JP2012194059A - 画像作成方法、基板検査方法、その画像作成方法又はその基板検査方法を実行させるためのプログラムを記録した記録媒体及び基板検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
基板の欠陥の有無を検査するために擬似欠陥を除去するためのフィルタ画像を作成する画像作成方法において、登録された画像の中心位置を中心とする円の円周上に位置するいずれかの画素の画素値を、円周上に位置する画素から選択した複数の画素の画素値のうちの最大値に置換することによって、フィルタ画像を作成するフィルタ画像作成工程S14とを有する。
【選択図】図7
Description
被検査画像=ABS{(検査対称画像)−(基準画像)} (1)
に示すように、検査対象画像から、例えば正常なウェハ等を撮像して得られる所定の基準画像を減算することによって、被検査画像を得る。なお、式(1)において、ABS{}は、{}内の値の絶対値を取ることを意味する。すなわち、被検査画像のある画素(画素Aとする。)の画素の画素値は、検査対象画像の画素Aと同一位置の画素の画素値から、所定の基準画像の画素Aと同一位置の画素の画素値を減算することによって、得られた値の絶対値である。
除去画像=被検査画像−フィルタ画像 (2)
に示すように、被検査画像からフィルタ画像を減算することによって、除去画像を得る。
除去画像の画素値−基準値>0 (3)
に示すように基準値よりも大きいときに、ウェハWに欠陥があると判定する。一方、いずれの画素の画素値も、下記式(4)
除去画像の画素値−基準値≦0 (4)
に示すように基準値と同じか又は基準値よりも小さいときは、ウェハWには欠陥がないと判定する。
(第1の実施の形態の変形例)
次に、図16及び図17を参照し、本発明の第1の実施の形態の変形例に係る基板検査方法及びその基板検査用のフィルタ画像の画像作成方法について説明する。
(第2の実施の形態)
次に、図18から図21を参照し、本発明の第2の実施の形態に係る基板検査方法及びその基板検査用のフィルタ画像の画像作成方法について説明する。
32 載置台
40 撮像ユニット
42 撮像装置
51 第1の制御装置
52 第2の制御装置
53 第3の制御装置
Claims (10)
- 基板の欠陥の有無を検査するために擬似欠陥を除去するためのフィルタ画像を作成する画像作成方法において、
登録された画像の中心位置を中心とする円の円周上に位置するいずれかの画素の画素値を、前記円周上に位置する画素から選択した複数の画素の画素値のうちの最大値に置換することによって、前記フィルタ画像を作成するフィルタ画像作成工程を有する、画像作成方法。 - 登録された画像における画素の位置座標を極座標変換することによって、変換画像を作成する変換画像作成工程と、
作成した前記変換画像に基づいて、前記中心位置を中心とする円の半径と、前記円の円周上に位置する全ての画素の画素値のうちの最大値との関係を示す最大値データを作成するデータ作成工程と
を有し、
前記フィルタ画像作成工程は、前記中心位置を中心とする円の円周上に位置するいずれの画素の画素値をも、作成した前記最大値データに基づいて、前記円の半径に対応して定められた前記最大値に置換することによって、前記フィルタ画像を作成するものである、請求項1に記載の画像作成方法。 - 登録された画像を、前記画像の中心位置を回転中心として、360/n度(nは2以上の自然数)ずつ回転させて得られたn枚の回転画像を作成する回転画像作成工程を有し、
前記フィルタ画像作成工程は、前記画像の一の画素の画素値を、前記n枚の回転画像の各々における前記一の画素と同一位置の画素の画素値のうちの最大値に置換することによって、前記フィルタ画像を作成するものである、請求項1に記載の画像作成方法。 - 予め複数の基板の各々を撮像した画像を合成することによって、合成画像を作成する合成画像作成工程を有し、
前記登録された画像は、前記合成画像作成工程により作成した合成画像である、請求項1から請求項3のいずれかに記載の画像作成方法。 - 前記データ作成工程の後、基板を撮像した画像に基づいて、作成した前記最大値データを変更するデータ変更工程を有し、
前記フィルタ画像作成工程は、前記中心位置を中心とする円の円周上に位置するいずれの画素の画素値をも、変更した前記最大値データに基づいて、前記円の半径に対応して定められた前記最大値に置換することによって、前記フィルタ画像を作成するものである、請求項2に記載の画像作成方法。 - 前記データ変更工程は、撮像した前記画像に擬似欠陥が発生したときに、前記擬似欠陥を除去するように、前記最大値データを変更するものである、請求項5に記載の画像作成方法。
- 基板の欠陥の有無を検査する基板検査方法において、
基板を撮像した画像に基づいて作成された被検査画像から、請求項1から請求項6のいずれかに記載の画像作成方法により作成された前記フィルタ画像を減算することによって、除去画像を作成する除去画像作成工程と、
作成した前記除去画像の各画素の画素値を基準値と比較し、いずれかの画素の画素値が前記基準値よりも大きいときに、前記基板に欠陥があると判定する判定工程と
を有する、基板検査方法。 - 前記被検査画像の一の画素の画素値は、前記基板を撮像した画像の前記一の画素と同一位置の画素の画素値から、所定の基準画像の前記一の画素と同一位置の画素の画素値を減算して得た値の絶対値である、請求項7に記載の基板検査方法。
- コンピュータに請求項1から請求項6のいずれかに記載の画像作成方法又は請求項7若しくは請求項8に記載の基板検査方法を実行させるためのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
- 基板の欠陥の有無を検査するために、基板を撮像して画像データを取得する画像データ取得部と、
取得した画像データを登録し、登録した前記画像データの画像の中心位置を中心とする円の円周上に位置するいずれかの画素の画素値を、前記円周上に位置する画素から選択した複数の画素の画素値のうちの最大値に置換することによって、擬似欠陥を除去するためのフィルタ画像を作成するフィルタ画像作成部と、
前記画像における画素の位置座標を極座標変換し、前記画像の中心位置を中心とする円の半径と、前記円の円周上に位置する全ての画素の画素値のうちの最大値との関係を示す最大値データを作成するデータ作成部と、
前記フィルタ画像作成部及び前記データ作成部により作成されたフィルタ画像及び前記最大値データを表示する表示部と
を有する、基板検査装置。
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