JP7077401B2 - 多極子レンズ及びそれを用いた収差補正器、荷電粒子線装置 - Google Patents
多極子レンズ及びそれを用いた収差補正器、荷電粒子線装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7077401B2 JP7077401B2 JP2020517717A JP2020517717A JP7077401B2 JP 7077401 B2 JP7077401 B2 JP 7077401B2 JP 2020517717 A JP2020517717 A JP 2020517717A JP 2020517717 A JP2020517717 A JP 2020517717A JP 7077401 B2 JP7077401 B2 JP 7077401B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grooves
- magnetic core
- magnetic
- lens
- core
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
- H01J37/10—Lenses
- H01J37/14—Lenses magnetic
- H01J37/141—Electromagnetic lenses
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
- H01J37/153—Electron-optical or ion-optical arrangements for the correction of image defects, e.g. stigmators
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/10—Lenses
- H01J2237/14—Lenses magnetic
- H01J2237/1405—Constructional details
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/153—Correcting image defects, e.g. stigmators
- H01J2237/1534—Aberrations
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/26—Electron or ion microscopes
- H01J2237/28—Scanning microscopes
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Electron Beam Exposure (AREA)
Description
Claims (10)
- 複数の溝が内壁に設けられた磁性体コアと、
前記磁性体コアに設けられた溝と同数である複数の電流線とを有し、
前記複数の溝の数をkとするとき、前記複数の溝は、上面視において、隣接する溝の中心のそれぞれと前記磁性体コアの中心軸とを結んでなす角が(360°/k)となるように配置されており、
前記複数の電流線の主線部はそれぞれ、前記磁性体コアの前記複数の溝のいずれかに配置される多極子レンズ。 - 請求項1において、
前記複数の溝のそれぞれは、前記内壁に向かって広がるテーパー部と、前記電流線の主線部を配置する内室とを有する多極子レンズ。 - 請求項1において、
前記電流線は、前記主線部を前記磁性体コアの外部から前記溝内に導入する、または前記主線部を前記溝内から前記磁性体コアの外部に導出する接続部を有し、
前記電流線の接続部と前記磁性体コアとの間に非磁性スペーサが配置される多極子レンズ。 - 請求項1において、
前記電流線は、前記主線部を前記磁性体コアの外部から前記溝内に導入する、または前記主線部を前記溝内から前記磁性体コアの外部に導出する接続部を有し、
前記磁性体コアの前記溝の長手方向に対向する磁性体蓋を有し、
前記電流線の接続部は、前記磁性体コアと前記磁性体蓋との間に設けられた貫通孔内に配置される多極子レンズ。 - 請求項1において、
前記電流線は、前記磁性体コアの外部に配置される戻り線部を有し、
前記電流線の主線部は、前記磁性体コアの前記溝内に多重化されて配置される多極子レンズ。 - 請求項1において、
電界を発生させる複数の電極を有し、
前記複数の電極はそれぞれ、絶縁体を介して前記磁性体コアの前記複数の溝のいずれかに配置される多極子レンズ。 - 請求項1~6のいずれか一項に記載の多極子レンズを多段に有する収差補正器。
- 1次電子線を放出する電子銃と、
前記1次電子線が入射され、多段の多極子レンズを有する収差補正器と、
前記収差補正器を通過した1次電子線が入射される対物レンズとを有し、
前記多極子レンズは、複数の溝が内壁に設けられた磁性体コアと、前記磁性体コアに設けられた溝と同数である複数の電流線とを有し、前記複数の溝の数をkとするとき、前記複数の溝は、上面視において、隣接する溝の中心のそれぞれと前記磁性体コアの中心軸とを結んでなす角が(360°/k)となるように配置されており、前記複数の電流線の主線部はそれぞれ、前記磁性体コアの前記複数の溝のいずれかに配置される荷電粒子線装置。 - 請求項8において、
前記収差補正器は6極子場を用いた収差補正器である荷電粒子線装置。 - 請求項8において、
色収差を補正する電界を発生させる複数の電極を有し、
前記複数の電極はそれぞれ、絶縁体を介して前記磁性体コアの前記複数の溝のいずれかに配置される荷電粒子線装置。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2018/018215 WO2019215893A1 (ja) | 2018-05-10 | 2018-05-10 | 多極子レンズ及びそれを用いた収差補正器、荷電粒子線装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2019215893A1 JPWO2019215893A1 (ja) | 2021-05-13 |
JP7077401B2 true JP7077401B2 (ja) | 2022-05-30 |
Family
ID=68467343
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020517717A Active JP7077401B2 (ja) | 2018-05-10 | 2018-05-10 | 多極子レンズ及びそれを用いた収差補正器、荷電粒子線装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20210249218A1 (ja) |
JP (1) | JP7077401B2 (ja) |
CN (1) | CN112088418B (ja) |
DE (1) | DE112018007289B4 (ja) |
WO (1) | WO2019215893A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6817349B2 (ja) * | 2019-01-29 | 2021-01-20 | 日本電子株式会社 | 偏向器および荷電粒子線装置 |
CN113661556A (zh) * | 2019-04-19 | 2021-11-16 | 株式会社日立高新技术 | 带电粒子线装置 |
WO2023053011A1 (en) * | 2021-09-29 | 2023-04-06 | Okinawa Institute Of Science And Technology School Corporation | Magnetic vector potential-based lens |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004134389A (ja) | 2002-08-13 | 2004-04-30 | Leo Elektronenmikroskopie Gmbh | ビーム誘導構成体、結像方法、電子顕微鏡システムおよび電子リソグラフィシステム |
JP2004234961A (ja) | 2003-01-29 | 2004-08-19 | Jeol Ltd | 多極子レンズ及び荷電粒子線装置 |
JP2007027136A (ja) | 2005-07-11 | 2007-02-01 | Ict Integrated Circuit Testing Ges Fuer Halbleiterprueftechnik Mbh | 電磁界発生素子及びその組立方法 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1463748A (en) * | 1973-09-03 | 1977-02-09 | Jeol Ltd | Electron beam apparatus |
US4236073A (en) * | 1977-05-27 | 1980-11-25 | Martin Frederick W | Scanning ion microscope |
JPH02244547A (ja) * | 1989-03-16 | 1990-09-28 | Kobe Steel Ltd | 組立式高精度四重極磁気レンズ |
NL9100294A (nl) * | 1991-02-20 | 1992-09-16 | Philips Nv | Geladen deeltjesbundelinrichting. |
US5631615A (en) | 1995-06-02 | 1997-05-20 | International Business Machines Corporation | Free wound electromagnetic deflection yoke |
JP2007141488A (ja) * | 2005-11-15 | 2007-06-07 | Ebara Corp | 電子線装置及びパターン評価方法 |
WO2007013398A1 (ja) * | 2005-07-26 | 2007-02-01 | Ebara Corporation | 電子線装置 |
JP6267543B2 (ja) * | 2014-02-28 | 2018-01-24 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 収差補正器及びそれを用いた荷電粒子線装置 |
JP6276101B2 (ja) * | 2014-04-17 | 2018-02-07 | 日本電子株式会社 | 多極子レンズ、収差補正装置、および電子顕微鏡 |
-
2018
- 2018-05-10 JP JP2020517717A patent/JP7077401B2/ja active Active
- 2018-05-10 US US17/049,364 patent/US20210249218A1/en active Pending
- 2018-05-10 WO PCT/JP2018/018215 patent/WO2019215893A1/ja active Application Filing
- 2018-05-10 CN CN201880092749.XA patent/CN112088418B/zh active Active
- 2018-05-10 DE DE112018007289.4T patent/DE112018007289B4/de active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004134389A (ja) | 2002-08-13 | 2004-04-30 | Leo Elektronenmikroskopie Gmbh | ビーム誘導構成体、結像方法、電子顕微鏡システムおよび電子リソグラフィシステム |
JP2004234961A (ja) | 2003-01-29 | 2004-08-19 | Jeol Ltd | 多極子レンズ及び荷電粒子線装置 |
JP2007027136A (ja) | 2005-07-11 | 2007-02-01 | Ict Integrated Circuit Testing Ges Fuer Halbleiterprueftechnik Mbh | 電磁界発生素子及びその組立方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPWO2019215893A1 (ja) | 2021-05-13 |
US20210249218A1 (en) | 2021-08-12 |
DE112018007289T5 (de) | 2020-12-31 |
WO2019215893A1 (ja) | 2019-11-14 |
DE112018007289B4 (de) | 2023-11-30 |
CN112088418A (zh) | 2020-12-15 |
CN112088418B (zh) | 2024-02-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7077401B2 (ja) | 多極子レンズ及びそれを用いた収差補正器、荷電粒子線装置 | |
JP5660860B2 (ja) | 粒子光学レンズの軸収差用の補正装置 | |
TWI435362B (zh) | 帶電粒子裝置 | |
US9349565B2 (en) | Multipole lens, aberration corrector, and electron microscope | |
JP2007109675A (ja) | 単色分光計用の固定ダイヤフラムからなる粒子光学装置 | |
JP2004134379A (ja) | 電子顕微鏡システム用対物レンズおよび電子顕微鏡システム | |
JP2012104483A (ja) | 一体化された静電エネルギーフィルタを有する荷電粒子源 | |
JP4133602B2 (ja) | 荷電粒子ビーム装置における収差補正方法および荷電粒子ビーム装置 | |
CN108807119A (zh) | 紧凑型致偏磁体 | |
US6104034A (en) | Objective lens | |
US5021670A (en) | Multipole element | |
JP7133089B2 (ja) | 荷電粒子線装置 | |
JPH01319236A (ja) | 電界放射電子銃 | |
WO2008140273A2 (en) | Magnetic deflector for an electron column | |
JP2002134051A (ja) | 電磁界重畳型レンズ及びこれを用いた電子線装置 | |
WO2018122953A1 (ja) | 収差補正器および電子顕微鏡 | |
US9396904B2 (en) | Multipole lens, method of fabricating same, and charged particle beam system | |
JP6883656B2 (ja) | 多極子レンズ及びそれを用いた収差補正器、荷電粒子線装置 | |
JP2022127284A (ja) | 多極子ユニットおよび荷電粒子線装置 | |
US3030506A (en) | X-ray shadow microscope | |
JP2588599B2 (ja) | 陰極線管 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20201105 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20211005 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20211118 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220419 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220518 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7077401 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |