JP6730165B2 - 弾性波装置 - Google Patents
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Description
7を備えていてもよい。また、この例では、パッド7を4隅に加え、辺の中央付近にも形成しているが、辺の途中に形成したり、4隅のみに形成してもよい。
直線部9yは、角部9x間をつなぐように位置している。
上述の例では、柱状電極15と角部9xにおける外郭線L2との距離を一定とした場合について説明したが、外郭線LIと外郭線L2との距離が、直線部9yに比べ角部9xにおいて広くなっていれば、この例には限らない。例えば、図4に示すように、柱状電極15と角部9xにおける外郭線L2との距離が変化していてもよい。
上述の例では、枠体18aと蓋体18bとの外周(外郭線)が一致している場合を例に説明したが、一致していなくてもよい。図5に、枠体18aと蓋体18bとの外周(外郭線)が一致していない場合の例を示す。
2・・・圧電基板(基板)
2a・・・第1主面(主面)
3・・・櫛歯状電極(励振電極)
4・・・保護層
9・・・カバー
11・・・接続用導体
15・・・柱状電極
17・・・振動空間
Claims (7)
- 基板と、
前記基板の上面側に位置する弾性波を励振する励振電極と、
前記基板の前記上面上に位置し、前記励振電極を収容するカバー部と、前記カバー部の上面に位置する前記カバー部とは異なる絶縁性材料からなる保護層と、を含み、平面視で直線部と角部とを有するカバーと、を具備し、
平面視で、
前記カバー部と前記保護層とは樹脂材料からなり、
前記保護層は前記カバー部の内側に位置するとともに、
前記カバー部の外郭線と前記保護層の外郭線との距離が、前記直線部よりも前記角部において大きい、弾性波装置。 - 基板と、
前記基板の上面側に位置する弾性波を励振する励振電極と、
前記基板の前記上面上に位置し、前記励振電極を収容するカバー部と、前記カバー部の上面に位置する前記カバー部とは異なる材料からなる保護層と、を含み、平面視で直線部と角部とを有するカバーと、を具備し、
平面視で、
前記保護層は前記カバー部の内側に位置するとともに、
前記カバー部の外郭線と前記保護層の外郭線との距離が、前記直線部よりも前記角部において大きく、
平面視でカバー部と前記保護層とが重なる前記角部近傍の領域において、前記カバー部と前記保護層の厚み方向の少なくとも一部とを貫通する柱状電極、を備え、
平面視で、前記保護層の前記角部における外郭線は、前記柱状電極と一定距離となっている、弾性波装置。 - 前記カバー部は、平面視で、前記励振電極が位置する領域を囲む枠体と、前記枠体の開口を塞ぐように前記枠体上に位置する蓋体と、を含んでおり、
平面視で、
前記蓋体は前記枠体の内側に位置し、
前記蓋体の外郭線と前記枠体の外郭線との距離が、前記直線部と前記角部とで略同一である、請求項1または2に記載の弾性波装置。 - 基板と、
前記基板の上面側に位置する弾性波を励振する励振電極と、
前記基板の前記上面上に位置し、前記励振電極を収容するカバー部と、前記カバー部の上面に位置する前記カバー部とは異なる材料からなる保護層と、を含み、平面視で直線部と角部とを有するカバーと、を具備し、
平面視で、
前記保護層は前記カバー部の内側に位置するとともに、
前記カバー部の外郭線と前記保護層の外郭線との距離が、前記直線部よりも前記角部において大きく、
前記カバー部は、平面視で、前記励振電極が位置する領域を囲む枠体と、前記枠体の開口を塞ぐように前記枠体上に位置する蓋体と、を含んでおり、
平面視で、
前記蓋体は前記枠体の内側に位置し、
前記蓋体の外郭線と前記枠体の外郭線との距離が、前記直線部と前記角部とで略同一であり、
前記角部における、前記蓋体の外郭線と前記枠体の外郭線との距離は、前記蓋体の外郭線と前記保護層の外郭線との距離に比べて小さい、弾性波装置。 - 平面視で、前記蓋体の外郭線と前記枠体の外郭線との距離は、前記蓋体の外郭線と前記保護層の外郭線との距離に比べて、前記直線部で大きく、前記角部で小さい、請求項4に記載の弾性波装置。
- 平面視で、前記角部において前記カバー部および前記保護層は異なる曲率を有している、請求項1乃至5のいずれかに記載の弾性波装置。
- 前記保護層は前記カバー部に比べ熱収縮率、熱膨張係数、ヤング率の少なくとも1つが大きい、請求項1乃至6のいずれかに記載の弾性波装置。
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JP2016215468A JP6730165B2 (ja) | 2016-11-02 | 2016-11-02 | 弾性波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2016215468A JP6730165B2 (ja) | 2016-11-02 | 2016-11-02 | 弾性波装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2018074518A JP2018074518A (ja) | 2018-05-10 |
JP6730165B2 true JP6730165B2 (ja) | 2020-07-29 |
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ID=62114538
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2016215468A Active JP6730165B2 (ja) | 2016-11-02 | 2016-11-02 | 弾性波装置 |
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Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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2016
- 2016-11-02 JP JP2016215468A patent/JP6730165B2/ja active Active
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