JP6922539B2 - 表面欠陥判定方法および表面欠陥検査装置 - Google Patents
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Description
3………照明装置
5………撮像装置
7………ステージ
9………被検査物
10………制御装置
30………撮像画像
30a………処理画像
31a、31b………輝度異常部
33………局所領域
Claims (5)
- 照明と撮像角度との組み合わせを変えた複数の撮像条件により被検査物の表面を撮像して複数の画像を取得するステップAと、
前記複数の画像それぞれについて、前記被検査物の表面上の輝度異常部を検出して、輝度異常部の有無を判定するステップBと、
前記複数の画像それぞれを複数の局所領域に分割し、前記輝度異常部を含む局所領域を抽出するステップCと、
前記輝度異常部を含む局所領域について、複数の第1の特徴量を抽出するステップDと、
前記第1の特徴量を基に、前記輝度異常部が欠陥起因の可能性を有するか否かを判定するステップEと、
前記ステップEにより、前記被検査物の表面上における欠陥候補を取得するステップFと、
前記欠陥候補について、前記第1の特徴量とは異なる複数の第2の特徴量を抽出するステップGと、
前記第2の特徴量を基に、前記欠陥候補が欠陥か虚報かを判定するステップHと、
を具備し、
前記ステップEの判定には、教師なし学習を用いた判定手法を用い、前記ステップHの判定に、教師あり学習を用いた判定手法を用いることを特徴とする表面欠陥判定方法。 - 前記第2の特徴量を、前記ステップEで欠陥起因の可能性があると判定された前記輝度異常部からは抽出し、欠陥起因ではないと判定された前記輝度異常部からは抽出しないことを特徴とする請求項1に記載の表面欠陥判定方法。
- 前記教師なし学習を用いた判定手法として、前記第1の特徴量から算出したマハラノビス距離を基に判定する手法を用い、
前記第1の特徴量を、グレーレベル同時生起行列に基づいて算出することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の表面欠陥判定方法。 - 前記ステップCにおいて、前記複数の画像それぞれの視野に対し、前記被検査物の表面が所定以上の角度となる部位および所定以下の明度となる部位を除く領域について、局所領域に分割することを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の表面欠陥判定方法。
- 照明装置と、撮像装置と、被検査物を保持するステージと、前記照明装置、前記撮像装置および前記ステージを制御する制御装置と、
を具備し、
前記制御装置によって、前記照明装置、前記撮像装置および前記ステージを動作させて、照明と撮像角度との組み合わせを変えた複数の撮像条件により被検査物の表面を撮像する画像取得手段と、
前記画像取得手段によって得られた複数の画像それぞれについて、前記被検査物の表面上の輝度異常部を検出して、輝度異常部の有無を判定する輝度異常部検出手段と、
前記複数の画像それぞれを複数の局所領域に分割し、前記輝度異常部を含む局所領域を抽出する局所領域抽出手段と、
前記輝度異常部を含む局所領域それぞれについて、複数の第1の特徴量を抽出する第1特徴量取得手段と、
教師なし学習を用いた判定手法を用いて、前記第1の特徴量を基に、前記輝度異常部が欠陥起因の可能性を有するか否かを判定する第1判定手段と、
前記第1判定手段により、前記被検査物の表面上における欠陥候補を取得する欠陥候補取得手段と、
前記欠陥候補取得手段により得られたそれぞれの欠陥候補について、前記第1の特徴量とは異なる複数の第2の特徴量を抽出する第2特徴量取得手段と、
教師あり学習を用いた判定手法を用いて、前記第2の特徴量を基に、前記欠陥候補が欠陥か虚報かを判定する第2判定手段と、
を具備することを特徴とする表面欠陥検査装置。
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