JP6811144B2 - プラズマ処理装置の静電チャックを運用する方法 - Google Patents
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Description
Claims (6)
- プラズマ処理装置の静電チャックを運用する方法であって、
前記プラズマ処理装置は、
チャンバを提供するチャンバ本体と、
前記チャンバ内に設けられた前記静電チャックと、
第1の直流電源と、
第2の直流電源と、
第3の直流電源と、
を備え、
前記静電チャックは、
その内部に熱交換媒体用の流路が設けられた基台と、
前記基台上に設けられ且つ該基台に固定された誘電体層と、
前記誘電体層上に搭載されたチャック本体であり、その上に載置される基板を静電引力により保持する、該チャック本体と、
を有し、
前記チャック本体は、
基板搭載領域を有するセラミック本体と、
前記第1の直流電源に電気的に接続されており、前記基板搭載領域内に設けられた第1電極と、
双極電極を構成する第2電極及び第3電極であり、前記第2の直流電源及び前記第3の直流電源にそれぞれ電気的に接続されており、前記セラミック本体内に設けられており、且つ、前記第1電極と前記誘電体層との間に設けられた、該第2電極及び該第3電極と、
を有し、
該方法は、
前記基台に冷却用の熱交換媒体を供給することにより、前記基台の温度を低下された温度に調整する工程と、
前記基台の温度が前記低下された温度に調整されている状態で、前記誘電体層に前記チャック本体を一時的に引き付ける工程と、
前記チャック本体を一時的に引き付ける前記工程の実行中に、前記基台の温度と前記チャック本体の温度との間の第1の温度差が第1の所定値以下であるか否かについての第1の判定を実行する工程と、
第1の判定を実行する前記工程において、前記第1の温度差が前記第1の所定値以下であると判定された場合に、前記基台の温度が前記低下された温度に調整されている状態で、前記誘電体層と前記チャック本体との間で静電引力を発生させることにより、前記誘電体層を介して前記基台に前記チャック本体を固定する工程と、
を含み、
前記チャック本体を一時的に引き付ける前記工程では、前記誘電体層と前記チャック本体との間で静電引力を発生させるために、前記第2の直流電源からの第1の電圧及び前記第3の直流電源からの第2の電圧が、前記第2電極及び前記第3電極にそれぞれ印加され、該第2の電圧は、該第1の電圧の極性とは逆の極性を有する電圧であり、
前記チャック本体を固定する前記工程では、前記誘電体層と前記チャック本体との間で静電引力を発生させるために、前記第2の直流電源からの第3の電圧及び前記第3の直流電源からの第4の電圧が、前記第2電極及び前記第3電極にそれぞれ印加され、該第4の電圧は、該第3の電圧の極性とは逆の極性を有する電圧であり、
前記第1の電圧の絶対値は、前記第3の電圧の絶対値よりも小さく、前記第2の電圧の絶対値は、前記第4の電圧の絶対値よりも小さい、
方法。 - 前記チャック本体を一時的に引き付ける前記工程では、前記第1の電圧及び前記第2の電圧が断続的に前記第2電極及び前記第3電極にそれぞれ印加される、請求項1に記載の方法。
- 前記チャック本体を固定する前記工程の実行中に、前記チャンバ内に搬入された基板を前記チャック本体上に載置する工程と、
前記チャック本体を固定する前記工程の実行中に、前記第1の直流電源からの電圧を前記第1電極に印加することにより、前記チャック本体に前記基板を固定する工程と、
前記基板を固定する前記工程の実行中に、前記基板を処理する工程と、
前記基板を処理する前記工程の実行後に、前記第1の直流電源からの前記第1電極への前記電圧の印加を停止する工程と、
前記第1電極への前記電圧の印加を停止する前記工程の実行後に、前記チャンバから前記基板を搬出する工程と、
を更に含む、請求項1又は2に記載の方法。 - 前記基板を搬出する前記工程の実行後に、前記第2の直流電源からの前記第2電極への電圧の印加及び前記第3の直流電源からの前記第3電極への電圧の印加を停止することにより、前記基台に対する前記チャック本体の固定を解除する工程と、
前記チャック本体の固定を解除する前記工程の開始時点以降に、前記基台の温度を増加された温度に調整する工程と、
前記基台の温度が前記増加された温度に調整されている状態で前記誘電体層に前記チャック本体を一時的に引き付ける工程であり、前記第2の直流電源からの第5の電圧及び前記第3の直流電源からの第6の電圧が、前記第2電極及び前記第3電極にそれぞれ印加され、該第6の電圧は、該第5の電圧の極性とは逆の極性を有する電圧である、該工程と、
前記基台の温度が前記増加された温度に調整されている状態で前記誘電体層に前記チャック本体を一時的に引き付ける前記工程の実行中に、前記基台の温度と前記チャック本体の温度との間の第2の温度差が第2の所定値以下であるか否かについての第2の判定を実行する工程と、
第2の判定を実行する前記工程において前記第2の温度差が前記第2の所定値以下であると判定された場合に、前記第2電極及び前記第3電極への電圧の印加を停止する工程と、
を更に含む、請求項3に記載の方法。 - 前記基台の温度が前記増加された温度に調整されている状態で前記誘電体層に前記チャック本体を一時的に引き付ける前記工程では、前記第5の電圧及び前記第6の電圧が断続的に前記第2電極及び前記第3電極にそれぞれ印加される、請求項4に記載の方法。
- 前記誘電体層の側の前記チャック本体の表面又は前記チャック本体の側の前記誘電体層の表面は溝を提供しており、
前記チャック本体の固定を解除する前記工程、並びに、前記第2電極及び前記第3電極への電圧の印加を停止する前記工程のうち少なくとも一方の実行中に、前記溝にガスを供給する工程を更に含む、
請求項4又は5に記載の方法。
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