JP6778003B2 - Ozone generator and ozone treatment equipment - Google Patents
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Description
本発明はオゾン生成装置及びオゾン処理装置に関する。 The present invention relates to an ozone generator and an ozone treatment device.
オゾンによって被処理物の脱臭や殺菌を行うオゾン処理装置が広く用いられている。この種のオゾン処理装置は、オゾンを流体(気体や液体)に含有させるオゾン生成装置を備え、オゾンを含有させた流体を被処理物に供給して所要の効果を得る。 Ozone treatment equipment that deodorizes and sterilizes the object to be treated with ozone is widely used. This type of ozone treatment device includes an ozone generator that contains ozone in a fluid (gas or liquid), and supplies the ozone-containing fluid to the object to be processed to obtain the required effect.
オゾン生成装置は外部から取り込んだ流体にオゾンを含有させてから流出させるが、オゾン生成装置に取り込まれた段階の流体に高濃度のオゾンが含まれていると、オゾン生成装置を構成する機器に対して害を及ぼす。例えば、特許文献1や特許文献2に記載されている従来のオゾン生成装置では、オゾン生成装置を密閉空間内で使用すると、オゾン生成装置から密閉空間に放出されたオゾンが、密閉空間内を循環した後に再びオゾン生成装置に取り込まれ、オゾンを発生させるランプ、ランプに電力を供給する電源、流体を循環させるファン等がオゾンによって劣化するおそれがある。
In the ozone generator, the fluid taken in from the outside contains ozone and then flows out, but if the fluid at the stage of being taken in by the ozone generator contains a high concentration of ozone, the equipment that composes the ozone generator Harm against it. For example, in the conventional ozone generators described in
特許文献3に記載されている生活用品脱臭装置では、オゾン生成装置で発生させたオゾンを含む空気を処理室内に供給し、処理室内で脱臭を行った後の空気を装置外の大気中に排出する。この排出通路中にオゾン分解器を配設し、排出される空気に含まれるオゾンをオゾン分解器により分解してオゾン濃度を低下させる。このような構成であると、オゾン分解器の分解性能を超える高濃度のオゾンを処理室内に満たした場合や、オゾン分解器が劣化している場合に、十分にオゾンが分解されず、環境基準値以上のオゾンを含む空気が装置外に漏出してしまう。また、オゾンが残留した外気をオゾン生成装置が再び取り込んでしまい、オゾン生成装置の構成部品がオゾンによって劣化してしまうおそれもある。特に、エキシマランプのように効率よく高濃度のオゾンを生成する部品をオゾン生成装置に用いた場合に、顕著な問題となる。 In the household goods deodorizing device described in Patent Document 3, air containing ozone generated by the ozone generator is supplied to the processing chamber, and the air after deodorizing in the processing chamber is discharged to the atmosphere outside the device. To do. An ozone decomposer is arranged in this discharge passage, and ozone contained in the discharged air is decomposed by the ozone decomposer to reduce the ozone concentration. With such a configuration, when the treatment chamber is filled with ozone having a high concentration exceeding the decomposition performance of the ozone decomposer, or when the ozone decomposer is deteriorated, ozone is not sufficiently decomposed, which is an environmental standard. Air containing ozone above the value leaks out of the device. In addition, the ozone generator may take in the outside air in which ozone remains, and the components of the ozone generator may be deteriorated by ozone. In particular, when a component that efficiently generates high-concentration ozone such as an excimer lamp is used in the ozone generator, it becomes a remarkable problem.
特許文献4に記載されているロッカー等の脱臭装置では、脱臭の対象となる収納部とは別に設けた気流ダクト内に、空気の流れの上流側から順にファン、オゾン発生器、反応室及び触媒ユニットを設けている。ファンの回転により収納部から気流ダクトに吸引した空気に含まれる臭気成分が、オゾン発生器により供給されるオゾンにより反応室内で酸化分解され、脱臭済みの空気が気流ダクトから排出されて収納部に戻される。このとき、反応室で臭気成分と反応されなかった未反応のオゾンが触媒ユニットを通過することで分解される。このような構成であると、臭気成分とオゾンとの反応時間が短いので、効率的よく脱臭を行うことができないという問題がある。臭気成分とオゾンとの反応時間を長くさせるために反応室を大きくすると、脱臭装置をコンパクトにすることが難しい。また、気流ダクトからの排気に含まれるオゾンについては反応室の下流側に設けた触媒ユニットで分解するが、外部から気流ダクトに吸引する空気に含まれるオゾンについては対策されていないため、特許文献1ないし特許文献3と同様に、循環する空気に含まれるオゾンによってファンやオゾン発生器が劣化するおそれがある。 In the deodorizing device such as a rocker described in Patent Document 4, a fan, an ozone generator, a reaction chamber, and a catalyst are sequentially provided in an air flow duct provided separately from a storage portion to be deodorized from the upstream side of the air flow. A unit is provided. The odorous components contained in the air sucked from the storage unit into the airflow duct by the rotation of the fan are oxidatively decomposed in the reaction chamber by the ozone supplied by the ozone generator, and the deodorized air is discharged from the airflow duct to the storage unit. Be returned. At this time, unreacted ozone that has not reacted with the odorous component in the reaction chamber is decomposed by passing through the catalyst unit. With such a configuration, since the reaction time between the odorous component and ozone is short, there is a problem that deodorization cannot be performed efficiently. If the reaction chamber is enlarged in order to prolong the reaction time between the odor component and ozone, it is difficult to make the deodorizing device compact. Further, ozone contained in the exhaust gas from the airflow duct is decomposed by a catalyst unit provided on the downstream side of the reaction chamber, but ozone contained in the air sucked into the airflow duct from the outside is not dealt with. Similar to 1 to Patent Document 3, ozone contained in the circulating air may deteriorate the fan and the ozone generator.
本発明は、オゾンによる部品の劣化が生じにくいオゾン生成装置を提供することを目的とする。本発明はまた、効率のよい脱臭や殺菌を行うことが可能であり、かつオゾンによる部品の劣化が生じにくいオゾン処理装置を提供することを目的とする。 An object of the present invention is to provide an ozone generator in which parts are less likely to be deteriorated by ozone. Another object of the present invention is to provide an ozone treatment apparatus capable of efficiently deodorizing and sterilizing, and less likely to cause deterioration of parts due to ozone.
本発明のオゾン生成装置は、流体が流入する流入口と流体が流出する流出口の間に位置し、紫外線を放射することによりオゾンを生成するランプと、ランプに電力を供給する電源とを有するオゾン発生手段と、オゾン発生手段よりも流体の流れの上流側に配設されたオゾン除去手段と、流入口から流出口へ流体を流れさせるファンと、ランプを収納するランプ収納室と電源を収納する電源収納室との間に設けられ、ランプから放射される紫外線を電源に対して遮蔽し、ファンの回転中心である中心軸よりも電源側に位置する隔壁と、を備え、オゾン除去手段は、流体に含有されるオゾンの少なくとも一部を除去し、オゾン発生手段は、オゾン除去手段を通過した流体にオゾンを含有させ、流入口から流入した流体は、隔壁の上流側において分流して、ランプ収納室を流れてランプによりオゾンを含有させた流体と、オゾン除去手段によりオゾンの少なくとも一部が除去されて電源収納室を流れた流体とが、隔壁の下流側において合流して、流出口より流出することを特徴とする。 The ozone generator of the present invention is located between the inlet where the fluid flows in and the outlet where the fluid flows out, and has a lamp that generates ozone by radiating ultraviolet rays and a power source that supplies power to the lamp. Stores the ozone generating means, the ozone removing means arranged on the upstream side of the fluid flow from the ozone generating means , the fan that allows the fluid to flow from the inlet to the outlet, the lamp storage room that houses the lamp, and the power supply. The ozone removal means is provided between the power supply storage chamber and the partition wall that shields the ultraviolet rays radiated from the lamp from the power supply and is located on the power supply side of the central axis that is the center of rotation of the fan. , At least a part of ozone contained in the fluid is removed, the ozone generating means makes the fluid passing through the ozone removing means contain ozone, and the fluid flowing in from the inflow port is diverted on the upstream side of the partition wall. The fluid flowing through the lamp storage chamber and containing ozone by the lamp and the fluid flowing through the power storage chamber after at least a part of ozone is removed by the ozone removing means merge at the downstream side of the partition wall and flow out. It is characterized by more outflow .
流入口と流出口のそれぞれの中心を、隔壁に関して電源収納室よりもランプ収納室側に寄せて配置し、流入口とオゾン発生手段の間の流路上にファンを備えた構成にすることが好ましい。 It is preferable that the centers of the inflow port and the outflow port are arranged closer to the lamp storage chamber side than the power supply storage chamber with respect to the partition wall, and a fan is provided on the flow path between the inflow port and the ozone generating means. ..
オゾン発生手段の動作とファンの動作を制御する制御手段を備え、制御手段によって、オゾン発生手段によるオゾンの生成を停止させてから時間差をおいてファンの動作を停止させてもよい。これによって、流体に残留するオゾンをオゾン除去手段によって効率的に除去することができる。 A control means for controlling the operation of the ozone generating means and the operation of the fan may be provided, and the operation of the fan may be stopped with a time lag after the ozone generation by the ozone generating means is stopped by the control means. As a result, ozone remaining in the fluid can be efficiently removed by the ozone removing means.
さらに、本発明のオゾン処理装置は、流体が流入する流入口と流体が流出する流出口の間に位置し、紫外線を放射することによりオゾンを生成するランプと、ランプに電力を供給する電源とを有するオゾン発生手段と、オゾン発生手段よりも流体の流れの上流側に配設されたオゾン除去手段と、流入口から流出口へ流体を流れさせるファンと、ランプを収納するランプ収納室と電源を収納する電源収納室との間に設けられ、ランプから放射される紫外線を電源に対して遮蔽し、ファンの回転中心である中心軸よりも電源側に位置する隔壁と、を備え、オゾン除去手段は、流体に含有されるオゾンの少なくとも一部を除去し、オゾン発生手段は、オゾン除去手段を通過した流体にオゾンを含有させ、流入口から流入した流体は、隔壁の上流側において分流して、ランプ収納室を流れてランプによりオゾンを含有させた流体と、オゾン除去手段によりオゾンの少なくとも一部が除去されて電源収納室を流れた流体とが、隔壁の下流側において合流して、流出口より流出し、オゾン発生手段でオゾンを含有させた流体により被処理物を処理した後に、オゾン除去手段でオゾンの少なくとも一部が除去される流体がオゾン発生手段に再び流入することを特徴とする。 Further, the ozone treatment apparatus of the present invention is located between the inlet where the fluid flows in and the outlet where the fluid flows out, and has a lamp that generates ozone by radiating ultraviolet rays and a power source that supplies power to the lamp. An ozone generating means having an ozone generating means, an ozone removing means arranged on the upstream side of the fluid flow from the ozone generating means, a fan for flowing the fluid from the inlet to the outlet, a lamp storage chamber for accommodating the lamp, and a power supply. It is provided between the power storage room and the power storage room, which shields the ultraviolet rays emitted from the lamp from the power supply, and has a partition wall located on the power supply side of the central axis, which is the center of rotation of the fan, to remove ozone. The means removes at least a part of ozone contained in the fluid, the ozone generating means causes the fluid that has passed through the ozone removing means to contain ozone, and the fluid that has flowed in from the inflow port is diverted on the upstream side of the partition wall. Then, the fluid flowing through the lamp storage chamber and containing ozone by the lamp and the fluid having at least a part of ozone removed by the ozone removing means and flowing through the power storage chamber merge on the downstream side of the partition wall. It is characterized in that after the object to be treated is treated with a fluid containing ozone by the ozone generating means, which flows out from the outlet, the fluid from which at least a part of ozone is removed by the ozone removing means flows into the ozone generating means again. And.
本発明によると、オゾン発生手段よりも上流側に配設したオゾン除去手段により、流体に含有されるオゾンの少なくとも一部が除去されるので、オゾン発生手段の構成部品がオゾンによる劣化を受けにくいオゾン生成装置やオゾン処理装置を得ることができる。また、オゾン発生手段の下流側の流路構成における制約が少ないため、被処理物の効率のよい脱臭や殺菌を行うことが可能なオゾン処理装置を得ることができる。また、オゾン生成装置において隔壁をファンの中心軸よりも電源側に配置したことで、流体がランプ収納室側へ支配的に流れ、流体に効率よくオゾンを含有させることができる。 According to the present invention, since at least a part of ozone contained in the fluid is removed by the ozone removing means arranged on the upstream side of the ozone generating means, the components of the ozone generating means are less likely to be deteriorated by ozone. An ozone generator or an ozone treatment device can be obtained. Further, since there are few restrictions on the flow path configuration on the downstream side of the ozone generating means, it is possible to obtain an ozone treatment device capable of efficiently deodorizing and sterilizing the object to be treated. Further, by arranging the partition wall on the power supply side of the central axis of the fan in the ozone generator, the fluid predominantly flows to the lamp storage chamber side, and the fluid can efficiently contain ozone.
図1に示すオゾン生成装置10は、筺体11に形成した流入口12から流体を取り込み、筺体11内で流体にオゾンを含有させて流出口13から筺体11外に排出する。筺体11内には、ファン30、エキシマランプ31(オゾン発生手段)、電源32(オゾン発生手段)及び始動補助光源33が配設される。
The
筺体11は、略平行な一対の端壁14,15と、端壁14と端壁15を接続する略平行な一対の側壁16,17とを有しており、端壁14に流入口12が形成され、端壁15に流出口13が形成されている。断面図である図1では端壁14,15と側壁16,17の4つの壁部のみを示しているが、筺体11は流入口12と流出口13以外の箇所が密閉された構造になっている。側壁16と側壁17を結ぶ方向(図1の上下方向)を筺体11の幅方向とする。筺体11の幅方向において、流入口12と流出口13はそれぞれ対応する端壁14,15の略中央に位置している。筺体11内には隔壁18が設けられている。隔壁18は、筐体11の幅方向で側壁16と側壁17の間に位置し、側壁16及び側壁17と略平行に延設されており、側壁16と隔壁18の間にランプ収納室19が形成され、側壁17と隔壁18の間に電源収納室20が形成される。筺体11内には、流入口12とランプ収納室19及び電源収納室20の間を空間的に接続する流入室21と、流出口13とランプ収納室19及び電源収納室20の間を空間的に接続する流出室22が形成される。
The
ファン30は、流入口12に隣接する位置で流入室21内に配設されており、中心軸30xを中心として回転する。ファン30が回転すると、図1に白抜きの太矢印で示す流体の流れが生じる。まず筺体11の外部から流入口12を通して流入室21内に流体が流入し、流入した流体は隔壁18の両側に分流されてランプ収納室19と電源収納室20を通り、流出室22で合流して流出口13を通って筺体11の外に排出される。つまり、流入口12側を上流、流出口13側を下流として流体が流れる流路が形成され、隔壁18が設けられた範囲で流路が筺体11の幅方向に分割されている。隔壁18は、筺体11の幅方向において中心軸30xよりも側壁17寄りの位置に配設されている。そのため、ファン30が回転すると、流入室21から下流に進む流体はランプ収納室19側へ支配的に流れる。また、筺体11の幅方向において、流入口12の中心と流出口13の中心はそれぞれ、ファン30の中心軸30xと略一致する位置にある。すなわち、幅方向において、流入口12の中心と流出口13の中心はいずれも、隔壁18よりも側壁16(ランプ収納室19)寄りに位置している。
The
エキシマランプ31はランプ収納室19内に配設され、電源32は電源収納室20内に配設されている。エキシマランプ31は紫外線を放射して周囲の酸素からオゾンを生成する。始動補助光源33は隔壁18に取り付けられており、紫外線を放射してエキシマランプ31の始動を容易にさせる。電源32は、ファン30、エキシマランプ31及び始動補助光源33に電力を供給する。オゾン生成装置10には筐体11の外部から操作可能な操作部34(制御手段)が設けられ、操作部34を操作することによってオゾン生成装置10におけるファン30やエキシマランプ31の動作を制御することができる。例えば、オゾン生成装置10の起動時に、ファン30とエキシマランプ31をほぼ同時に動作させることや、先にエキシマランプ31を点灯させ、所定(一定)の時間が経過した後、ファン30を回転させることもできる。また、オゾン生成装置10の停止時は、先にエキシマランプ31を消灯させ、その消灯から所定(一定)の時間が経過した後、ファン30の回転を止めるといった動作が可能である。
The
オゾン生成装置10はさらに、オゾンを除去する能力を有するオゾン除去手段40を備えている。オゾンの除去とは、分解や吸着のように流体に含まれるオゾンを減らす機能全般を含む概念であり、オゾンを吸着分解する活性炭や触媒、波長254nmの光を放射してオゾンを分解する低圧水銀ランプ等、任意のものをオゾン除去手段40として選択可能である。オゾン除去手段40は流入口12の入り口に設けられており、流入口12から流入室21内に流入する流体のオゾン濃度を低下させることができる。
The
以上の構成のオゾン生成装置10は、筺体11の外部にある流体にオゾンが含まれている場合に、上流側に位置するオゾン除去手段40によってオゾンの少なくとも一部を除去してから流入口12を通して筺体11内に流体を流入させるため、筺体11内に配設されているファン30、エキシマランプ31、電源32及び始動補助光源33等の構成部品がオゾンにより劣化することを防止または軽減できる。筺体11の流入室21に流入した流体(オゾン除去手段40によるオゾン除去を経た流体)は、ランプ収納室19を通過する際に、エキシマランプ31により生成された高濃度のオゾンを含有する状態となる。一方、電源収納室20を通る流体は、オゾン除去手段40によりオゾンが除去された状態を維持して電源32を冷却する。そして、ランプ収納室19と電源収納室20のそれぞれを通ったオゾン濃度の異なる流体が流出室22で合流し、オゾンが含有された流体が流出口13から排出される。流入口12から流入室21に流れる流体よりも、流出室22から流出口13に流れる流体の方がオゾンの濃度が高い。このようにオゾン生成装置10は、上流側に設けたオゾン除去手段40によってオゾンを除去して筺体11内の構成部品をオゾンによる劣化から守りつつ、高濃度のオゾンを含む流体を効率よく外部に供給することができる。また、流入口12を塞ぐ程度の大きさのオゾン除去手段40を設けた構成は、オゾン生成装置10のコンパクト化も損なわない。
In the
オゾン生成装置10ではさらに、エキシマランプ31と電源32の間に設けた隔壁18によって、エキシマランプ31が放射する紫外線から電源32を保護することができる。また、上述のように、筐体11の幅方向において隔壁18をファン30の中心軸30xよりも電源32(側壁17)側に配置したことで、流入室21から下流に進む流体がエキシマランプ31を有するランプ収納室19側へ支配的に流れ、流体に効率よくオゾンを含有させることができる。
Further, in the
以上に説明したオゾン生成装置10では、最も上流側の流入口12に隣接する位置にオゾン除去手段40を配設しているが、オゾン除去手段を配設する位置を異ならせることもできる。その一例として示す図2のオゾン生成装置110では、オゾン除去手段140を電源収納室20内における電源32の上流に配設している。この構成によると、流入室21からランプ収納室19と電源収納室20に分流される流体のうち、電源収納室20を通って電源32を冷却する流体に含有されるオゾンの少なくとも一部をオゾン除去手段140によって除去することで、オゾンによる電源32の劣化を防止または軽減できる。このように、オゾン発生手段の一部の構成要素の上流に限定した形態でオゾン除去手段を設ける構成も有効である。
In the
また、図2のオゾン除去手段140に加えて、ランプ収納室19内におけるエキシマランプ31の上流側にオゾン除去手段を配設することも可能である。この構成では、図1のオゾン生成装置10と同じく、エキシマランプ31と電源32の両方についてオゾンによる劣化を防ぐ効果が得られる。さらなる変形例として、流入室21内にオゾン除去手段を配設することも可能である。つまり、オゾン発生手段を構成する要素よりも上流側であるという条件を満たしていれば、任意の位置にオゾン除去手段を配置することができる。
Further, in addition to the ozone removing means 140 of FIG. 2, it is also possible to dispose the ozone removing means on the upstream side of the
図3に示すオゾン処理装置50は、先に説明した図1のオゾン生成装置10を外部筐体51内に収めたものである。外部筐体51内には、オゾン生成装置10における流出口13の下流側と流入口12の上流側を空間的に接続する処理室52が形成されており、処理室52内には被処理物53が配設される。オゾン生成装置10のファン30を回転させると、流入口12から流入室21内に流入した流体がランプ収納室19と電源収納室20に分流する。流入室21内の流体はオゾン除去手段40によりオゾンの少なくとも一部が除去されており、ランプ収納室19を通る流体にはエキシマランプ31により生成したオゾンが含有され、電源収納室20を通る流体はオゾン除去手段40によりオゾンが除去された状態が維持され、これらの流体が流出室22で合流して流出口13から流出して処理室52内に流れる。流出口13から流出したオゾンを含む流体は、処理室52内で被処理物53を処理した後に、オゾン除去手段40で残留オゾンの少なくとも一部が除去されて流入口12から再び流入室21に流入する。このような構成にすることで、外部筐体51内の密閉した処理室52に対してエキシマランプ31により高濃度のオゾンを含む流体を供給した場合でも、処理室52を経てオゾン生成装置10に再び流入する流体のオゾン濃度をオゾン除去手段40により下げるので、オゾン生成装置10内のファン30、エキシマランプ31、電源32及び始動補助光源33等がオゾンにより劣化することを防止または軽減できる。また、オゾン生成装置10における上流側にオゾン除去手段40を配設しているため、オゾン生成装置10のコンパクト化は損なわずに、処理室52については被処理物53を処理するための十分な大きさや形状に設定することができ、効率よく被処理物53の脱臭や殺菌を行うことが可能である。なお、図3のオゾン処理装置50は図1のオゾン生成装置10を外部筐体51内に収めているが、外部筐体51内に図2のオゾン生成装置110等の異なる形態のオゾン生成手段を収めることもできる。
The
図3に示すオゾン処理装置50の動作は、オゾン生成装置10の筐体11に設けた操作部34もしくはオゾン処理装置50の外部筐体51に設けた操作部(図示せず)を介して制御する。動作態様の一例としては、まず始動補助光源33を照射してエキシマランプ31を点灯させる。エキシマランプ31の点灯から所定(一定)の時間経過後、ファン30を回転させる。先にエキシマランプ31を点灯させることで、ランプ収納室19内の残存流体にオゾンを含ませておくことができるため、オゾン生成装置10の起動初期段階からオゾンが含有した流体を筺体11の外に排出できる。なお、エキシマランプ30の点灯とファン30の回転はほぼ同時でもよいし、あるいは、ファン30の回転後にエキシマランプ30を点灯させても構わない。
The operation of the
そして、処理室52内で被処理物53を処理した後、エキシマランプ31を消灯させる。エキシマランプ31の消灯後に時間差をおいてファン30の回転を止めて、オゾン生成装置10の動作を停止させる。先にエキシマランプ30を消灯させることで、ランプ収納室19を通る流体にオゾンは含有されなくなり、電源収納室20を通る流体はオゾン除去手段40により少なくとも一部のオゾンが除去された状態が維持されるため、流出口13から流出した流体のオゾン濃度は下がる。そして、流出口13から流出した流体は、処理室52を通って再びオゾン除去手段40でオゾンの少なくとも一部が除去されて流入口12から再び流入室21に流入する。すなわち、エキシマランプ30を消灯させた後もファン30を回転させて流体の循環を継続させることで、オゾン処理装置50内(オゾン生成装置10内および処理室52内)を流れる流体に含まれるオゾンは、オゾン除去手段によって徐々に除去される。このような動作にすることで、オゾン処理装置50内のオゾン濃度を効率良く環境基準値以下まで下げることができ、オゾン処理装置50を安全に使用することができる。エキシマランプ31の消灯(オゾンの生成停止)後にファン30の回転を停止するタイミングとしては、所定(一定)の時間経過後に自動的に停止するように制御することができる。また、オゾン生成装置10の筐体11もしくはオゾン処理装置50の外部筐体51には、一定濃度以上のオゾンが含まれるか否かを検出するオゾンセンサ(図示せず)を設けてもよい。この構成では、エキシマランプ31の消灯(オゾンの生成停止)後に、オゾンセンサによって検出されるオゾンの濃度が所定値以下になったときにファン30を停止させるように制御することができる。なお、オゾン処理装置50の動作態様は上述に限らず、適宜制御できる。
Then, after processing the object to be processed 53 in the
以上の各実施形態のオゾン生成装置10,110では、流入口12と流出口13を筐体11の幅方向の略中央に配置している。この構成と異なり、流入口12や流出口13を筐体11の幅方向でランプ収納室19(側壁16)側に寄せて配置してもよい。筐体11の幅方向において、流入口12と流出口13のそれぞれの中心は隔壁18に関して電源収納室20よりもランプ収納室19(側壁16)寄りに位置しているが、さらに筐体11の端壁14,15に関しても、流入口12と流出口13をランプ収納室19寄りの配置にしてもよい。これらのような配置にすることで、筐体11内で分流される流体がランプ収納室19側に流れやすくなり、エキシマランプ31による流体へのオゾンの含有を効率的に行わせることができる。
In the
本発明のオゾン生成装置とオゾン処理装置は、オゾンを含有させる流体として気体と液体のいずれに適用することも可能である。実施形態のオゾン生成装置10,110とオゾン処理装置50はそれぞれ、オゾン発生手段としてエキシマランプ31を有し、このタイプはオゾンを含有させる流体として気体(空気)が適している。しかし、オゾン発生手段等の構成を適宜変更することで、流体として液体を用いるタイプのオゾン生成装置やオゾン処理装置にも適用が可能である。また、エキシマランプ31以外にもオゾン発生手段として、低圧水銀ランプや、放電を利用したもの(放電方式)が適用可能である。
The ozone generator and ozone treatment apparatus of the present invention can be applied to either a gas or a liquid as a fluid containing ozone. The
なお、オゾン生成装置10,110とオゾン処理装置50は、上述の形態に限定されるものではない。本発明はオゾン発生手段を備えたオゾン生成装置及びオゾン処理装置全般に適応可能である。
The
10 110 オゾン生成装置
11 筺体
12 流入口
13 流出口
14 15 端壁
16 17 側壁
18 隔壁
19 ランプ収納室
20 電源収納室
21 流入室
22 流出室
30 ファン
30x 中心軸
31 エキシマランプ(オゾン発生手段)
32 電源(オゾン発生手段)
33 始動補助光源
34 操作部(制御手段)
40 140 オゾン除去手段
50 オゾン処理装置
51 外部筐体
52 処理室
53 被処理物
10 110
32 Power supply (ozone generating means)
33 Start auxiliary
40 140
Claims (4)
前記オゾン発生手段よりも流体の流れの上流側に配設されたオゾン除去手段と、
前記流入口から前記流出口へ流体を流れさせるファンと、
前記ランプを収納するランプ収納室と前記電源を収納する電源収納室との間に設けられ、前記ランプから放射される紫外線を前記電源に対して遮蔽し、前記ファンの回転中心である中心軸よりも前記電源側に位置する隔壁と、
を備え、
前記オゾン除去手段は、流体に含有されるオゾンの少なくとも一部を除去し、
前記オゾン発生手段は、前記オゾン除去手段を通過した流体にオゾンを含有させ、
前記流入口から流入した流体は、前記隔壁の上流側において分流して、前記ランプ収納室を流れて前記ランプによりオゾンを含有させた流体と、前記オゾン除去手段によりオゾンの少なくとも一部が除去されて前記電源収納室を流れた流体とが、前記隔壁の下流側において合流して、前記流出口より流出することを特徴とするオゾン生成装置。 An ozone generating means located between an inlet where a fluid flows in and an outlet where a fluid flows out, and having a lamp that generates ozone by radiating ultraviolet rays and a power source that supplies electric power to the lamp.
An ozone removing means arranged on the upstream side of the fluid flow from the ozone generating means,
A fan that allows fluid to flow from the inlet to the outlet,
It is provided between the lamp storage chamber for accommodating the lamp and the power storage chamber for accommodating the power supply, shields ultraviolet rays radiated from the lamp from the power supply, and is provided from a central axis which is the rotation center of the fan. With the partition wall located on the power supply side,
With
The ozone removing means removes at least a part of ozone contained in the fluid.
The ozone generating means contains ozone in a fluid that has passed through the ozone removing means.
The fluid flowing in from the inflow port is split on the upstream side of the partition wall, flows through the lamp storage chamber, contains ozone by the lamp, and at least a part of ozone is removed by the ozone removing means. An ozone generator characterized in that the fluid flowing through the power supply storage chamber merges on the downstream side of the partition wall and flows out from the outlet.
前記流入口と前記オゾン発生手段の間の流路上に前記ファンを備えることを特徴とする請求項1に記載のオゾン生成装置。 The centers of the inlet and the outlet are arranged closer to the lamp storage chamber than the power storage chamber with respect to the partition wall.
The ozone generator according to claim 1, wherein the fan is provided on a flow path between the inlet and the ozone generating means.
前記制御手段は、前記オゾン発生手段によるオゾンの生成を停止させてから時間差をおいて前記ファンの動作を停止させることを特徴とする請求項1又は2に記載のオゾン生成装置。 A control means for controlling the operation of the ozone generating means and the operation of the fan is provided.
The ozone generation device according to claim 1 or 2, wherein the control means stops the operation of the fan with a time lag after stopping the generation of ozone by the ozone generation means.
前記オゾン発生手段よりも流体の流れの上流側に配設されたオゾン除去手段と、
前記流入口から前記流出口へ流体を流れさせるファンと、
前記ランプを収納するランプ収納室と前記電源を収納する電源収納室との間に設けられ、前記ランプから放射される紫外線を前記電源に対して遮蔽し、前記ファンの回転中心である中心軸よりも前記電源側に位置する隔壁と、
を備え、
前記オゾン除去手段は、流体に含有されるオゾンの少なくとも一部を除去し、
前記オゾン発生手段は、前記オゾン除去手段を通過した流体にオゾンを含有させ、
前記流入口から流入した流体は、前記隔壁の上流側において分流して、前記ランプ収納室を流れて前記ランプによりオゾンを含有させた流体と、前記オゾン除去手段によりオゾンの少なくとも一部が除去されて前記電源収納室を流れた流体とが、前記隔壁の下流側において合流して、前記流出口より流出し、
前記オゾン発生手段でオゾンを含有させた流体により被処理物を処理した後に、前記オゾン除去手段で前記オゾンの少なくとも一部が除去される流体が前記オゾン発生手段に再び流入することを特徴とするオゾン処理装置。 An ozone generating means located between an inlet where a fluid flows in and an outlet where a fluid flows out, and having a lamp that generates ozone by radiating ultraviolet rays and a power source that supplies electric power to the lamp.
An ozone removing means arranged on the upstream side of the fluid flow from the ozone generating means,
A fan that allows fluid to flow from the inlet to the outlet,
It is provided between the lamp storage chamber for accommodating the lamp and the power storage chamber for accommodating the power supply, shields ultraviolet rays radiated from the lamp from the power supply, and is provided from a central axis which is the rotation center of the fan. With the partition wall located on the power supply side,
With
The ozone removing means removes at least a part of ozone contained in the fluid.
The ozone generating means contains ozone in a fluid that has passed through the ozone removing means.
The fluid flowing in from the inflow port is split on the upstream side of the partition wall, flows through the lamp storage chamber, contains ozone by the lamp, and at least a part of ozone is removed by the ozone removing means. The fluid flowing through the power storage chamber merges on the downstream side of the partition wall and flows out from the outlet.
After treating the object to be treated with the fluid containing ozone by the ozone generating means, the fluid from which at least a part of the ozone is removed by the ozone removing means flows into the ozone generating means again. Ozone treatment equipment.
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