JP6867320B2 - 光測定装置、及び、光測定方法 - Google Patents
光測定装置、及び、光測定方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6867320B2 JP6867320B2 JP2018035270A JP2018035270A JP6867320B2 JP 6867320 B2 JP6867320 B2 JP 6867320B2 JP 2018035270 A JP2018035270 A JP 2018035270A JP 2018035270 A JP2018035270 A JP 2018035270A JP 6867320 B2 JP6867320 B2 JP 6867320B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- optical plate
- optical
- light diffusing
- output
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 34
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 253
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 79
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 19
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 17
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 claims description 10
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 7
- 238000005304 joining Methods 0.000 claims description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 18
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 16
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 16
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 15
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 8
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 8
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 7
- 239000000975 dye Substances 0.000 description 7
- 210000004027 cell Anatomy 0.000 description 5
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 5
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 4
- 238000002407 reforming Methods 0.000 description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 3
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 2
- BHPQYMZQTOCNFJ-UHFFFAOYSA-N Calcium cation Chemical compound [Ca+2] BHPQYMZQTOCNFJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OUVXYXNWSVIOSJ-UHFFFAOYSA-N Fluo-4 Chemical compound CC1=CC=C(N(CC(O)=O)CC(O)=O)C(OCCOC=2C(=CC=C(C=2)C2=C3C=C(F)C(=O)C=C3OC3=CC(O)=C(F)C=C32)N(CC(O)=O)CC(O)=O)=C1 OUVXYXNWSVIOSJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 229910001424 calcium ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 238000010128 melt processing Methods 0.000 description 1
- 230000001394 metastastic effect Effects 0.000 description 1
- 206010061289 metastatic neoplasm Diseases 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 210000000130 stem cell Anatomy 0.000 description 1
- 238000000427 thin-film deposition Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Optical Measuring Cells (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
[第1実施形態]
レーザ光源:半導体レーザ励起Yb:KGWレーザ
レーザ光Lの波長:1030nm
レーザ光Lの繰り返し周波数:50kHz
レーザ光Lのパルス幅:350fs
レーザ光Lの出力:10μJ/パルス
[第2実施形態]
[第3実施形態]
Claims (7)
- 対象物に光を照射するための光学プレートであって、前記光を入力するための光入力面と、前記光を出力するための光出力面と、前記光出力面に対向する裏面と、当該光学プレートの少なくとも内部に形成され、前記光を拡散しつつ光出力面から出力させるための光拡散部と、を備える光学プレートと、
前記光入力面に入力される前記光を出力する光源と、
前記対象物を保持する保持部材と、
前記光出力面から出力された前記光が照射された前記対象物からの測定光を撮像する撮像装置と、
を備え、
前記光拡散部は、前記光出力面から前記裏面に向かう方向に延在すると共に、前記光出力面及び前記光入力面に交差する断面内において互いに離間するように複数の位置に形成されており、
前記光入力面は、前記光学プレートの端面であって前記光出力面と前記裏面との間の面であり、
前記光入力面から入力された前記光は、前記光拡散部において拡散され、前記光出力面から出力され、
前記光拡散部は、それぞれ、複数の光拡散層から構成されており、
前記光出力面は、当該光学プレートの主面であり、
互いに隣り合う一対の前記光拡散部の一方において拡散されて前記主面から出力された前記光と、当該一対の前記光拡散部の他方において拡散されて前記主面から出力された前記光とを、互いに重ね合せて前記対象物に照射し、
前記撮像装置は、前記光学プレートを透過して前記裏面から出射された前記測定光を撮像する、
ことを特徴とする光測定装置。 - 前記光入力面と前記光入力面に対向する面との間で前記光を導光する導光部を有する、
ことを特徴とする請求項1に記載の光測定装置。 - 前記光拡散部が形成された第1の部分と、前記第1の部分と一体に構成された第2の部分と、を含み、
前記導光部は、前記第2の部分に構成される、
ことを特徴とする請求項2に記載の光測定装置。 - 前記光拡散部が形成された第1の部分と、前記第1の部分と別体に構成された第2の部分と、を接合することにより構成され、
前記導光部は、前記第2の部分に構成される、
ことを特徴とする請求項2に記載の光測定装置。 - 前記光拡散部は、前記光出力面と前記裏面との間の少なくとも一部にわたって形成されている、
ことを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の光測定装置。 - 前記光拡散部が形成された第1の部分と、
前記光出力面と前記裏面との間の面であって前記第1の部分の端面である側面と、
前記側面上に配置される第1の反射領域を有すると共に、前記光出力面に交差する方向に沿って延在し前記光を反射する反射部と、
をさらに備える、
ことを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の光測定装置。 - 光を出力するための光出力面と、前記光出力面に対向する裏面と、前記光出力面と前記裏面との間の面であり前記光が入力される光入力面と、前記光出力面から前記裏面に向かう方向に延在すると共に、前記光出力面及び前記光入力面に交差する断面内において互いに離間するように複数の位置に形成され、前記光を拡散しつつ光出力面から出力させるための光拡散部と、を備える光学プレートであって、前記光拡散部は、それぞれ、複数の光拡散層から構成されており、前記光出力面は、前記光学プレートの主面であり、互いに隣り合う一対の前記光拡散部の一方において拡散されて前記主面から出力された前記光と、当該一対の前記光拡散部の他方において拡散されて前記主面から出力された前記光とを、互いに重ね合せて対象物に照射する光学プレートを用意する工程と、
前記光学プレートを用いて前記対象物に前記光を照射し、前記光が照射された前記対象物からの測定光を検出する工程と、を備え、
前記光入力面は、前記光学プレートの端面であり、
前記測定光を検出する工程においては、前記光入力面に前記光を入力することにより、前記光拡散部において前記光を拡散させると共に前記光出力面から前記光を出力させて前記対象物に前記光を照射し、前記光出力面及び前記裏面を透過した前記対象物からの前記測定光を検出する、
ことを特徴とする光測定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018035270A JP6867320B2 (ja) | 2018-02-28 | 2018-02-28 | 光測定装置、及び、光測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018035270A JP6867320B2 (ja) | 2018-02-28 | 2018-02-28 | 光測定装置、及び、光測定方法 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014108043A Division JP6301194B2 (ja) | 2014-05-26 | 2014-05-26 | 光学プレート、光照射装置、光測定装置、光照射方法、及び、光測定方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018091865A JP2018091865A (ja) | 2018-06-14 |
JP6867320B2 true JP6867320B2 (ja) | 2021-04-28 |
Family
ID=62563750
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018035270A Active JP6867320B2 (ja) | 2018-02-28 | 2018-02-28 | 光測定装置、及び、光測定方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6867320B2 (ja) |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3187280B2 (ja) * | 1995-05-23 | 2001-07-11 | シャープ株式会社 | 面照明装置 |
JPH09211451A (ja) * | 1996-01-30 | 1997-08-15 | Omron Corp | バックライト装置並びに当該装置を用いた液晶表示装置、液晶テレビ及びビューファインダ |
DE19931299C2 (de) * | 1999-07-07 | 2001-08-30 | Philips Corp Intellectual Pty | Bildschirm mit Hintergrundbeleuchtung |
GB0326005D0 (en) * | 2003-11-07 | 2003-12-10 | Koninkl Philips Electronics Nv | Waveguide for autostereoscopic display |
JP2005274355A (ja) * | 2004-03-25 | 2005-10-06 | Fuji Photo Film Co Ltd | 蛍光画像取得装置 |
JP2006221922A (ja) * | 2005-02-09 | 2006-08-24 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | Led面状光源装置 |
JP5219899B2 (ja) * | 2009-03-26 | 2013-06-26 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光照射装置及び光測定装置 |
WO2011065053A1 (ja) * | 2009-11-26 | 2011-06-03 | シャープ株式会社 | 導光板、導光ユニット、照明装置、及び表示装置 |
KR101104141B1 (ko) * | 2009-11-30 | 2012-01-13 | 한국과학기술원 | 도광 플레이트 및 백라이트 유닛 |
-
2018
- 2018-02-28 JP JP2018035270A patent/JP6867320B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2018091865A (ja) | 2018-06-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10495804B2 (en) | Optical plate, light irradiation device, light measurement device, light irradiation method, and light measurement method | |
JP6850332B2 (ja) | イメージングシステム | |
TW201730623A (zh) | 顯微分光裝置 | |
JP2003329610A (ja) | パターン欠陥検査方法及びその装置 | |
JP6487617B2 (ja) | マイクロレンズアレイの欠陥検査方法及び欠陥検査装置 | |
JP2007187658A (ja) | 鏡面検査装置および面照射装置 | |
JP5900628B2 (ja) | 太陽電池セルの検査装置 | |
JP6867320B2 (ja) | 光測定装置、及び、光測定方法 | |
EP2137518B1 (en) | Through-substrate optical imaging device and method | |
TW202027897A (zh) | 雷射加工方法,半導體裝置製造方法及檢查裝置 | |
JP2001506015A (ja) | 複数の試料個所で同時に試料を光励起する走査顕微鏡 | |
CN102834759B (zh) | 观察光学***及激光加工设备 | |
CN114531857A (zh) | 检查装置及检查方法 | |
JP2006276756A (ja) | 異物検査装置及び方法 | |
JPH1183465A (ja) | 表面検査方法及び装置 | |
JP2012093331A (ja) | 検査装置および検査方法 | |
JP2010139464A (ja) | 画像読み取り装置 | |
JP5961909B1 (ja) | 欠陥検査装置 | |
KR20080023183A (ko) | 기판 표면 에러를 광학적으로 검출하기 위한 장치 | |
JP6517734B2 (ja) | 散乱光検出ヘッド | |
JP5636166B2 (ja) | 表面検査用照明装置 | |
CN114430706A (zh) | 检查装置及检查方法 | |
JP2019082496A (ja) | 欠陥検査装置 | |
TW202026084A (zh) | 雷射加工方法、半導體裝置製造方法及檢查裝置 | |
KR20160021017A (ko) | 조명 장치, 광학 검사 장치 및 광학 현미경 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180228 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190125 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190205 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20190328 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190521 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190806 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20190927 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20191028 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200310 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200501 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200923 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20201110 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210120 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210309 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210312 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210406 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210408 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6867320 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |