JP6742015B2 - 電子検出装置および電子検出方法 - Google Patents
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・V1=1.5KV:1次電子ビーム1の電位V1が1.5KVを表す。
・V1=1.5KV:1次電子ビーム1の電位V1が1.5KVを表す。
2:対物レンズ
3:試料
4:第1の2次電子
41、43:第2の2次電子
42:反射電子、
5:リペラー電極
6,61,62:2次電子発生板
7,71.72:MCP
8:APD
9:偏向系
10:2次電子放出材料
Claims (9)
- 電子を試料に照射して当該試料から放出あるいは反射された電子を検出・増幅する電子検出装置において、
所定加速電圧のエネルギーを有する1次電子ビームを細く絞って試料に照射する磁界型の対物レンズと、
前記細く絞られた1次電子ビームを試料上で走査するように当該1次電子ビームを偏向する偏向装置と、
前記1次電子ビームを前記試料の方向に通過させる穴を有し、かつ前記細く絞られた1次電子ビームを前記試料に照射して走査した際に放出された第1の2次電子を加速する正の第1の加速電圧を印加し、かつ前記磁界型の対物レンズの磁界の作用により前記試料から放出された前記第1の2次電子を軸上を螺旋回転しつつ前記第1の加速電圧の印加された方向に向けて加速すると共に該第1の加速電圧で加速された第1の2次電子が衝突したときに増倍された第2の2次電子を発生させる、前記第1の2次電子を加速して吸引して衝突させる2次電子発生板と、
前記1次電子ビームを前記試料の方向に通過させる穴を有すると共に前記第1の2次電子を前記2次電子発生板の方向に通過させる穴を有し、かつ前記2次電子発生板で前記増倍された第2の2次電子を加速する正の第2の加速電圧を印加すると共に該第2の加速電圧で加速された増倍された2次電子を更に増倍する、前記第2の2次電子を加速して吸引して衝突させるMCPと、
該MCPで増倍された2次電子を検出するアノードと
を備えたことを特徴とする電子検出装置。 - 前記2次電子発生板の前記1次電子ビームが通過する穴の部分に、試料から放出された前記第1の2次電子が当該1次電子ビームの走行経路の逆方向への走行を抑止する負の電圧を印加した、中心に前記1次電子ビームが通過する穴を有するリペラー電極を設けたことを特徴とする請求項1記載の電子検出装置。
- 前記2次電子発生板に前記第1の2次電子が衝突して前記第2の2次電子を発生させる面を、前記1次電子ビームの走行方向に対して凸状にし、該第2の2次電子の増倍効率を高めたことを特徴とする請求項1あるいは請求項2記載の電子検出装置。
- 前記2次電子発生板の表面に短冊状、針円周状、あるいは粒子状の2次電子放出材料を形成したことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の電子検出装置。
- 前記MCPを円周方向および半径方向のいずれか1方向以上に複数に分割し、分割検出・増幅可能にしたことを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載の電子検出装置。
- 前記MCPを前記2次電子発生板の方向に傾けたことを特徴とする請求項1から請求項5のいずれかに記載に電子検出装置。
- 前記MCPをAPDに置き換えたことを特徴とする請求項1から請求項6のいずれかに記載の電子検出装置。
- 前記2次電子発生板と前記MCPとの組を、前記1次電子ビームの軌道に同軸に2組設け、内側の1組で試料から放出された反射電子を検出・増倍し、外側の1組で試料から放出された前記第1の2次電子を検出・増倍することを特徴とする請求項1から請求項7のいずれかに記載の電子検出装置。
- 電子を試料に照射して当該試料から放出あるいは反射された電子を検出・増幅する電子検出方法において、
所定加速電圧のエネルギーを有する1次電子ビームを細く絞って試料に照射する磁界型の対物レンズと、
前記細く絞られた1次電子ビームを試料上で走査するように当該1次電子ビームを偏向する偏向装置とを設け、
2次電子発生板は、第1の2次電子を加速して吸引して衝突させるものであって、前記1次電子ビームを前記試料の方向に通過させる穴を有し、前記細く絞られた1次電子ビームを前記試料に照射して走査した際に放出された第1の2次電子を加速する正の第1の加速電圧を印加し、かつ前記磁界型の対物レンズの磁界の作用により前記試料から放出された前記第1の2次電子を軸上を螺旋回転しつつ前記第1の加速電圧の印加された方向に向けて加速すると共に該第1の加速電圧で加速された第1の2次電子が衝突したときに増倍された第2の2次電子を発生させ、
MCPは、前記第2の2次電子を加速して吸引して衝突させるものであって、前記1次電子ビームを前記試料の方向に通過させる穴を有すると共に前記第1の2次電子を前記2次電子発生板の方向に通過させる穴を有し、前記2次電子発生板で前記増倍された第2の2次電子を加速する正の第2の加速電圧を印加すると共に該第2の加速電圧で加速されて増倍された2次電子を更に増倍し、
アノードは、前記MCPで増倍された2次電子を検出する
ことを特徴とする電子検出方法。
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JP2016015393A JP6742015B2 (ja) | 2016-01-29 | 2016-01-29 | 電子検出装置および電子検出方法 |
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JP2016015393A JP6742015B2 (ja) | 2016-01-29 | 2016-01-29 | 電子検出装置および電子検出方法 |
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Family Applications (1)
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