JP6674075B1 - 樹脂組成物のエッチング液及びエッチング方法 - Google Patents
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Abstract
Description
<2>第3成分が、3〜60質量%のポリオール化合物である<1>に記載の樹脂組成物のエッチング液。
<3>上記ポリオール化合物の分子量が80以上200以下である<1>又は<2>に記載の樹脂組成物のエッチング液。
<4>上記ポリオール化合物が3つ以上のヒドロキシル基を有する<1>〜<3>のいずれかに記載の樹脂組成物のエッチング液。
<5>上記ポリオール化合物が、グリセリンである<1>〜<4>のいずれかに記載の樹脂組成物のエッチング液。
<6>第3成分が、2〜20質量%の多価カルボン酸である<1>に記載の樹脂組成物のエッチング液。
<7>第3成分が、2〜20質量%のヒドロキシ酸である<1>に記載の樹脂組成物のエッチング液。
<8><1>〜<7>のいずれかに記載の樹脂組成物のエッチング液を用いて、アルカリ不溶性樹脂及び50〜80質量%の無機充填剤を含む樹脂組成物をエッチング処理する工程を有することを特徴とする樹脂組成物のエッチング方法。
<9>エッチング処理工程後に、超音波照射する工程をさらに有する<8>に記載の樹脂組成物のエッチング方法。
<10>エッチング処理工程前に、2.5〜7.5質量%の陰イオン界面活性剤を含有する酸性水溶液からなる前処理液で前処理する工程をさらに有する<8>又は<9>に記載の樹脂組成物のエッチング方法。
<11>エッチング処理工程において、エッチングレジストを使用し、このエッチングレジストが、金属マスク又はドライフィルムレジストである<8>〜<10>のいずれかに記載の樹脂組成物のエッチング方法。
無機充填剤として、球状溶融シリカ78質量%、エポキシ樹脂として、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂10質量%、熱硬化剤として、フェノールノボラック型シアネート樹脂10質量%、硬化促進剤として、トリフェニルホスフィン1質量%、その他、カップリング剤、レベリング剤を加え、全量を100質量%としたものに、メチルエチルケトンとシクロヘキサノンを媒体として混合し、液状樹脂組成物を得た。
○:樹脂組成物が残っていない。
△:極微量の樹脂組成物が残っているが、プラズマ洗浄処理等の後処理で容易に除去できるレベル。
×:多くの樹脂組成物が残り、後処理で除去されないレベル。
○:エッチング処理時間が「標準処理時間±30%」でも、エッチング後の表面に樹脂組成物が残っていない。
△:エッチング処理時間が「標準処理時間±30%」でも、エッチング後の表面に極微量の樹脂組成物が残っているが、プラズマ洗浄処理等の後処理で容易に除去できるレベルである。
×:エッチング処理時間が「標準処理時間±30%」で、エッチング後の表面に多くの樹脂組成物が残り、後処理で除去されないレベル。
〇:樹脂組成物層にアンダーカットが見られない。
△:樹脂組成物層の底面に小さなアンダーカットが見られる。
×:樹脂組成物層の底面に実用上問題となる大きなアンダーカットが見られる。
球状溶融シリカの含有量を55質量%とし、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂の含有量を33質量%とした以外は、実施例1−3と同様の方法により、エッチング処理を行った。結果を表2に示す。
球状溶融シリカの含有量を45質量%とし、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂の含有量を43質量%とした以外は、実施例1−3と同様の方法により、エッチング処理を行った。エッチング時間を30分まで延長したが、導体パターン表面上及びエポキシ樹脂ガラス布基材上に大量の樹脂残りがあり、樹脂組成物層をエッチング加工することができなかった。結果を表2に示す。
実施例1−1と同様の方法により得られたエッチングレジスト5付きの樹脂組成物層4をウェットブラストによりエッチング処理し、その後、エッチングレジスト5を除去した。これを光学顕微鏡で観察した結果、樹脂組成物層4のエッチング量にばらつきがあり、エポキシ樹脂ガラス布基材上に樹脂組成物が残っている箇所があった。また、表面の一部又は全部が露出された導体パターンにはブラスト処理によって付けられた傷が多数確認された。
表3又は表4に記載したエッチング液を使用した以外は、実施例1−1と同様の方法により、エッチング処理を行った。結果を表3及び表4に示す。
球状溶融シリカの含有量を55質量%とし、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂の含有量を33質量%とした以外は、実施例2−3と同様の方法により、エッチング処理を行った。結果を表4に示す。
球状溶融シリカの含有量を45質量%とし、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂の含有量を43質量%とし、エッチング時間を30分まで延長した以外は、実施例2−3と同様の方法により、エッチング処理を行った。エッチング時間を30分まで延長したが、導体パターン表面上及びエポキシ樹脂ガラス布基材上に大量の樹脂残りがあり、樹脂組成物層をエッチング加工することができなかった。結果を表4に示す。
表5又は表6に記載したエッチング液を使用した以外は、実施例1−1と同様の方法により、エッチング処理を行った。結果を表5及び表6に示す。
球状溶融シリカの含有量を55質量%とし、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂の含有量を33質量%とした以外は、実施例3−3と同様の方法により、エッチング処理を行った。結果を表6に示す。
球状溶融シリカの含有量を45質量%とし、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂の含有量を43質量%とし、エッチング時間を30分まで延長した以外は、実施例3−3と同様の方法により、エッチング処理を行った。エッチング時間を30分まで延長したが、導体パターン表面上及びエポキシ樹脂ガラス布基材上に大量の樹脂残りがあり、樹脂組成物層をエッチング加工することができなかった。結果を表6に示す。
無機充填剤として、球状溶融シリカ78質量%、エポキシ樹脂として、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂10質量%、熱硬化剤として、フェノールノボラック型シアネート樹脂10質量%、硬化促進剤として、トリフェニルホスフィン1質量%、その他、カップリング剤、レベリング剤を加え、全量を100質量%としたものに、メチルエチルケトンとシクロヘキサノンを媒体として混合し、液状樹脂組成物を得た。
○:樹脂組成物が残っていない。
○△:極微量の樹脂組成物が残っているが、問題とならないレベル。
△:微量の樹脂組成物が残っているが、プラズマ洗浄処理で容易に除去できるレベル。
×:多くの樹脂組成物が残り、プラズマ洗浄処理で除去されないレベル。
○:樹脂組成物層にアンダーカットが見られない。
○△:樹脂組成物層の底面に極小さなアンダーカットが見られる。
△:樹脂組成物層の底面に小さなアンダーカットが見られるが問題とならないレベル。
×:樹脂組成物層の底面に実用上問題となる大きなアンダーカットが見られる。
○:非常に均一性が高い。変動値が3%未満。
○△:均一性が高い。変動値が3%以上5%未満。
△:均一。変動値が5%以上6%未満。
×:均一とは言えない。変動値が6%以上。
球状溶融シリカの含有量を55質量%とし、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂の含有量を33質量%とした以外は、実施例4−2と同様の方法により、エッチング処理を行った。結果を表7に示す。
球状溶融シリカの含有量を45質量%とし、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂の含有量を43質量%とした以外は、実施例4−2と同様の方法により、エッチング処理を行った。エッチング時間を30分まで延長したが、導体パターン表面上及びエポキシ樹脂ガラス布基材上に大量の樹脂残りがあり、樹脂組成物層をエッチング加工することができなかった。結果を表7に示す。
樹脂組成物層4を除去する浸漬処理の際に、超音波照射を行わない以外は、実施例4−1、4−2、4−4、4−6及び4−7と同様の方法により、エッチング処理を行った。結果を表7に示す。
実施例4−10と同様の方法により得られたエッチング処理後(IV)のエッチングレジスト5(金属マスク)を、塩化第二鉄溶液を用いて除去し、その後の水洗する工程で超音波照射した。結果を表7に示す。
表8又は表9に記載したエッチング液を使用した以外は、実施例4−1と同様の方法により、エッチング処理を行った。結果を表8及び表9に示す。
球状溶融シリカの含有量を55質量%とし、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂の含有量を33質量%とし、表9に記載したエッチング液を使用した以外は、実施例4−1と同様の方法により、エッチング処理を行った。結果を表9に示す。
球状溶融シリカの含有量を45質量%とし、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂の含有量を43質量%とした以外は、実施例5−8と同様の方法により、エッチング処理を行った。エッチング時間を30分まで延長したが、導体パターン表面上及びエポキシ樹脂ガラス布基材上に大量の樹脂残りがあり、樹脂組成物層をエッチング加工することができなかった。結果を表9に示す。
樹脂組成物層4を除去する浸漬処理の際に、超音波照射を行わない以外は、実施例5−1、5−3、5−4、5−5、5−7と同様の方法により、エッチング処理を行った。結果を表9に示す。
実施例5−12と同様の方法により、エッチング処理を行った後、エッチングレジスト5(金属マスク)を、塩化第二鉄溶液を用いて除去し、その後の水洗する工程で超音波照射した。結果を表9に示す。
表10又は表11に記載したエッチング液を使用した以外は、実施例4−1と同様の方法により、エッチング処理を行った。結果を表10及び表11に示す。
球状溶融シリカの含有量を55質量%とし、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂の含有量を33質量%とした以外は、実施例6−3と同様の方法により、エッチング処理を行った。結果を表11に示す。
球状溶融シリカの含有量を45質量%とし、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂の含有量を43質量%とした以外は、実施例6−3と同様の方法により、エッチング処理を行った。エッチング時間を30分まで延長したが、導体パターン表面上及びエポキシ樹脂ガラス布基材上に大量の樹脂残りがあり、樹脂組成物層をエッチング加工することができなかった。結果を表11に示す。
樹脂組成物層4を除去する浸漬処理の際に、超音波照射を行わない以外は、実施例6−1〜6−8と同様の方法により、エッチング処理を行った。
実施例6−15と同様の方法により、エッチング処理を行った後、エッチングレジスト5(金属マスク)を、塩化第二鉄溶液を用いて除去し、その後の水洗する工程で超音波照射した。結果を表11に示す。
無機充填剤として、球状溶融シリカ78質量%、エポキシ樹脂として、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂10質量%、熱硬化剤として、フェノールノボラック型シアネート樹脂10質量%、硬化促進剤として、トリフェニルホスフィン1質量%、その他、カップリング剤、レベリング剤を加え、全量を100質量%としたものに、メチルエチルケトンとシクロヘキサノンを媒体として混合し、液状樹脂組成物を得た。
○:標準処理時間で小径開口100箇所の内、樹脂開口箇所が95箇所以上である。
△:標準処理時間で小径開口100箇所の内、樹脂開口箇所が85箇所以上95箇所未満である。
×:標準処理時間で小径開口100箇所の内、樹脂開口箇所が85箇所未満である。
無機充填剤として、球状溶融シリカ78質量%、エポキシ樹脂として、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂10質量%、熱硬化剤として、フェノールノボラック型シアネート樹脂10質量%、硬化促進剤として、トリフェニルホスフィン1質量%、その他、カップリング剤、レベリング剤を加え、全量を100質量%としたものに、メチルエチルケトンとシクロヘキサノンを媒体として混合し、液状樹脂組成物を得た。
○:樹脂組成物が残っていない。
△:極微量の樹脂組成物が残っているが、プラズマ洗浄処理等の後処理で容易に除去できるレベル。
×:多くの樹脂組成物が残り、後処理で除去されないレベル。
○:エッチング処理時間が「標準処理時間±30%」でも、エッチング後の表面に樹脂組成物が残っていない。
△:エッチング処理時間が「標準処理時間±30%」でも、エッチング後の表面に極微量の樹脂組成物が残っているが、プラズマ洗浄処理等の後処理で容易に除去できるレベルである。
×:エッチング処理時間が「標準処理時間±30%」で、エッチング後の表面に多くの樹脂組成物が残り、後処理で除去されないレベル。
〇:樹脂組成物層にアンダーカットが見られない。
△:樹脂組成物層の底面に小さなアンダーカットが見られる。
×:樹脂組成物層の底面に実用上問題となる大きなアンダーカットが見られる。
球状溶融シリカの含有量を55質量%とし、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂の含有量を33質量%とした以外は、実施例7−3と同様の方法により、エッチング処理を行った。結果を表16に示す。
球状溶融シリカの含有量を45質量%とし、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂の含有量を43質量%とし、エッチング時間を30分まで延長した以外は、実施例7−3と同様の方法により、エッチング処理を行った。エッチング時間を30分まで延長したが、導体パターン表面上及びエポキシ樹脂ガラス布基材上に大量の樹脂残りがあり、樹脂組成物層をエッチング加工することができなかった。結果を表16に示す。
実施例7−1と同様の方法により得られたエッチングレジスト5(ドライフィルムレジストパターン)付きの樹脂組成物層4をウェットブラストによりエッチング処理し、その後、エッチングレジスト5を除去した。これを光学顕微鏡で観察した結果、樹脂組成物層4のエッチング量にばらつきがあり、エポキシ樹脂ガラス布基材上に樹脂組成物が残っている箇所があった。また、表面の一部又は全部が露出された導体パターンにはウェットブラスト処理によって付けられた傷が多数確認された。
表17又は表18に記載したエッチング液を使用した以外は、実施例7−1と同様の方法により、エッチング処理を行った。結果を表17及び表18に示す。
球状溶融シリカの含有量を55質量%とし、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂の含有量を33質量%とした以外は、実施例8−3と同様の方法により、エッチング処理を行った。結果を表18に示す。
球状溶融シリカの含有量を45質量%とし、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂の含有量を43質量%とし、エッチング時間を30分まで延長した以外は、実施例8−3と同様の方法により、エッチング処理を行った。エッチング時間を30分まで延長したが、導体パターン表面上及びエポキシ樹脂ガラス布基材上に大量の樹脂残りがあり、樹脂組成物層をエッチング加工することができなかった。結果を表18に示す。
表19又は表20に記載したエッチング液を使用した以外は、実施例7−1と同様の方法により、エッチング処理を行った。結果を表19及び表20に示す。
球状溶融シリカの含有量を55質量%とし、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂の含有量を33質量%とした以外は、実施例9−3と同様の方法により、エッチング処理を行った。結果を表20に示す。
球状溶融シリカの含有量を45質量%とし、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂の含有量を43質量%とし、エッチング時間を30分まで延長した以外は、実施例9−3と同様の方法により、エッチング処理を行った。エッチング時間を30分まで延長したが、導体パターン表面上及びエポキシ樹脂ガラス布基材上に大量の樹脂残りがあり、樹脂組成物層をエッチング加工することができなかった。結果を表20に示す。
1’ 銅張積層板
2 絶縁層
3 半田接続パッド、接続パッド
3’ 銅箔
4 樹脂組成物層
5 エッチングレジスト(金属マスク、ドライフィルムレジストパターン)
6 銅箔、ドライフィルムレジスト
7 評価部分
A 導体パターン
a エッチングレジスト5の開口長さ
b 樹枝組成物層4の膜厚
c 樹枝組成物層4の底部長さ
d 開口部
Claims (11)
- アルカリ不溶性樹脂及び50〜80質量%の無機充填剤を含む樹脂組成物のエッチング液において、該エッチング液が、第1成分としての15〜45質量%のアルカリ金属水酸化物及び第2成分としての1〜40質量%のエタノールアミン化合物を含有し、且つ第3成分としての3〜60質量%のポリオール化合物、2〜20質量%の多価カルボン酸又は2〜20質量%のヒドロキシ酸を含有することを特徴とする樹脂組成物のエッチング液。
- 第3成分が、3〜60質量%のポリオール化合物である請求項1に記載の樹脂組成物のエッチング液。
- 上記ポリオール化合物の分子量が80以上200以下である請求項1又は2に記載の樹脂組成物のエッチング液。
- 上記ポリオール化合物が3つ以上のヒドロキシル基を有する請求項1〜3のいずれかに記載の樹脂組成物のエッチング液。
- 上記ポリオール化合物が、グリセリンである請求項1〜4のいずれかに記載の樹脂組成物のエッチング液。
- 第3成分が、2〜20質量%の多価カルボン酸である請求項1に記載の樹脂組成物のエッチング液。
- 第3成分が、2〜20質量%のヒドロキシ酸である請求項1に記載の樹脂組成物のエッチング液。
- 請求項1〜7のいずれかに記載の樹脂組成物のエッチング液を用いて、アルカリ不溶性樹脂及び50〜80質量%の無機充填剤を含む樹脂組成物をエッチング処理する工程を有することを特徴とする樹脂組成物のエッチング方法。
- エッチング処理工程後に、超音波照射する工程をさらに有する請求項8に記載の樹脂組成物のエッチング方法。
- エッチング処理工程前に、2.5〜7.5質量%の陰イオン界面活性剤を含有する酸性水溶液からなる前処理液で前処理する工程をさらに有する請求項8又は9に記載の樹脂組成物のエッチング方法。
- エッチング処理工程において、エッチングレジストを使用し、このエッチングレジストが、金属マスク又はドライフィルムレジストである請求項8〜10のいずれかに記載の樹脂組成物のエッチング方法。
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