JP6795853B2 - 熱輻射光源 - Google Patents
熱輻射光源 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6795853B2 JP6795853B2 JP2018503008A JP2018503008A JP6795853B2 JP 6795853 B2 JP6795853 B2 JP 6795853B2 JP 2018503008 A JP2018503008 A JP 2018503008A JP 2018503008 A JP2018503008 A JP 2018503008A JP 6795853 B2 JP6795853 B2 JP 6795853B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- quantum well
- light source
- photonic crystal
- semiconductor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 71
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 66
- 239000004038 photonic crystal Substances 0.000 claims description 56
- 230000007704 transition Effects 0.000 claims description 18
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 17
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 claims description 7
- 238000003475 lamination Methods 0.000 claims description 4
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 16
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 14
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 12
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 10
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- GQPLMRYTRLFLPF-UHFFFAOYSA-N Nitrous Oxide Chemical compound [O-][N+]#N GQPLMRYTRLFLPF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 6
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 229910000980 Aluminium gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 4
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 239000001272 nitrous oxide Substances 0.000 description 3
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 3
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 2
- 229910002704 AlGaN Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005457 Black-body radiation Effects 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 239000010953 base metal Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 239000002918 waste heat Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/30—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region
- H01S5/34—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising quantum well or superlattice structures, e.g. single quantum well [SQW] lasers, multiple quantum well [MQW] lasers or graded index separate confinement heterostructure [GRINSCH] lasers
- H01S5/3401—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising quantum well or superlattice structures, e.g. single quantum well [SQW] lasers, multiple quantum well [MQW] lasers or graded index separate confinement heterostructure [GRINSCH] lasers having no PN junction, e.g. unipolar lasers, intersubband lasers, quantum cascade lasers
- H01S5/3402—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising quantum well or superlattice structures, e.g. single quantum well [SQW] lasers, multiple quantum well [MQW] lasers or graded index separate confinement heterostructure [GRINSCH] lasers having no PN junction, e.g. unipolar lasers, intersubband lasers, quantum cascade lasers intersubband lasers, e.g. transitions within the conduction or valence bands
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/02—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
- H01L33/04—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies with a quantum effect structure or superlattice, e.g. tunnel junction
- H01L33/06—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies with a quantum effect structure or superlattice, e.g. tunnel junction within the light emitting region, e.g. quantum confinement structure or tunnel barrier
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/06—Arrangements for controlling the laser output parameters, e.g. by operating on the active medium
- H01S5/0607—Arrangements for controlling the laser output parameters, e.g. by operating on the active medium by varying physical parameters other than the potential of the electrodes, e.g. by an electric or magnetic field, mechanical deformation, pressure, light, temperature
- H01S5/0608—Arrangements for controlling the laser output parameters, e.g. by operating on the active medium by varying physical parameters other than the potential of the electrodes, e.g. by an electric or magnetic field, mechanical deformation, pressure, light, temperature controlled by light, e.g. optical switch
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/10—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
- H01S5/11—Comprising a photonic bandgap structure
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2933/00—Details relating to devices covered by the group H01L33/00 but not provided for in its subgroups
- H01L2933/0083—Periodic patterns for optical field-shaping in or on the semiconductor body or semiconductor body package, e.g. photonic bandgap structures
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
Description
a) 量子井戸構造を有する層であって量子井戸内のサブバンド間の遷移エネルギーの大きさが異なるm個(mは2以上の整数)の量子井戸構造層が積層され、各量子井戸構造層を積層方向の両側から挟むようにn型半導体から成る層であるn層及びp型半導体から成る層であるp層が設けられた積層体と、
b) 前記m個の量子井戸構造層の各々において、該量子井戸構造層を挟む前記n層及び前記p層に直接又は間接的に接続された、該量子井戸構造層の量子井戸内の電荷を前記n層又は前記p層に移動させる電圧を印加する電圧印加手段と、
c) 前記m個の量子井戸構造層の各々への前記電圧の印加のON/OFFを切り替える電圧切替手段と、
d) 前記積層体内又は該積層体に隣接して設けられた、前記m個の量子井戸構造層の各々から該量子井戸構造層の量子井戸におけるサブバンド間の遷移エネルギーに対応して1種類ずつ生じる合計m種類の波長の光がいずれも共振するように、単一の周期から成る周期的屈折率分布が形成されているフォトニック結晶部と
を備えることを特徴とする。
前記積層体において、第1半導体層、第1の前記量子井戸構造層である第1量子井戸構造層、第2半導体層、第2の前記量子井戸構造層である第2量子井戸構造層、及び第3半導体層がこの順で積層されており、
前記第1半導体層及び前記第3半導体層が前記n層及び前記p層のいずれか一方であって、前記第2半導体層が前記n層及び前記p層のうち前記第1半導体層及び前記第3半導体層のものとは異なる方であり、
前記第1半導体層及び前記第3半導体層に前記電圧印加手段が接続されている
ものが挙げられる。
a) 量子井戸構造を有する層であって量子井戸内のサブバンド間の遷移エネルギーの大きさが異なるm個(mは2以上の整数)の量子井戸構造層が積層され、各量子井戸構造層を積層方向の両側から挟むようにn型半導体から成る層であるn層及びp型半導体から成る層であるp層が設けられた積層体と、
b) 前記積層体内又は該積層体に隣接して設けられた、前記m個の量子井戸構造層の各々から前記遷移エネルギーに対応して1種類ずつ生じる合計m種類の波長の光がいずれも共振するように、単一の周期から成る周期的屈折率分布が形成されているフォトニック結晶部と
を備えることを特徴とする。
(1-1) 第1実施形態の熱輻射光源の構成
図1に、本発明に係る熱輻射光源の第1実施形態を示す。この熱輻射光源10は、互いに平行に離間して配置された第1量子井戸構造層111及び第2量子井戸構造層112と、第1量子井戸構造層111と第2量子井戸構造層112に挟まれたp層13と、第1量子井戸構造層111のp層13とは反対側に設けられた第1n層121と、第2量子井戸構造層112のp層13とは反対側に設けられた第2n層122を有する。また、第1量子井戸構造層111とp層13の間には第1i層141が、第2量子井戸構造層112とp層13の間には第2i層142が、それぞれ設けられている。すなわち、第1n層121、第1量子井戸構造層111、第1i層141、p層13、第2i層142、第2量子井戸構造層112、第2n層122がこの順で積層された積層体10Sが形成されている。
本実施形態の熱輻射光源10の動作を説明する。第1スイッチ161及び第2スイッチ162が共にOFFの状態で熱輻射光源10が加熱されると、第1量子井戸構造層111及び第2量子井戸構造層112ではそれぞれ、量子井戸に形成されているサブバンド間で電子が遷移し、その遷移エネルギーに対応した波長の光が生成される(図3(a))。このとき第1量子井戸構造層111では波長λ1を中心とした有限の帯域幅の発光が生じ、第2量子井戸構造層112では波長λ2中心とした有限の帯域幅の発光が生じる。これらの光のうち、フォトニック結晶部20の共振波長である波長λ1及びλ2の光のみがフォトニック結晶部20で共振して増幅され、熱輻射光源10の外部に放出される。
図4を用いて、第1実施形態の熱輻射光源の変形例を説明する。この熱輻射光源10Aは、積層体10S及びフォトニック結晶部20は第1実施形態の熱輻射光源10のものと同じ構成を有する。第1電源151A及びそれに直列に接続された第1スイッチ161A、並びに第2電源152A及びそれに直列に接続された第2スイッチ162Aは、並列に設けられており、いずれも第1n層121及び第2n層122に接続されている。第1電源151Aは第1n層121側が正極、第2電源152Aは第2n層122側が正極となるように設けられている。p層13には、直接的には電源が接続されていないが、第1量子井戸構造層111への電圧印加という点では第2n層122、第2量子井戸構造層112及び第2i層142を介して間接的に第1電源151A及び第2電源152Aに接続されている。第2量子井戸構造層112の電圧印加の場合も同様である。
図5に、第1実施形態の熱輻射光源10につき、光源から面垂直方向に得られる熱輻射スペクトルを計算で求めた結果をグラフで示す。グラフの縦軸は、光源の熱輻射強度を、同じ温度の黒体輻射強度で規格化した値である放射率で示した。第1スイッチ161及び第2スイッチ162が共にOFFの場合には波数が約1300cm-1(共振波長λ1に対応)及び約970cm-1(共振波長λ2に対応)にピークが見られる。それに対して、第1スイッチ161をONにすると波数約1300cm-1のピーク強度が減少し、第2スイッチ162をONにすると波数約970cm-1のピーク強度が減少する。これは、上記の動作通りである。
(2-1) 第2実施形態の熱輻射光源の構成
図8を用いて、第2実施形態の熱輻射光源の構成を説明する。この熱輻射光源10Bは、量子井戸構造を有する第1量子井戸構造層111B、第2量子井戸構造層112B及び第3量子井戸構造層113Bと、n型半導体から成る第1n層121B及び第2n層122Bと、p型半導体から成る第1p層131B及び第2p層132Bと、真性半導体から成る第1i層141B、第2i層142B及び第3i層143Bが平行に設けられた積層体10SBを有する。積層体10SBでの各層の積層順(及び厚み)は、第1n層121B(200nm)、第1量子井戸構造層111B(280nm)、第1i層141B(150nm)、第1p層131B(200nm)、第2i層142B(150nm)、第2量子井戸構造層112B(306nm)、第2n層122B(200nm)、第3量子井戸構造層113B(263nm)、第3i層143B(150nm)、第2p層132B(200nm)である。量子井戸構造の構成、並びにp型半導体、n型半導体及び真性半導体の材料には、第1実施形態と同じものを用いる。p型半導体にドープした正孔の密度、及びn型半導体にドープした電子の密度は、共に2×1017cm-3である。
本実施形態の熱輻射光源10Bの動作を説明する。第1スイッチ161B〜第3スイッチ163BがいずれもOFFの状態で熱輻射光源10Bが加熱されると、第1量子井戸構造層111B、第2量子井戸構造層112B及び第3量子井戸構造層113Bでは、各量子井戸構造層の量子井戸のサブバンドにおける遷移エネルギーに対応して、それぞれ波長λ1、λ2及びλ3を中心とした有限の帯域幅の発光が生じる。フォトニック結晶部20Bには、これら3種の波長を中心とした発光が混合した状態で導入され、波長λ1、λ2及びλ3の光のみがフォトニック結晶部20Bで共振して増幅され、熱輻射光源10Bの外部に放出される。
図9に、第2実施形態の熱輻射光源10Bの熱輻射スペクトルを計算で求めた結果をグラフで示す。第1スイッチ161B〜第3スイッチ163Bが全てOFFの場合には、波数が約970cm-1(共振波長λ2に対応)、約1230cm-1(共振波長λ1に対応)及び約1530cm-1(共振波長λ3に対応)にピークが見られる。第1スイッチ161BをONにすると波数約1230cm-1のピーク強度が減少する。同様に、第2スイッチ162BをONにすると波数約970cm-1のピーク強度が減少し、第3スイッチ163BをONにすると波数約1530cm-1のピーク強度が減少する。この結果より、第1スイッチ161B〜第3スイッチ163BのON/OFFを切り替えることによって3種の波長(波数)の光の強弱が独立に制御されることが確認できる。
ここまで、量子井戸構造層がサブバンド間の遷移エネルギーの異なる2層及び3層である場合を例として説明したが、4層以上の場合においても、各量子井戸構造層の遷移エネルギーに対応する波長の光が共振するフォトニック結晶部を設計することで、4種以上の波長の光の強弱を独立に制御することができる熱輻射光源が得られる。
10S、10SB…積層体
111、111B…第1量子井戸構造層
112、112B…第2量子井戸構造層
113B…第3量子井戸構造層
121、121B…第1n層
122、122B…第2n層
13…p層
131B…第1p層
132B…第2p層
141、141B…第1i層
142、142B…第2i層
143B…第3i層
151、151A、151B…第1電源
152、152A、152B…第2電源
153B…第3電源
161、161A、161B…第1スイッチ
162、162A、162B…第2スイッチ
163B…第3スイッチ
17…制御部
20、20B、20C、20D…フォトニック結晶部
21、21B、21C…母材
22、22B、22C…空孔
23…異屈折率部材
Claims (8)
- a) 量子井戸構造を有する層であって量子井戸内のサブバンド間の遷移エネルギーの大きさが異なるm個(mは2以上の整数)の量子井戸構造層が積層され、各量子井戸構造層を積層方向の両側から挟むようにn型半導体から成る層であるn層及びp型半導体から成る層であるp層が設けられた積層体と、
b) 前記m個の量子井戸構造層の各々において、該量子井戸構造層を挟む前記n層及び前記p層に直接又は間接的に接続された、該量子井戸構造層の量子井戸内の電荷を前記n層又は前記p層に移動させる電圧を印加する電圧印加手段と、
c) 前記m個の量子井戸構造層の各々への前記電圧の印加のON/OFFを切り替える電圧切替手段と、
d) 前記積層体内又は該積層体に隣接して設けられた、前記m個の量子井戸構造層の各々から該量子井戸構造層の量子井戸におけるサブバンド間の遷移エネルギーに対応して1種類ずつ生じる合計m種類の波長の光がいずれも共振するように、単一の周期から成る周期的屈折率分布が形成されているフォトニック結晶部と
を備えることを特徴とする熱輻射光源。 - 前記mが2であることを特徴とする請求項1に記載の熱輻射光源。
- 前記積層体及び前記フォトニック結晶部が一体で構成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の熱輻射光源。
- 前記フォトニック結晶部が、前記積層体と、該積層体の各層を貫くように積層方向に設けられ、前記量子井戸構造層、前記n層及び前記p層に平行に周期的に配置された空孔から成ることを特徴とする請求項3に記載の熱輻射光源。
- 前記積層体において、第1半導体層、第1の前記量子井戸構造層である第1量子井戸構造層、第2半導体層、第2の前記量子井戸構造層である第2量子井戸構造層、及び第3半導体層がこの順で積層されており、
前記第1半導体層及び前記第3半導体層が前記n層及び前記p層のいずれか一方であって、前記第2半導体層が前記n層及び前記p層のうち前記第1半導体層及び前記第3半導体層のものとは異なる方であり、
前記第1半導体層及び前記第3半導体層に前記電圧印加手段が接続されている
ことを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の熱輻射光源。 - 前記m種類の波長が、前記フォトニック結晶部の基本モードの共振波長及び1又は複数の高次モードの共振波長、又は該フォトニック結晶部の複数の高次モードの共振波長であることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の熱輻射光源。
- 前記フォトニック結晶部が、板材に該板材とは屈折率が異なる領域である異屈折率領域が三角格子状又は正方格子状に配置されているものであることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の熱輻射光源。
- a) 量子井戸構造を有する層であって量子井戸内のサブバンド間の遷移エネルギーの大きさが異なるm個(mは2以上の整数)の量子井戸構造層が積層され、各量子井戸構造層を積層方向の両側から挟むようにn型半導体から成る層であるn層及びp型半導体から成る層であるp層が設けられた積層体と、
b) 前記積層体内又は該積層体に隣接して設けられた、前記m個の量子井戸構造層の各々から前記遷移エネルギーに対応して1種類ずつ生じる合計m種類の波長の光がいずれも共振するように、単一の周期から成る周期的屈折率分布が形成されているフォトニック結晶部と
を備えることを特徴とする熱輻射光源用素子。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016037217 | 2016-02-29 | ||
JP2016037217 | 2016-02-29 | ||
PCT/JP2017/005160 WO2017150160A1 (ja) | 2016-02-29 | 2017-02-13 | 熱輻射光源 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2017150160A1 JPWO2017150160A1 (ja) | 2019-01-10 |
JP6795853B2 true JP6795853B2 (ja) | 2020-12-02 |
Family
ID=59743827
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018503008A Active JP6795853B2 (ja) | 2016-02-29 | 2017-02-13 | 熱輻射光源 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10777972B2 (ja) |
EP (1) | EP3425754B1 (ja) |
JP (1) | JP6795853B2 (ja) |
WO (1) | WO2017150160A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111916998A (zh) * | 2020-07-13 | 2020-11-10 | 清华大学 | 基于w3光子晶体缺陷波导的分布式反馈激光器及制备方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003298183A (ja) | 2002-04-05 | 2003-10-17 | Hitachi Cable Ltd | 化合物半導体レーザ及び化合物半導体レーザ素子 |
JP2005045162A (ja) * | 2003-07-25 | 2005-02-17 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体素子およびその製造方法 |
JP4642527B2 (ja) * | 2004-04-12 | 2011-03-02 | キヤノン株式会社 | 積層型3次元フォトニック結晶及び発光素子及び画像表示装置 |
JP5300078B2 (ja) * | 2009-10-19 | 2013-09-25 | 国立大学法人京都大学 | フォトニック結晶発光ダイオード |
JP5549011B2 (ja) | 2010-07-30 | 2014-07-16 | 浜松ホトニクス株式会社 | 半導体面発光素子及びその製造方法 |
US9070613B2 (en) * | 2011-09-07 | 2015-06-30 | Lg Innotek Co., Ltd. | Light emitting device |
WO2015129668A1 (ja) * | 2014-02-28 | 2015-09-03 | 国立研究開発法人科学技術振興機構 | 熱輻射光源、及び該光源に用いる2次元フォトニック結晶 |
-
2017
- 2017-02-13 EP EP17759631.9A patent/EP3425754B1/en active Active
- 2017-02-13 US US16/080,528 patent/US10777972B2/en active Active
- 2017-02-13 JP JP2018503008A patent/JP6795853B2/ja active Active
- 2017-02-13 WO PCT/JP2017/005160 patent/WO2017150160A1/ja active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP3425754A4 (en) | 2019-03-20 |
US10777972B2 (en) | 2020-09-15 |
EP3425754A1 (en) | 2019-01-09 |
WO2017150160A1 (ja) | 2017-09-08 |
EP3425754B1 (en) | 2021-03-31 |
JPWO2017150160A1 (ja) | 2019-01-10 |
US20190067910A1 (en) | 2019-02-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20200264048A1 (en) | Photoconductive Detector Device with Plasmonic Electrodes | |
US8507890B1 (en) | Photoconversion device with enhanced photon absorption | |
JP6538648B2 (ja) | 熱輻射光源、及び該光源に用いる2次元フォトニック結晶 | |
CN107800040B (zh) | 太赫兹量子级联激光装置 | |
JP4538516B2 (ja) | 光半導体装置 | |
JP6227627B2 (ja) | 熱輻射光源 | |
US9761750B2 (en) | Large caliber array type terahertz wave generating device having photonic crystal structure | |
Jin et al. | Terahertz detectors based on carbon nanomaterials | |
Chanana et al. | Manifestation of kinetic inductance in terahertz plasmon resonances in thin-film Cd3As2 | |
JP6795853B2 (ja) | 熱輻射光源 | |
Zhou et al. | Highly efficient multiple exciton generation and harvesting in few-layer black phosphorus and heterostructure | |
JP6618145B2 (ja) | 熱輻射光源 | |
JP2009224467A (ja) | 電磁波放射素子 | |
Duan et al. | Photovoltaic-driven flexible single-walled carbon nanotubes for self-powered and polarization-sensitive infrared photodetection | |
JP6102142B2 (ja) | 赤外線検出器 | |
WO2011126799A2 (en) | Quantum cascade laser soure with ultrabroadband spectral coverage | |
Shafraniuk | Unconventional electromagnetic properties of the graphene quantum dots | |
Jia et al. | High-temperature photon-noise-limited performance terahertz quantum-well photodetectors | |
US20100108983A1 (en) | Photocathode semiconductor device | |
US20230178610A1 (en) | Graphene optical sensor | |
US20130153793A1 (en) | Electromagnetic radiation generating element, electromagnetic radiation generating device, and method of generating electromagnetic radiation | |
Hoseini et al. | Studying thermal performance of the PIN-photodiode photodetectors based on MGL and GNR | |
Joseph et al. | Scheme of a quantum well infrared photodetector (QWIP) for astronomical application | |
JP2011086774A (ja) | 太陽電池 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180827 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20191122 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20201104 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20201106 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6795853 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |