランプ台30は、フランジ200の面内方向と直交する方向(Y方向)の位置を規定するように構成されている。これにより、フランジ200をY方向に傾かないように保持することができ、フランジ200と撮像部11との距離を一定に保つことができるので、網目構造300の検査を高精度に行うことができ、検査を適切に行う上で非常に有用である。
(C) The
(d)本実施形態の第1移動機構43は、撮像部11と光源12とを一緒にZ方向に移動するように構成されており、第2移動機構53は、撮像部11と光源12とを一緒にX方向に移動するように構成されている。このように、移動機構13(第1移動機構43と第2移動機構53)は、直交二軸駆動であり、第1移動機構43と第2移動機構53との動作を繰り返すことにより、撮像部11は、フランジ200(網目構造300)の全域を隈なく撮像することができる。また、比較的サイズの大きいフランジ200を移動させずに、比較的サイズの小さい撮像部11と光源12を移動させるように構成されているので、検査装置100の構成をより簡素にすることができる。このように、簡素な構成の検査装置100を用いる場合であっても、検査を適切に行うことができる。
(D) The first moving
(e)本実施形態の検査装置100は、フランジ200を挟んで撮像部11と対向する位置で、フランジ200に対して光を照射する光源12を有している。これにより、網目構造300の画像に表された光の量に基づいて、網目構造300の状態を判定することができる。すなわち、網目構造300の画像のパターン認識や形状解析等を要することなく、画像の輝度(明度)データのみで、網目構造300の状態を定量的に判定することができる。結果として、検査の効率化を実現することができ、このことは、検査の適切化を図る上で非常に有用である。
(E) The
(f)本実施形態の検査装置100は、粉体を分級する篩(フランジ200)を検査するように構成されている。検査装置100により、フランジ200の交換時期を明確に判断することができ、正確な粉体の分級を実現することができる。
(F) The
<本発明の他の実施形態>
以上、本発明の実施形態について具体的に説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。
<Other Embodiments of the Present Invention>
Although the embodiments of the present invention have been specifically described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made without departing from the gist thereof.
上述の実施形態では、光源12を有する検査装置100を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、光源12を有しない検査装置100を用いてもよい。但し、フランジ200を挟んで撮像部11と対向する位置に配置された光源12を有する方が、網目構造300の画像に表された光の量のみに基づいて、定量的に網目構造300の状態を判定することができ、検査の適切化を図る上で有用である。
In the above-described embodiment, the
また、上述の実施形態では、第1移動機構43により、撮像部11と光源12とをZ方向に移動させ、第2移動機構53により、撮像部11と光源12とをX方向に移動させる場合について説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、第1移動機構43により、撮像部11と光源12とを、Z方向以外のフランジ200の面内方向の一方向に移動させ、第2移動機構53により、撮像部11と光源12とを当該一方向と直交する方向に移動させるようにしてもよい。この場合においても、撮像部11は、フランジ200(網目構造300)の全域を隈なく撮像することができる。
Further, in the above-described embodiment, the first moving
また、上述の実施形態では、固定されたフランジ200(網目構造300)に対し、移動機構13により、撮像部11と光源12とをX方向とZ方向に移動させる場合について説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、所定の移動機構により、フランジ200をX方向に移動させ、第1移動機構43により、撮像部11と光源12とをZ方向に移動させるようにしてもよい。また、所定の2つの移動機構により、フランジ200をX方向とZ方向にそれぞれ移動させるように構成させるようにしてもよい。これらの場合においても、撮像部11は、フランジ200(網目構造300)の全域を隈なく撮像することができる。
Further, in the above-described embodiment, the case where the
また、上述の実施形態では、撮像部11の撮像開始点を交点Pとし、撮像部11の撮像終了点を交点Qする場合について説明したが、本発明はこれに限定されない。撮像開始点と撮像終了点は、検査対象であるフランジ200の交点P,Qよりも外方側にあれば特に限定されない。従って、例えば、予め検査対象となるフランジ200のうち、最もサイズの大きいフランジ200に合わせて撮像開始点と撮像終了点の設定しておくことで、サイズの異なるフランジ200を検査するたび毎にこれらを設定し直す必要がない。これにより、効率的に検査をすることができ、検査の適切化を図る上で有用である。一方、サイズの異なるフランジ200毎に対応する移動機構13の動作範囲を設定し、移動機構13の無駄な動作を省くようにすることも検査の効率化につながり、検査の適切化を図る上で有用である。
Further, in the above-described embodiment, the case where the imaging start point of the
また、上述の実施形態では、撮像部11は、Z方向に移動した後、停止して撮像し、その後またZ方向に移動し、停止して撮像を繰り返す間欠動作をする場合について説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、撮像部11は、Z方向に移動しながら連写する、という連続的な動作を行うようにしてもよい。
Further, in the above-described embodiment, the case where the
100 検査装置
1 枠
2 枠
5 トグルクランプ
6 トグルクランプ
10 保持部
11 撮像部
12 光源
13 移動機構
14 処理部
15 撮像台
16 照明台
20 クランプ台
S 支持面
T 支持面
21 クランプゴム
22 クランプレバー
23 アーム
24 アーム
25 ノブ
26 クランプゴム
27 クランプレバー
30 クランプ台
43 第1移動機構
53 第2移動機構
200 フランジ
300 網目構造
100
Claims (7)
前記網目構造を撮像する撮像部と、
前記物体と前記撮像部との相対位置を移動させる移動機構と、
前記撮像部が撮像した画像を解析して前記網目構造の状態を判定する処理部と、
を有し、
前記保持部は、複数のクランプ台を有し、
前記複数のクランプ台のうちの少なくとも2つのクランプ台Aは、前記物体の鉛直方向位置を確定するように構成されており、
前記複数のクランプ台のうちの前記クランプ台Aとは異なるクランプ台Bは、前記2つのクランプ台Aの間に設けられ、前記物体の面内方向と直交する方向の位置を規定するように構成されている、
検査装置。 A holding part that holds a plate-shaped object with a mesh structure in an upright position in the vertical direction,
An imaging unit that images the network structure and
A moving mechanism that moves the relative position between the object and the imaging unit,
A processing unit that analyzes the image captured by the imaging unit to determine the state of the network structure, and
Have a,
The holding portion has a plurality of clamp bases and has a plurality of clamp bases.
At least two clamp bases A of the plurality of clamp bases are configured to determine the vertical position of the object.
The clamp base B, which is different from the clamp base A among the plurality of clamp bases, is provided between the two clamp bases A and is configured to define a position in a direction orthogonal to the in-plane direction of the object. Has been
Inspection equipment.
請求項1に記載の検査装置。 The clamp base A is configured so that the clamp position can be changed according to the size of the object.
The inspection device according to claim 1.
請求項1または2に記載の検査装置。 The moving mechanism includes a first moving mechanism that moves the imaging unit in one direction in the in-plane direction of the object, and a second moving mechanism that moves the imaging unit in a direction orthogonal to the one direction.
The inspection device according to claim 1 or 2.
請求項3項に記載の検査装置。 The one direction is the vertical direction,
The inspection device according to claim 3.
前記撮像部は、前記網目構造を通過した前記光源からの光を受光し、
前記処理部は、前記撮像部が受光した光の量を解析して前記網目構造の状態を判定する、
請求項1〜4のいずれか1項に記載の検査装置。 Further having a light source for irradiating the object with light at a position facing the imaging unit with the object in between.
The imaging unit receives light from the light source that has passed through the network structure, and receives light.
The processing unit analyzes the amount of light received by the imaging unit to determine the state of the network structure.
The inspection device according to any one of claims 1 to 4.
請求項1〜5のいずれか1項に記載の検査装置。 The object is a sieve for classifying powders,
The inspection device according to any one of claims 1 to 5.
前記網目構造を撮像する工程と、
前記物体と撮像部との相対位置を移動させる工程と、
前記撮像部が撮像した画像を解析して前記網目構造の状態を判定する工程と、
を有し、
前記物体を鉛直方向に直立した状態で保持する工程では、少なくとも2つのクランプ台Aにより、前記物体の鉛直方向位置を確定し、前記2つのクランプ台Aの間に設けられ、前記クランプ台Aとは異なるクランプ台Bにより、前記物体の面内方向と直交する方向の位置を規定する、
検査方法。 The process of holding a plate-shaped object with a mesh structure upright in the vertical direction, and
The process of imaging the network structure and
The step of moving the relative position between the object and the imaging unit, and
A step of analyzing an image captured by the imaging unit to determine the state of the network structure,
Have a,
In the step of holding the object upright in the vertical direction, at least two clamp bases A determine the vertical position of the object, and the object is provided between the two clamp bases A and the clamp base A. Defines the position of the object in a direction orthogonal to the in-plane direction by a different clamp base B.
Inspection method.
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