JP6685894B2 - エアベアリング装置及び測定装置 - Google Patents
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Description
図1は、第1の実施形態に係る測定装置101を模式的に示す正面図であり、図2は、図1に示す測定装置101の平面図であり、図3は、図1に示す上面支持エアベアリング装置109の第1のパッド部110の下面図であり、図4は、図3の線IV−IV(第1のパッド部110の直径)に沿った第1のパッド部110の断面図であり、図5は、左側側面支持エアベアリング装置118の第2のパッド部134の直径に沿った断面図であり、図6は、図1の測定装置の第1のパッド部110、133、第2のパッド部134の配置を模式的に示す模式平面図である。
第2の実施形態に係る測定装置について図7を参照しつつ説明する。図7は、第2の実施形態に係る測定装置の第1のパッド部110、133、第2のパッド部134の配置を模式的に示す模式平面図である。第2の実施形態に係る測定装置は、左側面支持エアベアリング装置134が2つの第2のパッド部134を備える点で、単一の第2のパッド部134を備える第1の実施形態に係る測定装置101と異なる。第2の実施形態に係る測定装置のその他の構成及び効果は、第1の実施形態に係る測定装置101と同じであるので、詳細は割愛する。
第3の実施形態に係る測定装置について図8を参照しつつ説明する。図8は、第3の実施形態に係る測定装置の第1のパッド部110、133の配置を模式的に示す模式平面図である。第3の実施形態に係る測定装置は、左側面支持エアベアリング装置を備えない点で、左側面支持エアベアリング装置134を備える第1の実施形態に係る測定装置101と異なる。したがって、図1に示される第3の支持部115dを備えない構成である。第3の実施形態に係る測定装置のその他の構成及び効果は、第1の実施形態に係る測定装置101と同じであるので、詳細は割愛する。
103 エアレール
104 吐出領域
105 レーザ変位計
106 吸引領域
107 定盤
108 上面
108a 処理領域
108b 支持領域
109 上面支持エアベアリング装置
110、133 第1のパッド部
134 第2のパッド部
111、211 多孔質体
113 吸気溝部
117、118 側面支持エアベアリング装置
121 吸気貫通路
123 吸気溝
125 給気貫通路
Claims (6)
- 気体を吐出することによる浮上力により浮上可能なパッド部を備え、
前記パッド部は、気体が吐出される吐出領域と、吸引力を付与する吸引領域とを有するベアリング面を有する複数の第1のパッド部と、
気体が吐出される吐出領域を具備するが、吸引力を付与する吸引領域を具備しないベアリング面を有する第2のパッド部と、を備え、
前記吐出領域は、前記吸引領域を取り囲むように配置され、
前記複数の第1のパッド部のベアリング面は、載置手段の上面及び前記上面に交差する方向に延在し互いに対向する第1の側面と第2の側面のうち前記第1の側面のみに面するように配置されることを特徴とするエアベアリング装置。 - 前記吐出領域には、多孔質体が配置され、前記吸引領域には、吸気溝が設けられていることを特徴とする請求項1に記載のエアベアリング装置。
- 前記第1のパッド部と前記第2のパッド部は、互いに対向するように配置されることを特徴とする請求項1又は2に記載のエアベアリング装置。
- 被測定物の平坦度、反り若しくは平面度を測定するための測定手段と、
前記被測定物が配置される載置手段と、
前記測定手段が装着され、前記載置手段に対して相対移動可能な支持部材と、
前記支持部材を前記載置手段から所定距離離間し浮上させるための、前記支持部材に装着されるエアベアリング装置と、を備え、
前記エアベアリング装置は、気体を吐出することによる浮上力により浮上可能なパッド部を備え、
前記パッド部が、気体が吐出される吐出領域と、吸引力を付与する吸引領域とを有するベアリング面を有する第1のパッド部と、
気体が吐出される吐出領域を具備するが、吸引力を付与する吸引領域を具備しないベアリング面を有する第2のパッド部と、を備え、
前記吐出領域は、前記吸引領域を取り囲むように配置され、
前記載置手段は、前記被測定物が載置される上面と、前記上面に対し交差する方向に延在する第1の側面及び第2の側面と、を備え、前記第1の側面及び前記第2の側面は互いに対向し、
前記第1のパッド部は、その前記ベアリング面が前記上面及び前記第1の側面と前記第2の側面のうち前記第1の側面のみに対向するように配置されていることを特徴とする測定装置。 - 前記吐出領域には、多孔質体が配置され、前記吸引領域には、吸気溝が設けられていることを特徴とする請求項4に記載の測定装置。
- 前記載置手段は、前記第1の側面に対向する第2の側面を備え、
前記第2のパッド部は、前記第2の側面に配置されることを特徴とする請求項4又は5に記載の測定装置。
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