JP6936449B2 - 熱硬化性樹脂組成物 - Google Patents
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Description
本発明の熱硬化性樹脂組成物に含まれる自己架橋性共重合体は、前述の式(1)、式(2)及び式(3)で表される構造単位を有する共重合体である。
本発明の熱硬化性樹脂組成物に含まれる有機溶剤としては、該熱硬化性樹脂組成物に含まれる自己架橋性共重合体及びトリアジン系紫外線吸収剤を溶解するものであれば、特に限定されない。そのような有機溶剤としては、例えば、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールプロピルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテルアセテート、トルエン、キシレン、メチルエチルケトン、シクロペンタノン、シクロヘキサノン、2−ヒドロキシプロピオン酸エチル、2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、エトキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸エチル、2−ヒドロキシ−3−メチルブタン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、ピルビン酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸エチル、乳酸ブチル、2−ヘプタノン、γ−ブチロラクトン、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチル−2−ピロリドン、及びN−エチル−2−ピロリドンを挙げることができる。これらの有機溶剤は、1種単独で使用しても、2種以上を組み合わせて使用してもよい。
また、本発明の熱硬化性樹脂組成物は、塗布性を向上させる目的で、界面活性剤を含有することもできる。該界面活性剤としては、例えば、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンセチルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル等のポリオキシエチレンアルキルエーテル類、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル等のポリオキシエチレンアルキルアリールエーテル類、ポリオキシエチレン・ポリオキシプロピレンブロックコポリマー類、ソルビタンモノラウレート、ソルビタンモノパルミテート、ソルビタンモノステアレート、ソルビタンモノオレエート、ソルビタントリオレエート、ソルビタントリステアレート等のソルビタン脂肪酸エステル類、ポリオキシエチレンソルビタンモノラウレート、ポリオキシエチレンソルビタンモノパルミテート、ポリオキシエチレンソルビタンモノステアレート、ポリオキシエチレンソルビタントリオレエート、ポリオキシエチレンソルビタントリステアレート等のポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル類等のノニオン系界面活性剤、エフトップ〔登録商標〕EF301、同EF303、同EF352(以上、三菱マテリアル電子化成(株)製)、メガファック〔登録商標〕F171、同F173、同R−30、同R−40、同R−40−LM(以上、DIC(株)製)、フロラードFC430、同FC431(以上、住友スリーエム(株)製)、アサヒガード〔登録商標〕AG710、サーフロン〔登録商標〕S−382、同SC101、同SC102、同SC103、同SC104、同SC105、同SC106(AGC(株)製)、DFX−18、FTX−206D、FTX−212D、FTX−218、FTX−220D、FTX−230D、FTX−240D、FTX−212P、FTX−220P、FTX−228P、FTX−240G等フタージェントシリーズ((株)ネオス製)等のフッ素系界面活性剤、オルガノシロキサンポリマーKP341(信越化学工業(株)製)を挙げることができる。これらの界面活性剤は、1種単独で又は2種以上を組み合わせて使用することができる。
<硬化膜の作製方法>
本発明の熱硬化性樹脂組成物を用いた硬化膜の作製方法について説明する。基材(例えば、PETフィルム、TACフィルム、半導体基板、ガラス基板、石英基板、シリコンウエハー及びこれらの表面に各種金属膜又はカラーフィルター等が形成された基板)上に、スピナー、コーター等の適当な塗布方法により本発明の熱硬化性樹脂組成物を塗布後、ホットプレート、オーブン等の加熱手段を用いてベークして硬化膜を作製する。ベーク条件は、ベーク温度50℃乃至300℃、ベーク時間0.1分間乃至360分間の中から適宜選択される。前記硬化膜を作製する際のベークは2ステップ以上処理してもよい。また、本発明の熱硬化性樹脂組成物から形成される硬化膜の膜厚としては、例えば0.001μm乃至1000μmであり、好ましくは0.01μm乃至100μmであり、より好ましくは0.1μm乃至10μmである。
本発明の熱硬化性樹脂組成物を用いたマイクロレンズの作製方法について説明する。前記硬化膜の作製方法を経て作製された硬化膜の上にレジストを塗布し、該レジストを所定のマスクを通して露光し、必要に応じて露光後加熱(PEB)を行い、さらにアルカリ現像、リンス、及び乾燥することにより、該硬化膜上に所定のレジストパターンを形成する。露光には、例えば、g線、i線、KrFエキシマレーザー、ArFエキシマレーザーを使用することができる。次いで、加熱処理することにより、前記レジストパターンをリフローしてレンズパターンを形成する。このレンズパターンをエッチングマスクとして、該レンズパターンの下層の前記硬化膜をエッチバックして、該レンズパターンの形状を前記硬化膜に転写することによってマイクロレンズを作製する。
〔下記合成例で得られた共重合体の重量平均分子量の測定〕
装置:日本分光(株)製GPCシステム
カラム:Shodex〔登録商標〕GPC KF−804L及びGPC KF−803L
カラムオーブン:40℃
流量:1mL/分
溶離液:テトラヒドロフラン
<合成例1>
2−ビニルナフタレン15.0g、1−n−ブトキシエチルメタクリレート3.9g、グリシジルメタクリレート3.0g、及び2,2’−アゾビスイソブチロニトリル1.5gをプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート23.3gに溶解させた。得られた溶液を、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート31.1gを70℃に保持したフラスコ中に、4時間かけて滴下した。滴下終了後、18時間反応させて、共重合体の溶液(固形分濃度30質量%)を得た。得られた共重合体の重量平均分子量Mwは6,000(ポリスチレン換算)であった。
2−ビニルナフタレン18.0g、1−n−ブトキシエチルメタクリレート2.7g、グリシジルメタクリレート2.1g、及び2,2’−アゾビスイソブチロニトリル0.7gをプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート23.5gに溶解させた。得られた溶液を、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート31.4gを70℃に保持したフラスコ中に4時間かけて滴下した。滴下終了後、18時間反応させて、共重合体の溶液(固形分濃度30質量%)を得た。得られた共重合体の重量平均分子量Mwは16,000(ポリスチレン換算)であった。
2−ビニルナフタレン20.0g、1−n−ブトキシエチルメタクリレート1.4g、グリシジルメタクリレート1.1g、及び2,2’−アゾビスイソブチロニトリル0.5gをプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート23.5gに溶解させた後、得られた溶液を、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート31.4gを70℃に保持したフラスコ中に4時間かけて滴下した。滴下終了後、18時間反応させて、共重合体の溶液(固形分濃度30質量%)を得た。得られた共重合体の重量平均分子量Mwは20,000(ポリスチレン換算)であった。
<実施例1>
合成例1で得られた共重合体の溶液20.0g、トリアジン系紫外線吸収剤である前記式(T−9)で表される化合物0.3g及び界面活性剤としてメガファック〔登録商標〕R−40(DIC(株)製)0.003gを、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート7.4g及びシクロヘキサノン14.3gに溶解させて、溶液を得た。その後、得られた溶液を、孔径0.10μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いてろ過して熱硬化性樹脂組成物を調製した。
合成例2で得られた共重合体の溶液20.0g、トリアジン系紫外線吸収剤である前記式(T−9)で表される化合物0.3g及び界面活性剤としてメガファック〔登録商標〕R−40(DIC(株)製)0.003gを、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート7.4g及びシクロヘキサノン14.3gに溶解させて、溶液を得た。その後、得られた溶液を、孔径0.10μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いてろ過して熱硬化性樹脂組成物を調製した。
合成例3で得られた共重合体の溶液20.0g、トリアジン系紫外線吸収剤である前記式(T−9)で表される化合物0.3g及び界面活性剤としてメガファック〔登録商標〕R−40(DIC(株)製)0.003gを、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート7.4g及びシクロヘキサノン14.3gに溶解させて溶液を得た。その後、得られた溶液を、孔径0.10μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いてろ過して熱硬化性樹脂組成物を調製した。
合成例1で得られた共重合体の溶液20.0g、トリアジン系紫外線吸収剤である前記式(T−9)で表される化合物0.18g及び界面活性剤としてメガファック〔登録商標〕R−40(DIC(株)製)0.003gを、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート7.0g及びシクロヘキサノン14.0gに溶解させて溶液を得た。その後、得られた溶液を、孔径0.10μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いてろ過して熱硬化性樹脂組成物を調製した。
合成例1で得られた共重合体の溶液20.0g、トリアジン系紫外線吸収剤である前記式(T−9)で表される化合物0.6g及び界面活性剤としてメガファック〔登録商標〕R−40(DIC(株)製)0.003gを、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート5.3g及びシクロヘキサノン12.9gに溶解させて溶液を得た。その後、得られた溶液を、孔径0.10μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いてろ過して熱硬化性樹脂組成物を調製した。
合成例1で得られた共重合体の溶液20.0g、トリアジン系紫外線吸収剤である前記式(T−9)で表される化合物1.2g及び界面活性剤としてメガファック〔登録商標〕R−40(DIC(株)製)0.003gを、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート3.3g及びシクロヘキサノン11.5gに溶解させて溶液を得た。その後、得られた溶液を、孔径0.10μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いてろ過して熱硬化性樹脂組成物を調製した。
合成例2で得られた共重合体の溶液20.0g、トリアジン系紫外線吸収剤である前記式(T−7)で表される化合物0.3g及び界面活性剤としてメガファック〔登録商標〕R−40(DIC(株)製)0.003gを、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート7.4g及びシクロヘキサノン14.3gに溶解させて溶液を得た。その後、得られた溶液を、孔径0.10μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いてろ過して熱硬化性樹脂組成物を調製した。
合成例2で得られた共重合体の溶液20.0g、トリアジン系紫外線吸収剤である前記式(T−6)で表される化合物0.3g及び界面活性剤としてメガファック〔登録商標〕R−40(DIC(株)製)0.003gを、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート7.4g及びシクロヘキサノン14.3gに溶解させて溶液を得た。その後、得られた溶液を、孔径0.10μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いてろ過して熱硬化性樹脂組成物を調製した。
合成例2で得られた共重合体の溶液20.0g、トリアジン系紫外線吸収剤である前記式(T−11)で表される化合物0.3g及び界面活性剤としてメガファック〔登録商標〕R−40(DIC(株)製)0.003gを、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート7.4g及びシクロヘキサノン14.3gに溶解させて溶液を得た。その後、得られた溶液を、孔径0.10μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いてろ過して熱硬化性樹脂組成物を調製した。
合成例2で得られた共重合体の溶液20.0g、トリアジン系紫外線吸収剤である前記式(T−13)で表される化合物0.3g及び界面活性剤としてメガファック〔登録商標〕R−40(DIC(株)製)0.003gを、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート7.4g及びシクロヘキサノン14.3gに溶解させて溶液を得た。その後、得られた溶液を、孔径0.10μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いてろ過して熱硬化性樹脂組成物を調製した。
合成例2で得られた共重合体の溶液20.0g、トリアジン系紫外線吸収剤である前記式(T−5)で表される化合物0.3g及び界面活性剤としてメガファック〔登録商標〕R−40(DIC(株)製)0.003gを、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート7.4g及びシクロヘキサノン14.3gに溶解させて溶液を得た。その後、得られた溶液を、孔径0.10μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いてろ過して熱硬化性樹脂組成物を調製した。
合成例2で得られた共重合体の溶液20.0g、トリアジン系紫外線吸収剤である前記式(T−4)で表される化合物0.3g及び界面活性剤としてメガファック〔登録商標〕R−40(DIC(株)製)0.003gを、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート7.4g及びシクロヘキサノン14.3gに溶解させて溶液を得た。その後、得られた溶液を、孔径0.10μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いてろ過して熱硬化性樹脂組成物を調製した。
合成例2で得られた共重合体の溶液20.0g及び界面活性剤としてメガファック〔登録商標〕R−40(DIC(株)製)0.003gを、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート6.4g及びシクロヘキサノン13.6gに溶解させて溶液を得た。その後、得られた溶液を、孔径0.10μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いてろ過して熱硬化性樹脂組成物を調製した。本比較例で調製した熱硬化性樹脂組成物は、紫外線吸収剤を含まない。
合成例2で得られた共重合体の溶液20.0g、ベンゾトリアゾール系紫外線吸収剤である下記式(BT−1)で表される化合物0.3g及び界面活性剤としてメガファック〔登録商標〕R−40(DIC(株)製)0.003gを、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート7.4g及びシクロヘキサノン14.3gに溶解させて溶液を得た。その後、得られた溶液を、孔径0.10μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いてろ過して熱硬化性樹脂組成物を調製した。
合成例2で得られた共重合体の溶液20.0g、ベンゾトリアゾール系紫外線吸収剤である下記式(BT−2)で表される化合物0.3g及び界面活性剤としてメガファック〔登録商標〕R−40(DIC(株)製)0.003gを、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート7.4g及びシクロヘキサノン14.3gに溶解させて溶液を得た。その後、得られた溶液を、孔径0.10μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いてろ過して熱硬化性樹脂組成物を調製した。
合成例2で得られた共重合体の溶液20.0g、ベンゾトリアゾール系紫外線吸収剤である下記式(BT−3)で表される化合物0.3g及び界面活性剤としてメガファック〔登録商標〕R−40(DIC(株)製)0.003gを、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート7.4g及びシクロヘキサノン14.3gに溶解させて溶液を得た。その後、得られた溶液を、孔径0.10μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いてろ過して熱硬化性樹脂組成物を調製した。
合成例2で得られた共重合体の溶液20.0g、ベンゾトリアゾール系紫外線吸収剤である下記式(BT−4)で表される化合物0.3g及び界面活性剤としてメガファック〔登録商標〕R−40(DIC(株)製)0.003gを、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート7.4g及びシクロヘキサノン14.3gに溶解させて溶液を得た。その後、得られた溶液を、孔径0.10μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いてろ過して熱硬化性樹脂組成物を調製した。
合成例2で得られた共重合体の溶液20.0g、ベンゾフェノン系紫外線吸収剤である下記式(BP−1)で表される化合物0.3g及び界面活性剤としてメガファック〔登録商標〕R−40(DIC(株)製)0.003gを、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート7.4g及びシクロヘキサノン14.3gに溶解させて溶液を得た。その後、得られた溶液を、孔径0.10μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いてろ過して熱硬化性樹脂組成物を調製した。
合成例2で得られた共重合体の溶液20.0g、ベンゾフェノン系紫外線吸収剤である下記式(BP−2)で表される化合物0.3g及び界面活性剤としてメガファック〔登録商標〕R−40(DIC(株)製)0.003gを、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート7.4g及びシクロヘキサノン14.3gに溶解させて溶液を得た。その後、得られた溶液を、孔径0.10μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いてろ過して熱硬化性樹脂組成物を調製した。
合成例2で得られた共重合体の溶液20.0g、ベンゾフェノン系紫外線吸収剤である下記式(BP−3)で表される化合物0.3g及び界面活性剤としてメガファック〔登録商標〕R−40(DIC(株)製)0.003gを、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート7.4g及びシクロヘキサノン14.3gに溶解させて溶液を得た。その後、得られた溶液を、孔径0.10μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いてろ過して熱硬化性樹脂組成物を調製した。
合成例2で得られた共重合体の溶液20.0g、ベンゾフェノン系紫外線吸収剤である下記式(BP−4)で表される化合物0.3g及び界面活性剤としてメガファック〔登録商標〕R−40(DIC(株)製)0.003gを、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート7.4g及びシクロヘキサノン14.3gに溶解させて溶液を得た。その後、得られた溶液を、孔径0.10μmのポリエチレン製ミクロフィルターを用いてろ過して熱硬化性樹脂組成物を調製した。
実施例1乃至実施例12及び比較例1乃至比較例9で調製した熱硬化性樹脂組成物を、それぞれ、シリコンウエハー上にスピンコーターを用いて塗布し、ホットプレート上において100℃で1分間、さらに220℃で5分間ベークし、膜厚1μmの硬化膜を形成した。これらの硬化膜に対して、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、乳酸エチル、シクロヘキサノン、2−プロパノール及び2.38質量%濃度の水酸化テトラメチルアンモニウム(以下、TMAHと略称する。)水溶液に、それぞれ23℃の温度条件下、5分間浸漬した後、100℃で1分間ベークし乾燥させた。浸漬前及び乾燥後それぞれの前記硬化膜の膜厚を測定し、膜厚変化を算出した。前記浸漬に使用した溶剤のうち1つでも、浸漬前の膜厚に対して乾燥後の膜厚が5%以上増減した場合は“×”、前記浸漬に使用した溶剤全てについて、浸漬前の膜厚に対して乾燥後の膜厚の増減が5%未満であった場合は“○”として耐溶剤性を評価した。評価結果を表1に示す。
実施例1乃至実施例12及び比較例1乃至比較例9で調製した熱硬化性樹脂組成物を、それぞれ、シリコンウエハー上にスピンコーターを用いて塗布し、ホットプレート上において100℃で1分間、さらに220℃で5分間ベークし、膜厚1μmの硬化膜を形成した。これらの硬化膜に対して、分光エリプソメーターM−2000(ジェー・エー・ウーラム・ジャパン(株))を用いて波長550nmの屈折率を測定した。評価結果を表1に示す。
実施例1乃至実施例12及び比較例1乃至比較例9で調製した熱硬化性樹脂組成物を、それぞれ、石英基板上にスピンコーターを用いて塗布し、ホットプレート上において100℃で1分間、さらに220℃で5分間ベークし、膜厚1μmの硬化膜を形成した。これらの硬化膜に対して、紫外線可視分光光度計UV−2600((株)島津製作所製)を用いて、波長400nm乃至800nmの範囲で透過率を測定した。さらに、これらの硬化膜を260℃で5分間ベークした後、再び波長400nm乃至800nmの範囲で透過率を測定した。220℃で5分間ベーク後及び260℃で5分間ベーク後のそれぞれにおいて、波長400nm乃至800nmの範囲で測定された最低透過率が、90%以上であった場合を“〇”、90%未満であった場合を“×”として耐熱性を評価した。評価結果を表1に示す。
実施例1乃至実施例12及び比較例1乃至比較例9で調製した熱硬化性樹脂組成物を、それぞれ、石英基板上にスピンコーターを用いて塗布し、ホットプレート上において100℃で1分間、さらに220℃で5分間ベークし、膜厚1μmの硬化膜を形成した。これらの硬化膜に対して、紫外線可視分光光度計UV−2600((株)島津製作所製)を用いて、波長400nm乃至800nmの範囲で透過率を測定した。さらに、これらの硬化膜に対して下記条件で耐光性試験を行った後、再び波長400nm乃至800nmの範囲で透過率を測定した。耐光性試験前及び耐光性試験後のそれぞれにおいて、波長400nm乃至800nmの範囲で測定された最低透過率が90%以上であった場合を“〇”、90%未満であった場合を“×”として耐光性を評価した。評価結果を表1に示す。
装置:キセノン促進耐候性試験機Q−Sun Xe−1−B(Q−Lab Corporation製)
光源:キセノンアークランプ
光学フィルター:Window−B/SL
照度:60W/m2(波長300nm乃至400nm)
ブラックパネル温度:63℃
試験時間:20時間
実施例1乃至実施例12で調製した熱硬化性樹脂組成物をそれぞれ、高さ0.3μm、ライン幅10μm、ライン間スペース10μmの段差基板(図1参照)上にスピンコーターを用いて塗布し、ホットプレート上において100℃で1分間、さらに220℃で5分間ベークし、膜厚1μmの膜を形成した。図1の段差基板1に示すh1(段差基板の段差)とh2(硬化膜の段差、即ちライン上の硬化膜の高さとスペース上の硬化膜の高さとの高低差)の値から、“式:(1−(h2/h1))×100”を用いて平坦化率を求めた。平坦化率が80%以上であった場合を“〇”、50%以上80%未満であった場合を“△”、50%未満であった場合を“×”として段差平坦化性を評価した。評価結果を表1に示す。
実施例1乃至実施例12で調製した熱硬化性樹脂組成物をそれぞれ、シリコンウエハー上にスピンコーターを用いて塗布し、ホットプレート上において100℃で1分間、さらに220℃で5分間ベークし、膜厚1μmの硬化膜を形成した。これらの硬化膜に対して、ドライエッチング装置RIE−10NR(サムコ(株)製)(エッチングガス:CF4)を用いてドライエッチングし、ドライエッチングレートを測定した。同様に、レジスト溶液(THMR−iP1800(東京応化工業(株)製)を、シリコンウエハー上にスピンコーターを用いて塗布し、ホットプレート上において90℃で1.5分間、110℃で1.5分間、さらに180℃で1分間ベークし、膜厚1μmのレジスト膜を形成し、ドライエッチングレートを測定した。そして、前記レジスト膜に対する、実施例1乃至実施例12で調製した熱硬化性樹脂組成物から得られた硬化膜の、ドライエッチングレート比を求めた。評価結果を表1に示す。
2:硬化膜
3:ライン幅
4:ライン間スペース
h1:段差基板の段差
h2:硬化膜の段差
Claims (9)
- 下記式(1)で表される構造単位、下記式(2)で表される構造単位及び下記式(3)で表される構造単位を有する自己架橋性共重合体、トリアジン系紫外線吸収剤、及び有機溶剤を含み、前記トリアジン系紫外線吸収剤は、前記自己架橋性共重合体の含有量に対し3質量%乃至20質量%の割合で含有される、熱硬化性樹脂組成物であって、
前記式(1)で表される構造単位を形成する化合物は、1−ビニルナフタレン、2−ビニルナフタレン、6−メチル−2−ビニルナフタレン、5,8−ジメチル−2−ビニルナフタレン、6−メトキシ−2−ビニルナフタレン、5,8−ジメトキシ−2−ビニルナフタレン、6−ヒドロキシ−2−ビニルナフタレン、5,8−ジヒドロキシ−2−ビニルナフタレン、6−ブロモ−2−ビニルナフタレン、5,8−ジブロモ−2−ビニルナフタレン、1−ビニルアントラセン、2−ビニルアントラセン、9−ビニルアントラセン、及びN−ビニルカルバゾールからなる群より選ばれ、
前記式(2)で表される構造単位を形成する化合物は、グリシジル(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレートグリシジルエーテル、3,4−エポキシシクロペンチルメチル(メタ)アクリレート、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレート、5,6−エポキシ−2−ビシクロ[2.2.1]ヘプチルメチル(メタ)アクリレート、及び3,4−エポキシトリシクロ[5.2.1.0 2,6 ]デカン−8−イル(メタ)アクリレートからなる群より選ばれる、熱硬化性樹脂組成物。
- 前記縮合環式炭化水素基はナフチル基である、請求項1に記載の熱硬化性樹脂組成物。
- 前記オキシラン環を有する基はエポキシ基である、請求項1又は請求項2に記載の熱硬化性樹脂組成物。
- 前記自己架橋性共重合体は、前記式(1)で表される構造単位を少なくとも70モル%含む、請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の熱硬化性樹脂組成物。
- 前記自己架橋性共重合体は、6,000乃至25,000の重量平均分子量を有する、請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の熱硬化性樹脂組成物。
- 界面活性剤を更に含む、請求項1乃至請求項6のいずれか一項に記載の熱硬化性樹脂組成物。
- 平坦化膜用である請求項1乃至請求項7のいずれか一項に記載の熱硬化性樹脂組成物。
- マイクロレンズ用である請求項1乃至請求項7のいずれか一項に記載の熱硬化性樹脂組成物。
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