JP6705554B1 - 半導体レーザ装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、実施の形態1に係る半導体レーザ装置の断面図である。この半導体レーザ装置はn型のInPで形成されたInP基板11を備えている。InP基板11の上にはn型の下部クラッド層12が形成されている。下部クラッド層12の上には活性層13が形成されている。活性層13の上にはp型の第1上部クラッド層14とp型の第2上部クラッド層15がこの順に形成されている。第1上部クラッド層14と第2上部クラッド層15は、別々に形成された2つの層である。しかし、形状を維持しつつこれらの層を1つの層に集約してもよい。第2上部クラッド層15の上には、p型のコンタクト層16が形成されている。
実施の形態2に係る半導体レーザ装置の製造方法では、メサストライプ構造を有する形状で積層構造を形成し、図2の構成を得る点は実施の形態1と同じである。しかしながら、実施の形態2の第1絶縁膜17は、積層構造の上にALD(Atomic Layer Deposition)法で形成する。第1絶縁膜17の成膜温度は150℃前後とすることができる。第1絶縁膜17の成膜温度は例えば140−160℃の範囲である。第1絶縁膜17の膜厚は例えば100nm以下である。第1絶縁膜17の材料は、絶縁膜であれば特に限定されないが、例えば、SiO膜などの酸化膜である。
実施の形態3に係る半導体レーザ装置の製造方法では、メサストライプ構造を有する形状で積層構造を形成し、図2の構成を得る点は実施の形態1と同じである。図2の構成を形成した後に第1絶縁膜17を形成する。例えば図3の第1絶縁膜17と同じ形状の第1絶縁膜が形成される。第1絶縁膜17の成膜方法、成膜温度、膜厚は例えば実施の形態1の第1絶縁膜17と同じである。
Claims (4)
- InP基板の上に、下部クラッド層、活性層及び上部クラッド層が積層した積層構造をメサストライプ構造を有する形状で形成することと、
前記メサストライプ構造の側面と、前記メサストライプ構造の左右の前記メサストライプ構造より低い低地部分とに、スパッタ法で第1絶縁膜を形成することと、
前記第1絶縁膜を形成したときよりも高い成膜温度のプラズマCVD法で前記第1絶縁膜の上に前記第1絶縁膜より薄い第2絶縁膜を形成することと、
前記メサストライプ構造の上面に第1電極を形成し、前記InP基板の裏面に第2電極を形成することと、を備えたことを特徴とする半導体レーザ装置の製造方法。 - 前記第1絶縁膜の成膜温度は140−160℃であり、前記第2絶縁膜の成膜温度は290−310℃であることを特徴とする請求項1に記載の半導体レーザ装置の製造方法。
- 前記第1絶縁膜の膜厚は300−700nmであり、前記第2絶縁膜の膜厚は100nm以下であることを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体レーザ装置の製造方法。
- 前記第1絶縁膜を形成した後、前記第2絶縁膜を形成する前に、前記第1絶縁膜の一部をエッチングして前記第1絶縁膜を前記メサストライプ構造の側面下部と、前記メサストライプ構造の根元近傍の前記低地部分に残すこと、を備えたことを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の半導体レーザ装置の製造方法。
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