JP6768755B2 - スリットノズルおよび基板処理装置 - Google Patents
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また、この発明の第2態様は、先端部にスリット状の吐出口を有するスリットノズルであって、吐出口の長手方向に延設される第1本体部と、第1本体部と対向するように配置されて吐出口を形成する第2本体部と、長手方向における第2本体部の中央領域で第2本体部の先端部を第1本体部に対して変位させて吐出口の中央領域での開口寸法を調整する中央調整機構と、長手方向における第2本体部の両端領域で第2本体部の先端部を第1本体部に対して変位させて吐出口の両端領域での開口寸法を調整する両端調整機構とを備え、中央調整機構および両端調整機構はいずれも第2本体部の後端部に対する調整ネジの螺入量によって第2本体部の先端部の変位量を調整可能に設けられ、第2本体部において両端領域と中央領域との境界に切り込みが設けられることで両端調整機構により第2本体部の先端部を変位させる変位能力が中央調整機構により第2本体部の先端部を変位させる変位能力よりも高いことを特徴としている。
また、この発明の第3態様は、先端部にスリット状の吐出口を有するスリットノズルであって、吐出口の長手方向に延設される第1本体部と、第1本体部と対向するように配置されて吐出口を形成する第2本体部と、長手方向における第2本体部の中央領域で第2本体部の先端部を第1本体部に対して変位させて吐出口の中央領域での開口寸法を調整する中央調整機構と、長手方向における第2本体部の両端領域で第2本体部の先端部を第1本体部に対して変位させて吐出口の両端領域での開口寸法を調整する両端調整機構とを備え、中央調整機構および両端調整機構はいずれも第2本体部の後端部に対する調整ネジの螺入量によって第2本体部の先端部の変位量を調整可能に設けられ、第2本体部が、長手方向における第1本体部の中央領域に対向するように配置される中央対向部材と、長手方向の一方側で中央対向部材に隣接しながら第1本体部の第1端部領域に対向するように配置される第1端部対向部材と、長手方向の他方側で中央対向部材に隣接しながら第1本体部の第2端部領域に対向するように配置される第2端部対向部材とを有し、第1端部対向部材、中央対向部材および第2端部対向部材が互いに分離して配置されることで両端調整機構により第2本体部の先端部を変位させる変位能力が中央調整機構により第2本体部の先端部を変位させる変位能力よりも高いことを特徴としている。
また、この発明の第5態様は、基板処理装置であって、先端部にスリット状の吐出口を有するスリットノズルと、基板の表面を吐出口と対向させながら吐出口の長手方向と直交する方向に基板を相対的に移動させる移動機構と、スリットノズルに処理液を供給して吐出口から処理液を基板の表面に向けて吐出させる処理液供給機構とを備え、スリットノズルは、長手方向に延設される第1本体部と、第1本体部と対向するように配置されて吐出口を形成する第2本体部と、長手方向における第2本体部の中央領域で第2本体部の先端部を第1本体部に対して変位させて吐出口の中央領域での開口寸法を調整する中央調整機構と、長手方向における第2本体部の両端領域で第2本体部の先端部を第1本体部に対して変位させて吐出口の両端領域での開口寸法を調整する両端調整機構とを備え、中央調整機構および両端調整機構はいずれも第2本体部の後端部に対する調整ネジの螺入量によって第2本体部の先端部の変位量を調整可能に設けられ、第2本体部において両端領域と中央領域との境界に切り込みが設けられることで両端調整機構により第2本体部の先端部を変位させる変位能力が中央調整機構により第2本体部の先端部を変位させる変位能力よりも高いことを特徴としている。
また、この発明の第6態様は、基板処理装置であって、先端部にスリット状の吐出口を有するスリットノズルと、基板の表面を吐出口と対向させながら吐出口の長手方向と直交する方向に基板を相対的に移動させる移動機構と、スリットノズルに処理液を供給して吐出口から処理液を基板の表面に向けて吐出させる処理液供給機構とを備え、スリットノズルは、長手方向に延設される第1本体部と、第1本体部と対向するように配置されて吐出口を形成する第2本体部と、長手方向における第2本体部の中央領域で第2本体部の先端部を第1本体部に対して変位させて吐出口の中央領域での開口寸法を調整する中央調整機構と、長手方向における第2本体部の両端領域で第2本体部の先端部を第1本体部に対して変位させて吐出口の両端領域での開口寸法を調整する両端調整機構とを備え、中央調整機構および両端調整機構はいずれも第2本体部の後端部に対する調整ネジの螺入量によって第2本体部の先端部の変位量を調整可能に設けられ、第2本体部が、長手方向における第1本体部の中央領域に対向するように配置される中央対向部材と、長手方向の一方側で中央対向部材に隣接しながら第1本体部の第1端部領域に対向するように配置される第1端部対向部材と、長手方向の他方側で中央対向部材に隣接しながら第1本体部の第2端部領域に対向するように配置される第2端部対向部材とを有し、第1端部対向部材、中央対向部材および第2端部対向部材が互いに分離して配置されることで両端調整機構により第2本体部の先端部を変位させる変位能力が中央調整機構により第2本体部の先端部を変位させる変位能力よりも高いことを特徴としている。
8…塗布液供給機構(処理液供給機構)
52…吸着・走行制御機構(移動機構)
71…スリットノズル
719…調整ネジ
710…吐出口
710a…第1端部吐出口
710b…第2端部吐出口
710c…中央吐出口
712A…第1端部対向部材
712B…第2端部対向部材
712C…中央対向部材
712a…第1端部領域
712b…第2端部領域
712c…中央領域
712d,712e…切込部
Da,Db,Dc…開口寸法
S…基板
X…搬送方向(開口寸法方向)
Y…水平方向(吐出口の長手方向)
Z…鉛直方向(高さ方向)
Claims (7)
- 先端部にスリット状の吐出口を有するスリットノズルであって、
前記吐出口の長手方向に延設される第1本体部と、
前記第1本体部と対向するように配置されて前記吐出口を形成する第2本体部と、
前記長手方向における前記第2本体部の中央領域で前記第2本体部の先端部を前記第1本体部に対して変位させて前記吐出口の中央領域での開口寸法を調整する中央調整機構と、
前記長手方向における前記第2本体部の両端領域で前記第2本体部の先端部を前記第1本体部に対して変位させて前記吐出口の両端領域での開口寸法を調整する両端調整機構とを備え、
前記中央調整機構および前記両端調整機構はいずれも前記第2本体部の後端部に対する調整ネジの螺入量によって前記第2本体部の先端部の変位量を調整可能に設けられ、
前記吐出口の開口寸法方向において、前記第2本体部の両端領域が前記第2本体部の中央領域よりも薄く仕上げられることで前記両端調整機構により前記第2本体部の先端部を変位させる変位能力が前記中央調整機構により前記第2本体部の先端部を変位させる変位能力よりも高いことを特徴とするスリットノズル。 - 先端部にスリット状の吐出口を有するスリットノズルであって、
前記吐出口の長手方向に延設される第1本体部と、
前記第1本体部と対向するように配置されて前記吐出口を形成する第2本体部と、
前記長手方向における前記第2本体部の中央領域で前記第2本体部の先端部を前記第1本体部に対して変位させて前記吐出口の中央領域での開口寸法を調整する中央調整機構と、
前記長手方向における前記第2本体部の両端領域で前記第2本体部の先端部を前記第1本体部に対して変位させて前記吐出口の両端領域での開口寸法を調整する両端調整機構とを備え、
前記中央調整機構および前記両端調整機構はいずれも前記第2本体部の後端部に対する調整ネジの螺入量によって前記第2本体部の先端部の変位量を調整可能に設けられ、
前記第2本体部において前記両端領域と前記中央領域との境界に切り込みが設けられることで前記両端調整機構により前記第2本体部の先端部を変位させる変位能力が前記中央調整機構により前記第2本体部の先端部を変位させる変位能力よりも高いことを特徴とするスリットノズル。 - 先端部にスリット状の吐出口を有するスリットノズルであって、
前記吐出口の長手方向に延設される第1本体部と、
前記第1本体部と対向するように配置されて前記吐出口を形成する第2本体部と、
前記長手方向における前記第2本体部の中央領域で前記第2本体部の先端部を前記第1本体部に対して変位させて前記吐出口の中央領域での開口寸法を調整する中央調整機構と、
前記長手方向における前記第2本体部の両端領域で前記第2本体部の先端部を前記第1本体部に対して変位させて前記吐出口の両端領域での開口寸法を調整する両端調整機構とを備え、
前記中央調整機構および前記両端調整機構はいずれも前記第2本体部の後端部に対する調整ネジの螺入量によって前記第2本体部の先端部の変位量を調整可能に設けられ、
前記第2本体部が、前記長手方向における前記第1本体部の中央領域に対向するように配置される中央対向部材と、前記長手方向の一方側で前記中央対向部材に隣接しながら前記第1本体部の第1端部領域に対向するように配置される第1端部対向部材と、前記長手方向の他方側で前記中央対向部材に隣接しながら前記第1本体部の第2端部領域に対向するように配置される第2端部対向部材とを有し、前記第1端部対向部材、前記中央対向部材および前記第2端部対向部材が互いに分離して配置されることで前記両端調整機構により前記第2本体部の先端部を変位させる変位能力が前記中央調整機構により前記第2本体部の先端部を変位させる変位能力よりも高いことを特徴とするスリットノズル。 - 請求項1ないし3のいずれか一項に記載のスリットノズルであって、
前記中央調整機構および前記両端調整機構はいずれも前記第2本体部の先端部から後端部に向かう高さ方向に沿って配列されて前記2本体部と前記第1本体部を締結する複数のネジを有し、前記複数のネジのうち少なくとも前記先端部側に位置するネジまたは前記後端部側に位置するネジが前記調整ネジとして機能するスリットノズル。 - 先端部にスリット状の吐出口を有するスリットノズルと、
基板の表面を前記吐出口と対向させながら前記吐出口の長手方向と直交する方向に前記基板を相対的に移動させる移動機構と、
前記スリットノズルに処理液を供給して前記吐出口から前記処理液を前記基板の表面に向けて吐出させる処理液供給機構とを備え、
前記スリットノズルは、
前記長手方向に延設される第1本体部と、
前記第1本体部と対向するように配置されて前記吐出口を形成する第2本体部と、
前記長手方向における前記第2本体部の中央領域で前記第2本体部の先端部を前記第1本体部に対して変位させて前記吐出口の中央領域での開口寸法を調整する中央調整機構と、
前記長手方向における前記第2本体部の両端領域で前記第2本体部の先端部を前記第1本体部に対して変位させて前記吐出口の両端領域での開口寸法を調整する両端調整機構とを備え、
前記中央調整機構および前記両端調整機構はいずれも前記第2本体部の後端部に対する調整ネジの螺入量によって前記第2本体部の先端部の変位量を調整可能に設けられ、
前記吐出口の開口寸法方向において、前記第2本体部の両端領域が前記第2本体部の中央領域よりも薄く仕上げられることで前記両端調整機構により前記第2本体部の先端部を変位させる変位能力が前記中央調整機構により前記第2本体部の先端部を変位させる変位能力よりも高いことを特徴とする基板処理装置。 - 先端部にスリット状の吐出口を有するスリットノズルと、
基板の表面を前記吐出口と対向させながら前記吐出口の長手方向と直交する方向に前記基板を相対的に移動させる移動機構と、
前記スリットノズルに処理液を供給して前記吐出口から前記処理液を前記基板の表面に向けて吐出させる処理液供給機構とを備え、
前記スリットノズルは、
前記長手方向に延設される第1本体部と、
前記第1本体部と対向するように配置されて前記吐出口を形成する第2本体部と、
前記長手方向における前記第2本体部の中央領域で前記第2本体部の先端部を前記第1本体部に対して変位させて前記吐出口の中央領域での開口寸法を調整する中央調整機構と、
前記長手方向における前記第2本体部の両端領域で前記第2本体部の先端部を前記第1本体部に対して変位させて前記吐出口の両端領域での開口寸法を調整する両端調整機構とを備え、
前記中央調整機構および前記両端調整機構はいずれも前記第2本体部の後端部に対する調整ネジの螺入量によって前記第2本体部の先端部の変位量を調整可能に設けられ、
前記第2本体部において前記両端領域と前記中央領域との境界に切り込みが設けられることで前記両端調整機構により前記第2本体部の先端部を変位させる変位能力が前記中央調整機構により前記第2本体部の先端部を変位させる変位能力よりも高いことを特徴とする基板処理装置。 - 先端部にスリット状の吐出口を有するスリットノズルと、
基板の表面を前記吐出口と対向させながら前記吐出口の長手方向と直交する方向に前記基板を相対的に移動させる移動機構と、
前記スリットノズルに処理液を供給して前記吐出口から前記処理液を前記基板の表面に向けて吐出させる処理液供給機構とを備え、
前記スリットノズルは、
前記長手方向に延設される第1本体部と、
前記第1本体部と対向するように配置されて前記吐出口を形成する第2本体部と、
前記長手方向における前記第2本体部の中央領域で前記第2本体部の先端部を前記第1本体部に対して変位させて前記吐出口の中央領域での開口寸法を調整する中央調整機構と、
前記長手方向における前記第2本体部の両端領域で前記第2本体部の先端部を前記第1本体部に対して変位させて前記吐出口の両端領域での開口寸法を調整する両端調整機構とを備え、
前記中央調整機構および前記両端調整機構はいずれも前記第2本体部の後端部に対する調整ネジの螺入量によって前記第2本体部の先端部の変位量を調整可能に設けられ、
前記第2本体部が、前記長手方向における前記第1本体部の中央領域に対向するように配置される中央対向部材と、前記長手方向の一方側で前記中央対向部材に隣接しながら前記第1本体部の第1端部領域に対向するように配置される第1端部対向部材と、前記長手方向の他方側で前記中央対向部材に隣接しながら前記第1本体部の第2端部領域に対向するように配置される第2端部対向部材とを有し、前記第1端部対向部材、前記中央対向部材および前記第2端部対向部材が互いに分離して配置されることで前記両端調整機構により前記第2本体部の先端部を変位させる変位能力が前記中央調整機構により前記第2本体部の先端部を変位させる変位能力よりも高いことを特徴とする基板処理装置。
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