JPWO2018199071A1 - 弾性波装置の製造方法及び弾性波装置 - Google Patents

Abstract

レジストの残渣が生じ難く、電気的特性の劣化を生じ難くすることができ、かつ生産性を高めることができる、弾性波装置の製造方法を提供する。弾性波装置１の製造方法は、ＩＤＴ電極３を有する弾性波装置１の製造方法であって、圧電基板２を用意する工程と、圧電基板２上に、第１の内側バスバー４ａと、複数の第１の電極指４ｂと、第２の内側バスバー５ａと、複数の第２の電極指５ｂと、複数の第１の接続電極４ｃと、複数の第２の接続電極５ｃとをリフトオフ法により形成する工程と、複数の第１の接続電極４ｃの一部を覆うように、圧電基板２上に第１の外側バスバー６を形成することにより、複数の第１の開口部８を有する第１のバスバー１４を形成する工程と、複数の第２の接続電極５ｃの一部を覆うように、圧電基板２上に第２の外側バスバー７を形成することにより、複数の第２の開口部９を有する第２のバスバー１５を形成する工程とを備える。

Description

本発明は、弾性波装置の製造方法及び弾性波装置に関する。

従来、不要波を抑制するために、ピストンモードを利用した弾性波装置が提案されている。

例えば、下記の特許文献１には、ピストンモードを利用した弾性波装置の一例が示されている。この弾性波装置は、ＩＤＴ電極を有する弾性波共振子である。ここで、ＩＤＴ電極の電極指が延びる方向を交叉幅方向とする。上記ＩＤＴ電極は、交叉幅方向中央に配置された中央領域と、その交叉幅方向外側に配置された低音速領域と、さらに交叉幅方向外側に配置された高音速領域とを有する。

特許文献１に記載のＩＤＴ電極におけるバスバーは、交叉幅方向中央に設けられた、複数の開口部を有する。この複数の開口部が設けられた領域が、上記ＩＤＴ電極における高音速領域である。開口部よりも交叉幅方向内側に位置している、帯状の内側バスバー部が低音速領域である。それによって、上記弾性波装置は横モードリップルを抑制している。

国際公開第２０１４／１９２７５５号

特許文献１に記載のような弾性波装置を製造するに際しては、バスバー内に複数の開口部を有する微細な電極パターンを形成する必要がある。このような電極パターンをリフトオフ法により形成する場合、上記開口部の部分においてレジストが電極に囲まれることになる。そのため、レジストの剥離に際し、剥離液が安定してレジストに接触し難く、レジストの残渣による不良が発生することがあった。

本発明の目的は、レジストの残渣が生じ難く、電気的特性の劣化を生じ難くすることができ、かつ生産性を高めることができる、弾性波装置の製造方法及び弾性波装置を提供することにある。

本発明に係る弾性波装置の製造方法は、互いに対向し合う第１のバスバー及び第２のバスバーと、前記第１のバスバーに一端が接続されている複数の第１の電極指と、前記第２のバスバーに一端が接続されており、かつ前記複数の第１の電極指と互いに間挿し合っている複数の第２の電極指とを含むＩＤＴ電極を有する弾性波装置の製造方法であって、圧電基板を用意する工程と、前記圧電基板上に、第１の内側バスバーと、前記第１の内側バスバーに一端が接続されている前記複数の第１の電極指と、前記第１の内側バスバーに対向する第２の内側バスバーと、前記第２の内側バスバーに一端が接続されている前記複数の第２の電極指と、前記第１の内側バスバーの前記複数の第１の電極指が接続されている側とは反対側に一端が接続されている複数の第１の接続電極と、前記第２の内側バスバーの前記複数の第２の電極指が接続されている側とは反対側に一端が接続されている複数の第２の接続電極とをリフトオフ法により形成する工程と、前記複数の第１の接続電極の一部を覆うように、前記圧電基板上に第１の外側バスバーを形成することにより、前記第１の外側バスバー、前記複数の第１の接続電極及び前記第１の内側バスバーにより囲まれた複数の第１の開口部を有する前記第１のバスバーを形成する工程と、前記複数の第２の接続電極の一部を覆うように、前記圧電基板上に第２の外側バスバーを形成することにより、前記第２の外側バスバー、前記複数の第２の接続電極及び前記第２の内側バスバーにより囲まれた複数の第２の開口部を有する前記第２のバスバーを形成する工程とを備える。

本発明に係る弾性波装置の製造方法のある特定の局面では、前記第１の接続電極を形成する工程において、前記圧電基板上に、前記第１の接続電極の、前記第１の内側バスバーに接続されている側とは反対側の端部に接続されている、前記第１の接続電極が延びる方向に交叉する方向に延びる第３の接続電極を形成する。この場合には、ＩＤＴ電極の電気抵抗を低くすることができる。

本発明に係る弾性波装置の製造方法の他の特定の局面では、前記第１の接続電極及び前記第３の接続電極を形成する工程において、複数の前記第３の接続電極を、互いにギャップを隔てて形成する。この場合には、ＩＤＴ電極の電気抵抗を低くすることができ、かつレジストパターンを効果的に剥離し易くすることができる。

本発明に係る弾性波装置の製造方法のさらに他の特定の局面では、前記第１の接続電極及び前記第３の接続電極を形成する工程において、前記第３の接続電極、前記複数の第１の接続電極及び前記第１の内側バスバーにより囲まれた複数の第３の開口部を形成するように、かつ前記第３の開口部の前記第１の接続電極が延びる方向に沿う寸法が、前記第１の開口部の前記第１の接続電極が延びる方向に沿う寸法より長くなるように、前記第３の接続電極を形成する。この場合には、ＩＤＴ電極の電気抵抗を低くすることができ、かつレジストパターンを剥離し易い。

本発明に係る弾性波装置の製造方法の別の特定の局面では、前記第１の接続電極及び前記第２の接続電極が、前記第１の電極指及び前記第２の電極指が延びる方向と平行な方向に延びている。

本発明に係る弾性波装置の製造方法のさらに別の特定の局面では、前記第１の接続電極及び前記第２の接続電極が、前記第１の電極指及び前記第２の電極指が延びる方向と交叉する方向に延びている。この場合には、横モードによるスプリアスを抑制することができる。

本発明に係る弾性波装置の製造方法のさらに別の特定の局面では、弾性波伝搬方向を第１の方向とし、前記第１の電極指及び前記第２の電極指が延びる方向を第２の方向としたときに、前記ＩＤＴ電極が、前記第１の電極指と前記第２の電極指とが前記第１の方向において重なり合っている部分である交叉領域を有し、前記交叉領域が、前記第２の方向中央側に位置している中央領域と、前記中央領域の前記第２の方向両側に配置されている第１のエッジ領域及び第２のエッジ領域とを有し、前記第１のエッジ領域が前記第１の内側バスバー側に位置しており、前記第２のエッジ領域が前記第２の内側バスバー側に位置しており、前記第１のエッジ領域及び前記第２のエッジ領域における音速が、前記中央領域における音速よりも低い。この場合には、横モードによるスプリアスを抑制することができる。

本発明に係る弾性波装置の製造方法のさらに別の特定の局面では、前記圧電基板上に、前記第１の外側バスバーに接続するように配線電極を形成する工程がさらに備えられており、前記配線電極を形成する工程を、前記第１の外側バスバーを形成する工程と同時に行う。この場合には、生産性をより一層高めることができる。

本発明に係る弾性波装置の製造方法のさらに別の特定の局面では、前記圧電基板上に、前記配線電極に接続するように端子を形成する工程がさらに備えられており、前記端子を形成する工程を、前記第１の外側バスバー及び前記配線電極を形成する工程と同時に行う。この場合には、生産性をより一層高めることができる。

本発明に係る弾性波装置は、圧電基板と、前記圧電基板上に設けられているＩＤＴ電極とを備え、前記ＩＤＴ電極が、第１の内側バスバーと、前記第１の内側バスバーに一端が接続されている複数の第１の電極指と、前記第１の内側バスバーに対向する第２の内側バスバーと、前記第２の内側バスバーに一端が接続されており、かつ前記複数の第１の電極指と互いに間挿し合っている複数の第２の電極指と、前記第１の内側バスバーの前記複数の第１の電極指が接続されている側とは反対側に一端が接続されている複数の第１の接続電極と、前記第２の内側バスバーの前記複数の第２の電極指が接続されている側とは反対側に一端が接続されている複数の第２の接続電極と、前記複数の第１の接続電極上及び前記圧電基板上に設けられている第１の外側バスバーと、前記第１の外側バスバー、前記複数の第１の接続電極及び前記第１の内側バスバーにより囲まれた複数の第１の開口部と、前記複数の第２の接続電極上及び前記圧電基板上に設けられている第２の外側バスバーと、前記第２の外側バスバー、前記複数の第２の接続電極及び前記第２の内側バスバーにより囲まれた複数の第２の開口部とを有する。

本発明に係る弾性波装置のある特定の局面では、前記複数の第１の接続電極及び前記第２の接続電極が、前記第１の電極指及び前記第２の電極指が延びる方向と交叉する方向に延びている。この場合には、横モードによるスプリアスを抑制することができる。

本発明に係る弾性波装置の他の特定の局面では、弾性波伝搬方向を第１の方向とし、前記第１の電極指及び前記第２の電極指が延びる方向を第２の方向としたときに、前記ＩＤＴ電極が、前記第１の電極指と前記第２の電極指とが前記第１の方向において重なり合っている部分である交叉領域を有し、前記ＩＤＴ電極が、前記交叉領域において、前記第２の方向中央側に位置している中央領域と、前記中央領域の前記第２の方向両側に配置されている第１のエッジ領域及び第２のエッジ領域とを有し、前記第１のエッジ領域が前記第１の内側バスバー側に位置しており、前記第２のエッジ領域が前記第２の内側バスバー側に位置しており、前記第１のエッジ領域及び前記第２のエッジ領域における音速が、前記中央領域における音速よりも低い。この場合には、横モードによるスプリアスを抑制することができる。

本発明に係る弾性波装置のさらに他の特定の局面では、前記第１の外側バスバーは前記複数の第１の接続電極及び前記圧電基板からなる凹凸部上に設けられており、前記第２の外側バスバーは前記複数の第２の接続電極及び前記圧電基板からなる凹凸部上に設けられている。この場合には、第１の外側バスバーと複数の第１の接続電極との接合力を高めることができる。同様に第２の外側バスバーと複数の第２の接続電極との接合力を高めることができる。

本発明によれば、レジストの残渣が生じ難く、電気的特性の劣化を生じ難くすることができ、かつ生産性を高めることができる、弾性波装置の製造方法及び弾性波装置を提供することができる。

図１は、本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置の平面図である。 図２は、図１中のＩ−Ｉ線に沿う断面図である。 図３は、本発明の第１の実施形態におけるＩＤＴ電極の第１のエッジ領域付近の拡大平面図である。 図４は、本発明の第１の実施形態における第１の電極指の拡大正面断面図である。 図５（ａ）及び図５（ｂ）は、本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置の製造方法の一例を説明するための平面図である。 図６（ａ）及び図６（ｂ）は、本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置の製造方法の一例を説明するための平面図である。 図７は、本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置の製造方法の一例を説明するための正面断面図である。 図８は、本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置の、共振周波数及び***振周波数の中間の周波数におけるリターンロスと、第１の開口長との関係を示す図である。 図９は、本発明の第１の実施形態の第１の変形例におけるＩＤＴ電極の平面図である。 図１０は、本発明の第１の実施形態の第２の変形例におけるＩＤＴ電極の平面図である。 図１１は、本発明の第１の実施形態の第３の変形例におけるＩＤＴ電極の平面図である。 図１２は、本発明の第２の実施形態におけるＩＤＴ電極の平面図である。 図１３は、本発明の第２の実施形態の第１の変形例におけるＩＤＴ電極の平面図である。 図１４は、本発明の第２の実施形態の第２の変形例におけるＩＤＴ電極の平面図である。 図１５は、本発明の第３の実施形態におけるＩＤＴ電極の平面図である。 図１６は、本発明の第４の実施形態に係る弾性波装置の平面図である。 図１７は、本発明の第５の実施形態に係る弾性波装置の平面図である。

以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。

なお、本明細書に記載の各実施形態は、例示的なものであり、異なる実施形態間において、構成の部分的な置換または組み合わせが可能であることを指摘しておく。

図１は、本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置の平面図である。なお、図１においては、後述する第１の誘電体膜及び第２の誘電体膜を省略している。

弾性波装置１は、圧電基板２を有する。本実施形態では、圧電基板２は１２７．５°Ｙ−ＸのＬｉＮｂＯ_３からなる。なお、圧電基板２のカット角は上記に限定されない。圧電基板２は、ＬｉＴａＯ_３などの、ＬｉＮｂＯ_３以外の圧電単結晶からなっていてもよく、あるいは、適宜の圧電セラミックスからなっていてもよい。

圧電基板２上には、ＩＤＴ電極３が設けられている。ＩＤＴ電極３に交流電圧を印加すると、弾性波が励振される。ＩＤＴ電極３の弾性波伝搬方向両側には反射器１３ａ及び反射器１３ｂが設けられている。このように、本実施形態では、弾性波装置１は１ポート型の弾性波共振子である。なお、本発明の弾性波装置はこれに限定されず、例えば、弾性波共振子を複数有するラダー型フィルタや、ＩＤＴ電極を複数有する縦結合共振子型弾性波フィルタであってもよい。

本実施形態の弾性波装置１は、ピストンモードを利用しており、ＩＤＴ電極３は後述する第１の低音速領域Ｌａ及び第１の高音速領域Ｈａ並びに第２の低音速領域Ｌｂ及び第２の高音速領域Ｈｂを有する。これを以下においてより具体的に説明する。

ＩＤＴ電極３は、互いに対向し合う第１の内側バスバー４ａ及び第２の内側バスバー５ａを有する。ＩＤＴ電極３は、第１の内側バスバー４ａに一端が接続されている、複数の第１の電極指４ｂを有する。さらに、ＩＤＴ電極３は、第２の内側バスバー５ａに一端が接続されている、複数の第２の電極指５ｂを有する。複数の第１の電極指４ｂと複数の第２の電極指５ｂとは、互いに間挿し合っている。

ここで、弾性波伝搬方向を第１の方向ｘとし、第１の電極指４ｂ及び第２の電極指５ｂが延びる方向を第２の方向ｙとする。本実施形態では、第１の方向ｘに直交する方向と、第２の方向ｙとは平行である。

ＩＤＴ電極３は、第１の内側バスバー４ａの第１の電極指４ｂが接続されている側とは反対側に一端が接続されている複数の第１の接続電極４ｃを有する。本実施形態では、第１の接続電極４ｃは、第２の方向ｙに平行に延びている。第１の内側バスバー４ａ及び複数の第１の接続電極４ｃは、櫛歯状の電極パターンを形成しており、第２の方向ｙにおける外側においては、電極間においてギャップが形成されている。

ＩＤＴ電極３は、第２の内側バスバー５ａの第２の電極指５ｂが接続されている側とは反対側に一端が接続されている複数の第２の接続電極５ｃを有する。本実施形態では、第２の接続電極５ｃは、第２の方向ｙに平行に延びている。第２の内側バスバー５ａ及び複数の第２の接続電極５ｃは、櫛歯状の電極パターンを形成しており、第２の方向ｙにおける外側においては、電極間においてギャップが形成されている。

複数の第１の接続電極４ｃの一部を覆うように、圧電基板２上に第１の外側バスバー６が設けられている。第１の外側バスバー６、複数の第１の接続電極４ｃ及び第１の内側バスバー４ａにより、第１のバスバー１４が構成されている。第１のバスバー１４は、第１の外側バスバー６、複数の第１の接続電極４ｃ及び第１の内側バスバー４ａにより囲まれた複数の第１の開口部８を有する。

図２は、図１中のＩ−Ｉ線に沿う断面図である。なお、図２においては、後述する第１の誘電体膜及び第２の誘電体膜を省略している。

第１の外側バスバー６は、圧電基板２及び複数の第１の接続電極４ｃにより形成された凹凸部上に設けられている。

図１に戻り、複数の第２の接続電極５ｃの一部を覆うように、圧電基板２上に第２の外側バスバー７が設けられている。第２の外側バスバー７は、圧電基板２及び複数の第２の接続電極５ｃにより形成された凹凸部上に設けられている。第２の外側バスバー７、複数の第２の接続電極５ｃ及び第２の内側バスバー５ａにより、第２のバスバー１５が構成されている。第２のバスバー１５は、第２の外側バスバー７、複数の第２の接続電極５ｃ及び第２の内側バスバー５ａにより囲まれた複数の第２の開口部９を有する。

ＩＤＴ電極３は、第１の電極指４ｂと第２の電極指５ｂとが第１の方向ｘにおいて重なり合っている部分である交叉領域Ａを有する。交叉領域Ａは、第２の方向ｙにおける第１の電極指４ｂ及び第２の電極指５ｂの中央に位置している中央領域Ｂを有する。交叉領域Ａは、第２の方向ｙにおける中央領域Ｂの外側に配置された第１のエッジ領域Ｃａ及び第２のエッジ領域Ｃｂを有する。第１のエッジ領域Ｃａは第１の内側バスバー４ａ側に位置し、第２のエッジ領域Ｃｂは第２の内側バスバー５ａ側に位置している。

図３は、第１の実施形態におけるＩＤＴ電極の第１のエッジ領域付近の拡大平面図である。

第１の電極指４ｂ及び第２の電極指５ｂの第１の方向ｘに沿う寸法を幅とする。第１の電極指４ｂは、第１のエッジ領域Ｃａにおいて、他の部分より幅が広い幅広部１６を有する。第２の電極指５ｂも、第１のエッジ領域Ｃａにおいて、他の部分より幅が広い幅広部１７を有する。これにより、第１のエッジ領域Ｃａにおける音速は、中央領域Ｂにおける音速よりも低い。さらに、第１の内側バスバー４ａが設けられている領域における音速も、中央領域Ｂにおける音速よりも低い。このように、第１のエッジ領域Ｃａから第１の内側バスバー４ａが設けられている領域にかけて、平均音速が中央領域Ｂにおける音速よりも低い、第１の低音速領域Ｌａが構成されている。なお、本明細書において、音速とは弾性波の第１の方向ｘにおける伝搬速度である。

図１に戻り、第１の電極指４ｂ及び第２の電極指５ｂは、第２のエッジ領域Ｃｂにおいても、幅広部を有する。第２のエッジ領域Ｃｂから第２の内側バスバー５ａが設けられている領域にかけて、平均音速が中央領域Ｂにおける音速よりも低い、第２の低音速領域Ｌｂが構成されている。

上記第１の開口部８は、第１のエッジ領域Ｃａの第２の方向ｙにおける外側に位置している。本実施形態では、第１の開口部８を構成している第１の接続電極４ｃは、第１の電極指４ｂの、第２の方向ｙにおける延長線上に位置しており、第２の電極指５ｂの上記延長線上には位置していない。よって、第１の開口部８が設けられている領域における、第１の方向ｘに沿う電極の占有率は、中央領域Ｂにおける、第１の方向ｘに沿う電極の占有率より小さい。従って、第１の開口部８が設けられている領域において、中央領域Ｂの音速よりも音速が高い、第１の高音速領域Ｈａが構成されている。

上記第２の開口部９は、第２のエッジ領域Ｃｂの第２の方向ｙにおける外側に位置している。第１の開口部８が設けられている領域と同様に、第２の開口部９が設けられている領域において、中央領域Ｂの音速よりも音速が高い、第２の高音速領域Ｈｂが構成されている。

このように、中央領域Ｂ、第１の低音速領域Ｌａ及び第１の高音速領域Ｈａがこの順序で配置されており、中央領域Ｂ、第２の低音速領域Ｌｂ及び第２の高音速領域Ｈｂがこの順序で配置されている。それによって、弾性波のエネルギーを閉じ込め、かつ高次の横モードによるスプリアスを抑制している。

図４は、第１の実施形態における第１の電極指の拡大正面断面図である。

本実施形態では、第１の電極指４ｂは、圧電基板２側から、第１の金属層３ａ、第２の金属層３ｂ、第３の金属層３ｃ、第４の金属層３ｄ及び第５の金属層３ｅがこの順序で積層された積層金属膜からなる。第１の金属層３ａはＮｉＣｒからなる。第２の金属層３ｂはＰｔからなる。第３の金属層３ｃはＴｉからなる。第４の金属層３ｄはＡｌＣｕからなる。第５の金属層３ｅはＴｉからなる。第１の金属層３ａの膜厚は１０ｎｍであり、第２の金属層３ｂの膜厚は７２ｎｍであり、第３の金属層３ｃの膜厚は６０ｎｍであり、第４の金属層３ｄの膜厚は１３０ｎｍであり、第５の金属層３ｅの膜厚は１０ｎｍである。ＩＤＴ電極の他の第１の電極指、複数の第２の電極指、複数の第１の接続電極及び複数の第２の接続電極も同様に構成されている。

なお、複数の第１の電極指、複数の第２の電極指、複数の第１の接続電極及び複数の第２の接続電極の材料及び膜厚は上記に限定されない。複数の第１の電極指、複数の第２の電極指、複数の第１の接続電極及び複数の第２の接続電極は、単層の金属膜からなっていてもよい。上記第１の外側バスバー及び上記第２の外側バスバーも、複数の金属層が積層された積層金属膜からなっていてもよく、あるいは、単層の金属膜からなっていてもよい。

圧電基板２上には、ＩＤＴ電極及び反射器を覆うように第１の誘電体膜１８が設けられている。第１の誘電体膜１８は、特に限定されないが、ＳｉＯ_２からなる。それによって、周波数温度特性を改善することができる。第１の誘電体膜１８の膜厚は、特に限定されないが、１１１０ｎｍである。

第１の誘電体膜１８上には、第２の誘電体膜１９が設けられている。第２の誘電体膜１９は、特に限定されないが、ＳｉＮからなる。第２の誘電体膜１９の膜厚を調整することにより、容易に周波数調整を行うことができる。第２の誘電体膜１９の膜厚は、特に限定されないが、４０ｎｍである。なお、第１の誘電体膜１８及び第２の誘電体膜１９は設けられていなくともよい。

図１に戻り、本実施形態の特徴は、複数の第１の接続電極４ｃの一部を覆うように、圧電基板２上に第１の外側バスバー６が設けられており、複数の第２の接続電極５ｃの一部を覆うように、圧電基板２上に第２の外側バスバー７が設けられていることにある。これにより、弾性波装置１の製造に際し、レジストの残渣を生じ難くすることができる。それによって、フィルタ特性などの電気的特性の劣化を生じ難くすることができ、かつ生産性を高めることができる。これを、以下において、本実施形態の弾性波装置１の製造方法の一例と共に説明する。

図５（ａ）及び図５（ｂ）は、第１の実施形態に係る弾性波装置の製造方法の一例を説明するための平面図である。図６（ａ）及び図６（ｂ）は、第１の実施形態に係る弾性波装置の製造方法の一例を説明するための平面図である。図７は、第１の実施形態に係る弾性波装置の製造方法の一例を説明するための正面断面図である。なお、図５（ａ）においては、後述するレジストパターンをハッチングにより示す。

図５（ａ）に示すように、圧電基板２を用意する。次に、リフトオフ法により、圧電基板２上に、ＩＤＴ電極の第１の内側バスバーと、複数の第１の電極指と、第２の内側バスバーと、複数の第２の電極指と、複数の第１の接続電極と、複数の第２の接続電極とを形成する。

より具体的には、圧電基板２上に、レジスト層を形成する。レジスト層は、例えば、印刷法やスピンコート法などにより形成することができる。次に、レジスト層を露光した後に現像することにより、レジストパターン２２を形成する。レジストパターン２２におけるＩＤＴ電極に相当する部分は、全て連なっている。

次に、図５（ｂ）に示すように、レジストパターン２２を覆うように圧電基板２上に、第１の内側バスバー、第２の内側バスバー、第１の電極指、第２の電極指、第１の接続電極及び第２の接続電極用の金属膜２３を形成する。金属膜２３は、真空蒸着法により形成する。なお、金属膜２３は、例えば、スパッタリング法などの適宜の方法によって形成してもよい。

次に、レジストパターン２２を剥離する。このとき、上述したように、レジストパターン２２のＩＤＴ電極に相当する部分は全て連なっているため、レジストパターン２２を容易に、かつより一層確実に剥離することができる。これにより、図６（ａ）に示すように、第１の内側バスバー４ａ、第２の内側バスバー５ａ、複数の第１の電極指４ｂ、複数の第２の電極指５ｂ、複数の第１の接続電極４ｃ及び複数の第２の接続電極５ｃを形成することができる。

次に、図６（ｂ）に示すように、複数の第１の接続電極４ｃの一部を覆うように、圧電基板２上に第１の外側バスバー６を形成する。これにより、第１の外側バスバー６、複数の第１の接続電極４ｃ及び第１の内側バスバー４ａにより囲まれた複数の第１の開口部８を有する第１のバスバー１４を形成する。これと同時に、複数の第２の接続電極５ｃの一部を覆うように、圧電基板２上に第２の外側バスバー７を形成する。これにより、第２の外側バスバー７、複数の第２の接続電極５ｃ及び第２の内側バスバー５ａにより囲まれた複数の第２の開口部９を有する第２のバスバー１５を形成する。第１の外側バスバー６及び第２の外側バスバー７は、リフトオフ法により形成することができる。これにより、圧電基板２上にＩＤＴ電極３を形成することができる。

なお、反射器１３ａ及び反射器１３ｂも、ＩＤＴ電極３と同時に、リフトオフ法により形成する。

次に、図７に示すように、ＩＤＴ電極３、反射器１３ａ及び反射器１３ｂを覆うように、圧電基板２上に第１の誘電体膜１８を形成する。次に、第１の誘電体膜１８上に第２の誘電体膜１９を形成する。第１の誘電体膜１８及び第２の誘電体膜１９は、例えば，スパッタリング法や真空蒸着法により形成することができる。

本実施形態の弾性波装置１の製造においては、第１のバスバー及び第２のバスバーを、図５（ａ）及び図５（ｂ）並びに図６（ａ）に示す工程と、図６（ｂ）に示す工程とに分けて形成する。そのため、図５（ａ）に示すように、ＩＤＴ電極の第１の開口部及び第２の開口部に相当する部分において、レジスト層は、レジスト層が除去された部分により囲まれていない。これにより、図５（ｂ）に示すように、レジストパターン２２のＩＤＴ電極に相当する部分におけるレジスト層は、圧電基板２上に直接的に金属膜２３が形成されている部分により囲まれていない。そのため、レジストパターン２２のＩＤＴ電極に相当する部分が全て連なった状態とすることができる。よって、レジストパターン２２を容易に剥離することができ、生産効率を高めることができる。加えて、レジストパターン２２をより一層確実に剥離することができるため、レジスト残渣による不良の発生率を低減することができる。従って、生産性を効果的に高めることができる。

ここで、図１に示す、ＩＤＴ電極３の電極指ピッチにより規定される波長をλとする。第１の開口部８の第２の方向ｙに沿う寸法を第１の開口長とする。第２の開口部９の第２の方向ｙに沿う寸法を第２の開口長とする。本実施形態では、第１の開口長は、第１の内側バスバー４ａと第１の外側バスバー６との距離であり、第２の開口長は、第２の内側バスバー５ａと第２の外側バスバー７との距離である。第１の開口長及び第２の開口長は、２λ以下であることが好ましい。それによって、ＩＤＴ電極３の電気抵抗を低くすることができる。

他方、第１の開口長及び第２の開口長は、１λ以上であることが好ましく、１．２λ以上であることがより好ましい。それによって、リターンロスを良好とすることができる。これを以下において説明する。

以下の条件において、本実施形態の弾性波装置１の共振周波数及び***振周波数の中間の周波数におけるリターンロスを評価した。なお、第１のバスバー１４及び第２のバスバー１５の第２の方向ｙに沿う寸法を第１の内側バスバー４ａ及び第２の内側バスバー５ａの幅とする。他方、本実施形態において、第１の電極指４ｂ及び第２の電極指５ｂの第２の方向ｙに沿う寸法を、第１の電極指４ｂ及び第２の電極指５ｂの長さとする。上述したように、第１の電極指４ｂ及び第２の電極指５ｂの第１の方向ｘに沿う寸法は、第１の電極指４ｂ及び第２の電極指５ｂの幅である。交叉領域Ａの第２の方向ｙに沿う寸法を交叉幅とする。

圧電基板：材料１２７．５°Ｙ−Ｘ ＬｉＮｂＯ_３
第１の内側バスバー及び第２の内側バスバーの幅：０．８５μｍ
第１の電極指及び第２の電極指の幅（幅広部以外）：１μｍ
第１の電極指の幅広部及び第２の電極指の幅広部の幅：１．４μｍ
第１の電極指の幅広部及び第２の電極指の幅広部の長さ：１μｍ
波長：４μｍ
交叉幅：４０μｍ
第１の電極指及び第２の電極指の対数：１５０対

図８は、第１の実施形態に係る弾性波装置の、共振周波数及び***振周波数の中間の周波数におけるリターンロスと、第１の開口長との関係を示す図である。

図８に示すように、第１の開口長が１λ以上、２λ以下の範囲のとき、リターンロスの絶対値を０．３５以下とすることができ、リターンロスを良好とし得ることがわかる。第１の開口長が１．２λ以上、２λ以下の範囲のとき、より一層リターンロスを良好とし得ることがわかる。

ところで、図２に示すように、第１の外側バスバー６は複数の第１の接続電極４ｃ及び圧電基板２からなる凹凸部上に設けられている。それによって、第１の外側バスバー６と複数の第１の接続電極４ｃとの接合力を高めることができる。同様に第２の外側バスバーと複数の第２の接続電極との接合力を高めることができる。よって、ＩＤＴ電極が破損し難く、弾性波装置１の信頼性を高めることができる。

図３に示すように、本実施形態では、第１のエッジ領域Ｃａにおいては、第１の電極指４ｂが幅広部１６を有し、第２の電極指５ｂが幅広部１７を有することにより、音速が低くなっている。なお、第１のエッジ領域Ｃａの音速を低くする構成はこれに限定されない。例えば、第１のエッジ領域Ｃａにおいて、第１の電極指４ｂ上及び第２の電極指５ｂ上に質量付加膜が設けられていてもよい。第２のエッジ領域における音速を低くする構成についても同様である。

以下において、第１の実施形態の第１〜第３の変形例を示す。第１〜第３の変形例においては、第１のバスバー及び第２のバスバーの構成が第１の実施形態と異なる。上記の点以外においては、第１〜第３の変形例は、第１の実施形態と同様に構成されている。なお、第１〜第３の変形例においては、第１のバスバーにおける第１の内側バスバー及び第１の外側バスバー並びに第２のバスバーにおける第２の内側バスバー及び第２の外側バスバーは、第１の実施形態と同様に構成されている。第１〜第３の変形例においても、第１の実施形態と同様に、生産性を高めることができる。

図９は、第１の実施形態の第１の変形例におけるＩＤＴ電極の平面図である。なお、図９では、圧電基板におけるＩＤＴ電極が設けられている部分付近を示す。後述する、ＩＤＴ電極を示す各図においても同様である。

本変形例においては、第１の接続電極４ｃは、第２の電極指５ｂの第２の方向ｙにおける延長線上に設けられている。第２の接続電極５ｃは、第１の電極指４ｂの第２の方向ｙにおける延長線上に設けられている。

図１０は、第１の実施形態の第２の変形例におけるＩＤＴ電極の平面図である。

本変形例においては、第１の接続電極１０４ｃの幅が第１の電極指４ｂの幅よりも広い。各第１の接続電極１０４ｃは、１本以上おきの第１の電極指４ｂに、第１の内側バスバー４ａを介して対向するように設けられている。同様に、第２の接続電極１０５ｃの幅は第１の電極指４ｂの幅よりも広い。各第２の接続電極１０５ｃは、１本以上おきの第１の電極指４ｂの第２の方向ｙにおける延長線上に設けられている。

図１１は、第１の実施形態の第３の変形例におけるＩＤＴ電極の平面図である。

本変形例においては、第１の接続電極１１４ｃ及び第２の接続電極１１５ｃが曲線形状を有する。第１の開口部１１８及び第２の開口部１１９も曲線形状を有する。

図１２は、第２の実施形態におけるＩＤＴ電極の平面図である。

本実施形態においては、ＩＤＴ電極３３が、第１の接続電極４ｃに接続されている第３の接続電極３４ｃ及び第２の接続電極５ｃに接続されている第４の接続電極３５ｃを有する。上記の点以外においては、本実施形態の弾性波装置は第１の実施形態の弾性波装置１と同様の構成を有する。

第３の接続電極３４ｃは、複数の第１の接続電極４ｃの、第１の内側バスバー４ａに接続されている側とは反対側の端部に接続されている。第３の接続電極３４ｃは、第３の接続電極３４ｃ、複数の第１の接続電極４ｃ及び第１の内側バスバー４ａにより囲まれた複数の第３の開口部３８が形成されるように設けられている。他方、第２のバスバー３５側においても、第１のバスバー３４側と同様に、複数の第４の開口部３９が形成されるように、複数の第４の接続電極３５ｃが設けられている。第３の接続電極３４ｃ及び第４の接続電極３５ｃを有することにより、ＩＤＴ電極３３の電気抵抗を小さくすることができる。

第３の接続電極３４ｃは第１の方向ｘに延びている。なお、第３の接続電極３４ｃは、第１の接続電極４ｃが延びる方向に交叉する方向に延びていればよい。第４の接続電極３５ｃも同様である。

ここで、図１２に示すように、第１の開口長をＤ１とし、第２の開口長をＤ２とする。第３の開口部３８の第２の方向ｙに沿う寸法を第３の開口長Ｄ３とし、第４の開口部３９の第２の方向ｙに沿う寸法を第４の開口長Ｄ４とする。このとき、第３の開口長Ｄ３は第１の開口長Ｄ１より長い。同様に、第４の開口長Ｄ４は第２の開口長Ｄ２より長い。

第２の実施形態に係る弾性波装置の製造に際しては、第１の接続電極４ｃ及び第２の接続電極５ｃを形成する工程において、圧電基板２上に、第３の接続電極３４ｃ及び第４の接続電極３５ｃを形成すればよい。このとき、第１の接続電極４ｃの第１の内側バスバー４ａに接続される側とは反対側の端部に接続するように、かつ複数の第３の開口部３８を形成するように、第３の接続電極３４ｃを形成すればよい。同様に、第２の接続電極５ｃの第２の内側バスバー５ａに接続される側とは反対側の端部に接続するように、かつ複数の第４の開口部３９を形成するように、第４の接続電極３５ｃを形成すればよい。

このとき、第１のバスバー３４側においては、第３の開口長Ｄ３は、第１の開口長Ｄ１より長いため、レジストパターンを容易に剥離することができ、かつレジスト残渣による不良が発生し難い。第２のバスバー３５側においても同様である。従って、本実施形態においても、生産性を高めることができる。

もっとも、図１に示す第１の実施形態のように、第１の内側バスバー４ａよりも第２の方向ｙにおける外側において、電極間にギャップが形成されており、電極が連なっていないことが好ましい。第２の内側バスバー５ａよりも第２の方向ｙにおける外側において、電極間にギャップが形成されており、電極が連なっていないことが好ましい。それによって、レジストパターンをより一層容易にかつより一層確実に剥離することができる。

なお、第１の接続電極４ｃ及び第２の接続電極５ｃを形成する工程の後の工程は、第１の実施形態の弾性波装置１の製造方法と同様である。

図１３は、第２の実施形態の第１の変形例におけるＩＤＴ電極の平面図である。

本変形例においては、第３の接続電極１２４ｃが互いにギャップを隔てて複数設けられている点及び第４の接続電極１２５ｃが互いにギャップを隔てて複数設けられている点において、第２の実施形態と異なる。上記の点以外においては、本変形例の弾性波装置は第２の実施形態の弾性波装置と同様の構成を有する。

本変形例においては、第１の実施形態と同様に、第１の内側バスバー４ａよりも第２の方向ｙにおける外側において、電極間にギャップが形成されており、電極が連なっていない。第２の内側バスバー５ａよりも第２の方向ｙにおける外側においても、電極間にギャップが形成されており、電極が連なっていない。よって、第１の実施形態と同様に、生産性を効果的に高めることができる。

なお、本変形例に係る弾性波装置の製造に際しては、第１の接続電極４ｃ及び第３の接続電極１２４ｃを形成する工程において、複数の第３の接続電極１２４ｃを、互いにギャップを隔てて形成すればよい。他の工程は、第２の実施形態の弾性波装置の製造に際しての工程と同様である。

図１４は、第２の実施形態の第２の変形例におけるＩＤＴ電極の平面図である。

本変形例は、第１のバスバー１３４が複数の第１の電極１３４ｃを含む点及び第２のバスバー１３５が複数の第２の電極１３５ｃを含む点において、第２の実施形態の第１の変形例と異なる。上記の点以外においては、本変形例の弾性波装置は、第２の実施形態の第１の変形例の弾性波装置と同様の構成を有する。

第１の電極１３４ｃは、第２の方向ｙにおける第１の電極指４ｂの延長線上に設けられている。第１の電極１３４ｃは、第１の接続電極４ｃが延びる方向に平行に延びている。第１の電極１３４ｃの第１の内側バスバー４ａ側の端部と、第１の内側バスバー４ａとの間には、ギャップが形成されている。第１の方向ｘに沿い、第１の接続電極４ｃと複数の第１の電極１３４ｃとが交互に配置されている。

第１の電極１３４ｃの第１の内側バスバー４ａ側とは反対側の端部には、第３の接続電極１２４ｃが接続されている。第１の電極１３４ｃに接続されている第３の接続電極１２４ｃと、第１の接続電極４ｃに接続されている第３の接続電極１２４ｃとの間には、ギャップが形成されている。他方、第２のバスバー１３５側も、第１のバスバー１３４側と同様に構成されている。

本変形例においても、第２の実施形態の第１の変形例と同様に、第３の接続電極１２４ｃ同士の間及び第４の接続電極１２５ｃ同士の間においてギャップが形成されている。加えて、第１の電極１３４ｃと第１の内側バスバー４ａとの間及び第２の電極１３５ｃと第２の内側バスバー５ａとの間においてもギャップが形成されている。よって、本変形例においても、製造工程において、レジストパターンを容易にかつより一層確実に剥離することができ、生産性を高めることができる。

図１５は、第３の実施形態におけるＩＤＴ電極の平面図である。

第３の実施形態は、第１の接続電極４４ｃ及び第２の接続電極４５ｃが、第１の電極指４４ｂ及び第２の電極指４５ｂが延びる方向と交叉する方向に延びている点において、第１の実施形態と異なる。さらに、第１の電極指４４ｂ及び第２の電極指４５ｂが、幅広部を有しない点においても、第３の実施形態は第１の実施形態と異なる。上記の点以外においては、第３の実施形態の弾性波装置は、第１の実施形態の弾性波装置１と同様の構成を有する。

本実施形態においても、第１の実施形態と同様に、生産性を効果的に高めることができる。

本実施形態においては、複数の第１の接続電極４４ｃが第２の方向ｙと交叉する方向に延びているため、第１の開口部４８は第２の方向ｙに対して傾斜している。第２の開口部４９も、同様に、第２の方向ｙに対して傾斜している。

ここで、交叉領域において弾性波が励振された際に生じる横モードは、第１のバスバー４４側及び第２のバスバー４５側に伝搬する。第１のバスバー４４及び第２のバスバー４５は、上記のように傾斜した第１の開口部４８及び第２の開口部４９を有するため、横モードを交叉領域側に反射させることができる。反射された横モードと、交叉領域から第１のバスバー４４側及び第２のバスバー４５側に伝搬する横モードとは相殺される。それによって、横モードによるスプリアスを抑制することができる。

なお、本実施形態においても、第１の電極指４４ｂ及び第２の電極指４５ｂは、第１のエッジ領域及び第２のエッジ領域において幅広部を有していてもよい。

図１６は、第４の実施形態に係る弾性波装置の平面図である。なお、図１６中の一点鎖線は、後述する各ＩＤＴ電極と各配線電極との境界線及び後述する各配線電極と各端子との境界線を示す。

本実施形態の弾性波装置５１は、縦結合共振子型弾性波フィルタ５２と、縦結合共振子型弾性波フィルタ５２に接続されている配線電極５８と、配線電極５８に接続されている複数の端子とを有する。なお、配線電極５８及び複数の端子は、圧電基板２上に設けられている。

縦結合共振子型弾性波フィルタ５２は、第１の方向ｘに沿い配置された第１のＩＤＴ電極５３Ａ、第２のＩＤＴ電極５３Ｂ及び第３のＩＤＴ電極５３Ｃを有する。第１のＩＤＴ電極５３Ａ、第２のＩＤＴ電極５３Ｂ及び第３のＩＤＴ電極５３Ｃは、第１の実施形態におけるＩＤＴ電極と同様の構成を有する。第１のＩＤＴ電極５３Ａの第２のＩＤＴ電極５３Ｂ側とは反対側に反射器１３ａが配置されており、第３のＩＤＴ電極５３Ｃの第２のＩＤＴ電極５３Ｂ側とは反対側に反射器１３ｂが配置されている。なお、本実施形態では、縦結合共振子型弾性波フィルタ５２は３個のＩＤＴ電極を有するが、ＩＤＴ電極の個数は上記に限定されない。

本実施形態では、複数の端子は、入力端子５９ａ、出力端子５９ｂ及びグラウンド端子５９ｃである。第１のＩＤＴ電極５３Ａの第１の外側バスバー５６Ａには、配線電極５８を介して出力端子５９ｂが接続されている。第１のＩＤＴ電極５３Ａの第２の外側バスバー５７Ａには、配線電極５８を介してグラウンド端子５９ｃが接続されている。第２のＩＤＴ電極５３Ｂの第１の外側バスバー５６Ｂには、配線電極５８を介してグラウンド端子５９ｃが接続されている。第２のＩＤＴ電極５３Ｂの第２の外側バスバー５７Ｂには、配線電極５８を介して入力端子５９ａが接続されている。第３のＩＤＴ電極５３Ｃの第１の外側バスバー５６Ｃには、配線電極５８を介して出力端子５９ｂが接続されている。第３のＩＤＴ電極５３Ｃの第２の外側バスバー５７Ｃには、配線電極５８を介してグラウンド端子５９ｃが接続されている。

第１のＩＤＴ電極５３Ａ、第２のＩＤＴ電極５３Ｂ及び第３のＩＤＴ電極５３Ｃは、第１の実施形態におけるＩＤＴ電極と同様の構成を有するため、製造工程においてレジストパターンを容易に、かつより一層確実に剥離することができる。従って、第１の実施形態と同様に、生産性を高めることができる。

本実施形態の弾性波装置５１の製造に際しては、第１の実施形態の弾性波装置１の製造方法と同様に、第１の内側バスバー、第２の内側バスバー、複数の第１の電極指、複数の第２の電極指、複数の第１の接続電極及び複数の第２の接続電極を形成する。第１のＩＤＴ電極５３Ａ、第２のＩＤＴ電極５３Ｂ及び第３のＩＤＴ電極５３Ｃの上記の各部分を同時に形成することが好ましい。これにより生産性を高めることができる。

次に、第１の実施形態の弾性波装置１の製造方法と同様に、第１の外側バスバー５６Ａを形成する。このとき、第１の外側バスバー５６Ａと同時に、圧電基板２上に、第１の外側バスバー５６Ａに接続するように配線電極５８を形成することが好ましい。第１の外側バスバー５６Ａ及び配線電極５８と同時に、配線電極５８に接続するように、圧電基板２上に出力端子５９ｂを形成することがより好ましい。ここで、第１の外側バスバー５６Ｂ、第１の外側バスバー５６Ｃ、第２の外側バスバー５７Ａ、第２の外側バスバー５７Ｂ、第２の外側バスバー５７Ｃ、他の配線電極５８、他の出力端子５９ｂ、入力端子５９ａ及び各グラウンド端子５９ｃも同時に形成することがさらに好ましい。それによって、生産性をより一層高めることができる。

この後の工程は、第１の実施形態の弾性波装置１の製造方法と同様である。

図１７は、第５の実施形態に係る弾性波装置の平面図である。

本実施形態の弾性波装置６１は、複数の弾性波共振子を有するラダー型フィルタである。弾性波装置６１は、複数の弾性波共振子を電気的に接続している配線電極６８と、複数の弾性波共振子に配線電極５８を介して電気的に接続されている複数の端子とを有する。なお、配線電極５８、配線電極６８及び複数の端子は、圧電基板上に設けられている。

弾性波装置６１における複数の弾性波共振子は、第１の弾性波共振子６２Ａ、第２の弾性波共振子６２Ｂ及び第３の弾性波共振子６２Ｃである。第１の弾性波共振子６２Ａ、第２の弾性波共振子６２Ｂ及び第３の弾性波共振子６２Ｃは、第１の実施形態の弾性波装置１と同様の構成を有する。なお、本実施形態の弾性波装置６１は３個の弾性波共振子を有するが、弾性波共振子の個数は特に限定されない。

本実施形態では、複数の端子は、入力端子５９ａ、出力端子５９ｂ及びグラウンド端子５９ｃである。第１の弾性波共振子６２Ａの第１の外側バスバーには、配線電極５８を介して入力端子５９ａが接続されている。第２の弾性波共振子６２Ｂの第１の外側バスバーには、配線電極５８を介してグラウンド端子５９ｃが接続されている。第３の弾性波共振子６２Ｃの第２の外側バスバーには、配線電極５８を介して出力端子５９ｂが接続されている。第１の弾性波共振子６２Ａの第２の外側バスバー、第２の弾性波共振子６２Ｂの第２の外側バスバー及び第３の弾性波共振子６２Ｃの第１の外側バスバーは、配線電極６８により接続されている。第１の弾性波共振子６２Ａ及び第３の弾性波共振子６２Ｃはラダー型フィルタにおける直列腕共振子であり、第２の弾性波共振子６２Ｂは並列腕共振子である。

第１の弾性波共振子６２Ａ、第２の弾性波共振子６２Ｂ及び第３の弾性波共振子６２Ｃは、第１の実施形態と同様の構成を有する。従って、第１の実施形態と同様に、生産性を高めることができる。

弾性波装置６１の製造に際し、第１の弾性波共振子６２Ａ、第２の弾性波共振子６２Ｂ及び第３の弾性波共振子６２Ｃを構成する工程は、第１の実施形態と同様に行うことができる。なお、第４の実施形態と同様に、各第１の外側バスバー、各第２の外側バスバー、各配線電極５８、配線電極６８、入力端子５９ａ、出力端子５９ｂ及びグラウンド端子５９ｃを同時に形成することが好ましい。それによって、生産性をより一層高めることができる。

１…弾性波装置
２…圧電基板
３…ＩＤＴ電極
３ａ〜３ｅ…第１〜第５の金属層
４ａ…第１の内側バスバー
４ｂ…第１の電極指
４ｃ…第１の接続電極
５ａ…第２の内側バスバー
５ｂ…第２の電極指
５ｃ…第２の接続電極
６，７…第１，第２の外側バスバー
８，９…第１，第２の開口部
１３ａ，１３ｂ…反射器
１４，１５…第１，第２のバスバー
１６，１７…幅広部
１８，１９…第１，第２の誘電体膜
２２…レジストパターン
２３…金属膜
３３…ＩＤＴ電極
３４，３５…第１，第２のバスバー
３４ｃ，３５ｃ…第３，第４の接続電極
３８，３９…第３，第４の開口部
４４，４５…第１，第２のバスバー
４４ｂ，４５ｂ…第１，第２の電極指
４４ｃ，４５ｃ…第１，第２の接続電極
４８，４９…第１，第２の開口部
５１…弾性波装置
５２…縦結合共振子型弾性波フィルタ
５３Ａ〜５３Ｃ…第１〜第３のＩＤＴ電極
５６Ａ〜５６Ｃ…第１の外側バスバー
５７Ａ〜５７Ｃ…第２の外側バスバー
５８…配線電極
５９ａ…入力端子
５９ｂ…出力端子
５９ｃ…グラウンド端子
６１…弾性波装置
６２Ａ〜６２Ｃ…第１〜第３の弾性波共振子
６８…配線電極
１０４ｃ，１０５ｃ…第１，第２の接続電極
１１４ｃ，１１５ｃ…第１，第２の接続電極
１１８，１１９…第１，第２の開口部
１２４ｃ，１２５ｃ…第３，第４の接続電極
１３４，１３５…第１，第２のバスバー
１３４ｃ，１３５ｃ…第１，第２の電極

Claims (13)

1. 互いに対向し合う第１のバスバー及び第２のバスバーと、前記第１のバスバーに一端が接続されている複数の第１の電極指と、前記第２のバスバーに一端が接続されており、かつ前記複数の第１の電極指と互いに間挿し合っている複数の第２の電極指と、を含むＩＤＴ電極を有する弾性波装置の製造方法であって、
   圧電基板を用意する工程と、
   前記圧電基板上に、第１の内側バスバーと、前記第１の内側バスバーに一端が接続されている前記複数の第１の電極指と、前記第１の内側バスバーに対向する第２の内側バスバーと、前記第２の内側バスバーに一端が接続されている前記複数の第２の電極指と、前記第１の内側バスバーの前記複数の第１の電極指が接続されている側とは反対側に一端が接続されている複数の第１の接続電極と、前記第２の内側バスバーの前記複数の第２の電極指が接続されている側とは反対側に一端が接続されている複数の第２の接続電極と、をリフトオフ法により形成する工程と、
   前記複数の第１の接続電極の一部を覆うように、前記圧電基板上に第１の外側バスバーを形成することにより、前記第１の外側バスバー、前記複数の第１の接続電極及び前記第１の内側バスバーにより囲まれた複数の第１の開口部を有する前記第１のバスバーを形成する工程と、
   前記複数の第２の接続電極の一部を覆うように、前記圧電基板上に第２の外側バスバーを形成することにより、前記第２の外側バスバー、前記複数の第２の接続電極及び前記第２の内側バスバーにより囲まれた複数の第２の開口部を有する前記第２のバスバーを形成する工程と、
   を備える、弾性波装置の製造方法。
2. 前記第１の接続電極を形成する工程において、前記圧電基板上に、前記第１の接続電極の、前記第１の内側バスバーに接続されている側とは反対側の端部に接続されている、前記第１の接続電極が延びる方向に交叉する方向に延びる第３の接続電極を形成する、請求項１に記載の弾性波装置の製造方法。
3. 前記第１の接続電極及び前記第３の接続電極を形成する工程において、複数の前記第３の接続電極を、互いにギャップを隔てて形成する、請求項２に記載の弾性波装置の製造方法。
4. 前記第１の接続電極及び前記第３の接続電極を形成する工程において、前記第３の接続電極、前記複数の第１の接続電極及び前記第１の内側バスバーにより囲まれた複数の第３の開口部を形成するように、かつ前記第３の開口部の前記第１の接続電極が延びる方向に沿う寸法が、前記第１の開口部の前記第１の接続電極が延びる方向に沿う寸法より長くなるように、前記第３の接続電極を形成する、請求項２に記載の弾性波装置の製造方法。
5. 前記第１の接続電極及び前記第２の接続電極が、前記第１の電極指及び前記第２の電極指が延びる方向と平行な方向に延びている、請求項１〜４のいずれか１項に記載の弾性波装置の製造方法。
6. 前記第１の接続電極及び前記第２の接続電極が、前記第１の電極指及び前記第２の電極指が延びる方向と交叉する方向に延びている、請求項１〜４のいずれか１項に記載の弾性波装置の製造方法。
7. 弾性波伝搬方向を第１の方向とし、前記第１の電極指及び前記第２の電極指が延びる方向を第２の方向としたときに、前記ＩＤＴ電極が、前記第１の電極指と前記第２の電極指とが前記第１の方向において重なり合っている部分である交叉領域を有し、
   前記交叉領域が、前記第２の方向中央側に位置している中央領域と、前記中央領域の前記第２の方向両側に配置されている第１のエッジ領域及び第２のエッジ領域と、を有し、
   前記第１のエッジ領域が前記第１の内側バスバー側に位置しており、前記第２のエッジ領域が前記第２の内側バスバー側に位置しており、
   前記第１のエッジ領域及び前記第２のエッジ領域における音速が、前記中央領域における音速よりも低い、請求項１〜６のいずれか１項に記載の弾性波装置の製造方法。
8. 前記圧電基板上に、前記第１の外側バスバーに接続するように配線電極を形成する工程をさらに備え、
   前記配線電極を形成する工程を、前記第１の外側バスバーを形成する工程と同時に行う、請求項１〜７のいずれか１項に記載の弾性波装置の製造方法。
9. 前記圧電基板上に、前記配線電極に接続するように端子を形成する工程をさらに備え、
   前記端子を形成する工程を、前記第１の外側バスバー及び前記配線電極を形成する工程と同時に行う、請求項８に記載の弾性波装置の製造方法。
10. 圧電基板と、
    前記圧電基板上に設けられているＩＤＴ電極と、
    を備え、
    前記ＩＤＴ電極が、第１の内側バスバーと、前記第１の内側バスバーに一端が接続されている複数の第１の電極指と、前記第１の内側バスバーに対向する第２の内側バスバーと、前記第２の内側バスバーに一端が接続されており、かつ前記複数の第１の電極指と互いに間挿し合っている複数の第２の電極指と、前記第１の内側バスバーの前記複数の第１の電極指が接続されている側とは反対側に一端が接続されている複数の第１の接続電極と、前記第２の内側バスバーの前記複数の第２の電極指が接続されている側とは反対側に一端が接続されている複数の第２の接続電極と、前記複数の第１の接続電極上及び前記圧電基板上に設けられている第１の外側バスバーと、前記第１の外側バスバー、前記複数の第１の接続電極及び前記第１の内側バスバーにより囲まれた複数の第１の開口部と、前記複数の第２の接続電極上及び前記圧電基板上に設けられている第２の外側バスバーと、前記第２の外側バスバー、前記複数の第２の接続電極及び前記第２の内側バスバーにより囲まれた複数の第２の開口部と、を有する、弾性波装置。
11. 前記複数の第１の接続電極及び前記第２の接続電極が、前記第１の電極指及び前記第２の電極指が延びる方向と交叉する方向に延びている、請求項１０に記載の弾性波装置。
12. 弾性波伝搬方向を第１の方向とし、前記第１の電極指及び前記第２の電極指が延びる方向を第２の方向としたときに、前記ＩＤＴ電極が、前記第１の電極指と前記第２の電極指とが前記第１の方向において重なり合っている部分である交叉領域を有し、
    前記ＩＤＴ電極が、前記交叉領域において、前記第２の方向中央側に位置している中央領域と、前記中央領域の前記第２の方向両側に配置されている第１のエッジ領域及び第２のエッジ領域と、を有し、
    前記第１のエッジ領域が前記第１の内側バスバー側に位置しており、前記第２のエッジ領域が前記第２の内側バスバー側に位置しており、
    前記第１のエッジ領域及び前記第２のエッジ領域における音速が、前記中央領域における音速よりも低い、請求項１０または１１に記載の弾性波装置。
13. 前記第１の外側バスバーは前記複数の第１の接続電極及び前記圧電基板からなる凹凸部上に設けられており、前記第２の外側バスバーは前記複数の第２の接続電極及び前記圧電基板からなる凹凸部上に設けられている、請求項１０〜１２のいずれか１項に記載の弾性波装置。

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