JP6738417B2 - 走査光学系および観察装置 - Google Patents
走査光学系および観察装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6738417B2 JP6738417B2 JP2018523087A JP2018523087A JP6738417B2 JP 6738417 B2 JP6738417 B2 JP 6738417B2 JP 2018523087 A JP2018523087 A JP 2018523087A JP 2018523087 A JP2018523087 A JP 2018523087A JP 6738417 B2 JP6738417 B2 JP 6738417B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical
- scanning
- intermediate image
- optical system
- optical element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 280
- 210000001747 pupil Anatomy 0.000 claims description 67
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 claims description 12
- 201000009310 astigmatism Diseases 0.000 description 15
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 5
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 5
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 5
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000021615 conjugation Effects 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B3/00—Apparatus for testing the eyes; Instruments for examining the eyes
- A61B3/10—Objective types, i.e. instruments for examining the eyes independent of the patients' perceptions or reactions
- A61B3/1025—Objective types, i.e. instruments for examining the eyes independent of the patients' perceptions or reactions for confocal scanning
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/02—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
- G02B7/04—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses with mechanism for focusing or varying magnification
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B13/00—Optical objectives specially designed for the purposes specified below
- G02B13/08—Anamorphotic objectives
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/101—Scanning systems with both horizontal and vertical deflecting means, e.g. raster or XY scanners
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/105—Scanning systems with one or more pivoting mirrors or galvano-mirrors
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B9/00—Optical objectives characterised both by the number of the components and their arrangements according to their sign, i.e. + or -
- G02B9/60—Optical objectives characterised both by the number of the components and their arrangements according to their sign, i.e. + or - having five components only
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Medical Informatics (AREA)
- Surgery (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Biomedical Technology (AREA)
- Heart & Thoracic Surgery (AREA)
- Biophysics (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Ophthalmology & Optometry (AREA)
- Animal Behavior & Ethology (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Public Health (AREA)
- Veterinary Medicine (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Lenses (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Description
この走査光学系は、中間像面に走査方向でパワーの異なるレンズを配置することにより、2つのガルバノミラーを瞳共役な状態にしている。
本発明は上述した事情に鑑みてなされたものであって、2つのガルバノミラーを瞳共役な状態にすると同時に、レンズ上の傷や異物による画像劣化を防止しつつ、非点収差の発生を防止することができる走査光学系および観察装置を提供することを目的としている。
このようにすることで、中間像面を挟んで光軸方向に間隔をあけた複数の光学要素が、走査方向毎に異なる光学パワーを有することにより、これらの合成の光学パワーは、2つの光学要素間に配置された1つの光学要素と等価になる。すなわち、2つの光学要素は、中間像面を挟んで、中間像面から離れた位置に配置されているにも関わらず、1つのアナモルフィック光学要素を中間像面上に置いたのと同等に作用する。これにより、非点収差を生ずることなく、2つの走査手段を両方とも、対物レンズの瞳面と光学的に共役な位置に配置することができる。そして、2つの光学要素を中間像面から離れた位置に配置しているので、光学要素上の傷や異物によるノイズの発生を防止することができる。
このようにすることで、2つの光学要素によってレトロフォーカス形レンズ系を構成することができる。これにより、2つの光学要素の外側に配置された1つのアナモルフィック光学要素と等価に機能させることができる。
このようにすることで、アフォーカル光学系によって、有限距離の物点に対して条件に応じた大きさの光軸方向の移動を伴って像点を結像させることができる。この性質を利用して、光軸方向に離れた2つの走査手段を対物レンズの瞳面と光学的に共役な状態に配置することができる。
このようにすることで、アナモルフィック光学要素からなる第1光学要素部によって、光軸方向に間隔をあけた2つの走査手段を両方とも対物レンズの瞳面と光学的に共役な状態に配置することができる。そして、第1光学要素部と相補的な性質を有するアナモルフィック光学要素からなる第2光学要素部によって、第1光学要素部を中間像面から離したことによる非点収差を光学系全系として打ち消すことができる。
特に、2つのアナモルフィック光学要素を中間像面から大きく離す場合には、2つのアナモルフィック光学要素間では大きな非点収差が発生することになる。これにより、2つのアナモルフィック光学要素間にある他の光学要素と中間像面とが近接して位置する場合であっても、中間像自体が非点収差を有するため、他の光学要素上の傷や異物によるノイズの発生を防止することができる。その結果、インナーフォーカス等によって中間像面を大きく移動させても、他の光学要素上には、非点収差によって鮮明に結像することがなくなるため、中間像面が一致することを防止して、傷や異物によるノイズの発生を抑えることができる。
このようにすることで、第1の光学要素部がレトロフォーカス光学系を構成し、主点間距離を大きくして、対物レンズの瞳面と2つの走査手段とを光学的に共役な状態にすることができる。第1光学要素部および第2光学要素部を両方ともレトロフォーカス系により構成した場合、光源から対物レンズ側まで完全に瞳共役化することができる。
上記態様においては、インナーフォーカスを備えることにしてもよい。
本実施形態に係る観察装置は、光源からの光線を被写体(対象物)Oに集光させて2次元的に走査させる走査光学系1を備えている。
本実施形態に係る走査光学系1によれば、光源から発せられた光束が、まずx方向のガルバノミラー2によってx方向に走査され、次いで、y方向のガルバノミラー3によってy方向に走査される。これにより、2つのガルバノミラー2,3によって、光束を光軸Sに交差する2次元方向の任意の方向に向けることができるようになっている。
すなわち、本実施形態によれば、中間像面Aを挟む位置に2つのシリンドリカルレンズ7,8を光軸S方向に間隔をあけて配置しているので、図2(a)および図2(b)に示すように、2つのシリンドリカルレンズ7,8の合成光学パワーと同等の光学パワーを有する単一のシリンドリカルレンズ9を中間像面Aに一致する位置に配置したのと等価な走査光学系1となっている。
また、2つのシリンドリカルレンズ7,8は同符号の光学パワーを有していればよく、同一の光学パワーを有している必要はない。
本実施形態の説明において、上述した第1の実施形態に係る走査光学系1と構成を共通とする箇所には同一符号を付して説明を省略する。
第1の実施形態に係る走査光学系1においては、y方向に同符号の光学パワーを有する2つのシリンドリカルレンズ7,8を、中間像面Aを挟んで光軸方向に間隔をあけた位置に配置したが、これに代えて、走査光学系11は、図3(b)に示されるように、y方向の縦断面が、両凸および両凹となる2つのシリンドリカルレンズ(光学要素)12,13を光軸S方向に並べて配置している点において、第1の実施形態に係る走査光学系1と相違している。
その結果、2つのガルバノミラー2,3を両方とも対物レンズ6の瞳面Bと光学的に共役な位置関係に配置することができ、対物レンズ6の瞳面Bにおける光線のケラレが防止され、周辺視野においても均一な明るさの光を被写体Oに照射することができる。そして、中間像面Aに一致する位置に単一のシリンドリカルレンズ9を配置した図2の走査光学系10と等価な走査光学系11が構成されるので、非点収差の発生を防止することができる。
本実施形態の説明において、上述した第2の実施形態に係る走査光学系11と構成を共通とする箇所には同一符号を付して説明を省略する。
本実施形態に係る走査光学系14においては、第2の実施形態と同様に、図5(b)に示されるように、y方向の縦断面が両凸と両凹の2種類のシリンドリカルレンズ15,16を用いているが、対物レンズ6の瞳面B近傍に配置されている点、および、瞳面Bから両凸、両凹の順に配列されて、ガリレオ形のアフォーカル系を構成している点で、第2の実施形態と相違している。
本実施形態の説明において、上述した第1の実施形態に係る走査光学系1と構成を共通とする箇所には同一符号を付して説明を省略する。
本実施形態においては、2つのガルバノミラー2,3よりも光源側に複数のリレーレンズ18,19を備え、中間像面Aおよび瞳面Bがリレーレンズ4,5,18,19によってリレーされて、光学的に共役な位置A′,B′が形成されている。
また、本実施形態においては、シリンドリカルレンズ28aとシリンドリカルレンズ20aとが共役な位置にあり相補的な形状を有し、かつ、シリンドリカルレンズ28bとシリンドリカルレンズ20bとが共役な位置にあり相補的な形状を有するので、例えばシリンドリカルレンズ20a,28aの光学パワーの符号を入れ替えて、シリンドリカルレンズ20aが正の光学パワーを有し、シリンドリカルレンズ28aが負の光学パワーを有することとしてもよい。
本実施形態の説明において、上述した第4の実施形態に係る走査光学系17と構成を共通とする箇所には同一符号を付して説明を省略する。
本実施形態においては、図7(a)および図7(b)に示される第4の実施形態の変形例において対物レンズ6の瞳面B近傍に配置されていた単一のシリンドリカルレンズ28に代えて、y方向の両凸および両凹の縦断面を有する2つのシリンドリカルレンズ(光学要素)22,23を並べて配置することにより、負の光学パワーを有するレトロフォーカス系の第1光学要素を構成している。また、対物レンズ6の瞳面Bと光学的に共役な位置B′の近傍に、シリンドリカルレンズ20に代えてy方向の両凸および両凹の縦断面を有する2つのシリンドリカルレンズ(光学要素)24,25を並べて配置することにより、正の光学パワーを有するレトロフォーカス系の第2光学要素を構成している。負のパワーを有する第1光学要素22,23と正のパワーを有する第2光学要素24,25とは相互に相補的な性質を有している。
この場合、波面変調素子としては、例えば、LCOS素子、形状可変鏡(デフォーマブルミラー)、形状可変レンズ、またはKTN結晶等が使用可能であり、位置B′の近傍に配置されればよい。
2,3 ガルバノミラー(走査手段)
6 対物レンズ
7,8,12,13,15,16,20,20a,20b,22,23,24,25,28,28a,28b シリンドリカルレンズ(光学要素、第1光学要素、第2光学要素、第1光学要素部、第2光学要素部)
26 インナーフォーカス
A 中間像面
B 瞳面
O 被写体(対象物)
S 光軸
Claims (9)
- 光軸方向に間隔をあけて近接して配置され、光源からの光線を2つの走査方向に走査する2つの1次元の走査手段と、
該走査手段によって走査された前記光線を対象物に集光させる対物レンズと、
中間像面から前記光軸方向に離れた位置に配置され且つ等価的に前記中間像面上に配置された2つの前記走査方向の光学パワーが異なる複数の光学要素とを備え、
各該光学要素の前記位置および前記光学パワーが、2つの前記走査手段の前記光軸方向の間隔を補償するように設定されている走査光学系。 - 複数の前記光学要素が、前記中間像面を挟んで前記光軸方向に間隔をあけて配置され、
複数の該光学要素の合成光学パワーが、2つの前記走査方向において異なる請求項1に記載の走査光学系。 - 複数の前記光学要素が、前記中間像面に対して一側に前記光軸方向に間隔をあけて配置された2つの光学要素であり、
前記中間像面に近い側の前記光学要素と、前記中間像面から遠い側の前記光学要素とが互いに異なる符号の光学パワーを有する請求項1に記載の走査光学系。 - 複数の前記光学要素が、アフォーカル光学系を構成し、前記走査手段と前記対物レンズの瞳面との間に配置されている請求項1に記載の走査光学系。
- 複数の前記光学要素が、前記走査手段と前記対物レンズの瞳面との間に配置された第1光学要素部と、該第1光学要素部と光学的に共役な位置に配置され、前記第1光学要素部と光学的に相補的な性質を有し、光学系全系において前記第1光学要素部の光学パワーを打ち消す第2光学要素部とを備える請求項1に記載の走査光学系。
- 前記第1光学要素部が、前記対物レンズの瞳面に近接し、前記光軸方向に間隔をあけて配置された2つの光学要素であり、
前記瞳面に近い側の前記光学要素と、前記瞳面から遠い側の前記光学要素とが、互いに異なる符号の光学パワーを有する請求項5に記載の走査光学系。 - 前記第1光学要素部が、一方が前記対物レンズの瞳面に近接して配置され、他方が前記対物レンズの瞳面から前記光軸方向に間隔をあけて配置された2つの第1光学要素を備え、
前記第2光学要素部が、前記第1光学要素部の各前記第1光学要素とそれぞれ光学的に共役な位置に配置され、かつそれぞれ光学的に相補的な性質を有する2つの第2光学要素を備える請求項5に記載の走査光学系。 - 請求項1から請求項7のいずれかに記載の走査光学系を有する観察装置。
- インナーフォーカスを備える請求項8に記載の観察装置。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2016/067706 WO2017216885A1 (ja) | 2016-06-14 | 2016-06-14 | 走査光学系および観察装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2017216885A1 JPWO2017216885A1 (ja) | 2019-04-04 |
JP6738417B2 true JP6738417B2 (ja) | 2020-08-12 |
Family
ID=60663055
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018523087A Active JP6738417B2 (ja) | 2016-06-14 | 2016-06-14 | 走査光学系および観察装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11096572B2 (ja) |
JP (1) | JP6738417B2 (ja) |
WO (1) | WO2017216885A1 (ja) |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4817356B1 (ja) | 1970-07-24 | 1973-05-29 | ||
JPH11326817A (ja) | 1998-05-13 | 1999-11-26 | Minolta Co Ltd | 走査型映像観察光学系 |
JPH11326816A (ja) | 1998-05-13 | 1999-11-26 | Minolta Co Ltd | 走査型映像観察光学系 |
JP4082075B2 (ja) | 2002-04-22 | 2008-04-30 | ブラザー工業株式会社 | 画像表示装置 |
US6844892B2 (en) | 2002-06-13 | 2005-01-18 | Pentax Corporation | Multi-beam scanning device |
JP2004070312A (ja) | 2002-06-13 | 2004-03-04 | Pentax Corp | マルチビーム走査装置 |
JP4817356B2 (ja) | 2005-03-15 | 2011-11-16 | ナノフォトン株式会社 | 光学顕微鏡 |
JP4898588B2 (ja) | 2007-07-26 | 2012-03-14 | オリンパス株式会社 | 走査型顕微鏡 |
JP5649324B2 (ja) | 2010-04-15 | 2015-01-07 | キヤノン株式会社 | 眼科装置及び眼科装置の制御方法 |
JP5268988B2 (ja) * | 2010-04-30 | 2013-08-21 | パナソニック株式会社 | 2次元走査装置 |
JP2012145687A (ja) | 2011-01-11 | 2012-08-02 | Nikon Corp | 走査型顕微鏡 |
JP5929204B2 (ja) | 2012-01-11 | 2016-06-01 | 株式会社ニコン | 走査型顕微鏡 |
JP2014108212A (ja) | 2012-11-30 | 2014-06-12 | Canon Inc | 撮像装置 |
JP6360825B2 (ja) | 2013-04-03 | 2018-07-18 | オリンパス株式会社 | 結像光学系、照明装置および観察装置 |
-
2016
- 2016-06-14 WO PCT/JP2016/067706 patent/WO2017216885A1/ja active Application Filing
- 2016-06-14 JP JP2018523087A patent/JP6738417B2/ja active Active
-
2018
- 2018-12-13 US US16/219,162 patent/US11096572B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2017216885A1 (ja) | 2017-12-21 |
US11096572B2 (en) | 2021-08-24 |
US20190110680A1 (en) | 2019-04-18 |
JPWO2017216885A1 (ja) | 2019-04-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10108008B2 (en) | Image-forming optical system, illumination apparatus, and observation apparatus | |
US20170205611A1 (en) | Imaging optical system, illuminating device, and microscope apparatus | |
US20170192217A1 (en) | Optical-axis-direction scanning microscope apparatus | |
US20170176732A1 (en) | Image-forming optical system, illumination apparatus, and observation apparatus | |
US20170115180A1 (en) | Phase-modulation-element adjustment system and phase-modulation-element adjustment method | |
KR101084929B1 (ko) | 스캐너 장치 | |
US20170205609A1 (en) | Image-forming optical system, illumination apparatus, and microscope apparatus | |
JP6738417B2 (ja) | 走査光学系および観察装置 | |
JP5929204B2 (ja) | 走査型顕微鏡 | |
US10422747B2 (en) | Imaging optical system, illumination apparatus, observation apparatus, and wavefront recovery device | |
US10168283B2 (en) | Observation apparatus and method for sharpening final image | |
US20170115474A1 (en) | Imaging optical system, illumination apparatus, and observation apparatus | |
WO2018083740A1 (ja) | 走査光学系および観察装置 | |
JP6332327B2 (ja) | 走査型顕微鏡 | |
Kessler | Optical Design of a Laser Scanning Microscope for TPM. | |
Kessler | Laser scanning microscope with large field and high NA | |
KR20130143431A (ko) | 기판의 다면 관찰용 결상 광학 시스템 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190604 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200512 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200611 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200623 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200717 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6738417 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |