JP6658676B2 - 電流センサ - Google Patents
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Description
6 電流線
7 磁気抵抗効果素子
71 フリー層
72 スペーサ層
73 ピンド層
74 反強磁性層
8,108a,108b フィードバックコイル(キャンセル磁場発生手段)
8a 下段部分
8b 上段部分
8c,8d 側方部
9 第1の軟磁性体
9a 第1の部分
9b 第2の部分
10 第2の軟磁性体
12 下部リード層
13 上部リード層
Bc キャンセル磁場
Bo 外部磁場
Bs 信号磁場
Fi フィードバック電流
i 電流線を流れる電流
Claims (11)
- 電流線の近傍に設置され、前記電流線を流れる電流により誘起される信号磁場が印加され、前記信号磁場の変化に応じて磁気抵抗変化を発生させる磁気抵抗効果素子と、
前記磁気抵抗効果素子の近傍に設けられ、前記信号磁場をキャンセルするキャンセル磁場を発生させるキャンセル磁場発生手段と、
前記磁気抵抗効果素子と前記電流線との間に設けられた第1の軟磁性体と、
前記磁気抵抗効果素子の感磁方向に関し前記磁気抵抗効果素子の両側に設けられた一対の第2の軟磁性体と、
前記磁気抵抗効果素子と、前記キャンセル磁場発生手段と、前記第1の軟磁性体と、前記一対の第2の軟磁性体とが設けられる基板と、を有し、
前記第1の軟磁性体は、前記基板と平行な方向に広がり前記磁気抵抗効果素子を前記電流線から遮蔽する第1の部分と、前記第1の部分の前記感磁方向における少なくとも一方の縁部から前記基板に近づく方向に延びる第2の部分と、を有する、電流センサ。 - 前記第2の軟磁性体は、前記感磁方向に関し前記第1の軟磁性体の内側に位置している、請求項1に記載の電流センサ。
- 電流線の近傍に設置され、前記電流線を流れる電流により誘起される信号磁場が印加され、前記信号磁場の変化に応じて磁気抵抗変化を発生させる磁気抵抗効果素子と、
前記磁気抵抗効果素子の近傍に設けられ、前記信号磁場をキャンセルするキャンセル磁場を発生させるキャンセル磁場発生手段と、
前記磁気抵抗効果素子と前記電流線との間に設けられた第1の軟磁性体と、
前記磁気抵抗効果素子の感磁方向に関し前記磁気抵抗効果素子の両側に設けられた一対の第2の軟磁性体と、を有し、前記第2の軟磁性体は前記感磁方向に関し前記第1の軟磁性体の内側に位置している、電流センサ。 - 前記磁気抵抗効果素子と、前記キャンセル磁場発生手段と、前記第1の軟磁性体と、前記一対の第2の軟磁性体とが設けられる基板を有する、請求項3に記載の電流センサ。
- 前記キャンセル磁場発生手段は、前記第2の軟磁性体の周りを巻回するコイルである、請求項1から4のいずれか1項に記載の電流センサ。
- 前記キャンセル磁場発生手段は、前記磁気抵抗効果素子と前記第1の軟磁性体との間と、前記磁気抵抗効果素子に関し前記第1の軟磁性体の反対側の少なくともいずれかに位置し、前記基板と平行な面内を巻回する少なくとも一つのコイルである、請求項1,2,4のいずれか1項に記載の電流センサ。
- 電流線の近傍に設置され、前記電流線を流れる電流により誘起される信号磁場が印加され、前記信号磁場の変化に応じて磁気抵抗変化を発生させる磁気抵抗効果素子と、
前記磁気抵抗効果素子の近傍に設けられ、前記信号磁場をキャンセルするキャンセル磁場を発生させるキャンセル磁場発生手段と、
前記磁気抵抗効果素子に関し前記電流線の反対側に設けられた第1の軟磁性体と、
前記磁気抵抗効果素子の感磁方向に関し前記磁気抵抗効果素子の両側に設けられた一対の第2の軟磁性体と、
前記磁気抵抗効果素子と、前記キャンセル磁場発生手段と、前記第1の軟磁性体と、前記一対の第2の軟磁性体とが設けられる基板と、を有し、
前記第1の軟磁性体は、前記基板と平行な方向に広がり前記磁気抵抗効果素子を前記電流線から遮蔽する第1の部分と、前記第1の部分の前記感磁方向における両側の縁部から前記基板から遠ざかる方向に延びる第2の部分と、を有する電流センサ。 - 電流線の近傍に設置され、前記電流線を流れる電流により誘起される信号磁場が印加され、前記信号磁場の変化に応じて磁気抵抗変化を発生させる磁気抵抗効果素子と、
前記磁気抵抗効果素子の近傍に設けられ、前記信号磁場をキャンセルするキャンセル磁場を発生させるキャンセル磁場発生手段と、
前記磁気抵抗効果素子に関し前記電流線の反対側に設けられた第1の軟磁性体と、
前記磁気抵抗効果素子の感磁方向に関し前記磁気抵抗効果素子の両側に設けられた一対の第2の軟磁性体と、を有し、前記第2の軟磁性体は、前記感磁方向に関し前記第1の軟磁性体の内側に位置している、電流センサ。 - 前記キャンセル磁場発生手段と前記第1の軟磁性体との距離は0.1μm以上、30μm以下であり、前記キャンセル磁場発生手段と前記第2の軟磁性体との距離は0.1μm以上、10μm以下である、請求項1から8のいずれか1項に記載の電流センサ。
- 前記磁気抵抗効果素子はTMR素子である、請求項1から9のいずれか1項に記載の電流センサ。
- 前記TMR素子の前記感磁方向の長さが0.1μm以上、10μm以下であり、前記電流線と平行な方向の長さが前記感磁方向の長さの2倍以上である、請求項10に記載の電流センサ。
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