JP6933887B2 - 検査装置および検査方法 - Google Patents
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Description
8 参照画像
9 対象物
51 対象画像記憶部
52 参照画像記憶部
53 位置合わせ部
54 比較部
71 対象画像
82 第2処理済み参照画像
83 合成参照画像
531 第1位置合わせ処理部
532 第2位置合わせ処理部
611 欠陥領域
A1 第1設定領域
A2 第2設定領域
S11〜S17 ステップ
Claims (10)
- 検査装置であって、
対象物を撮像した対象画像を記憶する対象画像記憶部と、
参照画像を記憶する参照画像記憶部と、
前記対象画像と前記参照画像との位置合わせを行う位置合わせ部と、
位置合わせ後の両画像を比較することにより、前記対象画像中の欠陥領域を検出する比較部と、
を備え、
前記位置合わせ部が、
前記対象画像および前記参照画像の一方の画像の第1設定領域を分割した複数の領域を、他方の画像に対して個別に位置合わせする第1位置合わせ処理部と、
前記一方の画像において前記第1設定領域とは異なる第2設定領域に含まれ、かつ、前記複数の領域のいずれよりも大きい領域を前記他方の画像に対して位置合わせする第2位置合わせ処理部と、
を備えることを特徴とする検査装置。 - 請求項1に記載の検査装置であって、
前記比較部が、前記位置合わせ後の両画像の一方を他方に対して上下左右にずらした複数の相対位置関係において、前記両画像から複数の差分画像を求め、前記複数の差分画像に基づいて前記欠陥領域を検出することを特徴とする検査装置。 - 請求項1または2に記載の検査装置であって、
前記第2位置合わせ処理部が、アフィン変換を用いて前記第2設定領域における前記他方の画像に対する位置合わせを行うことを特徴とする検査装置。 - 請求項3に記載の検査装置であって、
前記第2位置合わせ処理部が、アフィン変換を用いて前記一方の画像の全体の処理済み画像を取得し、
前記第1位置合わせ処理部による位置合わせ後の前記第1設定領域が、前記処理済み画像に合成され、
合成後の前記処理済み画像において前記第1設定領域以外の領域である前記第2設定領域が前記他方の画像に対して位置合わせされていることを特徴とする検査装置。 - 請求項1ないし4のいずれかに記載の検査装置であって、
前記第1位置合わせ処理部が、前記第1設定領域における各画素の前記他方の画像に対するオプティカルフローを求めることにより、位置合わせを行うことを特徴とする検査装置。 - 検査方法であって、
a)対象物を撮像した対象画像を準備する工程と、
b)前記対象画像と参照画像との位置合わせを行う工程と、
c)位置合わせ後の両画像を比較することにより、前記対象画像中の欠陥領域を検出する工程と、
を備え、
前記b)工程が、
b1)前記対象画像および前記参照画像の一方の画像の第1設定領域を分割した複数の領域を、他方の画像に対して個別に位置合わせする工程と、
b2)前記一方の画像において前記第1設定領域とは異なる第2設定領域に含まれ、かつ、前記複数の領域のいずれよりも大きい領域を前記他方の画像に対して位置合わせする工程と、
を備えることを特徴とする検査方法。 - 請求項6に記載の検査方法であって、
前記c)工程において、前記位置合わせ後の両画像の一方を他方に対して上下左右にずらした複数の相対位置関係において、前記両画像から複数の差分画像が求められ、前記複数の差分画像に基づいて前記欠陥領域が検出されることを特徴とする検査方法。 - 請求項6または7に記載の検査方法であって、
前記b2)工程において、アフィン変換を用いて前記第2設定領域における前記他方の画像に対する位置合わせが行われることを特徴とする検査方法。 - 請求項8に記載の検査方法であって、
前記b2)工程において、アフィン変換を用いて前記一方の画像の全体の処理済み画像が取得され、
前記b1)工程における位置合わせ後の前記第1設定領域が、前記処理済み画像に合成され、
合成後の前記処理済み画像において前記第1設定領域以外の領域である前記第2設定領域が前記他方の画像に対して位置合わせされていることを特徴とする検査方法。 - 請求項6ないし9のいずれかに記載の検査方法であって、
前記b1)工程において、前記第1設定領域における各画素の前記他方の画像に対するオプティカルフローを求めることにより、位置合わせが行われることを特徴とする検査方法。
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