JP6796407B2 - SiCエピタキシャルウェハの製造方法 - Google Patents
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Description
この転位を起点とする長さの短いステップバンチングは、起点となる基板の転位の密度に依存するが、エピタキシャル成長条件によって表面に現れる長さが長くなる。これをステップバンチングの延伸とよぶ。ステップバンチングが延伸するということは段差を持つ領域が大きくなるということで、デバイスへの悪影響も大きくなる。そのため、ステップバンチングの延伸を抑制することは、エピタキシャルウェハの品質向上のために重要である。
例えば、特許文献2ではエピタキシャル層成長開始時の成長温度を1500℃未満にして、かつ1μm/hの成長速度でエピタキシャル成長させた後、1500℃以上の成長温度で3μm/hの成長速度でエピタキシャル成長させる製造方法が開示されている。
特許文献2に記載の製造方法を用いることで、エピタキシャル欠陥を低減させることが可能であることが述べられている。
しかし、特許文献2ではAFM測定による表面モフォロジーの影響について考察されているが、成長開始時の成長速度を低速化させることによるステップバンチングに対する影響については何ら述べられていない。
しかしながら、特許文献3では電流がリークする欠陥の密度が減少することが述べられているのみで、具体的にキャロットが減少したかどうかの検討は全くされていない。
また、特許文献3では成長開始時の成長速度を低速化させることによる、ステップバンチングなどの表面モフォロジーへの影響については何ら検討がなされていない。
第1成長速度は第2成長速度よりも小さく(低速であり)、4.0μm/h以下である。すなわち、SiCエピタキシャル層が単位時間当たり、4.0μm以下の厚みづつ成長する成長速度である。
SiCエピタキシャル層に形成されるキャロット欠陥密度を低減する観点では、第1成長速度は、3.0μm/h以下であることが好ましく、2.0μm/h以下であることがより好ましく、1.0μm/h以下であることがさらに好ましい。
また、SiCエピタキシャル層の表面に現れるステップバンチングの平均長さを短くする観点からは、0.7μm/h以上であることが好ましく、0.8μm/h以上であることがより好ましく、1.0μm/h以上であることがさらに好ましい。
第2成長速度は第1成長速度よりも大きく(高速であり)、例えば、8μm/h以上、80μm/h以下とすることができる。
本発明者は、第1エピタキシャル成長サブ工程におけるSiCエピタキシャル層の成長膜厚が非常に薄くても、キャロット欠陥密度を低減し、また、ステップバンチングの平均長さを短くする効果を有することを見出したことにより本発明に想到した。
まず実験1として、第1エピタキシャル成長サブ工程の成長速度と、キャロット欠陥密度及びステップバンチングの延伸の関係を調べた。その結果を図2及び図3に示す。
エピタキシャル成長工程において、オフ角が4°のn型の導電性4H−SiC基板上に第1成長速度R1を9.0μm/h, 4.5μm/h, 4.0μm/h,2.0μm/h、0.77μm/hでそれぞれ0.5μm成長させた後、第2成長速度R2=9.0μm/hで総エピタキシャル層厚さ(第1エピタキシャル成長速度層と第2エピタキシャル成長速度層とを合わせたエピタキシャル層の厚さ)が15.5μmになるようにエピタキシャル成長工程を実施した。
図2のグラフの傾向に基づくと、第1エピタキシャル成長速度層が500nmの場合、SiCエピタキシャル層のキャロット欠陥密度を0.15個/cm2以下にするためには、2.7μm/h以下とすればよく、また、0.10個/cm2以下にするためには、1.7μm/h以下とすればよい。
図3のグラフの傾向に基づくと、第1エピタキシャル成長速度層が500nmの場合、SiCエピタキシャル層のステップバンチングの長さを150μm以下にするためには、1.5μm/h以上とすればよく、また、100μm以下にするためには、2.2μm/h以上とすればよい。
次に実験2として、第1エピタキシャル成長サブ工程の第1成長速度R1を一定とした条件で、その成長膜厚とキャロット欠陥密度及びステップバンチングの延伸の関係を調べた。その結果を図4及び図5に示す。
エピタキシャル成長工程において、オフ角が4°のn型の導電性4H−SiC基板上に第1成長速度R1=0.74μm/hで320nm, 51nm, 10nm成長させた後、第2成長速度R2=9.3μm/hで成長させ、総エピタキシャル層厚さが15.5μmになるようにエピタキシャル成長工程を実施した。また、比較用に成長速度を9.3μm/hに固定にして15.5μm成長させたエピタキシャルウェハを用意した。
SiC単結晶基板として、4インチの4H−SiC単結晶基板を用意した。4H−SiC単結晶基板は、(0001)Si面に対して<11−20>方向に4°のオフセット角を有する。ここで、4°のオフセット角は、±0.5°程度のずれは許容される。
次いで、準備した4インチの4H−SiC単結晶基板をホットウォールプラネタリ型ウェハ自公転型のCVD装置に設置し、4H−SiC単結晶基板の表面に対して、水素ガスを用いてガスエッチングを行った。エッチングの温度は、エピタキシャル成長の温度と同一の1580℃とした。
エピタキシャル成長工程前の準備工程は、実施例1と同様に行った。エピタキシャル成長工程は、エッチング後の4H−SiC単結晶基板の表面に対して、原料ガスとしてSiH2Cl2ガス、C3H8ガス、キャリアガスとして水素を供給しながら、成長圧力15kPa、成長温度1580℃、C/Si比1.0の条件のもとで、第1成長速度R1の成長速度を0.74μm/hにして第1エピタキシャル成長速度層を51nm形成した上で、第2成長速度9.3μm/hで総SiCエピタキシャル層の厚が15.5μmになるようにエピタキシャル成長工程を行った。
2 第1エピタキシャル成長速度層
3 第2エピタキシャル成長速度層
100 SiCエピタキシャルウェハ
Claims (1)
- オフ角を有する4H−SiC単結晶基板上にSiCエピタキシャル層が積層されたSiCエピタキシャルウェハを製造する方法であって、
前記SiC単結晶基板上にSiCエピタキシャル層を成長させるエピタキシャル成長工程を有し、
前記エピタキシャル成長工程は、
第1成長速度でエピタキシャル成長を行う第1エピタキシャル成長サブ工程と、
前記第1成長速度よりも大きい第2成長速度でエピタキシャル成長を行う第2エピタキシャル成長サブ工程と、を有し、
前記第1エピタキシャル成長サブ工程の成長膜厚は5nm以上、500nm以下とし、前記第1成長速度は、2.2μm/h以上4.0μm/h以下であり、
前記エピタキシャル成長工程は、成長温度を1560℃以上、1610℃以下で行い、
前記エピタキシャル成長工程において、シリコン原料をSiH2Cl2ガスとし、炭素原料をC3H8ガスとし、C/Si比を0.9以上、1.1以下とし、
キャロット欠陥密度が0.65個/cm2以下で、かつ、平均バンチング長さが100μm以下であるSiCエピタキシャルウェハを製造する、ことを特徴とするSiCエピタキシャルウェハの製造方法。
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