JP6719906B2 - 渦電流センサ及びそれを備えたツールホルダ装着状態検出装置 - Google Patents
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Description
Vout=βeαx+γ ここで、α、β、γは定数
で表される。図7の例では、α=−0.0013、β=−44.08、γ=7.596である。校正曲線と近似曲線は、距離xがx≦0.1となる接触点近傍では、わずかに乖離しているが、距離が0.1〜3mmの範囲ではほぼ一致する。したがって、この近似曲線を回路で構成することで、または演算式としてメモリに記憶することで、リニアライズ化処理が実行可能となる。
Claims (9)
- センサコイルを有し測定端面が実質的に平面であるセンサ本体と、このセンサ本体に電気的に接続される回路装置とを有する渦電流センサであって、前記渦電流センサは工具を取付けて交換して用いられる強磁性体の複数の測定対象物を測定し、かつこの測定対象物に対して鎖交を無視できる0.1mm〜2mmの距離にある状態を測定するものであり、前記回路装置は、前記複数の測定対象物に対する前記センサ本体の使用において、前記複数の測定対象物に対する前記センサコイルの出力を、単一の指数関数で近似した校正曲線を用いて変換することを特徴とする渦電流センサ。
- 前記単一の指数関数で近似した校正曲線を用いて変換する代わりに、前記単一の指数関数に対応するリニアライズ回路を前記回路装置が備えることを特徴とする請求項1に記載の渦電流センサ。
- 前記リニアライズ回路は、対数アンプを有することを特徴とする請求項2に記載の渦電流センサ。
- 前記単一の指数関数は、βe αx +γで表され、ここで、α、β、γは定数であり、xは前記測定端面と対象物との間の距離、であることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の渦電流センサ。
- 前記センサ本体はメモリ手段を有し、前記単一の指数関数は、βe αx +γ(ここで、α、β、γは定数、xは前記測定端面と対象物との間の距離)であり、前記メモリ手段に前記単一の指数関数の定数α、β、γを、予め記憶させたことを特徴とする請求項1に記載の渦電流センサ。
- マシニングセンタやNC工作機械の主軸にツールを取り付けるために設けられ、前記主軸の先端部に着脱自在に配置される強磁性体のツールホルダと、このツールホルダの近傍に前記ツールホルダと離間して配置された渦電流センサとを備えたツールホルダの装着状態検出装置であって、前記渦電流センサは交換して用いる複数の前記ツールホルダに適用可能であるとともに、測定対象物に対して鎖交を無視できる0.1mm〜2mmの距離にある状態を測定するものであり、前記ツールホルダの外周は、ほぼ円筒状の円筒状表面であり、前記渦電流センサは前記円筒状表面に対向して配置されており、前記渦電流センサは、センサコイルを有し測定端面が実質的に平面であるセンサ本体と、このセンサ本体に電気的に接続される回路装置とを有し、前記回路装置は、交換して用いる複数の前記ツールホルダに対する前記センサ本体の使用において、前記ツールホルダに対する前記センサコイルの出力を、単一の指数関数で近似した校正曲線を用いて変換することを特徴とするツールホルダ装着状態検出装置。
- 前記ツールホルダと前記センサ本体の端面との距離は、前記センサ本体の測定端面の外径よりも短いことを特徴とする請求項6に記載のツールホルダ装着状態検出装置。
- 前記単一の指数関数で近似した校正曲線を用いて変換する代わりに、前記単一の指数関数に対応する対数アンプを有するリニアライズ回路を前記回路装置が備えることを特徴とする請求項6または7に記載のツールホルダ装着状態検出装置。
- 前記単一の指数関数は、βe αx +γで表され、ここで、α、β、γは定数であり、xは前記測定端面と対象物との間の距離、であることを特徴とする請求項6から8のいずれか1項に記載のツールホルダ装着状態検出装置。
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