JP2018048968A - 検査装置および検査方法 - Google Patents
検査装置および検査方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018048968A JP2018048968A JP2016185788A JP2016185788A JP2018048968A JP 2018048968 A JP2018048968 A JP 2018048968A JP 2016185788 A JP2016185788 A JP 2016185788A JP 2016185788 A JP2016185788 A JP 2016185788A JP 2018048968 A JP2018048968 A JP 2018048968A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image
- alignment
- reference image
- unit
- area
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Closed-Circuit Television Systems (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Abstract
Description
8 参照画像
9 対象物
51 対象画像記憶部
52 参照画像記憶部
53 位置合わせ部
54 比較部
71 対象画像
82 第2処理済み参照画像
83 合成参照画像
531 第1位置合わせ処理部
532 第2位置合わせ処理部
611 欠陥領域
A1 第1設定領域
A2 第2設定領域
S11〜S17 ステップ
Claims (10)
- 検査装置であって、
対象物を撮像した対象画像を記憶する対象画像記憶部と、
参照画像を記憶する参照画像記憶部と、
前記対象画像と前記参照画像との位置合わせを行う位置合わせ部と、
位置合わせ後の両画像を比較することにより、前記対象画像中の欠陥領域を検出する比較部と、
を備え、
前記位置合わせ部が、
前記対象画像および前記参照画像の一方の画像の第1設定領域に含まれる複数の領域を、他方の画像に対して個別に位置合わせする第1位置合わせ処理部と、
前記一方の画像の第2設定領域に含まれ、かつ、前記複数の領域のいずれよりも大きい領域を前記他方の画像に対して位置合わせする第2位置合わせ処理部と、
を備えることを特徴とする検査装置。 - 請求項1に記載の検査装置であって、
前記比較部が、前記位置合わせ後の両画像の一方を他方に対して上下左右にずらした複数の相対位置関係において、前記両画像から複数の差分画像を求め、前記複数の差分画像に基づいて前記欠陥領域を検出することを特徴とする検査装置。 - 請求項1または2に記載の検査装置であって、
前記第2位置合わせ処理部が、アフィン変換を用いて前記第2設定領域における前記他方の画像に対する位置合わせを行うことを特徴とする検査装置。 - 請求項3に記載の検査装置であって、
前記第2位置合わせ処理部が、アフィン変換を用いて前記一方の画像の全体の処理済み画像を取得し、
前記第1位置合わせ処理部による位置合わせ後の前記第1設定領域が、前記処理済み画像に合成されることを特徴とする検査装置。 - 請求項1ないし4のいずれかに記載の検査装置であって、
前記第1位置合わせ処理部が、前記第1設定領域における各画素の前記他方の画像に対するオプティカルフローを求めることにより、位置合わせを行うことを特徴とする検査装置。 - 検査方法であって、
a)対象物を撮像した対象画像を準備する工程と、
b)前記対象画像と参照画像との位置合わせを行う工程と、
c)位置合わせ後の両画像を比較することにより、前記対象画像中の欠陥領域を検出する工程と、
を備え、
前記b)工程が、
b1)前記対象画像および前記参照画像の一方の画像の第1設定領域に含まれる複数の領域を、他方の画像に対して個別に位置合わせする工程と、
b2)前記一方の画像の第2設定領域に含まれ、かつ、前記複数の領域のいずれよりも大きい領域を前記他方の画像に対して位置合わせする工程と、
を備えることを特徴とする検査方法。 - 請求項6に記載の検査方法であって、
前記c)工程において、前記位置合わせ後の両画像の一方を他方に対して上下左右にずらした複数の相対位置関係において、前記両画像から複数の差分画像が求められ、前記複数の差分画像に基づいて前記欠陥領域が検出されることを特徴とする検査方法。 - 請求項6または7に記載の検査方法であって、
前記b2)工程において、アフィン変換を用いて前記第2設定領域における前記他方の画像に対する位置合わせが行われることを特徴とする検査方法。 - 請求項8に記載の検査方法であって、
前記b2)工程において、アフィン変換を用いて前記一方の画像の全体の処理済み画像が取得され、
前記b1)工程における位置合わせ後の前記第1設定領域が、前記処理済み画像に合成されることを特徴とする検査方法。 - 請求項6ないし9のいずれかに記載の検査方法であって、
前記b1)工程において、前記第1設定領域における各画素の前記他方の画像に対するオプティカルフローを求めることにより、位置合わせが行われることを特徴とする検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016185788A JP6933887B2 (ja) | 2016-09-23 | 2016-09-23 | 検査装置および検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016185788A JP6933887B2 (ja) | 2016-09-23 | 2016-09-23 | 検査装置および検査方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018048968A true JP2018048968A (ja) | 2018-03-29 |
JP6933887B2 JP6933887B2 (ja) | 2021-09-08 |
Family
ID=61767396
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016185788A Active JP6933887B2 (ja) | 2016-09-23 | 2016-09-23 | 検査装置および検査方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6933887B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102031001B1 (ko) * | 2018-11-05 | 2019-10-11 | 신한대학교 산학협력단 | 제작물 감수서비스장치 및 그 장치의 구동방법 |
KR102317992B1 (ko) * | 2021-03-26 | 2021-10-28 | 주식회사 트윔 | 뉴럴 네트워크를 이용한 제품 검사 방법, 장치 및 제품 검사 장치 학습 방법 |
KR102355997B1 (ko) * | 2021-05-17 | 2022-02-08 | 주식회사 한국건설 방재연구원 | 스마트글래스 기반의 콘크리트 구조물 건전도 모니터링 방법 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005292017A (ja) * | 2004-04-02 | 2005-10-20 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 位置ずれ量取得装置および欠陥検出装置 |
JP2012196597A (ja) * | 2011-03-18 | 2012-10-18 | Meidensha Corp | 画像処理によるろ過膜板検査装置 |
WO2012144025A1 (ja) * | 2011-04-20 | 2012-10-26 | 株式会社メガトレード | 自動検査装置および自動検査装置における位置合わせ方法 |
JP2013123812A (ja) * | 2011-12-13 | 2013-06-24 | Canon Inc | 検査装置、検査方法、コンピュータプログラム |
JP2013124868A (ja) * | 2011-12-13 | 2013-06-24 | Canon Inc | 検査装置、検査方法、コンピュータプログラム |
JP2014048154A (ja) * | 2012-08-31 | 2014-03-17 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 注目領域決定装置、欠陥検出装置、注目領域決定方法および欠陥検出方法 |
JP2015232485A (ja) * | 2014-06-09 | 2015-12-24 | 株式会社キーエンス | 画像検査装置、画像検査方法、画像検査プログラム及びコンピュータで読み取り可能な記録媒体並びに記録した機器 |
JP2016075615A (ja) * | 2014-10-08 | 2016-05-12 | 三菱電機株式会社 | 目標検出装置 |
-
2016
- 2016-09-23 JP JP2016185788A patent/JP6933887B2/ja active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005292017A (ja) * | 2004-04-02 | 2005-10-20 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 位置ずれ量取得装置および欠陥検出装置 |
JP2012196597A (ja) * | 2011-03-18 | 2012-10-18 | Meidensha Corp | 画像処理によるろ過膜板検査装置 |
WO2012144025A1 (ja) * | 2011-04-20 | 2012-10-26 | 株式会社メガトレード | 自動検査装置および自動検査装置における位置合わせ方法 |
JP2013123812A (ja) * | 2011-12-13 | 2013-06-24 | Canon Inc | 検査装置、検査方法、コンピュータプログラム |
JP2013124868A (ja) * | 2011-12-13 | 2013-06-24 | Canon Inc | 検査装置、検査方法、コンピュータプログラム |
JP2014048154A (ja) * | 2012-08-31 | 2014-03-17 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 注目領域決定装置、欠陥検出装置、注目領域決定方法および欠陥検出方法 |
JP2015232485A (ja) * | 2014-06-09 | 2015-12-24 | 株式会社キーエンス | 画像検査装置、画像検査方法、画像検査プログラム及びコンピュータで読み取り可能な記録媒体並びに記録した機器 |
JP2016075615A (ja) * | 2014-10-08 | 2016-05-12 | 三菱電機株式会社 | 目標検出装置 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
BROX, THOMAS ET AL.: "High Accuracy Optical Flow Estimation Based on a Theory for Warping", SPRINGER LNCS, vol. 4, JPN6020027801, 2004, pages 25 - 36, ISSN: 0004456224 * |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102031001B1 (ko) * | 2018-11-05 | 2019-10-11 | 신한대학교 산학협력단 | 제작물 감수서비스장치 및 그 장치의 구동방법 |
KR102317992B1 (ko) * | 2021-03-26 | 2021-10-28 | 주식회사 트윔 | 뉴럴 네트워크를 이용한 제품 검사 방법, 장치 및 제품 검사 장치 학습 방법 |
KR102355997B1 (ko) * | 2021-05-17 | 2022-02-08 | 주식회사 한국건설 방재연구원 | 스마트글래스 기반의 콘크리트 구조물 건전도 모니터링 방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6933887B2 (ja) | 2021-09-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI598581B (zh) | 檢查裝置及檢查方法 | |
JP6370177B2 (ja) | 検査装置および検査方法 | |
JP6594039B2 (ja) | 画像処理装置、方法及びプログラム | |
JP5039519B2 (ja) | 外観検査方法および装置 | |
JP6922539B2 (ja) | 表面欠陥判定方法および表面欠陥検査装置 | |
US8731274B2 (en) | Method and system for wafer registration | |
JP5518571B2 (ja) | タイヤの外観検査装置及び外観検査方法 | |
TW201734442A (zh) | 缺陷檢測裝置、缺陷檢測方法及程式產品 | |
US20080181484A1 (en) | Advanced cell-to-cell inspection | |
WO2020246366A1 (ja) | 基板検査装置、基板検査システム及び基板検査方法 | |
JP2018048968A (ja) | 検査装置および検査方法 | |
JP2014215163A (ja) | 検査装置 | |
JP2020106461A (ja) | 画像生成装置及び外観検査装置 | |
JP2017040612A (ja) | 検査方法、検査装置、画像処理装置、プログラム及び記録媒体 | |
JP2017166957A (ja) | 欠陥検出装置、欠陥検出方法およびプログラム | |
JP2016156648A (ja) | パターン検査装置およびパターン検査方法 | |
JP6679538B2 (ja) | 検査装置および検査方法 | |
JP2017166956A (ja) | 欠陥検出装置、欠陥検出方法およびプログラム | |
US20160379360A1 (en) | Inspecting method, inspecting apparatus, image processing apparatus, program and recording medium | |
CN111553911A (zh) | 一种面向工业颗粒连片制品的全局定位的方法、装置 | |
JP2017181228A (ja) | 計測装置、計測方法及び物品の製造方法 | |
JP6688629B2 (ja) | 欠陥検出装置、欠陥検出方法およびプログラム | |
JP6393663B2 (ja) | 表面検査装置 | |
JP6595800B2 (ja) | 欠損検査装置、及び欠損検査方法 | |
JP2023083699A (ja) | マスク画像生成方法、検査方法および検査装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190624 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200625 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200803 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200929 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210304 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210427 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210802 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210820 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6933887 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |