JP6767833B2 - 加熱装置 - Google Patents
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Description
A−1.加熱装置100の構成:
図1は、第1実施形態における加熱装置100の外観構成を概略的に示す斜視図であり、図2は、第1実施形態における加熱装置100の平面(上面)構成を概略的に示す説明図であり、図3から図5は、第1実施形態における加熱装置100の断面構成を概略的に示す説明図である。図3には、図2,4,5のIII−IIIの位置における加熱装置100のXZ断面構成が示されており、図4には、図3のIV−IVの位置における加熱装置100のXY断面構成が示されており、図5には、図3のV−Vの位置における加熱装置100のXY断面構成が示されている。各図には、方向を特定するための互いに直交するXYZ軸が示されている。本明細書では、便宜的に、Z軸正方向を上方向といい、Z軸負方向を下方向というものとするが、加熱装置100は実際にはそのような向きとは異なる向きで設置されてもよい。図6以降についても同様である。
上述したように、第1の抵抗発熱体51は、保持体10における第1の領域R1と第2の領域R2とにわたって配置されている。第1の抵抗発熱体51について、第1の領域R1における単位面積あたりの発熱量は、第2の領域R2における単位面積あたりの発熱量と略同一である。本実施形態では、第1の領域R1における第1の抵抗発熱体51の線幅W11が、第2の領域R2における第1の抵抗発熱体51の線幅W12と略同一とされている結果、そのような発熱量の関係が実現されている。
加熱装置100の製造方法は、例えば以下の通りである。初めに、保持体10と柱状支持体20とを作製する。
以上説明したように、本実施形態の加熱装置100は、Z軸方向に略直交する保持面S1および裏面S2を有する板状であり、内部に、互いに異なる一対の電極端子56に接続される複数の抵抗発熱体を有する保持体10と、Z軸方向に延びる柱状であり、保持体10の裏面S2に接合された柱状支持体20とを備え、保持体10の保持面S1上に保持された半導体ウェハW等の対象物を加熱する装置である。
図6から図8は、第2実施形態の加熱装置100aの断面構成を概略的に示す説明図である。図6には、図7および図8のVI−VIの位置における加熱装置100aのXZ断面構成が示されており、図7には、図6のVII−VIIの位置における加熱装置100aのXY断面構成が示されており、図8には、図6のVIII−VIIIの位置における加熱装置100aのXY断面構成が示されている。以下では、第2実施形態の加熱装置100aの構成の内、上述した第1実施形態の加熱装置100の構成と同一の構成については、同一の符号を付すことによってその説明を適宜省略する。
本明細書で開示される技術は、上述の実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の形態に変形することができ、例えば次のような変形も可能である。
Claims (6)
- 第1の方向に略直交する第1および第2の表面を有する板状であり、内部に、互いに異なる一対の電極端子に接続される複数の抵抗発熱体を有する保持体と、
前記第1の方向に延びる柱状であり、前記保持体の前記第2の表面に接合された柱状支持体と、
を備え、前記保持体の前記第1の表面上に保持された対象物を加熱する加熱装置において、
前記複数の抵抗発熱体は、
前記第1の方向視で前記柱状支持体と重なる領域を含む第1の領域と、前記第1の方向視で前記第1の領域の外周側に位置すると共に前記柱状支持体と重ならない領域を含む第2の領域と、にわたって配置され、前記第1の領域における単位面積あたりの発熱量が前記第2の領域における単位面積あたりの発熱量と略同一である第1の抵抗発熱体と、
前記第1の方向において前記第1の抵抗発熱体とは異なる位置に配置され、かつ、前記第1の領域と前記第2の領域とにわたって配置され、前記第1の領域における単位面積あたりの発熱量が前記第2の領域における単位面積あたりの発熱量より大きい第2の抵抗発熱体と、
を含むことを特徴とする、加熱装置。 - 請求項1に記載の加熱装置において、
前記第2の抵抗発熱体は、前記第1の方向において前記第1の抵抗発熱体より前記第1の表面に近い位置に配置されていることを特徴とする、加熱装置。 - 請求項1に記載の加熱装置において、
前記第2の抵抗発熱体は、前記第1の方向において前記第1の抵抗発熱体より前記第1の表面から離れた位置に配置されていることを特徴とする、加熱装置。 - 請求項1から請求項3までのいずれか一項に記載の加熱装置において、
前記第2の抵抗発熱体は、前記第1の方向視で、所定の軸線に沿って延び、前記第1の領域における幅が前記第2の領域における幅より細い形状であることを特徴とする、加熱装置。 - 請求項1から請求項4までのいずれか一項に記載の加熱装置において、
前記複数の抵抗発熱体は、さらに、前記第1の方向において前記第1の抵抗発熱体と略同一の位置に配置され、かつ、前記第1の方向視で前記第2の領域の外周側に位置する第3の領域のみに配置された第3の抵抗発熱体を含むことを特徴とする、加熱装置。 - 請求項5に記載の加熱装置において、
前記第2の抵抗発熱体は、前記第1の領域と前記第2の領域と前記第3の領域とにわたって配置され、前記第1の領域における単位面積あたりの発熱量が前記第2の領域および前記第3の領域における単位面積あたりの発熱量より大きいことを特徴とする、加熱装置。
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