JP2018072191A - Laminate inspection device, method and program - Google Patents
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Abstract
Description
この発明は，複数層により構成された積層体，たとえばＩＣカードのような積層カードの検査装置，方法およびプログラムに関する。 The present invention relates to an inspection apparatus, method, and program for a laminated body composed of a plurality of layers, for example, a laminated card such as an IC card.
配線基板や印刷物等多重に重ねられたパターンの検査を同時に行えるパターン検査方法および装置の一例が特許文献１に記載されている。 An example of a pattern inspection method and apparatus capable of simultaneously inspecting multiple superimposed patterns such as wiring boards and printed materials is described in Patent Document 1.
このパターン検査方法および装置では，基準画像データを作成するために，複数の基準パターンをそれぞれ撮像して記憶し，各画素ごとに各画像データ間の平均値演算，中間値演算または中間平均値演算等の演算を行い，ばらつきの大きなデータや異常値を避けて，適正な基準となる基準画像データを作成し，この基準画像データとの比較検査を行なうことにより，対象物の良否，欠陥の有無等を判定していた。 In this pattern inspection method and apparatus, in order to create reference image data, a plurality of reference patterns are captured and stored, and an average value calculation, an intermediate value calculation, or an intermediate average value calculation between the image data for each pixel. By performing calculations such as the above, avoiding data with large variations and abnormal values, creating reference image data that serves as an appropriate reference, and performing comparative inspections with this reference image data, it is possible to determine whether the object is good or defective. Etc. were judged.
この検査方法および装置においては，基準画像データは複数の基準パターンのばらつき（異常に大きなものを除く）を吸収したものとなっているので，良否の判定，欠陥の有無等の判定の精度は，複数の基準パターンのばらつきの程度に依存したものとなる。また，ばらつきの範囲内に存在する汚れや異物などの不良の検出はできない。 In this inspection method and apparatus, since the reference image data absorbs variations of a plurality of reference patterns (excluding abnormally large ones), the accuracy of the determination of pass / fail, the presence / absence of defects, etc. is as follows: This depends on the degree of variation of the plurality of reference patterns. Also, it is impossible to detect defects such as dirt and foreign matter existing within the range of variation.
この発明は積層物のそれぞれの層における欠陥（異物，汚れ，傷，欠け等）を個別に検出して精度の高い検査が可能となる検査装置，方法およびプログラムを提供するものである。 The present invention provides an inspection apparatus, method, and program capable of detecting a defect (foreign matter, dirt, scratch, chip, etc.) in each layer of a laminate individually and performing a highly accurate inspection.
この発明は，まず二層に存在する欠陥を検出するものである。二層を表面，内部とし，それらに存在する正規のパターンをそれぞれ表面パターン（印刷柄など），内部パターン（内蔵物など）と呼ぶ。 In the present invention, defects present in two layers are first detected. The two layers are the surface and the inside, and the regular patterns present on them are called the surface pattern (printed pattern, etc.) and the internal pattern (built-in item, etc.), respectively.
この発明による積層体の検査装置は，少なくとも検査すべき対象積層体の対象画像データと登録内部パターン画像データとの差の演算処理を行い，表面パターン差分画像データを得る内部パターン消去手段，少なくとも検査すべき対象積層体の対象画像データと登録表面パターン画像データとの差の演算処理を行い，内部パターン差分画像データを得る表面パターン消去手段，登録表面パターンのマスク画像データを上記表面パターン差分画像データに作用させて第１の全パターン除去後画像データを得る第１のマスキング手段，登録内部パターンのマスク画像データを上記内部パターン差分画像データに作用させて第２の全パターン除去後画像データを得る第２のマスキング手段，および上記第１の全パターン除去後画像データと上記第２の全パターン除去後画像データとの合成により最終的な判定対象画像データを得る合成手段を備えるものである。 The laminate inspection apparatus according to the present invention includes at least an internal pattern erasing unit that performs a calculation process of a difference between target image data of a target laminate to be inspected and registered internal pattern image data to obtain surface pattern difference image data. Surface pattern erasing means for calculating the difference between the target image data of the target laminate and the registered surface pattern image data to obtain internal pattern difference image data, and the mask image data of the registered surface pattern as the surface pattern difference image data First masking means for obtaining first post-pattern removal image data by acting on the mask pattern data of the registered internal pattern on the internal pattern difference image data to obtain second post-pattern removal image data The second masking means, the first all-pattern-removed image data, and the second The synthesis of the whole pattern removal after image data are those comprising synthesizing means for obtaining a final determination target image data.
上記検査装置は，好ましくは，上記最終的な判定対象画像データに基づいて対象積層体の良否を判定する判定手段をさらに備える。 Preferably, the inspection apparatus further includes a determination unit that determines the quality of the target laminate based on the final determination target image data.
この発明による積層体の検査方法は，少なくとも検査すべき対象積層体の対象画像データと登録内部パターン画像データとの差の演算処理を行って，表面パターン差分画像データを生成し，少なくとも検査すべき対象積層体の対象画像データと登録表面パターン画像データとの差の演算処理を行って，内部パターン差分画像データを生成し，登録表面パターンのマスク画像データを上記表面パターン差分画像データに作用させて第１の全パターン除去後画像データを生成する第１のマスキングを行い，登録内部パターンのマスク画像データを上記内部パターン差分画像データに作用させて第２の全パターン除去後画像データを生成する第２のマスキングを行い，上記第１の全パターン除去後画像データと上記第２の全パターン除去後画像データとの合成により最終的な判定対象画像データを生成するものである。 In the method for inspecting a laminate according to the present invention, at least the difference between the target image data of the target laminate to be inspected and the registered internal pattern image data is calculated to generate surface pattern difference image data, and at least to inspect The difference between the target image data of the target laminate and the registered surface pattern image data is calculated to generate internal pattern difference image data, and the mask image data of the registered surface pattern is applied to the surface pattern difference image data. First masking for generating image data after removal of the first full pattern is performed, and mask image data of the registered internal pattern is applied to the internal pattern difference image data to generate image data after removal of the second full pattern. 2 is performed, and the image data after removal of the first all pattern and the image data after removal of the second all pattern are performed. And it generates a final determination target image data by synthesizing the.
好ましくは，上記検査方法において，上記最終的な判定対象画像データに基づいて対象積層体の良否を判定する。 Preferably, in the inspection method, the quality of the target laminate is determined based on the final determination target image data.
この発明によるコンピュータを制御するための積層体の検査プログラムは，少なくとも検査すべき対象積層体の対象画像データと登録内部パターン画像データとの差の演算処理を行って，表面パターン差分画像データを生成し，少なくとも検査すべき対象積層体の対象画像データと登録表面パターン画像データとの差の演算処理を行って，内部パターン差分画像データを生成し，登録表面パターンのマスク画像データを上記表面パターン差分画像データに作用させて第１の全パターン除去後画像データを生成する第１のマスキングを行い，登録内部パターンのマスク画像データを上記内部パターン差分画像データに作用させて第２の全パターン除去後画像データを生成する第２のマスキングを行い，上記第１の全パターン除去後画像データと上記第２の全パターン除去後画像データとの合成により最終的な判定対象画像データを生成するようにコンピュータを制御するものである。 A laminate inspection program for controlling a computer according to the present invention generates at least surface pattern difference image data by performing a calculation process of a difference between target image data of a target laminate to be inspected and registered internal pattern image data. And calculating at least the difference between the target image data of the target laminate to be inspected and the registered surface pattern image data to generate internal pattern difference image data, and registering the mask image data of the registered surface pattern as the surface pattern difference First masking for generating image data after removal of the first entire pattern by acting on the image data is performed, and mask image data of the registered internal pattern is applied to the internal pattern difference image data after the removal of the second entire pattern. Second masking for generating image data is performed, and the first all-pattern-removed image data and Serial by synthesizing the second total pattern removal after image data is for controlling the computer to generate the final determination target image data.
さらに，上記プログラムは上記最終的な判定対象画像データに基づいて対象積層体の良否を判定するようにコンピュータを制御する。 Further, the program controls the computer so as to determine the quality of the target laminate based on the final determination target image data.
この発明によると，各層（表面，内部）における基準ないしは標準となる登録パターンを用い，対象画像からこれらの登録パターンを消去またはこれらの登録パターンによるマスキングにより，欠陥に関連する残存物画像（全パターン除去後画像）を生成し，最終的に各層の残存物画像を合成しているので，すべての欠陥を表わす画像を得ることができる。このようなすべての欠陥を表わす画像に基づいて積層体の良否判定（欠陥の存在の有無の判定）を行なっているので，高精度の検査が可能となる。 According to the present invention, a reference image or a standard registration pattern in each layer (surface, inside) is used, and these registration patterns are erased from the target image or masked by these registration patterns, so that residual images (all patterns) related to the defect are obtained. Since the image after removal) is generated and the residual images of the respective layers are finally synthesized, an image representing all defects can be obtained. Since the quality determination (determination of presence / absence of a defect) of the laminated body is performed based on the images representing all such defects, high-precision inspection can be performed.
好ましい実施態様では，上記検査装置において，上記内部パターン消去手段は，対象画像と登録内部パターン画像との相対的変位を調整して差の演算処理を行い，上記表面パターン消去手段は，対象画像と登録表面パターン画像との相対的変位を調整して差の演算処理を行うものである。 In a preferred embodiment, in the inspection apparatus, the internal pattern erasing unit adjusts a relative displacement between the target image and the registered internal pattern image to perform a difference calculation process, and the surface pattern erasing unit includes the target image and the target image. The difference is calculated by adjusting the relative displacement with the registered surface pattern image.
これにより，パターンマッチングにおける位置ずれ，角度ずれ等に基づく誤検知を防ぐことができる。 Thereby, it is possible to prevent erroneous detection based on a positional deviation, an angular deviation or the like in pattern matching.
一実施態様では，上記内部パターン消去手段は，対象画像と登録内部パターン画像との相対的変位を調整して対象画像データと登録内部パターン画像データとの第１の表面パターン差分画像データを作成する内部パターン除去手段と，上記第１の表面パターン差分画像データに内部パターン閾値画像データを作用させて第２の表面パターン差分画像データを作成する内部パターン輪郭除去手段とを備え，上記第１のマスキング手段は，上記第２の表面パターン差分画像データに登録表面パターンのマスク画像データを作用させるものである。また，上記表面パターン消去手段は，対象画像と登録表面パターン画像との相対的変位を調整して対象画像データと登録表面パターン画像データとの第１の内部パターン差分画像データを作成する表面パターン除去手段と，上記第１の内部パターン差分画像データに表面パターン閾値画像データを作用させて第２の内部パターン差分画像データを作成する表面パターン輪郭除去手段とを備え，上記第２のマスキング手段は，上記第２の内部パターン差分画像データに登録内部パターンのマスク画像データを作用させるものである。 In one embodiment, the internal pattern erasing unit adjusts the relative displacement between the target image and the registered internal pattern image to create first surface pattern difference image data between the target image data and the registered internal pattern image data. An internal pattern removing means; and an internal pattern contour removing means for creating second surface pattern difference image data by applying internal pattern threshold image data to the first surface pattern difference image data, and the first masking The means causes the mask image data of the registered surface pattern to act on the second surface pattern difference image data. The surface pattern erasing means adjusts the relative displacement between the target image and the registered surface pattern image to generate first internal pattern difference image data between the target image data and the registered surface pattern image data. Means, and surface pattern contour removal means for generating second internal pattern difference image data by applying surface pattern threshold image data to the first internal pattern difference image data, and the second masking means includes: The mask image data of the registered internal pattern is applied to the second internal pattern difference image data.
内部パターン輪郭除去，表面パターン輪郭除去により，輪郭線による誤判定を防ぐことができる。 By making the internal pattern contour removal and the surface pattern contour removal, erroneous determination due to the contour line can be prevented.
一実施態様では，検査装置は対象画像と登録内部パターン画像との相対的変位量を算出する内部パターン変位量算出手段，および対象画像と登録表面パターン画像との相対的変位量を算出する表面パターン変位量算出手段をさらに備える。 In one embodiment, the inspection apparatus includes an internal pattern displacement amount calculating means for calculating a relative displacement amount between the target image and the registered internal pattern image, and a surface pattern for calculating a relative displacement amount between the target image and the registered surface pattern image. Displacement amount calculation means is further provided.
好ましい実施態様では，検査装置は対象積層体の対象画像データを取込む対象画像取込手段をさらに備える。上記対象画像取込手段は一例として対象積層体の撮像手段を含む。 In a preferred embodiment, the inspection apparatus further includes target image capturing means for capturing target image data of the target laminate. The target image capturing unit includes, as an example, an imaging unit for the target stack.
さらに他の実施態様では，検査装置は表面パターン画像データと内部パターン画像データを登録する登録手段をさらに備える。 In yet another embodiment, the inspection apparatus further comprises registration means for registering the surface pattern image data and the internal pattern image data.
さらに望ましくは，検査装置は登録表面パターン画像および登録内部パターン画像について，それぞれそれらのマスク画像データを作成するマスク画像データ作成手段をさらに備える。 More preferably, the inspection apparatus further includes mask image data creating means for creating mask image data for each of the registered surface pattern image and the registered internal pattern image.
さらに検査装置は，一実施態様では，登録表面パターン画像および登録内部パターン画像について，それぞれそれらの閾値画像データを作成する閾値画像データ作成手段をさらに備える。 Further, in one embodiment, the inspection apparatus further includes threshold image data creating means for creating threshold image data of each of the registered surface pattern image and the registered internal pattern image.
この発明は三層以上の各層に存在する標準または基準パターンを利用した検査装置，方法，プログラムを提供している。 The present invention provides an inspection apparatus, method, and program using a standard or reference pattern existing in each of three or more layers.
この発明による積層体の検査装置は，積層体の複数層のそれぞれに存在する標準のパターンを登録する登録手段，検査対象積層体の対象画像を取得する対象画像取得手段，一の層に関して，対象画像から当該一の層を除く他の層の登録パターン画像を順次差し引いた差分画像を形成し，該差分画像に対して上記一の層の登録パターンによるマスキングを施して当該一の層についての残存物画像を形成する残存物画像形成手段，上記残存物画像形成手段による処理を，すべての層について行うよう制御する制御手段，複数の層について得られた残存物画像を合成する画像合成手段，および該合成画像に基づいて検査対象積層体の良否を判定する判定手段を備える。 The laminate inspection apparatus according to the present invention includes a registration unit for registering a standard pattern existing in each of a plurality of layers of a laminate, a target image acquisition unit for acquiring a target image of a stack to be inspected, and a target for one layer. A difference image is formed by sequentially subtracting the registration pattern image of the other layer excluding the one layer from the image, and the difference image is masked by the registration pattern of the one layer and the remaining for the one layer is formed. A residual image forming means for forming a physical image, a control means for controlling the processing by the residual image forming means for all layers, an image synthesizing means for synthesizing residual images obtained for a plurality of layers, and Judgment means for judging the quality of the laminate to be inspected based on the composite image is provided.
この発明による積層体の検査方法は，積層体の複数層のそれぞれに存在するパターンの標準パターン画像を用意しておき，検査対象積層体の対象画像を取得し，一の層に関して，対象画像から当該一の層を除く他の層の標準パターン画像を順次差し引いた差分画像を形成し，該差分画像に対して上記一の層の標準パターンによるマスキングを施して当該一の層についての残存物画像を形成する処理を行い，前記一の層についての残存物画像形成処理と同じ処理を，他のすべての層について行い，複数の層について得られた残存物画像を合成して合成画像を得，該合成画像に基づいて検査対象積層体の良否を判定するものである。 In the method for inspecting a laminate according to the present invention, a standard pattern image of a pattern existing in each of a plurality of layers of the laminate is prepared, a target image of the inspection target laminate is acquired, and one layer is obtained from the target image. A difference image is formed by sequentially subtracting the standard pattern images of the other layers excluding the one layer, and the difference image is masked with the standard pattern of the one layer to obtain a residual image for the one layer. The same process as the residual image forming process for the one layer is performed for all the other layers, and the residual images obtained for a plurality of layers are synthesized to obtain a composite image, The quality of the inspection target laminate is determined based on the composite image.
この発明による積層体の検査プログラムは，積層体の複数層のそれぞれに存在する標準パターンを登録し，検査対象積層体の対象画像を取得し，一の層に関して，対象画像から当該一の層を除く他の層の標準パターン画像を順次差し引いた差分画像を形成し，該差分画像に対して上記一の層の標準パターンによるマスキングを施して当該一の層についての残存物画像を形成する処理を行い，前記一の層についての残存物画像形成処理と同じ処理を，他のすべての層について行うよう制御し，複数の層について得られた残存物画像を合成して合成画像を得，そして該合成画像に基づいて検査対象積層体の良否を判定するようにコンピュータを制御するものである。 A laminate inspection program according to the present invention registers a standard pattern existing in each of a plurality of layers of a laminate, obtains a target image of the stack to be inspected, and extracts one layer from the target image with respect to one layer. A difference image is formed by sequentially subtracting the standard pattern images of the other layers except the mask, and the difference image is masked with the standard pattern of the one layer to form a residual image for the one layer. And performing the same process as the residual image forming process for the one layer for all the other layers, combining the residual images obtained for a plurality of layers to obtain a composite image, and The computer is controlled so as to determine the quality of the inspection target laminate based on the composite image.
この発明はさらに，上記検査プログラムを格納したコンピュータ読取可能な記録媒体を提供している。 The present invention further provides a computer-readable recording medium storing the inspection program.
図１は積層体の検査システムの全体の構成の概要を示すものである。 FIG. 1 shows an outline of the overall configuration of a laminate inspection system.
一例として検査システムは搬送装置10を備えており，その搬送路上を，検査すべき積層体（検査対象物）Ｓu が搬送される。積層体Ｓu の一例としてはプラスチックカードである。搬送路の途上には，搬送路を挟んで対向するように，照明装置26と撮像装置（電子カメラなど）（撮像手段）27とが配置されている。搬送路上の対象積層体Ｓu は，一方の面から照明装置26により照明され，積層体Ｓu を透過した光像が撮像装置27によって（一時停止した状態で，または移動中に）撮影される。撮像装置27から出力される画像信号（データ）は検査装置20に与えられる。後述する処理によって積層体Ｓu の表面または内部における欠陥（異物，欠け，汚れ等）有無が検出され，最終的にそれが許容範囲内かどうかが判定される（良否判定）。検査装置20において不良と判定された積層体（カード）は，検査装置20からの指令に応じて排出装置28によって搬送路から排出される。良品の積層体は次工程に送られる。 As an example, the inspection system includes a transfer device 10 on which a stacked body (inspection object) Su to be inspected is transferred. An example of the laminated body Su is a plastic card. An illumination device 26 and an imaging device (such as an electronic camera) (imaging means) 27 are arranged in the middle of the conveyance path so as to face each other across the conveyance path. The target laminated body Su on the conveyance path is illuminated from one surface by the illuminating device 26, and a light image transmitted through the laminated body Su is taken by the imaging device 27 (in a paused state or during movement). An image signal (data) output from the imaging device 27 is given to the inspection device 20. By the process described later, the presence or absence of defects (foreign matter, chipping, dirt, etc.) on the surface or inside of the laminated body Su is detected, and finally it is determined whether or not it is within an allowable range (good / bad determination). The laminate (card) determined to be defective in the inspection device 20 is discharged from the conveyance path by the discharge device 28 in response to a command from the inspection device 20. The non-defective laminate is sent to the next process.
プラスチック・カードの表面（一方の面，または表裏両面）には文字，図形等が印刷されている。表面に表わされている文字，図形等であって撮像装置27によって撮像されるものを表面パターン（画像）という。対象積層体（カード）Ｓu の内部にもＩＣチップ，アンテナ，配線パターン等が埋設されている。これらの対象積層体Ｓu の内部に埋込まれている物体も透過光像中に現われるものは撮像装置27によって撮像される。積層体Ｓu 内部に存在し，撮像装置によって撮像されるものを内部パターン（画像）という。 Characters, graphics, etc. are printed on the surface (one side or both sides) of the plastic card. Characters, figures and the like represented on the surface, which are picked up by the image pickup device 27, are referred to as a surface pattern (image). An IC chip, an antenna, a wiring pattern, and the like are also embedded in the target laminated body (card) Su. Objects appearing in the transmitted light image are also imaged by the imaging device 27 even if these objects are embedded in the target laminated body Su. What exists in the laminated body Su and is imaged by the imaging device is referred to as an internal pattern (image).
積層体は複数層の構造をもつから各層ごとに各パターンが存在するが，この実施例では，簡単のために表面層（表面パターン）と内部層（内部パターン）の２つの層を考えるものとする。 Since the laminate has a multi-layer structure, there are patterns for each layer. In this example, two layers, a surface layer (surface pattern) and an internal layer (internal pattern), are considered for simplicity. To do.
表面パターンの一例が図４に示されている。ここでは簡単のために，やや太く表わされたＡＢＣという文字が表面パターン（画像）である。内部パターンの一例が図５に示されている。ここでは簡単に積層体（カード）の右下隅に内蔵されたＩＣチップのほぼ正方形状の影が内部パターンである。 An example of a surface pattern is shown in FIG. Here, for the sake of simplicity, the character ABC is shown as a surface pattern (image). An example of the internal pattern is shown in FIG. Here, a substantially square shadow of the IC chip built in the lower right corner of the laminate (card) is simply the internal pattern.
検査装置20は基本的にはコンピュータ・システム，好ましくはパーソナル・コンピュータ（ＰＣ）と呼ばれるシステムによって構成することができる。処理装置21がコンピュータ本体であり，後述する検査処理（図２，図３に示す一連の処理）を行う。処理装置21はメモリ（記憶装置）22を備えている。メモリ22には表面パターンおよび内部パターンの基準（標準）となる画像データ（登録画像データ），その他の検査処理に必要な各種の画像データ，パラメータ等が記憶される。検査装置20にはさらに入力装置23，表示装置24，出力装置25が設けられている。入力装置23にはキーボード，マウス，通信装置，媒体読取装置等があり，検査処理に必要なデータ（画像データ，パラメータ等）を入力するために用いられる。表示装置24には，登録画像，撮影画像，検査結果等が表示される。出力装置25は検査結果を出力するもので，一例として，出力装置25はカード排出装置28に排出指令を出力する。出力装置25はプリンタ，通信装置，インターフェイス等を含み，排出指令のみならず，対象積層体ごとの判定結果（良，否）やその内容などのデータを出力する。 The inspection apparatus 20 can be basically constituted by a computer system, preferably a system called a personal computer (PC). The processing device 21 is a computer main body and performs inspection processing (a series of processing shown in FIGS. 2 and 3) described later. The processing device 21 includes a memory (storage device) 22. The memory 22 stores image data (registered image data) serving as a reference (standard) for the surface pattern and the internal pattern, and various image data and parameters necessary for other inspection processes. The inspection device 20 is further provided with an input device 23, a display device 24, and an output device 25. The input device 23 includes a keyboard, a mouse, a communication device, a medium reading device, and the like, and is used to input data (image data, parameters, etc.) necessary for the inspection process. The display device 24 displays registered images, captured images, inspection results, and the like. The output device 25 outputs the inspection result. As an example, the output device 25 outputs a discharge command to the card discharge device 28. The output device 25 includes a printer, a communication device, an interface, and the like, and outputs not only a discharge command but also data such as a determination result (good or bad) for each target laminate and its contents.
撮像装置27，照明装置26を検査装置に含めてもよいし，さらに搬送装置10やカード排出装置28を検査装置（システム）に含めることもできる。 The imaging device 27 and the illumination device 26 may be included in the inspection device, and further, the transport device 10 and the card discharge device 28 may be included in the inspection device (system).
図２および図３は検査装置20，特に処理装置21による検査処理の手順（プログラムのアルゴリズム）を示している。図６から図17は処理（特に画像処理）を分りやすく示す図面であり，図18から図25は処理結果の代表的な画像を細部が分るように拡大して示すものである（図６〜図17の画像の一部と重複している）。 2 and 3 show the procedure (program algorithm) of the inspection process by the inspection device 20, particularly the processing device 21. FIG. 6 to 17 are diagrams showing the processing (especially image processing) in an easy-to-understand manner, and FIGS. 18 to 25 are enlarged views showing representative images of the processing results so that details can be seen (FIG. 6). ~ Overlapping part of the image in Fig. 17).
図２は検査処理にあたって事前に行っておく前処理を示す。 FIG. 2 shows pre-processing that is performed in advance in the inspection processing.
表面パターン（図４）および内部パターン（図５）の基準画像または標準画像を登録する（Ｓ11）（登録手段）。登録した基準画像の画像データはメモリ22に記憶される。基準画像としては，基準となる（良品の）積層体サンプルを照明装置26の照明の下で撮像装置27により撮影した画像でもよいし，基準画像として最も標準となるものを作成し，その画像データを入力装置23から入力してもよい。 A reference image or standard image of the surface pattern (FIG. 4) and the internal pattern (FIG. 5) is registered (S11) (registration means). The registered image data of the reference image is stored in the memory 22. The reference image may be an image obtained by photographing the reference (non-defective) laminate sample with the imaging device 27 under the illumination of the illumination device 26, or the image that is the most standard as the reference image is created, and the image data May be input from the input device 23.
次に登録した各パターン（表面パターン，内部バターン）について，マスク画像を作成する（Ｓ12）（マスク画像データ作成手段）。表面パターンおよび内部パターンのそれぞれについてマスク画像作成の様子が図６および図７に示されている。まず，表面パターン，内部パターンのそれぞれについて収縮（erosion ）処理を行う。これは対象画像のばらつき（印刷ぶれ，搬送ぶれ等）による誤動作を抑制するためである。各パターンの周辺の黒い画素に置きかえる範囲（マスクサイズ）は任意に設定できるが，たとえばフィルタサイズとして11×11を採用することができる。もちろん，表面パターンと内部パターンとにおいて異なるサイズを用いてもよい。マスク画像（データ）を作成するための二値化閾値は表面パターン，内部パターンのそれぞれにおいて一般的には異なる値が用いられる。もちろん，同じ値の閾値を用いてもよい。これらのパラメータは入力装置23において設定できる。 Next, a mask image is created for each registered pattern (surface pattern, internal pattern) (S12) (mask image data creating means). FIGS. 6 and 7 show how mask images are created for each of the surface pattern and the internal pattern. First, erosion processing is performed for each of the surface pattern and the internal pattern. This is to suppress malfunction caused by variations in the target image (print blur, transport blur, etc.). The range (mask size) that can be replaced with the black pixels around each pattern can be set arbitrarily. For example, 11 × 11 can be used as the filter size. Of course, different sizes may be used for the surface pattern and the internal pattern. Generally, different values are used for the binarization threshold value for creating the mask image (data) in each of the surface pattern and the internal pattern. Of course, the same threshold value may be used. These parameters can be set in the input device 23.
続いて，登録された表面パターンおよび内部パターンのそれぞれについて，閾値画像データの作成処理を行う（Ｓ13）（閾値画像データ作成手段）。閾値画像は，対象画像（検査すべき積層体の画像）における欠陥（異物，汚れ）等を表わす画像部分を浮き出させるために，対象画像から表面パターンや内部パターンを除去するときに，これらのパターンの部分的な不一致のために各パターンの輪郭を表わす画像部分が生じることがある。閾値画像は，この不可避的に生じる輪郭を，輪郭部分に存在する欠陥等を残したまま，消去（除去）するのに用いられる。 Subsequently, threshold image data creation processing is performed for each of the registered surface pattern and internal pattern (S13) (threshold image data creation means). The threshold image is used when a surface pattern or an internal pattern is removed from the target image in order to reveal an image portion representing a defect (foreign matter, dirt) or the like in the target image (image of the laminate to be inspected). Due to the partial disagreement, an image portion representing the outline of each pattern may be generated. The threshold image is used for erasing (removing) the inevitably generated contour while leaving a defect or the like existing in the contour portion.
登録された表面パターンおよび内部パターンについて閾値画像（データ）を作成する処理の様子がそれぞれ図８，図９に示されている。各登録パターンの輪郭に相当する画像（データ）を得るために，膨張（dilation）処理と収縮処理を行い，これらの差分画像（各パターンの輪郭を表わす）を得る。膨張，収縮処理のフィルタサイズは任意に設定できる（たとえば９×９）。得られた差分画像において，輪郭部分のグレーレベル（倍率）は，隠れている欠陥を消去してしまわない程度に設定される（たとえば倍率は1.2 ）。また，輪郭部分以外の黒レベル（オフセット）は，そこに存在するノイズを除去できる程度のレベルに設定される（たとえば 256階調中の10階調）。これらのパラメータはユーザが入力装置23から任意に設定しておくことができるようにすることが好ましい。表面パターンと内部パターンとにおいて，上記パラメータを異なる値としてもよいし，同じ値としてもよい。閾値画像ではそのすべての画素に閾値が設定されている（すべての画素の値が閾値として働く）ことになる。 FIGS. 8 and 9 show processes of creating a threshold image (data) for the registered surface pattern and internal pattern, respectively. In order to obtain an image (data) corresponding to the contour of each registered pattern, a dilation process and a contraction process are performed to obtain a difference image (representing the contour of each pattern). The filter size of the expansion / contraction process can be arbitrarily set (for example, 9 × 9). In the obtained difference image, the gray level (magnification) of the contour portion is set so as not to erase the hidden defect (for example, the magnification is 1.2). In addition, the black level (offset) other than the outline is set to a level that can remove the noise existing there (for example, 10 gradations out of 256 gradations). It is preferable that these parameters can be arbitrarily set by the user from the input device 23. The parameter may be different or the same for the surface pattern and the internal pattern. In the threshold image, threshold values are set for all the pixels (the values of all pixels serve as threshold values).
図３は検査処理の流れ（プログラムのアルゴリズム）を示す。 FIG. 3 shows the flow of inspection processing (program algorithm).
まず，撮像装置27が撮影した対象積層体Ｓu の画像データ（検査対象画像のデータ）が撮像装置27から処理装置21に取込まれる（Ｓ21）（対象画像取込手段）。撮影画像データをバッファ（図示略）またはメモリ22に一時格納しておき，これを取出して処理装置21に取込んでもよい。対象画像の例が図10に示され，その拡大図が図18に示されている。対象画像には表面パターンおよび内部パターンに加えて，異物の画像（部分），汚れ１，汚れ２の画像（部分）が現われている。このうち，異物の画像は表面パターンのＡの文字の一部と重なっている。また，汚れ２の画像が内部パターンのチップ画像の一部に重なっている。 First, image data (inspection target image data) of the target laminate Su taken by the image pickup device 27 is taken into the processing device 21 from the image pickup device 27 (S21) (target image taking means). The photographed image data may be temporarily stored in a buffer (not shown) or the memory 22, taken out, and taken into the processing device 21. An example of the target image is shown in FIG. 10, and an enlarged view thereof is shown in FIG. In the target image, in addition to the surface pattern and the internal pattern, an image (part) of a foreign substance and an image (part) of dirt 1 and dirt 2 appear. Among these, the image of the foreign matter overlaps a part of the letter A on the surface pattern. In addition, the image of the stain 2 overlaps a part of the chip image of the internal pattern.
検査対象物（積層体）Ｓu は搬送路を搬送され，特定の位置において照明下で撮影される。したがって，検査対象画像（単に，対象画像ともいう）には位置ずれ，回転等（これらをまとめて変位，変位量，相対的変位量等という）が含まれている。そこでこのような変位による誤検知を防止するために，対象画像から表面パターンおよび内部パターンの領域を切出し，これらの領域の各パターンと登録表面パターン，登録内部パターンとのパターンマッチングを行い，表面パターン，内部パターンの相対的変位量（登録パターンを基準としても対象画像を基準としてもよい）をそれぞれ算出する（Ｓ22）（内部パターン変位量算出手段，表面パターン変位量算出手段）。 The inspection object (laminated body) Su is transported along the transport path and photographed under illumination at a specific position. Therefore, the inspection target image (also simply referred to as the target image) includes displacement, rotation, etc. (collectively referred to as displacement, displacement amount, relative displacement amount, etc.). Therefore, in order to prevent such misdetection due to displacement, the surface pattern and internal pattern regions are cut out from the target image, and pattern matching between each pattern in these regions and the registered surface pattern and registered internal pattern is performed. The relative displacement amount of the internal pattern (which may be based on the registered pattern or the target image) is calculated (S22) (internal pattern displacement amount calculation means, surface pattern displacement amount calculation means).
変位量算出の様子が図10に示されている。登録表面パターンと対象画像の表面パターンとの変位量が（Δｘp，Δｙp，Δθp）で表わされ，登録内部パターンと対象画像の内部パターンとの変位量が（Δｘi，Δｙi，Δθi）で表わされている。 FIG. 10 shows how the displacement amount is calculated. Displacement of the surface pattern of the registration surface pattern and the target image (Δx p, Δy p, Δθ p) is represented by, registration inside the pattern and the amount of displacement of the internal pattern of the target image (Δx i, Δy i, Δθ i ).
図３において，表面パターンに関する処理（内部パターンの消去，表面パターンのマスク処理）がＳ23〜Ｓ25として示され，内部パターンに関する処理（表面パターンの消去，内部パターンのマスク処理）がＳ26〜Ｓ28として示され，これらはフローチャート上並列に描かれている。これはＳ23〜Ｓ25とＳ26〜Ｓ28が同じ内容の処理を行っているので分りやすくするためであり，並列処理されるという意味ではない。 In FIG. 3, the processes related to the surface pattern (erasing of the internal pattern, masking of the surface pattern) are shown as S23 to S25, and the processes relating to the internal pattern (erasing of the surface pattern, masking of the internal pattern) are shown as S26 to S28. These are drawn in parallel on the flowchart. This is for the sake of easy understanding because S23 to S25 and S26 to S28 perform the same processing, and does not mean that they are processed in parallel.
まず，表面パターンに関する処理（Ｓ23〜Ｓ25）について説明する。 First, the process (S23 to S25) regarding the surface pattern will be described.
対象画像から内部パターンを消去する処理（内部パターン消去手段）は，内部パターン除去処理（Ｓ23）（内部パターン除去手段）と，内部パターン輪郭除去処理（Ｓ24）（内部パターン輪郭除去手段）とを含む。 The process of erasing the internal pattern from the target image (internal pattern erasing means) includes an internal pattern removal process (S23) (internal pattern removal means) and an internal pattern outline removal process (S24) (internal pattern outline removal means). .
図11に示すように，先に（Ｓ22で）算出した変位量（Δｘi，Δｙi，Δθi）を用いて登録内部パターンと対象画像の位置，角度を一致させ（アフィン変換），内部パターンを除去するために，登録内部パターン画像（データ）から対象画像（データ）を減算（除算）して，それらの差分画像，すなわち差分画像１（表面パターン）（データ）（第１の表面パターン差分画像データ）を得る（Ｓ23）。この差分画像１（表面パターン）には，対象画像の表面パターンと欠陥画像（異物，汚れ１，２）と内部パターンの輪郭（の一部）が残る。汚れ２の内部パターンに重なっている部分も濃度差の分だけ残る。その拡大図が図19に示されている。 As shown in FIG. 11, the registered internal pattern is matched with the position and angle of the target image (affine transformation) using the displacement amounts (Δx i , Δy i , Δθ i ) calculated previously (in S22), and the internal pattern To subtract (divide) the target image (data) from the registered internal pattern image (data) to obtain the difference image, that is, the difference image 1 (surface pattern) (data) (first surface pattern difference). Image data) is obtained (S23). In the difference image 1 (surface pattern), the surface pattern of the target image, the defect image (foreign matter, dirt 1 and 2), and the outline of the internal pattern (part thereof) remain. The part of the dirt 2 that overlaps the internal pattern remains as much as the difference in density. The enlarged view is shown in FIG.
図12に示すように，Ｓ23で得られた差分画像１（表面パターン）（データ）から先に得られた（Ｓ13）内部パターン閾値画像（データ）を減算（除算）してそれらの差分画像，すなわち差分画像２（表面パターン）（第２の表面パターン差分画像データ）を得る（Ｓ24）。これにより，残っていた内部パターンの輪郭（の一部）が除去され，内部パターンに関する画像（データ）は完全に消去される。差分画像２（表面パターン）には表面パターンと欠陥画像（異物，汚れ１，２）が残る。汚れ２については内部パターンの輪郭に相当する部分が消えている。その拡大図は図20に示されている。 As shown in FIG. 12, the difference image 1 (surface pattern) (data) obtained in S23 is previously obtained (S13) by subtracting (dividing) the internal pattern threshold image (data) to obtain these difference images, That is, difference image 2 (surface pattern) (second surface pattern difference image data) is obtained (S24). As a result, the outline (part) of the remaining internal pattern is removed, and the image (data) related to the internal pattern is completely erased. In the difference image 2 (surface pattern), the surface pattern and the defect image (foreign matter, dirt 1, 2) remain. For the stain 2, the portion corresponding to the outline of the internal pattern has disappeared. An enlarged view is shown in FIG.
図13に示すように，表面パターンを消去するために表面パターンのマスク処理が行なわれる（Ｓ25）（第１のマスキング手段）。すなわち，差分画像２（表面パターン）（データ）に，先に（Ｓ12）得た表面パターンマスク画像（データ）を重ね（マスキング），表面パターンを除去する。これにより得られた画像（データ）を差分画像３−１とし，その拡大図が図21に示されている。異物と汚れ１，２の画像（部分）（データ）が残っているが，異物に関しては表面パターンと重なっている部分はマスキング処理により，表面パターンとともに除去されている。 As shown in FIG. 13, masking of the surface pattern is performed to erase the surface pattern (S25) (first masking means). That is, the surface pattern mask image (data) obtained previously (S12) is superimposed (masking) on the difference image 2 (surface pattern) (data) to remove the surface pattern. An image (data) obtained in this way is designated as a difference image 3-1, and an enlarged view thereof is shown in FIG. The image (part) (data) of the foreign matter and dirt 1 and 2 remains, but the foreign matter is removed together with the surface pattern by the masking process.
次に，内部パターンに関する処理（Ｓ26〜Ｓ28）について説明する。 Next, processing related to the internal pattern (S26 to S28) will be described.
対象画像から表面パターンを消去する処理（表面パターン消去手段）は，表面パターン除去処理（Ｓ26）（表面パターン除去手段）と，表面パターン輪郭除去処理（Ｓ27）（表面パターン輪郭除去手段）とを含む。 The process of erasing the surface pattern from the target image (surface pattern erasing means) includes a surface pattern removal process (S26) (surface pattern removal means) and a surface pattern outline removal process (S27) (surface pattern outline removal means). .
図14に示すように，先に（Ｓ22で）算出した変位量（Δｘp，Δｙp，Δθp）を用いて登録表面パターンと対象画像の位置，角度を一致させ（アフィン変換），表面パターンを除去するために，登録表面パターン画像（データ）から対象画像（データ）を減算（除算）して，それらの差分画像，すなわち差分画像１（内部パターン）（データ）（第１の内部パターン差分画像データ）を得る（Ｓ26）。この差分画像１（内部パターン）には，対象画像の内部パターンと欠陥画像（異物，汚れ１，２）と表面パターンの輪郭（の一部）が残る。異物の表面パターンに重なっている部分も濃度差の分だけ残る。その拡大図が図22に示されている。 As shown in FIG. 14, previously (in S22) the calculated amount of displacement (Δx p, Δy p, Δθ p) position of the registration surface pattern and the target image using the, to match the angle (affine transformation), the surface pattern To subtract (divide) the target image (data) from the registered surface pattern image (data) to obtain the difference image, that is, the difference image 1 (internal pattern) (data) (first internal pattern difference). Image data) is obtained (S26). In the difference image 1 (internal pattern), the internal pattern of the target image, the defect image (foreign matter, dirt 1 and 2), and the contour of the surface pattern (part thereof) remain. A portion overlapping the surface pattern of the foreign matter remains as much as the density difference. An enlarged view is shown in FIG.
図15に示すように，Ｓ26で得られた差分画像１（内部パターン）（データ）から先に得られた（Ｓ13）表面パターン閾値画像（データ）を減算（除算）してそれらの差分画像，すなわち差分画像２（内部パターン）（第２の内部パターン差分画像データ）を得る（Ｓ27）。これにより，残っていた表面パターンの輪郭（の一部）が除去され，表面パターンに関する画像（データ）は完全に消去される。差分画像２（内部パターン）には内部パターンと欠陥画像（異物，汚れ１，２）が残る。異物については表面パターンの輪郭に相当する部分が消えている。その拡大図は図23に示されている。 As shown in FIG. 15, the difference image 1 (internal pattern) obtained in S26 (data) is obtained (S13) by subtracting (dividing) the surface pattern threshold image (data) to obtain these difference images, That is, difference image 2 (internal pattern) (second internal pattern difference image data) is obtained (S27). As a result, the outline (part of) of the remaining surface pattern is removed, and the image (data) relating to the surface pattern is completely erased. In the difference image 2 (internal pattern), the internal pattern and the defect image (foreign matter, dirt 1, 2) remain. As for the foreign matter, the portion corresponding to the contour of the surface pattern disappears. The enlarged view is shown in FIG.
図16に示すように，内部パターンを消去するために内部パターンのマスク処理が行なわれる（Ｓ28）（第２のマスキング手段）。すなわち，差分画像２（内部パターン）（データ）に，先に（Ｓ12）得た内部パターンマスク画像（データ）を重ね（マスキング），内部パターンを除去する。これにより得られた画像（データ）を差分画像３−２とし，その拡大図が図24に示さている。異物と汚れ１，２の画像（部分）（データ）が残っているが，汚れ２に関しては内部パターンと重なっている部分はマスキング処理により，内部パターンとともに除去されている。 As shown in FIG. 16, the internal pattern is masked to erase the internal pattern (S28) (second masking means). That is, the internal pattern mask image (data) obtained previously (S12) is superimposed (masking) on the difference image 2 (internal pattern) (data) to remove the internal pattern. The image (data) obtained in this way is referred to as a difference image 3-2, and an enlarged view thereof is shown in FIG. The image (part) (data) of the foreign matter and the stains 1 and 2 remains, but with respect to the stain 2, the portion overlapping the internal pattern is removed together with the internal pattern by the masking process.
Ｓ25で得られた差分画像３−１とＳ28で得られた差分画像３−２との最大値（ＭＡＸ）をとり，最終的な欠陥についての合成画像（ＭＡＸ画像）（判定対象画像）を得る（Ｓ29）（合成手段）。その拡大図は図25に示されている。 The maximum value (MAX) of the difference image 3-1 obtained in S25 and the difference image 3-2 obtained in S28 is taken to obtain a composite image (MAX image) (determination target image) for the final defect. (S29) (synthesis means). The enlarged view is shown in FIG.
そうして，最後に，合成画像に基づいて異物，汚れ等の判定処理を実施し，対象積層体の良否の結論を得る。判定処理は，たとえば合成画像の二値化処理，面積算出，算出面積の弁別（閾値処理）等の公知の方法により行うことができる。 Then, finally, a determination process for foreign matter, dirt, and the like is performed based on the composite image, and a conclusion on the quality of the target laminate is obtained. The determination processing can be performed by a known method such as binarization processing of the composite image, area calculation, or discrimination of the calculated area (threshold processing).
上記実施例においては表面パターンと内部パターンの二層のパターンを用いて積層体における異物，汚れ等を検査する方法，装置，コンピュータ・プログラム（アルゴリズム）について説明したが，三層以上の標準（基準）パターンを用いても同様に積層体の検査が可能である。 In the above embodiment, a method, an apparatus, and a computer program (algorithm) for inspecting foreign matter, dirt, etc. in a laminate using a surface pattern and an internal pattern have been described. ) The laminate can be similarly inspected using the pattern.
すなわちこの場合には，積層体の複数層のそれぞれに存在する標準ないしは基準パターンのパターン画像を登録しておく（登録手段）。検査対象積層体の対象画像を撮像装置によって撮像し，対象画像データを得る（対象画像データ取得手段，撮像手段）。一の層に関して，対象画像から当該一の層を除く他の層の登録（基準，標準）パターン画像を順次差し引いた差分画像を形成し，該差分画像に対して上記一の層の登録パターンによるマスキングを施して当該一の層についての残存物画像を形成する処理を行う（残存物画像形成手段）。これは図３のＳ23〜Ｓ25またはＳ26〜Ｓ28に相当する処理である。そして，前記一の層についての残存物画像形成処理と同じ処理を，他のすべての層について行う（制御手段）。複数の層について得られた残存物画像を合成して（ＭＡＸ処理）合成画像を得る（Ｓ29の処理に相当）。そして最後に，該合成画像に基づいて検査対象積層体の良否を判定する（Ｓ30の処理に相当）。 That is, in this case, pattern images of standard or reference patterns existing in each of a plurality of layers of the laminate are registered (registration means). A target image of the inspection target laminate is captured by an imaging device to obtain target image data (target image data acquisition means, imaging means). For one layer, a difference image is formed by sequentially subtracting the registration (reference, standard) pattern image of the other layer excluding the one layer from the target image, and the difference image is based on the registration pattern of the one layer. Masking is performed to form a residual image for the one layer (residual image forming means). This is processing corresponding to S23 to S25 or S26 to S28 in FIG. Then, the same process as the residual image forming process for the one layer is performed for all the other layers (control means). The residual images obtained for a plurality of layers are combined (MAX processing) to obtain a composite image (corresponding to the processing of S29). Finally, the quality of the inspection target laminate is determined based on the composite image (corresponding to the process of S30).
図３のＳ22に相当する変位量算出処理や，Ｓ24，Ｓ27に示すような閾値画像による輪郭除去処理等を行ってもよいのはいうまでもない。 Needless to say, displacement calculation processing corresponding to S22 in FIG. 3, contour removal processing using threshold images as shown in S24 and S27, and the like may be performed.
20 検査装置
21 処理装置
27 撮像装置
Ｓu 検査対象積層体
20 Inspection equipment
21 Processing equipment
27 Imaging device Su Lamination object
Claims (20)
少なくとも検査すべき対象積層体の対象画像データと登録表面パターン画像データとの差の演算処理を行い，内部パターン差分画像データを得る表面パターン消去手段，
登録表面パターンのマスク画像データを上記表面パターン差分画像データに作用させて第１の全パターン除去後画像データを得る第１のマスキング手段，
登録内部パターンのマスク画像データを上記内部パターン差分画像データに作用させて第２の全パターン除去後画像データを得る第２のマスキング手段，および
上記第１の全パターン除去後画像データと上記第２の全パターン除去後画像データとの合成により最終的な判定対象画像データを得る合成手段，
を備える積層体の検査装置。 An internal pattern erasing means for performing calculation processing of a difference between at least target image data of a target laminate to be inspected and registered internal pattern image data, and obtaining surface pattern difference image data;
A surface pattern erasing means for performing calculation processing of a difference between at least target image data of a target laminate to be inspected and registered surface pattern image data to obtain internal pattern difference image data;
First masking means for applying mask image data of a registered surface pattern to the surface pattern difference image data to obtain image data after removal of the first full pattern;
Second masking means for obtaining the image data after removal of the second entire pattern by applying the mask image data of the registered internal pattern to the internal pattern difference image data; and the image data after removal of the first whole pattern and the second Means for obtaining final judgment target image data by synthesizing with image data after removing all patterns of
A laminate inspection apparatus comprising:
上記表面パターン消去手段は，対象画像と登録表面パターン画像との相対的変位を調整して差の演算処理を行うものである，
請求項１に記載の積層体の検査装置。 The internal pattern erasing means adjusts the relative displacement between the target image and the registered internal pattern image and performs a difference calculation process.
The surface pattern erasing means adjusts the relative displacement between the target image and the registered surface pattern image and performs a difference calculation process.
The laminated body inspection apparatus according to claim 1.
対象画像と登録内部パターン画像との相対的変位を調整して対象画像データと登録内部パターン画像データとの第１の表面パターン差分画像データを作成する内部パターン除去手段と，
上記第１の表面パターン差分画像データに内部パターン閾値画像データを作用させて第２の表面パターン差分画像データを作成する内部パターン輪郭除去手段とを備え，
上記第１のマスキング手段は，上記第２の表面パターン差分画像データに登録表面パターンのマスク画像データを作用させるものであり，
上記表面パターン消去手段は，
対象画像と登録表面パターン画像との相対的変位を調整して対象画像データと登録表面パターン画像データとの第１の内部パターン差分画像データを作成する表面パターン除去手段と，
上記第１の内部パターン差分画像データに表面パターン閾値画像データを作用させて第２の内部パターン差分画像データを作成する表面パターン輪郭除去手段とを備え，
上記第２のマスキング手段は，上記第２の内部パターン差分画像データに登録内部パターンのマスク画像データを作用させるものである，
請求項１に記載の積層体の検査装置。 The internal pattern erasing means is
An internal pattern removing unit that adjusts the relative displacement between the target image and the registered internal pattern image to create first surface pattern difference image data between the target image data and the registered internal pattern image data;
Internal pattern contour removing means for generating internal surface threshold image data by applying internal pattern threshold image data to the first surface pattern differential image data,
The first masking means applies mask image data of a registered surface pattern to the second surface pattern difference image data,
The surface pattern erasing means is
Surface pattern removing means for adjusting the relative displacement between the target image and the registered surface pattern image to create first internal pattern difference image data between the target image data and the registered surface pattern image data;
Surface pattern contour removing means for generating second internal pattern difference image data by applying surface pattern threshold image data to the first internal pattern difference image data,
The second masking means applies mask image data of a registered internal pattern to the second internal pattern difference image data.
The laminated body inspection apparatus according to claim 1.
対象画像と登録表面パターン画像との相対的変位量を算出する表面パターン変位量算出手段，
をさらに備える，請求項３または４に記載の積層体の検査装置。 An internal pattern displacement amount calculating means for calculating a relative displacement amount between the target image and the registered internal pattern image; and a surface pattern displacement amount calculating means for calculating a relative displacement amount between the target image and the registered surface pattern image;
The laminate inspection apparatus according to claim 3 or 4, further comprising:
少なくとも検査すべき対象積層体の対象画像データと登録表面パターン画像データとの差の演算処理を行って，内部パターン差分画像データを生成し，
登録表面パターンのマスク画像データを上記表面パターン差分画像データに作用させて第１の全パターン除去後画像データを生成する第１のマスキングを行い，
登録内部パターンのマスク画像データを上記内部パターン差分画像データに作用させて第２の全パターン除去後画像データを生成する第２のマスキングを行い，そして
上記第１の全パターン除去後画像データと上記第２の全パターン除去後画像データとの合成により最終的な判定対象画像データを生成する，
積層体の検査方法。 At least calculate the difference between the target image data of the target laminate to be inspected and the registered internal pattern image data to generate surface pattern difference image data,
At least calculate the difference between the target image data of the target laminate to be inspected and the registered surface pattern image data to generate internal pattern difference image data,
Applying mask image data of the registered surface pattern to the surface pattern difference image data to perform first masking for generating image data after removing the first entire pattern;
The masking image data of the registered internal pattern is applied to the internal pattern difference image data to perform the second masking for generating the image data after the removal of the second entire pattern, and the image data after the removal of the first entire pattern and the image data The final determination target image data is generated by combining with the image data after removal of the second entire pattern.
Inspection method for laminates.
上記内部パターン差分画像データ生成において，対象画像と登録表面パターン画像との相対的変位を調整して差の演算処理を行う，
請求項11に記載の積層体の検査方法。 In the above surface pattern difference image data generation, the relative displacement between the target image and the registered internal pattern image is adjusted, and the difference is calculated.
In the internal pattern difference image data generation, the relative displacement between the target image and the registered surface pattern image is adjusted, and the difference is calculated.
12. The method for inspecting a laminate according to claim 11.
対象画像と登録内部パターン画像との相対的変位を調整して対象画像データと登録内部パターン画像データとの第１の表面パターン差分画像データを生成し，
上記第１の表面パターン差分画像データに内部パターン閾値画像データを作用させて第２の表面パターン差分画像データを作成し，そして
上記第１のマスキングにおいて，上記第２の表面パターン差分画像データに登録表面パターンのマスク画像データを作用させ，
上記内部パターン差分画像データ生成において，
対象画像と登録表面パターン画像との相対的変位を調整して対象画像データと登録表面パターン画像データとの第１の内部パターン差分画像データを生成し，
上記第１の内部パターン差分画像データに表面パターン閾値画像データを作用させて第２の内部パターン差分画像データを作成し，
上記第２のマスキングにおいて，上記第２の内部パターン差分画像データに登録内部パターンのマスク画像データを作用させる，
請求項11に記載の積層体の検査方法。 In the surface pattern difference image data generation,
Adjusting the relative displacement between the target image and the registered internal pattern image to generate first surface pattern difference image data between the target image data and the registered internal pattern image data;
The second surface pattern difference image data is generated by causing the internal pattern threshold image data to act on the first surface pattern difference image data, and is registered in the second surface pattern difference image data in the first masking. Apply mask image data of surface pattern,
In the internal pattern difference image data generation,
Adjusting the relative displacement between the target image and the registered surface pattern image to generate first internal pattern difference image data between the target image data and the registered surface pattern image data;
Surface pattern threshold image data is applied to the first internal pattern difference image data to generate second internal pattern difference image data;
In the second masking, mask image data of a registered internal pattern is applied to the second internal pattern difference image data.
12. The method for inspecting a laminate according to claim 11.
少なくとも検査すべき対象積層体の対象画像データと登録表面パターン画像データとの差の演算処理を行って，内部パターン差分画像データを生成し，
登録表面パターンのマスク画像データを上記表面パターン差分画像データに作用させて第１の全パターン除去後画像データを生成する第１のマスキングを行い，
登録内部パターンのマスク画像データを上記内部パターン差分画像データに作用させて第２の全パターン除去後画像データを生成する第２のマスキングを行い，そして
上記第１の全パターン除去後画像データと上記第２の全パターン除去後画像データとの合成により最終的な判定対象画像データを生成するようにコンピュータを制御するための積層体の検査プログラム。 At least calculate the difference between the target image data of the target laminate to be inspected and the registered internal pattern image data to generate surface pattern difference image data,
At least calculate the difference between the target image data of the target laminate to be inspected and the registered surface pattern image data to generate internal pattern difference image data,
Applying mask image data of the registered surface pattern to the surface pattern difference image data to perform first masking for generating image data after removing the first entire pattern;
The masking image data of the registered internal pattern is applied to the internal pattern difference image data to perform the second masking for generating the image data after the removal of the second entire pattern, and the image data after the removal of the first entire pattern and the image data A laminate inspection program for controlling a computer to generate final determination target image data by combining with image data after removal of the second entire pattern.
検査対象積層体の対象画像を取得する対象画像取得手段，
一の層に関して，対象画像から当該一の層を除く他の層の登録パターン画像を順次差し引いた差分画像を形成し，該差分画像に対して上記一の層の登録パターンによるマスキングを施して当該一の層についての残存物画像を形成する残存物画像形成手段，
上記残存物画像形成手段による処理を，すべての層について行うよう制御する制御手段，
複数の層について得られた残存物画像を合成する画像合成手段，および
該合成画像に基づいて検査対象積層体の良否を判定する判定手段，
を備える積層体の検査装置。 A registration means for registering standard patterns existing in each of the multiple layers of the laminate;
Target image acquisition means for acquiring a target image of the inspection target laminate;
For one layer, a difference image is formed by sequentially subtracting the registration pattern image of the other layer excluding the one layer from the target image, and the difference image is masked by the registration pattern of the one layer. A residue image forming means for forming a residue image for one layer;
Control means for controlling the processing by the residual image forming means for all layers;
Image synthesizing means for synthesizing residual images obtained for a plurality of layers, and determination means for judging the quality of the inspection target laminate based on the synthesized image;
A laminate inspection apparatus comprising:
検査対象積層体の対象画像を取得し，
一の層に関して，対象画像から当該一の層を除く他の層の標準パターン画像を順次差し引いた差分画像を形成し，該差分画像に対して上記一の層の標準パターンによるマスキングを施して当該一の層についての残存物画像を形成する処理を行い，
前記一の層についての残存物画像形成処理と同じ処理を，他のすべての層について行い，
複数の層について得られた残存物画像を合成して合成画像を得，
該合成画像に基づいて検査対象積層体の良否を判定する，
積層体の検査方法。 Prepare a standard pattern image of the pattern that exists in each of the multiple layers of the stack,
Obtain the target image of the stack to be inspected,
For one layer, a difference image is formed by sequentially subtracting the standard pattern image of the other layer excluding the one layer from the target image, and the difference image is masked by the standard pattern of the one layer. A process of forming a residual image for one layer,
The same process as the residual image forming process for the one layer is performed for all the other layers,
Combining the residual images obtained for multiple layers to obtain a composite image,
Determining pass / fail of the laminate to be inspected based on the composite image;
Inspection method for laminates.
検査対象積層体の対象画像を取得し，
一の層に関して，対象画像から当該一の層を除く他の層の標準パターン画像を順次差し引いた差分画像を形成し，該差分画像に対して上記一の層の標準パターンによるマスキングを施して当該一の層についての残存物画像を形成する処理を行い，
前記一の層についての残存物画像形成処理と同じ処理を，他のすべての層について行うよう制御し，
複数の層について得られた残存物画像を合成して合成画像を得，そして
該合成画像に基づいて検査対象積層体の良否を判定するようにコンピュータを制御する，
積層体の検査プログラム。 Register the standard pattern that exists in each of the multiple layers of the stack,
Obtain the target image of the stack to be inspected,
For one layer, a difference image is formed by sequentially subtracting the standard pattern image of the other layer excluding the one layer from the target image, and the difference image is masked by the standard pattern of the one layer. A process of forming a residual image for one layer,
Control to perform the same process as the residual image forming process for the one layer for all the other layers;
A composite image is obtained by combining the residual images obtained for a plurality of layers, and the computer is controlled so as to determine the quality of the laminate to be inspected based on the composite image;
Laminate inspection program.
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020108298A (en) * | 2018-12-28 | 2020-07-09 | 株式会社Ihi | Foreign matter detection device and coil device |
Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05107195A (en) * | 1991-10-18 | 1993-04-27 | Nippon Steel Corp | Optical inspecting apparatus for substrate |
| JPH08152416A (en) * | 1994-09-28 | 1996-06-11 | Toray Ind Inc | Defect detecting device for sheet-shaped object |
| JPH1114334A (en) * | 1997-06-25 | 1999-01-22 | Central Glass Co Ltd | Defect detecting method and device of netset or wired glass |
| JPH1173513A (en) * | 1997-06-25 | 1999-03-16 | Matsushita Electric Works Ltd | Device and method for pattern inspection |
| US6243162B1 (en) * | 1997-09-09 | 2001-06-05 | Melzer Maschinenbau Gmbh | System for optically examining plastic card surfaces |
| JP2003256812A (en) * | 2002-02-26 | 2003-09-12 | Kao Corp | Make-up simulation device and method |
| US20090257645A1 (en) * | 2008-04-14 | 2009-10-15 | Chen Chien-Huei Adam | Methods and systems for determining a defect criticality index for defects on wafers |
| JP2012026908A (en) * | 2010-07-26 | 2012-02-09 | Kyodo Printing Co Ltd | Defect inspection method and defect inspection device |
| JP2013092469A (en) * | 2011-10-26 | 2013-05-16 | Nippon Filcon Co Ltd | Work inspection system |
| JP2016090410A (en) * | 2014-11-06 | 2016-05-23 | 東レエンジニアリング株式会社 | Device and method for inspecting substrate |
-
2016
- 2016-10-31 JP JP2016212685A patent/JP6776815B2/en active Active
Patent Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05107195A (en) * | 1991-10-18 | 1993-04-27 | Nippon Steel Corp | Optical inspecting apparatus for substrate |
| JPH08152416A (en) * | 1994-09-28 | 1996-06-11 | Toray Ind Inc | Defect detecting device for sheet-shaped object |
| JPH1114334A (en) * | 1997-06-25 | 1999-01-22 | Central Glass Co Ltd | Defect detecting method and device of netset or wired glass |
| JPH1173513A (en) * | 1997-06-25 | 1999-03-16 | Matsushita Electric Works Ltd | Device and method for pattern inspection |
| US6243162B1 (en) * | 1997-09-09 | 2001-06-05 | Melzer Maschinenbau Gmbh | System for optically examining plastic card surfaces |
| JP2003256812A (en) * | 2002-02-26 | 2003-09-12 | Kao Corp | Make-up simulation device and method |
| US20090257645A1 (en) * | 2008-04-14 | 2009-10-15 | Chen Chien-Huei Adam | Methods and systems for determining a defect criticality index for defects on wafers |
| JP2012026908A (en) * | 2010-07-26 | 2012-02-09 | Kyodo Printing Co Ltd | Defect inspection method and defect inspection device |
| JP2013092469A (en) * | 2011-10-26 | 2013-05-16 | Nippon Filcon Co Ltd | Work inspection system |
| JP2016090410A (en) * | 2014-11-06 | 2016-05-23 | 東レエンジニアリング株式会社 | Device and method for inspecting substrate |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020108298A (en) * | 2018-12-28 | 2020-07-09 | 株式会社Ihi | Foreign matter detection device and coil device |
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