JP6776815B2 - Laminate inspection equipment, methods and programs - Google Patents
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Description
この発明は，複数層により構成された積層体，たとえばＩＣカードのような積層カードの検査装置，方法およびプログラムに関する。 The present invention relates to an inspection device, method and program for a laminated body composed of a plurality of layers, for example, a laminated card such as an IC card.
配線基板や印刷物等多重に重ねられたパターンの検査を同時に行えるパターン検査方法および装置の一例が特許文献１に記載されている。 Patent Document 1 describes an example of a pattern inspection method and an apparatus capable of simultaneously inspecting multiple overlapping patterns such as a wiring board and a printed matter.
このパターン検査方法および装置では，基準画像データを作成するために，複数の基準パターンをそれぞれ撮像して記憶し，各画素ごとに各画像データ間の平均値演算，中間値演算または中間平均値演算等の演算を行い，ばらつきの大きなデータや異常値を避けて，適正な基準となる基準画像データを作成し，この基準画像データとの比較検査を行なうことにより，対象物の良否，欠陥の有無等を判定していた。 In this pattern inspection method and apparatus, in order to create reference image data, a plurality of reference patterns are individually imaged and stored, and an average value calculation, an intermediate value calculation, or an intermediate average value calculation between each image data is performed for each pixel. By performing calculations such as, avoiding data with large variations and abnormal values, creating reference image data that serves as an appropriate reference, and performing comparative inspection with this reference image data, the quality of the object and the presence or absence of defects Etc. were judged.
この検査方法および装置においては，基準画像データは複数の基準パターンのばらつき（異常に大きなものを除く）を吸収したものとなっているので，良否の判定，欠陥の有無等の判定の精度は，複数の基準パターンのばらつきの程度に依存したものとなる。また，ばらつきの範囲内に存在する汚れや異物などの不良の検出はできない。 In this inspection method and device, the reference image data absorbs the variation of multiple reference patterns (excluding abnormally large ones), so the accuracy of judgment of quality, presence or absence of defects, etc. is It depends on the degree of variation of the plurality of reference patterns. In addition, defects such as dirt and foreign matter existing within the range of variation cannot be detected.
この発明は積層物のそれぞれの層における欠陥（異物，汚れ，傷，欠け等）を個別に検出して精度の高い検査が可能となる検査装置，方法およびプログラムを提供するものである。 The present invention provides an inspection apparatus, method and program capable of individually detecting defects (foreign matter, dirt, scratches, chips, etc.) in each layer of the laminate and performing highly accurate inspection.
この発明は，まず二層に存在する欠陥を検出するものである。二層を表面，内部とし，それらに存在する正規のパターンをそれぞれ表面パターン（印刷柄など），内部パターン（内蔵物など）と呼ぶ。 The present invention first detects defects existing in two layers. The two layers are the surface and the inside, and the regular patterns existing in them are called the surface pattern (printed pattern, etc.) and the internal pattern (internal matter, etc.), respectively.
この発明による積層体の検査装置は，少なくとも検査すべき対象積層体の対象画像データと登録内部パターン画像データとの差の演算処理を行い，表面パターン差分画像データを得る内部パターン消去手段，少なくとも検査すべき対象積層体の対象画像データと登録表面パターン画像データとの差の演算処理を行い，内部パターン差分画像データを得る表面パターン消去手段，登録表面パターンのマスク画像データによって上記表面パターン差分画像データをマスキングして第１の全パターン除去後画像データを得る第１のマスキング手段，登録内部パターンのマスク画像データによって上記内部パターン差分画像データをマスキングして第２の全パターン除去後画像データを得る第２のマスキング手段，および上記第１の全パターン除去後画像データと上記第２の全パターン除去後画像データとの合成により最終的な判定対象画像データを得る合成手段を備えるものである。 The laminate inspection device according to the present invention is an internal pattern erasing means, at least an inspection, for obtaining surface pattern difference image data by arithmetically processing the difference between the target image data of the target laminate to be inspected and the registered internal pattern image data. performs arithmetic processing of the difference between the target image data and the registration surface pattern image data should do target stack, the surface pattern erasing means for obtaining the internal pattern differential image data, the surface pattern differential image data by the mask image data of the surface pattern masking a first masking means for obtaining a first total pattern removal after image data to obtain masked to the second total pattern removal after image data of the internal pattern differential image data by the mask image data of the internal pattern It is provided with a second masking means and a synthesizing means for obtaining the final determination target image data by synthesizing the first image data after removing all patterns and the second image data after removing all patterns.
上記検査装置は，好ましくは，上記最終的な判定対象画像データに基づいて対象積層体の良否を判定する判定手段をさらに備える。 The inspection device preferably further includes a determination means for determining the quality of the target laminate based on the final determination target image data.
この発明による積層体の検査方法は，少なくとも検査すべき対象積層体の対象画像データと登録内部パターン画像データとの差の演算処理を行って，表面パターン差分画像データを生成し，少なくとも検査すべき対象積層体の対象画像データと登録表面パターン画像データとの差の演算処理を行って，内部パターン差分画像データを生成し，登録表面パターンのマスク画像データによって上記表面パターン差分画像データをマスキングして第１の全パターン除去後画像データを生成する第１のマスキングを行い，登録内部パターンのマスク画像データによって上記内部パターン差分画像データをマスキングして第２の全パターン除去後画像データを生成する第２のマスキングを行い，そして上記第１の全パターン除去後画像データと上記第２の全パターン除去後画像データとの合成により最終的な判定対象画像データを生成するものである。 In the method for inspecting a laminate according to the present invention, at least the difference between the target image data of the target laminate to be inspected and the registered internal pattern image data is calculated to generate surface pattern difference image data, and at least the inspection should be performed. The difference between the target image data of the target laminate and the registered surface pattern image data is calculated to generate the internal pattern difference image data, and the surface pattern difference image data is masked by the mask image data of the registered surface pattern. The first masking to generate the image data after removing all the first patterns is performed, the internal pattern difference image data is masked by the masked image data of the registered internal pattern, and the image data after removing all the second patterns is generated. The final determination target image data is generated by performing the masking of No. 2 and synthesizing the image data after removing all the first patterns and the image data after removing all the second patterns.
好ましくは，上記検査方法において，上記最終的な判定対象画像データに基づいて対象積層体の良否を判定する。 Preferably, in the above inspection method, the quality of the target laminate is determined based on the final determination target image data.
この発明によるコンピュータを制御するための積層体の検査プログラムは，少なくとも検査すべき対象積層体の対象画像データと登録内部パターン画像データとの差の演算処理を行って，表面パターン差分画像データを生成し，少なくとも検査すべき対象積層体の対象画像データと登録表面パターン画像データとの差の演算処理を行って，内部パターン差分画像データを生成し，登録表面パターンのマスク画像データによって上記表面パターン差分画像データをマスキングして第１の全パターン除去後画像データを生成する第１のマスキングを行い，登録内部パターンのマスク画像データによって上記内部パターン差分画像データをマスキングして第２の全パターン除去後画像データを生成する第２のマスキングを行い，そして上記第１の全パターン除去後画像データと上記第２の全パターン除去後画像データとの合成により最終的な判定対象画像データを生成するようにコンピュータを制御するものである。 The laminate inspection program for controlling the computer according to the present invention at least calculates the difference between the target image data of the target laminate to be inspected and the registered internal pattern image data to generate surface pattern difference image data. and, by performing a calculation process of the difference between the target image data of the object stack to be at least inspected registration surface pattern image data, and generates an internal pattern differential image data, the surface pattern difference by the mask image data of the surface pattern performing a first masking to generate a first total pattern removal after image data by masking the image data, the second full pattern after removing masking the internal pattern differential image data by the mask image data of the internal pattern A second masking for generating image data is performed, and the final determination target image data is generated by combining the image data after removing all the first patterns and the image data after removing all the second patterns. It controls the computer.
さらに，上記プログラムは上記最終的な判定対象画像データに基づいて対象積層体の良否を判定するようにコンピュータを制御する。 Further, the program controls the computer to judge the quality of the target laminate based on the final judgment target image data.
この発明によると，各層（表面，内部）における基準ないしは標準となる登録パターンを用い，対象画像からこれらの登録パターンを消去またはこれらの登録パターンによるマスキングにより，欠陥に関連する残存物画像（全パターン除去後画像）を生成し，最終的に各層の残存物画像を合成しているので，すべての欠陥を表わす画像を得ることができる。このようなすべての欠陥を表わす画像に基づいて積層体の良否判定（欠陥の存在の有無の判定）を行なっているので，高精度の検査が可能となる。 According to the present invention, by using a reference or standard registration pattern in each layer (surface, inside), deleting these registration patterns from the target image or masking with these registration patterns, a residue image related to the defect (all patterns). Since the image after removal) is generated and the remnant image of each layer is finally combined, an image showing all the defects can be obtained. Since the quality of the laminate (determination of the presence or absence of defects) is performed based on the images showing all such defects, highly accurate inspection is possible.
好ましい実施態様では，上記検査装置において，上記内部パターン消去手段は，対象画像と登録内部パターン画像との相対的変位を調整して差の演算処理を行い，上記表面パターン消去手段は，対象画像と登録表面パターン画像との相対的変位を調整して差の演算処理を行うものである。 In a preferred embodiment, in the inspection apparatus, the internal pattern erasing means adjusts the relative displacement between the target image and the registered internal pattern image to perform calculation processing of the difference, and the surface pattern erasing means is the target image. The difference is calculated by adjusting the relative displacement with the registered surface pattern image.
これにより，パターンマッチングにおける位置ずれ，角度ずれ等に基づく誤検知を防ぐことができる。 This makes it possible to prevent erroneous detection based on positional deviation, angle deviation, etc. in pattern matching.
一実施態様では，上記内部パターン消去手段は，対象画像と登録内部パターン画像との相対的変位を調整して対象画像データと登録内部パターン画像データとの第１の表面パターン差分画像データを作成する内部パターン除去手段と，上記第１の表面パターン差分画像データと内部パターン閾値画像データとの差の演算により内部パターンの残っていた輪郭を除去して第２の表面パターン差分画像データを作成する内部パターン輪郭除去手段とを備え，上記第１のマスキング手段は，上記第２の表面パターン差分画像データを登録表面パターンのマスク画像データによってマスキングするものである。また，上記表面パターン消去手段は，対象画像と登録表面パターン画像との相対的変位を調整して対象画像データと登録表面パターン画像データとの第１の内部パターン差分画像データを作成する表面パターン除去手段と，上記第１の内部パターン差分画像データと表面パターン閾値画像データとの差の演算により表面パターンの残っていた輪郭を除去して第２の内部パターン差分画像データを作成する表面パターン輪郭除去手段とを備え，上記第２のマスキング手段は，上記第２の内部パターン差分画像データを登録内部パターンのマスク画像データによってマスキングするものである。 In one embodiment, the internal pattern erasing means adjusts the relative displacement between the target image and the registered internal pattern image to create a first surface pattern difference image data between the target image data and the registered internal pattern image data. The internal pattern removing means and the calculation of the difference between the first surface pattern difference image data and the internal pattern threshold image data remove the remaining contour of the internal pattern to create the second surface pattern difference image data. and a pattern edge removing means, said first masking means is Masukingusu shall the second surface pattern differential image data by the mask image data of the surface pattern. Further, the surface pattern erasing means adjusts the relative displacement between the target image and the registered surface pattern image to create the first internal pattern difference image data between the target image data and the registered surface pattern image data. Surface pattern contour removal to create a second internal pattern difference image data by removing the remaining contour of the surface pattern by means and calculation of the difference between the first internal pattern difference image data and the surface pattern threshold image data. and means, said second masking means is Masukingusu shall the second internal pattern differential image data by the mask image data of the internal pattern.
内部パターン輪郭除去，表面パターン輪郭除去により，輪郭線による誤判定を防ぐことができる。 By removing the contour of the internal pattern and removing the contour of the surface pattern, it is possible to prevent erroneous judgment due to the contour line.
一実施態様では，検査装置は対象画像と登録内部パターン画像との相対的変位量を算出する内部パターン変位量算出手段，および対象画像と登録表面パターン画像との相対的変位量を算出する表面パターン変位量算出手段をさらに備える。 In one embodiment, the inspection device is an internal pattern displacement amount calculating means for calculating the relative displacement amount between the target image and the registered internal pattern image, and a surface pattern for calculating the relative displacement amount between the target image and the registered surface pattern image. Further provided with a displacement amount calculating means.
好ましい実施態様では，検査装置は対象積層体の対象画像データを取込む対象画像取込手段をさらに備える。上記対象画像取込手段は一例として対象積層体の撮像手段を含む。 In a preferred embodiment, the inspection device further comprises a target image capture means for capturing the target image data of the target laminate. The target image capturing means includes, for example, an imaging means of the target laminated body.
さらに他の実施態様では，検査装置は表面パターン画像データと内部パターン画像データを登録する登録手段をさらに備える。 In yet another embodiment, the inspection device further comprises a registration means for registering the surface pattern image data and the internal pattern image data.
さらに望ましくは，検査装置は登録表面パターン画像および登録内部パターン画像について，それぞれそれらのマスク画像データを作成するマスク画像データ作成手段をさらに備える。 More preferably, the inspection apparatus further includes a mask image data creating means for creating mask image data for each of the registered surface pattern image and the registered internal pattern image.
さらに検査装置は，一実施態様では，登録表面パターン画像および登録内部パターン画像について，それぞれそれらの閾値画像データを作成する閾値画像データ作成手段をさらに備える。 Further, in one embodiment, the inspection device further includes threshold image data creating means for creating threshold image data for each of the registered surface pattern image and the registered internal pattern image.
この発明は三層以上の各層に存在する標準または基準パターンを利用した検査装置，方法，プログラムを提供している。 The present invention provides inspection devices, methods, and programs that utilize standards or reference patterns existing in each of three or more layers.
この発明による積層体の検査装置は，積層体の複数層のそれぞれに存在する標準のパターンを登録する登録手段，検査対象積層体の対象画像を取得する対象画像取得手段，一の層に関して，対象画像から当該一の層を除く他の層の登録パターン画像を順次差し引いた差分画像を形成し，該差分画像に対して上記一の層の登録パターンによるマスキングを施して当該一の層についての残存物画像を形成する残存物画像形成手段，上記残存物画像形成手段による処理を，すべての層について行うよう制御する制御手段，複数の層について得られた残存物画像を合成する画像合成手段，および該合成画像に基づいて検査対象積層体の良否を判定する判定手段を備える。 The laminated body inspection apparatus according to the present invention is a registration means for registering a standard pattern existing in each of a plurality of layers of the laminated body, a target image acquisition means for acquiring a target image of the laminated body to be inspected, and a target for one layer. A difference image is formed by sequentially subtracting the registration pattern images of the other layers excluding the one layer from the image, and the difference image is masked by the registration pattern of the one layer to remain for the one layer. A remnant image forming means for forming a thing image, a control means for controlling the processing by the remnant image forming means for all layers, an image synthesizing means for synthesizing a remnant image obtained for a plurality of layers, and A determination means for determining the quality of the laminated body to be inspected based on the composite image is provided.
この発明による積層体の検査方法は，積層体の複数層のそれぞれに存在するパターンの標準パターン画像を用意しておき，検査対象積層体の対象画像を取得し，一の層に関して，対象画像から当該一の層を除く他の層の標準パターン画像を順次差し引いた差分画像を形成し，該差分画像に対して上記一の層の標準パターンによるマスキングを施して当該一の層についての残存物画像を形成する処理を行い，前記一の層についての残存物画像形成処理と同じ処理を，他のすべての層について行い，複数の層について得られた残存物画像を合成して合成画像を得，該合成画像に基づいて検査対象積層体の良否を判定するものである。 In the method for inspecting a laminated body according to the present invention, a standard pattern image of a pattern existing in each of a plurality of layers of the laminated body is prepared, a target image of the laminated body to be inspected is acquired, and one layer is obtained from the target image. A difference image is formed by sequentially subtracting the standard pattern images of the other layers excluding the one layer, and the difference image is masked by the standard pattern of the one layer to obtain a residue image of the one layer. The same process as the residue image forming process for one layer was performed for all the other layers, and the residue images obtained for the plurality of layers were combined to obtain a composite image. The quality of the laminated body to be inspected is judged based on the composite image.
この発明による積層体の検査プログラムは，積層体の複数層のそれぞれに存在する標準パターンを登録し，検査対象積層体の対象画像を取得し，一の層に関して，対象画像から当該一の層を除く他の層の標準パターン画像を順次差し引いた差分画像を形成し，該差分画像に対して上記一の層の標準パターンによるマスキングを施して当該一の層についての残存物画像を形成する処理を行い，前記一の層についての残存物画像形成処理と同じ処理を，他のすべての層について行うよう制御し，複数の層について得られた残存物画像を合成して合成画像を得，そして該合成画像に基づいて検査対象積層体の良否を判定するようにコンピュータを制御するものである。 In the inspection program of the laminate according to the present invention, the standard pattern existing in each of the plurality of layers of the laminate is registered, the target image of the laminate to be inspected is acquired, and the one layer is selected from the target image for one layer. A process of forming a difference image by sequentially subtracting the standard pattern images of the other layers to be removed, masking the difference image with the standard pattern of the one layer, and forming a remnant image of the one layer. The same process as the residue image forming process for one layer is controlled to be performed for all the other layers, and the residue images obtained for the plurality of layers are combined to obtain a composite image, and the composite image is obtained. The computer is controlled so as to judge the quality of the laminated body to be inspected based on the composite image.
この発明はさらに，上記検査プログラムを格納したコンピュータ読取可能な記録媒体を提供している。 The present invention further provides a computer-readable recording medium in which the inspection program is stored.
図１は積層体の検査システムの全体の構成の概要を示すものである。 FIG. 1 shows an outline of the overall configuration of a laminated body inspection system.
一例として検査システムは搬送装置10を備えており，その搬送路上を，検査すべき積層体（検査対象物）Ｓu が搬送される。積層体Ｓu の一例としてはプラスチックカードである。搬送路の途上には，搬送路を挟んで対向するように，照明装置26と撮像装置（電子カメラなど）（撮像手段）27とが配置されている。搬送路上の対象積層体Ｓu は，一方の面から照明装置26により照明され，積層体Ｓu を透過した光像が撮像装置27によって（一時停止した状態で，または移動中に）撮影される。撮像装置27から出力される画像信号（データ）は検査装置20に与えられる。後述する処理によって積層体Ｓu の表面または内部における欠陥（異物，欠け，汚れ等）有無が検出され，最終的にそれが許容範囲内かどうかが判定される（良否判定）。検査装置20において不良と判定された積層体（カード）は，検査装置20からの指令に応じて排出装置28によって搬送路から排出される。良品の積層体は次工程に送られる。 As an example, the inspection system is equipped with a transport device 10, and a laminate (inspection object) Su to be inspected is transported on the transport path. An example of the laminated Su is a plastic card. A lighting device 26 and an imaging device (electronic camera or the like) (imaging means) 27 are arranged on the way of the transport path so as to face each other across the transport path. The target laminated body Su on the transport path is illuminated by the illuminating device 26 from one surface, and the light image transmitted through the laminated body Su is photographed by the imaging device 27 (in a paused state or while moving). The image signal (data) output from the image pickup apparatus 27 is given to the inspection apparatus 20. The presence or absence of defects (foreign matter, chips, stains, etc.) on the surface or inside of the laminated body Su is detected by the treatment described later, and finally it is determined whether or not it is within the permissible range (good / bad judgment). The laminate (card) determined to be defective by the inspection device 20 is discharged from the transport path by the discharge device 28 in response to a command from the inspection device 20. The non-defective laminate is sent to the next process.
プラスチック・カードの表面（一方の面，または表裏両面）には文字，図形等が印刷されている。表面に表わされている文字，図形等であって撮像装置27によって撮像されるものを表面パターン（画像）という。対象積層体（カード）Ｓu の内部にもＩＣチップ，アンテナ，配線パターン等が埋設されている。これらの対象積層体Ｓu の内部に埋込まれている物体も透過光像中に現われるものは撮像装置27によって撮像される。積層体Ｓu 内部に存在し，撮像装置によって撮像されるものを内部パターン（画像）という。 Characters, figures, etc. are printed on the front surface (one side or both front and back sides) of the plastic card. Characters, figures, etc. displayed on the surface that are imaged by the imaging device 27 are called surface patterns (images). IC chips, antennas, wiring patterns, etc. are also embedded inside the target laminate (card) Su. Objects embedded in the target laminate Su that appear in the transmitted light image are also imaged by the image pickup apparatus 27. What exists inside the laminated body Su and is imaged by the imaging device is called an internal pattern (image).
積層体は複数層の構造をもつから各層ごとに各パターンが存在するが，この実施例では，簡単のために表面層（表面パターン）と内部層（内部パターン）の２つの層を考えるものとする。 Since the laminated body has a multi-layer structure, each pattern exists for each layer, but in this embodiment, two layers, a surface layer (surface pattern) and an inner layer (internal pattern), are considered for simplicity. To do.
表面パターンの一例が図４に示されている。ここでは簡単のために，やや太く表わされたＡＢＣという文字が表面パターン（画像）である。内部パターンの一例が図５に示されている。ここでは簡単に積層体（カード）の右下隅に内蔵されたＩＣチップのほぼ正方形状の影が内部パターンである。 An example of the surface pattern is shown in FIG. Here, for the sake of simplicity, the letters ABC, which are slightly thickened, are the surface pattern (image). An example of the internal pattern is shown in FIG. Here, the almost square shadow of the IC chip built in the lower right corner of the laminated body (card) is simply the internal pattern.
検査装置20は基本的にはコンピュータ・システム，好ましくはパーソナル・コンピュータ（ＰＣ）と呼ばれるシステムによって構成することができる。処理装置21がコンピュータ本体であり，後述する検査処理（図２，図３に示す一連の処理）を行う。処理装置21はメモリ（記憶装置）22を備えている。メモリ22には表面パターンおよび内部パターンの基準（標準）となる画像データ（登録画像データ），その他の検査処理に必要な各種の画像データ，パラメータ等が記憶される。検査装置20にはさらに入力装置23，表示装置24，出力装置25が設けられている。入力装置23にはキーボード，マウス，通信装置，媒体読取装置等があり，検査処理に必要なデータ（画像データ，パラメータ等）を入力するために用いられる。表示装置24には，登録画像，撮影画像，検査結果等が表示される。出力装置25は検査結果を出力するもので，一例として，出力装置25はカード排出装置28に排出指令を出力する。出力装置25はプリンタ，通信装置，インターフェイス等を含み，排出指令のみならず，対象積層体ごとの判定結果（良，否）やその内容などのデータを出力する。 The inspection device 20 can basically be configured by a computer system, preferably a system called a personal computer (PC). The processing device 21 is the main body of the computer, and performs inspection processing (a series of processing shown in FIGS. 2 and 3) described later. The processing device 21 includes a memory (storage device) 22. The memory 22 stores image data (registered image data) that serves as a reference (standard) for the surface pattern and the internal pattern, various image data required for other inspection processing, parameters, and the like. The inspection device 20 is further provided with an input device 23, a display device 24, and an output device 25. The input device 23 includes a keyboard, a mouse, a communication device, a medium reader, and the like, and is used for inputting data (image data, parameters, etc.) necessary for inspection processing. A registered image, a photographed image, an inspection result, and the like are displayed on the display device 24. The output device 25 outputs the inspection result. As an example, the output device 25 outputs a discharge command to the card discharge device 28. The output device 25 includes a printer, a communication device, an interface, and the like, and outputs not only a discharge command but also data such as a judgment result (good or bad) for each target laminate and its contents.
撮像装置27，照明装置26を検査装置に含めてもよいし，さらに搬送装置10やカード排出装置28を検査装置（システム）に含めることもできる。 The image pickup device 27 and the lighting device 26 may be included in the inspection device, and the transfer device 10 and the card ejection device 28 may be included in the inspection device (system).
図２および図３は検査装置20，特に処理装置21による検査処理の手順（プログラムのアルゴリズム）を示している。図６から図17は処理（特に画像処理）を分りやすく示す図面であり，図18から図25は処理結果の代表的な画像を細部が分るように拡大して示すものである（図６〜図17の画像の一部と重複している）。 2 and 3 show the procedure (program algorithm) of the inspection process by the inspection device 20, particularly the processing device 21. 6 to 17 are drawings showing the processing (particularly image processing) in an easy-to-understand manner, and FIGS. 18 to 25 show a representative image of the processing result in an enlarged manner so that the details can be seen (FIG. 6). ~ It overlaps with a part of the image in Fig. 17).
図２は検査処理にあたって事前に行っておく前処理を示す。 FIG. 2 shows a pretreatment performed in advance for the inspection process.
表面パターン（図４）および内部パターン（図５）の基準画像または標準画像を登録する（Ｓ11）（登録手段）。登録した基準画像の画像データはメモリ22に記憶される。基準画像としては，基準となる（良品の）積層体サンプルを照明装置26の照明の下で撮像装置27により撮影した画像でもよいし，基準画像として最も標準となるものを作成し，その画像データを入力装置23から入力してもよい。 A reference image or a standard image of the surface pattern (FIG. 4) and the internal pattern (FIG. 5) is registered (S11) (registration means). The image data of the registered reference image is stored in the memory 22. The reference image may be an image of a reference (good) laminated body sample taken by the imaging device 27 under the illumination of the lighting device 26, or the most standard image as a reference image is created and the image data thereof. May be input from the input device 23.
次に登録した各パターン（表面パターン，内部バターン）について，マスク画像を作成する（Ｓ12）（マスク画像データ作成手段）。表面パターンおよび内部パターンのそれぞれについてマスク画像作成の様子が図６および図７に示されている。まず，表面パターン，内部パターンのそれぞれについて収縮（erosion ）処理を行う。これは対象画像のばらつき（印刷ぶれ，搬送ぶれ等）による誤動作を抑制するためである。各パターンの周辺の黒い画素に置きかえる範囲（マスクサイズ）は任意に設定できるが，たとえばフィルタサイズとして11×11を採用することができる。もちろん，表面パターンと内部パターンとにおいて異なるサイズを用いてもよい。マスク画像（データ）を作成するための二値化閾値は表面パターン，内部パターンのそれぞれにおいて一般的には異なる値が用いられる。もちろん，同じ値の閾値を用いてもよい。これらのパラメータは入力装置23において設定できる。 Next, a mask image is created for each registered pattern (surface pattern, internal pattern) (S12) (mask image data creation means). The state of mask image creation for each of the surface pattern and the internal pattern is shown in FIGS. 6 and 7. First, erosion processing is performed on each of the surface pattern and the internal pattern. This is to suppress malfunctions due to variations in the target image (print blur, transport blur, etc.). The range (mask size) to be replaced with the black pixels around each pattern can be set arbitrarily, but for example, 11 × 11 can be adopted as the filter size. Of course, different sizes may be used for the surface pattern and the internal pattern. As the binarization threshold value for creating a mask image (data), different values are generally used for each of the surface pattern and the internal pattern. Of course, the same threshold value may be used. These parameters can be set in the input device 23.
続いて，登録された表面パターンおよび内部パターンのそれぞれについて，閾値画像データの作成処理を行う（Ｓ13）（閾値画像データ作成手段）。閾値画像は，対象画像（検査すべき積層体の画像）における欠陥（異物，汚れ）等を表わす画像部分を浮き出させるために，対象画像から表面パターンや内部パターンを除去するときに，これらのパターンの部分的な不一致のために各パターンの輪郭を表わす画像部分が生じることがある。閾値画像は，この不可避的に生じる輪郭を，輪郭部分に存在する欠陥等を残したまま，消去（除去）するのに用いられる。 Subsequently, the threshold image data creation process is performed for each of the registered surface pattern and internal pattern (S13) (threshold image data creation means). The threshold image is a pattern when the surface pattern or internal pattern is removed from the target image in order to make the image portion representing defects (foreign matter, stains), etc. in the target image (image of the laminated body to be inspected) stand out. Partial discrepancies in the image may result in image portions that represent the contours of each pattern. The threshold image is used to erase (remove) this unavoidably generated contour while leaving defects and the like existing in the contour portion.
登録された表面パターンおよび内部パターンについて閾値画像（データ）を作成する処理の様子がそれぞれ図８，図９に示されている。各登録パターンの輪郭に相当する画像（データ）を得るために，膨張（dilation）処理と収縮処理を行い，これらの差分画像（各パターンの輪郭を表わす）を得る。膨張，収縮処理のフィルタサイズは任意に設定できる（たとえば９×９）。得られた差分画像において，輪郭部分のグレーレベル（倍率）は，隠れている欠陥を消去してしまわない程度に設定される（たとえば倍率は1.2 ）。また，輪郭部分以外の黒レベル（オフセット）は，そこに存在するノイズを除去できる程度のレベルに設定される（たとえば 256階調中の10階調）。これらのパラメータはユーザが入力装置23から任意に設定しておくことができるようにすることが好ましい。表面パターンと内部パターンとにおいて，上記パラメータを異なる値としてもよいし，同じ値としてもよい。閾値画像ではそのすべての画素に閾値が設定されている（すべての画素の値が閾値として働く）ことになる。 The state of the process of creating the threshold image (data) for the registered surface pattern and internal pattern is shown in FIGS. 8 and 9, respectively. In order to obtain an image (data) corresponding to the contour of each registered pattern, dilation processing and contraction processing are performed to obtain a difference image (representing the contour of each pattern). The filter size for expansion and contraction processing can be set arbitrarily (for example, 9 × 9). In the obtained difference image, the gray level (magnification) of the contour part is set to the extent that hidden defects are not erased (for example, the magnification is 1.2). In addition, the black level (offset) other than the contour part is set to a level that can remove the noise existing there (for example, 10 gradations out of 256 gradations). It is preferable that these parameters can be arbitrarily set by the user from the input device 23. The above parameters may be different values or the same values in the surface pattern and the internal pattern. In the threshold image, thresholds are set for all the pixels (values of all pixels act as thresholds).
図３は検査処理の流れ（プログラムのアルゴリズム）を示す。 FIG. 3 shows the flow of inspection processing (program algorithm).
まず，撮像装置27が撮影した対象積層体Ｓu の画像データ（検査対象画像のデータ）が撮像装置27から処理装置21に取込まれる（Ｓ21）（対象画像取込手段）。撮影画像データをバッファ（図示略）またはメモリ22に一時格納しておき，これを取出して処理装置21に取込んでもよい。対象画像の例が図10に示され，その拡大図が図18に示されている。対象画像には表面パターンおよび内部パターンに加えて，異物の画像（部分），汚れ１，汚れ２の画像（部分）が現われている。このうち，異物の画像は表面パターンのＡの文字の一部と重なっている。また，汚れ２の画像が内部パターンのチップ画像の一部に重なっている。 First, the image data (data of the image to be inspected) of the target laminate Su taken by the image pickup device 27 is taken into the processing device 21 from the image pickup device 27 (S21) (target image capture means). The captured image data may be temporarily stored in a buffer (not shown) or a memory 22, which may be taken out and taken into the processing device 21. An example of the target image is shown in FIG. 10, and an enlarged view thereof is shown in FIG. In the target image, in addition to the surface pattern and the internal pattern, an image (part) of a foreign substance and an image (part) of stain 1 and stain 2 appear. Of these, the image of the foreign matter overlaps with a part of the letter A on the surface pattern. Further, the image of dirt 2 overlaps a part of the chip image of the internal pattern.
検査対象物（積層体）Ｓu は搬送路を搬送され，特定の位置において照明下で撮影される。したがって，検査対象画像（単に，対象画像ともいう）には位置ずれ，回転等（これらをまとめて変位，変位量，相対的変位量等という）が含まれている。そこでこのような変位による誤検知を防止するために，対象画像から表面パターンおよび内部パターンの領域を切出し，これらの領域の各パターンと登録表面パターン，登録内部パターンとのパターンマッチングを行い，表面パターン，内部パターンの相対的変位量（登録パターンを基準としても対象画像を基準としてもよい）をそれぞれ算出する（Ｓ22）（内部パターン変位量算出手段，表面パターン変位量算出手段）。 The object to be inspected (laminated body) Su is transported along the transport path and photographed at a specific position under illumination. Therefore, the inspection target image (simply referred to as the target image) includes displacement, rotation, etc. (collectively referred to as displacement, displacement amount, relative displacement amount, etc.). Therefore, in order to prevent false detection due to such displacement, areas of the surface pattern and internal pattern are cut out from the target image, and pattern matching is performed between each pattern in these areas and the registered surface pattern and registered internal pattern, and the surface pattern is performed. , The relative displacement amount of the internal pattern (the registered pattern may be used as a reference or the target image may be used as a reference) is calculated (S22) (internal pattern displacement amount calculating means, surface pattern displacement amount calculating means).
変位量算出の様子が図10に示されている。登録表面パターンと対象画像の表面パターンとの変位量が（Δｘp，Δｙp，Δθp）で表わされ，登録内部パターンと対象画像の内部パターンとの変位量が（Δｘi，Δｙi，Δθi）で表わされている。 The state of displacement calculation is shown in FIG. The amount of displacement between the registered surface pattern and the surface pattern of the target image is represented by (Δx p , Δy p , Δθ p ), and the amount of displacement between the registered internal pattern and the internal pattern of the target image is (Δx i , Δy i , It is represented by Δθ i ).
図３において，表面パターンに関する処理（内部パターンの消去，表面パターンのマスク処理）がＳ23〜Ｓ25として示され，内部パターンに関する処理（表面パターンの消去，内部パターンのマスク処理）がＳ26〜Ｓ28として示され，これらはフローチャート上並列に描かれている。これはＳ23〜Ｓ25とＳ26〜Ｓ28が同じ内容の処理を行っているので分りやすくするためであり，並列処理されるという意味ではない。 In FIG. 3, the processing related to the surface pattern (erasing the internal pattern, masking the surface pattern) is shown as S23 to S25, and the processing related to the internal pattern (erasing the surface pattern, masking the internal pattern) is shown as S26 to S28. These are drawn in parallel on the flowchart. This is to make it easier to understand because S23 to S25 and S26 to S28 perform the same processing, and does not mean that they are processed in parallel.
まず，表面パターンに関する処理（Ｓ23〜Ｓ25）について説明する。 First, the treatments related to the surface pattern (S23 to S25) will be described.
対象画像から内部パターンを消去する処理（内部パターン消去手段）は，内部パターン除去処理（Ｓ23）（内部パターン除去手段）と，内部パターン輪郭除去処理（Ｓ24）（内部パターン輪郭除去手段）とを含む。 The process of erasing the internal pattern from the target image (internal pattern erasing means) includes an internal pattern removing process (S23) (internal pattern removing means) and an internal pattern contour removing process (S24) (internal pattern contour removing means). ..
図11に示すように，先に（Ｓ22で）算出した変位量（Δｘi，Δｙi，Δθi）を用いて登録内部パターンと対象画像の位置，角度を一致させ（アフィン変換），内部パターンを除去するために，登録内部パターン画像（データ）から対象画像（データ）を減算（除算）して，それらの差分画像，すなわち差分画像１（表面パターン）（データ）（第１の表面パターン差分画像データ）を得る（Ｓ23）。この差分画像１（表面パターン）には，対象画像の表面パターンと欠陥画像（異物，汚れ１，２）と内部パターンの輪郭（の一部）が残る。汚れ２の内部パターンに重なっている部分も濃度差の分だけ残る。その拡大図が図19に示されている。 As shown in FIG. 11, the position and angle of the registered internal pattern and the target image are matched (affin conversion) using the displacement amounts (Δx i , Δy i , Δθ i ) calculated earlier (in S22), and the internal pattern is used. The target image (data) is subtracted (divided) from the registered internal pattern image (data) to remove the difference image, that is, the difference image 1 (surface pattern) (data) (first surface pattern difference). Image data) is obtained (S23). In this difference image 1 (surface pattern), the surface pattern of the target image, the defect image (foreign matter, stains 1 and 2), and the outline (a part of) of the internal pattern remain. The portion overlapping the internal pattern of the stain 2 also remains by the amount of the density difference. An enlarged view of this is shown in FIG.
図12に示すように，Ｓ23で得られた差分画像１（表面パターン）（データ）から先に得られた（Ｓ13）内部パターン閾値画像（データ）を減算（除算）してそれらの差分画像，すなわち差分画像２（表面パターン）（第２の表面パターン差分画像データ）を得る（Ｓ24）。これにより，残っていた内部パターンの輪郭（の一部）が除去され，内部パターンに関する画像（データ）は完全に消去される。差分画像２（表面パターン）には表面パターンと欠陥画像（異物，汚れ１，２）が残る。汚れ２については内部パターンの輪郭に相当する部分が消えている。その拡大図は図20に示されている。 As shown in FIG. 12, the difference image 1 (surface pattern) (data) obtained in S23 is subtracted (divided) from the (S13) internal pattern threshold image (data) obtained earlier to obtain the difference image. That is, the difference image 2 (surface pattern) (second surface pattern difference image data) is obtained (S24). As a result, (a part of) the outline of the remaining internal pattern is removed, and the image (data) related to the internal pattern is completely erased. The surface pattern and defect images (foreign matter, stains 1 and 2) remain in the difference image 2 (surface pattern). As for dirt 2, the portion corresponding to the outline of the internal pattern has disappeared. The enlarged view is shown in FIG.
図13に示すように，表面パターンを消去するために表面パターンのマスク処理が行なわれる（Ｓ25）（第１のマスキング手段）。すなわち，差分画像２（表面パターン）（データ）に，先に（Ｓ12）得た表面パターンマスク画像（データ）を重ね（マスキング），表面パターンを除去する。これにより得られた画像（データ）を差分画像３−１とし，その拡大図が図21に示されている。異物と汚れ１，２の画像（部分）（データ）が残っているが，異物に関しては表面パターンと重なっている部分はマスキング処理により，表面パターンとともに除去されている。 As shown in FIG. 13, the surface pattern is masked in order to erase the surface pattern (S25) (first masking means). That is, the surface pattern mask image (data) obtained earlier (S12) is superimposed (masked) on the difference image 2 (surface pattern) (data) to remove the surface pattern. The image (data) obtained in this way is designated as a difference image 3-1 and an enlarged view thereof is shown in FIG. Images (parts) (data) of foreign matter and dirt 1 and 2 remain, but for foreign matter, the part that overlaps with the surface pattern is removed together with the surface pattern by masking treatment.
次に，内部パターンに関する処理（Ｓ26〜Ｓ28）について説明する。 Next, processing related to the internal pattern (S26 to S28) will be described.
対象画像から表面パターンを消去する処理（表面パターン消去手段）は，表面パターン除去処理（Ｓ26）（表面パターン除去手段）と，表面パターン輪郭除去処理（Ｓ27）（表面パターン輪郭除去手段）とを含む。 The process of erasing the surface pattern from the target image (surface pattern erasing means) includes a surface pattern removing process (S26) (surface pattern removing means) and a surface pattern contour removing process (S27) (surface pattern contour removing means). ..
図14に示すように，先に（Ｓ22で）算出した変位量（Δｘp，Δｙp，Δθp）を用いて登録表面パターンと対象画像の位置，角度を一致させ（アフィン変換），表面パターンを除去するために，登録表面パターン画像（データ）から対象画像（データ）を減算（除算）して，それらの差分画像，すなわち差分画像１（内部パターン）（データ）（第１の内部パターン差分画像データ）を得る（Ｓ26）。この差分画像１（内部パターン）には，対象画像の内部パターンと欠陥画像（異物，汚れ１，２）と表面パターンの輪郭（の一部）が残る。異物の表面パターンに重なっている部分も濃度差の分だけ残る。その拡大図が図22に示されている。 As shown in FIG. 14, previously (in S22) the calculated amount of displacement (Δx p, Δy p, Δθ p) position of the registration surface pattern and the target image using the, to match the angle (affine transformation), the surface pattern The target image (data) is subtracted (divided) from the registered surface pattern image (data) in order to remove the difference image, that is, the difference image 1 (internal pattern) (data) (first internal pattern difference). Image data) is obtained (S26). In this difference image 1 (internal pattern), the internal pattern of the target image, the defective image (foreign matter, stains 1 and 2), and the outline (part of) of the surface pattern remain. The part that overlaps the surface pattern of the foreign matter remains by the amount of the density difference. An enlarged view of this is shown in FIG.
図15に示すように，Ｓ26で得られた差分画像１（内部パターン）（データ）から先に得られた（Ｓ13）表面パターン閾値画像（データ）を減算（除算）してそれらの差分画像，すなわち差分画像２（内部パターン）（第２の内部パターン差分画像データ）を得る（Ｓ27）。これにより，残っていた表面パターンの輪郭（の一部）が除去され，表面パターンに関する画像（データ）は完全に消去される。差分画像２（内部パターン）には内部パターンと欠陥画像（異物，汚れ１，２）が残る。異物については表面パターンの輪郭に相当する部分が消えている。その拡大図は図23に示されている。 As shown in FIG. 15, the difference image 1 (internal pattern) (data) obtained in S26 is subtracted (divided) from the surface pattern threshold image (data) obtained earlier (S13) to obtain the difference image. That is, the difference image 2 (internal pattern) (second internal pattern difference image data) is obtained (S27). As a result, (a part of) the outline of the remaining surface pattern is removed, and the image (data) related to the surface pattern is completely erased. An internal pattern and a defective image (foreign matter, stains 1 and 2) remain in the difference image 2 (internal pattern). For foreign matter, the part corresponding to the contour of the surface pattern has disappeared. The enlarged view is shown in FIG.
図16に示すように，内部パターンを消去するために内部パターンのマスク処理が行なわれる（Ｓ28）（第２のマスキング手段）。すなわち，差分画像２（内部パターン）（データ）に，先に（Ｓ12）得た内部パターンマスク画像（データ）を重ね（マスキング），内部パターンを除去する。これにより得られた画像（データ）を差分画像３−２とし，その拡大図が図24に示さている。異物と汚れ１，２の画像（部分）（データ）が残っているが，汚れ２に関しては内部パターンと重なっている部分はマスキング処理により，内部パターンとともに除去されている。 As shown in FIG. 16, masking processing of the internal pattern is performed in order to erase the internal pattern (S28) (second masking means). That is, the internal pattern mask image (data) obtained earlier (S12) is superimposed (masked) on the difference image 2 (internal pattern) (data), and the internal pattern is removed. The image (data) obtained in this way is designated as a difference image 3-2, and an enlarged view thereof is shown in FIG. 24. Images (parts) (data) of foreign matter and stains 1 and 2 remain, but with respect to stain 2, the portion overlapping with the internal pattern is removed together with the internal pattern by masking processing.
Ｓ25で得られた差分画像３−１とＳ28で得られた差分画像３−２との最大値（ＭＡＸ）をとり，最終的な欠陥についての合成画像（ＭＡＸ画像）（判定対象画像）を得る（Ｓ29）（合成手段）。その拡大図は図25に示されている。 The maximum value (MAX) of the difference image 3-1 obtained in S25 and the difference image 3-2 obtained in S28 is taken, and a composite image (MAX image) (judgment target image) for the final defect is obtained. (S29) (Synthesis means). The enlarged view is shown in FIG.
そうして，最後に，合成画像に基づいて異物，汚れ等の判定処理を実施し，対象積層体の良否の結論を得る。判定処理は，たとえば合成画像の二値化処理，面積算出，算出面積の弁別（閾値処理）等の公知の方法により行うことができる。 Finally, the determination process of foreign matter, dirt, etc. is performed based on the composite image, and the quality of the target laminate is concluded. The determination process can be performed by a known method such as binarization process of the composite image, area calculation, and discrimination of the calculated area (threshold value process).
上記実施例においては表面パターンと内部パターンの二層のパターンを用いて積層体における異物，汚れ等を検査する方法，装置，コンピュータ・プログラム（アルゴリズム）について説明したが，三層以上の標準（基準）パターンを用いても同様に積層体の検査が可能である。 In the above embodiment, a method, an apparatus, and a computer program (algorithm) for inspecting foreign substances, stains, etc. in a laminated body using a two-layer pattern of a surface pattern and an internal pattern have been described, but a standard (reference) of three or more layers has been described. ) The laminated body can be inspected in the same manner by using the pattern.
すなわちこの場合には，積層体の複数層のそれぞれに存在する標準ないしは基準パターンのパターン画像を登録しておく（登録手段）。検査対象積層体の対象画像を撮像装置によって撮像し，対象画像データを得る（対象画像データ取得手段，撮像手段）。一の層に関して，対象画像から当該一の層を除く他の層の登録（基準，標準）パターン画像を順次差し引いた差分画像を形成し，該差分画像に対して上記一の層の登録パターンによるマスキングを施して当該一の層についての残存物画像を形成する処理を行う（残存物画像形成手段）。これは図３のＳ23〜Ｓ25またはＳ26〜Ｓ28に相当する処理である。そして，前記一の層についての残存物画像形成処理と同じ処理を，他のすべての層について行う（制御手段）。複数の層について得られた残存物画像を合成して（ＭＡＸ処理）合成画像を得る（Ｓ29の処理に相当）。そして最後に，該合成画像に基づいて検査対象積層体の良否を判定する（Ｓ30の処理に相当）。 That is, in this case, the pattern image of the standard or reference pattern existing in each of the plurality of layers of the laminated body is registered (registration means). The target image of the laminated body to be inspected is imaged by an imaging device to obtain the target image data (target image data acquisition means, imaging means). For one layer, a difference image is formed by sequentially subtracting the registration (standard, standard) pattern images of the other layers excluding the one layer from the target image, and the registration pattern of the above one layer is applied to the difference image. A process of masking to form a remnant image of the one layer is performed (residual image forming means). This is a process corresponding to S23 to S25 or S26 to S28 in FIG. Then, the same process as the residue image forming process for the one layer is performed for all the other layers (control means). The residual images obtained for the plurality of layers are combined (MAX processing) to obtain a composite image (corresponding to the processing of S29). Finally, the quality of the laminated body to be inspected is determined based on the composite image (corresponding to the processing of S30).
図３のＳ22に相当する変位量算出処理や，Ｓ24，Ｓ27に示すような閾値画像による輪郭除去処理等を行ってもよいのはいうまでもない。 Needless to say, the displacement amount calculation process corresponding to S22 in FIG. 3 and the contour removal process using the threshold image as shown in S24 and S27 may be performed.
20 検査装置
21 処理装置
27 撮像装置
Ｓu 検査対象積層体
20 Inspection equipment
21 Processing equipment
27 Imaging device Su Inspected laminate
Claims (20)
少なくとも検査すべき対象積層体の対象画像データと登録表面パターン画像データとの差の演算処理を行い，内部パターン差分画像データを得る表面パターン消去手段，
登録表面パターンのマスク画像データによって上記表面パターン差分画像データをマスキングして第１の全パターン除去後画像データを得る第１のマスキング手段，
登録内部パターンのマスク画像データによって上記内部パターン差分画像データをマスキングして第２の全パターン除去後画像データを得る第２のマスキング手段，および
上記第１の全パターン除去後画像データと上記第２の全パターン除去後画像データとの合成により最終的な判定対象画像データを得る合成手段，
を備える積層体の検査装置。 An internal pattern erasing means that performs arithmetic processing of the difference between the target image data of the target laminate to be inspected and the registered internal pattern image data to obtain the surface pattern difference image data.
A surface pattern erasing means that performs arithmetic processing of the difference between the target image data of the target laminate to be inspected and the registered surface pattern image data to obtain the internal pattern difference image data.
First masking means for the mask image data of the surface pattern to obtain image data after the first full pattern removal by masking the surface pattern differential image data,
Second masking means for the mask image data of the internal pattern obtaining a second total pattern removal after image data by masking the internal pattern differential image data, and the first full pattern removal after image data and the second Combining means to obtain the final judgment target image data by compositing with the image data after removing all the patterns of
An inspection device for laminated bodies.
上記表面パターン消去手段は，対象画像と登録表面パターン画像との相対的変位を調整して差の演算処理を行うものである，
請求項１に記載の積層体の検査装置。 The internal pattern erasing means adjusts the relative displacement between the target image and the registered internal pattern image and performs difference calculation processing.
The surface pattern erasing means adjusts the relative displacement between the target image and the registered surface pattern image to perform difference calculation processing.
The laminated body inspection device according to claim 1.
対象画像と登録内部パターン画像との相対的変位を調整して対象画像データと登録内部パターン画像データとの第１の表面パターン差分画像データを作成する内部パターン除去手段と，
上記第１の表面パターン差分画像データと内部パターン閾値画像データとの差の演算により内部パターンの残っていた輪郭を除去して第２の表面パターン差分画像データを作成する内部パターン輪郭除去手段とを備え，
上記第１のマスキング手段は，上記第２の表面パターン差分画像データを登録表面パターンのマスク画像データによってマスキングするものであり，
上記表面パターン消去手段は，
対象画像と登録表面パターン画像との相対的変位を調整して対象画像データと登録表面パターン画像データとの第１の内部パターン差分画像データを作成する表面パターン除去手段と，
上記第１の内部パターン差分画像データと表面パターン閾値画像データとの差の演算により表面パターンの残っていた輪郭を除去して第２の内部パターン差分画像データを作成する表面パターン輪郭除去手段とを備え，
上記第２のマスキング手段は，上記第２の内部パターン差分画像データを登録内部パターンのマスク画像データによってマスキングするものである，
請求項１に記載の積層体の検査装置。 The above internal pattern erasing means
An internal pattern removing means for adjusting the relative displacement between the target image and the registered internal pattern image to create a first surface pattern difference image data between the target image data and the registered internal pattern image data.
An internal pattern contour removing means for creating a second surface pattern difference image data by removing the remaining contour of the internal pattern by calculating the difference between the first surface pattern difference image data and the internal pattern threshold image data. Prepare,
Said first masking means is a Masukingusu shall by the mask image data of the surface pattern the second surface pattern differential image data,
The above surface pattern erasing means
A surface pattern removing means for adjusting the relative displacement between the target image and the registered surface pattern image to create a first internal pattern difference image data between the target image data and the registered surface pattern image data.
A surface pattern contour removing means for creating a second internal pattern difference image data by removing the remaining contour of the surface pattern by calculating the difference between the first internal pattern difference image data and the surface pattern threshold image data. Prepare,
Said second masking means is Masukingusu shall by the mask image data of the internal pattern the second internal pattern differential image data,
The laminated body inspection device according to claim 1.
対象画像と登録表面パターン画像との相対的変位量を算出する表面パターン変位量算出手段，
をさらに備える，請求項３または４に記載の積層体の検査装置。 Internal pattern displacement amount calculating means for calculating the relative displacement amount between the target image and the registered internal pattern image, and surface pattern displacement amount calculating means for calculating the relative displacement amount between the target image and the registered surface pattern image.
The laminated body inspection apparatus according to claim 3 or 4, further comprising.
少なくとも検査すべき対象積層体の対象画像データと登録表面パターン画像データとの差の演算処理を行って，内部パターン差分画像データを生成し，
登録表面パターンのマスク画像データによって上記表面パターン差分画像データをマスキングして第１の全パターン除去後画像データを生成する第１のマスキングを行い，
登録内部パターンのマスク画像データによって上記内部パターン差分画像データをマスキングして第２の全パターン除去後画像データを生成する第２のマスキングを行い，そして
上記第１の全パターン除去後画像データと上記第２の全パターン除去後画像データとの合成により最終的な判定対象画像データを生成する，
積層体の検査方法。 At least the difference between the target image data of the target laminate to be inspected and the registered internal pattern image data is calculated to generate the surface pattern difference image data.
At least the difference between the target image data of the target laminate to be inspected and the registered surface pattern image data is calculated to generate the internal pattern difference image data.
The mask image data of the surface pattern performing a first masking to generate the image data after the first full pattern removal by masking the surface pattern differential image data,
The mask image data of the internal pattern performing a second masking for generating image data after the second full pattern removal by masking the internal pattern differential image data, and said first total pattern removal after image data and the The final judgment target image data is generated by combining with the image data after removing all the second patterns.
Inspection method for laminates.
上記内部パターン差分画像データ生成において，対象画像と登録表面パターン画像との相対的変位を調整して差の演算処理を行う，
請求項11に記載の積層体の検査方法。 In the above surface pattern difference image data generation, the relative displacement between the target image and the registered internal pattern image is adjusted to perform the difference calculation processing.
In the above internal pattern difference image data generation, the relative displacement between the target image and the registered surface pattern image is adjusted to calculate the difference.
The method for inspecting a laminate according to claim 11.
対象画像と登録内部パターン画像との相対的変位を調整して対象画像データと登録内部パターン画像データとの第１の表面パターン差分画像データを生成し，
上記第１の表面パターン差分画像データと内部パターン閾値画像データとの差の演算により内部パターンの残っていた輪郭を除去して第２の表面パターン差分画像データを作成し，そして
上記第１のマスキングにおいて，上記第２の表面パターン差分画像データを登録表面パターンのマスク画像データによってマスキングし，
上記内部パターン差分画像データ生成において，
対象画像と登録表面パターン画像との相対的変位を調整して対象画像データと登録表面パターン画像データとの第１の内部パターン差分画像データを生成し，
上記第１の内部パターン差分画像データと表面パターン閾値画像データとの差の演算により表面パターンに残っていた輪郭を除去して第２の内部パターン差分画像データを作成し，
上記第２のマスキングにおいて，上記第２の内部パターン差分画像データを登録内部パターンのマスク画像データによってマスキングする，
請求項11に記載の積層体の検査方法。 In the above surface pattern difference image data generation
The relative displacement between the target image and the registered internal pattern image is adjusted to generate the first surface pattern difference image data between the target image data and the registered internal pattern image data.
By calculating the difference between the first surface pattern difference image data and the internal pattern threshold image data , the remaining contour of the internal pattern is removed to create the second surface pattern difference image data, and the first masking is performed. In, the second surface pattern difference image data is masked by the mask image data of the registered surface pattern.
In the above internal pattern difference image data generation
The relative displacement between the target image and the registered surface pattern image is adjusted to generate the first internal pattern difference image data between the target image data and the registered surface pattern image data.
By calculating the difference between the first internal pattern difference image data and the surface pattern threshold image data , the contour remaining in the surface pattern is removed to create the second internal pattern difference image data.
In the second masking, Ru Masukingusu the second internal pattern differential image data by the mask image data of the internal pattern,
The method for inspecting a laminate according to claim 11.
少なくとも検査すべき対象積層体の対象画像データと登録表面パターン画像データとの差の演算処理を行って，内部パターン差分画像データを生成し，
登録表面パターンのマスク画像データによって上記表面パターン差分画像データをマスキングして第１の全パターン除去後画像データを生成する第１のマスキングを行い，
登録内部パターンのマスク画像データによって上記内部パターン差分画像データをマスキングして第２の全パターン除去後画像データを生成する第２のマスキングを行い，そして
上記第１の全パターン除去後画像データと上記第２の全パターン除去後画像データとの合成により最終的な判定対象画像データを生成するようにコンピュータを制御するための積層体の検査プログラム。 At least the difference between the target image data of the target laminate to be inspected and the registered internal pattern image data is calculated to generate the surface pattern difference image data.
At least the difference between the target image data of the target laminate to be inspected and the registered surface pattern image data is calculated to generate the internal pattern difference image data.
The mask image data of the surface pattern performing a first masking to generate the image data after the first full pattern removal by masking the surface pattern differential image data,
The mask image data of the internal pattern performing a second masking for generating image data after the second full pattern removal by masking the internal pattern differential image data, and said first total pattern removal after image data and the A second layer inspection program for controlling a computer to generate final determination target image data by combining with image data after removing all patterns.
検査対象積層体の対象画像を取得する対象画像取得手段，
一の層に関して，対象画像から当該一の層を除く他の層の登録パターン画像を順次差し引いた差分画像を形成し，該差分画像に対して上記一の層の登録パターンによるマスキングを施して当該一の層についての残存物画像を形成する残存物画像形成手段，
上記残存物画像形成手段による処理を，すべての層について行うよう制御する制御手段，
複数の層について得られた残存物画像を合成する画像合成手段，および
該合成画像に基づいて検査対象積層体の良否を判定する判定手段，
を備える積層体の検査装置。 A registration method for registering standard patterns existing in each of multiple layers of a laminate,
Target image acquisition means for acquiring the target image of the laminated body to be inspected,
For one layer, a difference image is formed by sequentially subtracting the registration pattern images of the other layers excluding the one layer from the target image, and the difference image is masked by the registration pattern of the one layer. Remnant image forming means for forming a remnant image for one layer,
A control means for controlling the processing by the residue image forming means for all layers,
An image synthesizing means for synthesizing residual images obtained for a plurality of layers, and a determining means for determining the quality of the laminated body to be inspected based on the composite images.
An inspection device for laminated bodies.
検査対象積層体の対象画像を取得し，
一の層に関して，対象画像から当該一の層を除く他の層の標準パターン画像を順次差し引いた差分画像を形成し，該差分画像に対して上記一の層の標準パターンによるマスキングを施して当該一の層についての残存物画像を形成する処理を行い，
前記一の層についての残存物画像形成処理と同じ処理を，他のすべての層について行い，
複数の層について得られた残存物画像を合成して合成画像を得，
該合成画像に基づいて検査対象積層体の良否を判定する，
積層体の検査方法。 Prepare a standard pattern image of the pattern existing in each of the multiple layers of the laminated body.
Acquire the target image of the laminated body to be inspected
For one layer, a difference image is formed by sequentially subtracting the standard pattern images of the other layers excluding the one layer from the target image, and the difference image is masked by the standard pattern of the one layer. Process to form a remnant image for one layer
The same process as the residue image forming process for one layer was performed for all the other layers.
Remaining images obtained for multiple layers were combined to obtain a composite image.
The quality of the laminated body to be inspected is judged based on the composite image.
Inspection method for laminates.
検査対象積層体の対象画像を取得し，
一の層に関して，対象画像から当該一の層を除く他の層の標準パターン画像を順次差し引いた差分画像を形成し，該差分画像に対して上記一の層の標準パターンによるマスキングを施して当該一の層についての残存物画像を形成する処理を行い，
前記一の層についての残存物画像形成処理と同じ処理を，他のすべての層について行うよう制御し，
複数の層について得られた残存物画像を合成して合成画像を得，そして
該合成画像に基づいて検査対象積層体の良否を判定するようにコンピュータを制御する，
積層体の検査プログラム。 Register the standard patterns that exist in each of the multiple layers of the laminate,
Acquire the target image of the laminated body to be inspected
For one layer, a difference image is formed by sequentially subtracting the standard pattern images of the other layers excluding the one layer from the target image, and the difference image is masked by the standard pattern of the one layer. Performing a process to form a remnant image for one layer
Controlled so that the same processing as the remnant image formation processing for one layer is performed for all other layers.
The computer is controlled to synthesize the residual images obtained for the plurality of layers to obtain a composite image, and to judge the quality of the laminated body to be inspected based on the composite image.
Laminate inspection program.
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