JP6903512B2 - 接合体 - Google Patents
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- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 67
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 28
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 28
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 25
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 17
- 238000005219 brazing Methods 0.000 claims description 11
- 238000005304 joining Methods 0.000 claims description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 44
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 17
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 15
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 12
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 12
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 5
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 5
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 4
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 4
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 3
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 2
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920005822 acrylic binder Polymers 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 2
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 2
- SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoyttriooxy)yttrium Chemical compound O=[Y]O[Y]=O SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 2
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- WUOACPNHFRMFPN-UHFFFAOYSA-N alpha-terpineol Chemical compound CC1=CCC(C(C)(C)O)CC1 WUOACPNHFRMFPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 239000007767 bonding agent Substances 0.000 description 1
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 1
- SQIFACVGCPWBQZ-UHFFFAOYSA-N delta-terpineol Natural products CC(C)(O)C1CCC(=C)CC1 SQIFACVGCPWBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000994 depressogenic effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 230000002706 hydrostatic effect Effects 0.000 description 1
- 238000004898 kneading Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002910 rare earth metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 229940116411 terpineol Drugs 0.000 description 1
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
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Description
A−1.加熱装置100の構成:
図1は、本実施形態における加熱装置100の外観構成を概略的に示す斜視図であり、図2は、本実施形態における加熱装置100のXZ断面構成を概略的に示す説明図である。各図には、方向を特定するための互いに直交するXYZ軸が示されている。本明細書では、便宜的に、Z軸正方向を上方向といい、Z軸負方向を下方向というものとするが、加熱装置100は実際にはそのような向きとは異なる向きで設置されてもよい。
保持体10は、所定の方向(本実施形態では上下方向)に略直交する保持面S1および裏面S2を有する略円板状の部材である。保持体10は、例えば、AlN(窒化アルミニウム)やAl2O3(アルミナ)を主成分とするセラミックスにより形成されている。なお、ここでいう主成分とは、含有割合(重量割合)の最も多い成分を意味する。保持体10の直径は、例えば100mm以上、500mm以下程度であり、保持体10の厚さ(上下方向における長さ)は、例えば3mm以上、10mm以下程度である。保持体10は、特許請求の範囲におけるセラミックス部材に相当し、上記所定の方向(上下方向)は、特許請求の範囲における第1の方向に相当する。
柱状支持体20は、上記所定の方向(上下方向)に延びる略円柱状部材である。柱状支持体20は、保持体10と同様に、例えばAlNやAl2O3を主成分とするセラミックスにより形成されている。柱状支持体20の外径は、例えば30mm以上、90mm以下程度であり、柱状支持体20の高さ(上下方向における長さ)は、例えば100mm以上、300mm以下程度である。
図3は、図2のX1部分を拡大したXZ断面構成を概略的に示す説明図である。図3に示すように、受電電極54および接合部56における上下方向に平行な少なくとも1つの断面(XZ断面)において、受電電極54と接合部56との第1の境界線L1は複数の変曲点(P1,P2)を有する。なお、変曲点とは、第1の境界線L1が上に凸から下に凸へ、また、下に凸から上に凸へ変わる点である。
加熱装置100の製造方法は、例えば以下の通りである。初めに、保持体10と柱状支持体20とを作製する。
以上説明したように、本実施形態の加熱装置100によれば、受電電極54および接合部56における上下方向に平行な少なくとも1つの断面(XZ断面)において、受電電極54と接合部56との第1の境界線L1は複数の変曲点(P1,P2)を有する。これにより、受電電極54および接合部56における上下方向に平行な任意の断面において、第1の境界線L1が有する変曲点が1つ以下である構成に比べて、受電電極54と接合部56との間の接触面積が大きいため、受電電極54と接合部56との間の接合強度を向上させることができる。
本明細書で開示される技術は、上述の実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の形態に変形することができ、例えば次のような変形も可能である。
Claims (5)
- セラミックス部材と、
前記セラミックス部材の表面側に配置された外部導電体と、
第1の方向において前記外部導電体に対向して配置された金属部材と、
ロウ材を含み、前記外部導電体と前記金属部材とを接合する接合部と、を備える接合体において、
前記外部導電体および前記接合部における前記第1の方向に平行な少なくとも1つの断面において、前記外部導電体と前記接合部との第1の境界線は、前記金属部材側に突出し、かつ、その突出する先端の部位が変曲点である凸状線部分と、前記金属部材とは反対側に窪み、かつ、その窪んだ先端の部位が変曲点である凹状線部分と、を有する曲線であることを特徴とする、接合体。 - 請求項1に記載の接合体において、さらに、
前記セラミックス部材の内部に配置され、前記外部導電体のうち、前記接合部と接合される面と反対側の面と電気的に接続された内部導電体を備え、
前記断面において、
前記第1の境界線は、前記金属部材側に突出する凸状線部分を有し、
前記内部導電体は、前記外部導電体のうち前記凸状線部分に対応する箇所に配置されていることを特徴とする、接合体。 - 請求項1または請求項2に記載の接合体において、さらに、
前記セラミックス部材の内部に配置され、前記外部導電体のうち、前記接合部に接合される面と反対側の面に接触した内部導電体を備え、
前記断面において、
前記内部導電体および前記セラミックス部材と前記外部導電体との第2の境界線のうち、前記内部導電体と前記セラミックス部材とに跨がるように延びる跨がり部分の線形は、直線または曲線であることを特徴とする、接合体。 - 請求項1から請求項3までのいずれか一項に記載の接合体において、
前記第1の境界線の両端の少なくとも一方は、前記金属部材とは反対側に窪んだ凹状線部分であることを特徴とする、接合体。 - 請求項1から請求項4までのいずれか一項に記載の接合体において、
前記断面において、
前記第1の境界線における前記複数の変曲点は、前記第1の方向に直交する第2の方向における前記第1の境界線の端側に位置する変曲点ほど、前記金属部材に近い位置に配置されていることを特徴とする、接合体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017146175A JP6903512B2 (ja) | 2017-07-28 | 2017-07-28 | 接合体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017146175A JP6903512B2 (ja) | 2017-07-28 | 2017-07-28 | 接合体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019026498A JP2019026498A (ja) | 2019-02-21 |
JP6903512B2 true JP6903512B2 (ja) | 2021-07-14 |
Family
ID=65475521
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017146175A Active JP6903512B2 (ja) | 2017-07-28 | 2017-07-28 | 接合体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6903512B2 (ja) |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3401120B2 (ja) * | 1995-05-09 | 2003-04-28 | 京セラ株式会社 | ウエハ保持装置 |
JP2004327945A (ja) * | 2003-04-30 | 2004-11-18 | Ngk Spark Plug Co Ltd | セラミック電子回路部品 |
JP2008135737A (ja) * | 2006-11-01 | 2008-06-12 | Ngk Insulators Ltd | 静電チャック及び静電チャックの製造方法 |
JP5331490B2 (ja) * | 2008-01-08 | 2013-10-30 | 日本碍子株式会社 | 接合構造及び半導体製造装置 |
JP2009224651A (ja) * | 2008-02-22 | 2009-10-01 | Kyocera Corp | 配線基板およびその製造方法 |
JP2011054670A (ja) * | 2009-08-31 | 2011-03-17 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体モジュールおよびその製造方法、ならびに携帯機器 |
JP2012064855A (ja) * | 2010-09-17 | 2012-03-29 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
-
2017
- 2017-07-28 JP JP2017146175A patent/JP6903512B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2019026498A (ja) | 2019-02-21 |
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