JP6653479B2 - 慣性力センサ - Google Patents
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Description
本発明は、車両や携帯端末等に用いられる慣性力センサに関する。
図6は、従来の慣性力センサ100Aの回路構成を示すブロック図である。
図6に示すように、従来の慣性力センサ100Aは、例えば角速度センサであって、振動子1と、駆動回路7と、検出回路8と、加算器9と、温度センサ10と、A/D変換器11と、記憶手段12とを有する。
振動子1は、音叉形状の水晶製の振動子である。振動子1の4つの側面の各々には、金からなる駆動電極2が設けられている。また、振動子1の表面および裏面の各々には、金からなるモニタ電極3が設けられている。さらに、振動子1の内側の側面には、金からなるGND電極4が設けられ、振動子1の外側の側面には、金からなる第1の検出電極5および第2の検出電極6が設けられている。
駆動回路7は、振動子1の一方のモニタ電極3の電荷が入力されて、振動子1における駆動電極2に駆動信号を出力する。
検出回路8は、振動子1における第1の検出電極5にコリオリ力によって発生する電荷および第2の検出電極6にコリオリ力によって発生する電荷が入力されて、出力信号として角速度信号を出力する。
加算器9は、検出回路8から出力される角速度信号に補正信号を加算する。
温度センサ10は、振動子1の近傍に配置されており、振動子1の近傍の温度を検出する。
A/D変換器11は、温度センサ10から出力されるアナログ信号をデジタル信号に変換する。
記憶手段12は、EEPROMなどのメモリである。記憶手段12には、検出回路8から出力される出力信号の誤差を補正するための補正データが記憶されている。
次に、以上のように構成された従来の慣性力センサ100Aの動作を説明する。
振動子1の駆動電極2に交流電圧を加えると振動子1が共振し、振動子1のモニタ電極3に電荷が発生する。このモニタ電極3に発生した電荷は、駆動回路7を介して、駆動電極2に入力され、振動子1の振動が一定振幅になるように調整される。
そして、振動子1が振動方向に速度vで屈曲振動している状態において、振動子1の長手方向の中心軸周りに振動子1が角速度ωで回転すると、この振動子1にF=2mV×ωのコリオリ力が発生する。このコリオリ力によって、第1の検出電極5および第2の検出電極6に電荷が発生する。第1の検出電極5および第2の検出電極6に発生した電荷は検出回路8に入力され、検出回路8から出力信号として角速度信号が出力される。
ここで、自動車におけるエンジンルーム内に慣性力センサ100A(角速度センサ)が設置され、この慣性力センサ100A近傍の温度が−40℃から100℃まで変化する場合を考えてみる。
まず、自動車におけるエンジンルーム内と条件が同じになるように慣性力センサ100A近傍の温度を−40℃から100℃まで変化させて、各温度における温度センサ10からの出力信号をA/D変換器11を介してCPU14に入力すると同時に、角速度を与えない状態における検出回路8からの出力信号をCPU14に入力する。そして、CPU14により、各温度(例えば1℃毎)の検出回路8の出力信号が常に零出力である2.5Vになるような各温度の出力信号をプロットして補正用曲線を求める。次に、この補正用曲線を図7に示すように2次曲線(2次関数)で近似して、補正係数を算出する。補正係数は、例えば、a=7×10−6、b=9×10−4、c=2.5であり、補正データとして、補正用曲線とともに記憶手段12に記憶される。
そして、このように設定された慣性力センサ100Aを搭載する自動車(図示せず)に角速度が加わった場合、慣性力センサ100Aにおける検出回路8から角速度信号が出力される。
この場合、慣性力センサ100Aの記憶手段12に記憶された補正データをもとに、自動車の車両制御装置13のCPU14により補正信号(補正値)を算出し、算出した補正信号をD/A変換器15によりアナログ信号に変換する。そして、このアナログ信号となった補正信号を、加算器9によって検出回路8から出力される角速度信号に加算する。これにより、検出回路8からの出力信号、すなわち角速度信号が補正される。
なお、この出願の発明に関する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献1が知られている。
しかしながら、上記従来の慣性力センサ100Aでは、温度変化に起因する誤差を補正するための補正用曲線を2次曲線で近似しているので、2次曲線においては正確に補正ができるものの、それ以上高精度で補正することができない。一方、さらに高精度の補正をするために高次の曲線で補正しようとすると回路規模が大きくなるとともに、回路の演算量が増加するという課題がある。
本発明は、上記課題を解決するものであり、回路規模を大きくすることなくかつ演算量が少なくても高精度な高次の補正を行うことができる慣性力センサを提供することを目的とする。
本発明に係る慣性力センサの一態様は、検出素子と、前記検出素子の周囲の温度を検出する温度センサと、前記検出素子からの出力信号を処理するブリッジ回路と、前記ブリッジ回路から出力されるアナログ信号をデジタル信号に変換して出力するAD変換器と、前記AD変換器から出力される出力信号を演算処理する演算回路と、前記AD変換器からの出力信号の温度変化による変動量を補正するための補正データを記憶する記憶手段とを備え、前記補正データは、少なくとも2次曲線以上の較正曲線であり、前記記憶手段には、所定の温度以上と前記所定の温度未満とで異なる複数パターンの較正曲線の係数が記憶されている。
この構成によれば、2次曲線以上で表された較正曲線についての係数を所定の温度以上と所定の温度未満とで変更することができるので、擬似的に少なくとも4次以上の補正をすることができる。これにより、回路規模が小さく演算量が少ないにも関わらず、高精度で高次な補正をすることができる。
また、本発明に係る慣性力センサの一態様において、さらに、前記記憶手段の後段に設けられたセレクタを備え、前記セレクタは、前記温度センサによって検出された温度に応じて、前記記憶手段に記憶された前記複数パターンの較正曲線の係数の中から特定の係数を選択する。
この構成によれば、複数パターンの較正曲線の係数の中から特定の係数を容易に選択することができる。
また、本発明に係る慣性力センサの一態様において、さらに、前記セレクタの後段に設けられた温度補正演算手段を備え、前記温度補正演算手段は、前記温度センサからの温度情報と前記セレクタで選択された前記特定の係数とによって、前記AD変換器からの出力信号を補正するための補正値を算出する。
この構成によれば、AD変換器からの出力信号を補正するための補正値を算出することができる。
また、本発明に係る慣性力センサの一態様において、前記演算回路は、前記温度補正演算手段によって算出された補正値を基に、前記AD変換器からの出力信号を補正する。
この構成によれば、補正値によってAD変換器からの出力信号を補正することができる。
本発明によれば、回路規模を大きくすることなくかつ演算量が少なくても高精度な高次の補正を行うことができる慣性力センサを実現できる。
以下、本発明の一実施の形態における慣性力センサ100について図面を参照しながら説明する。なお、以下に説明する実施の形態は、いずれも本発明の好ましい一具体例を示すものである。したがって、以下の実施の形態で示される、数値、形状、材料、構成要素、および、構成要素の配置位置や接続形態などは、一例であって本発明を限定する主旨ではない。よって、以下の実施の形態における構成要素のうち、本発明の最上位概念を示す独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。
また、各図は模式図であり、必ずしも厳密に図示されたものではない。したがって、各図において縮尺等は必ずしも一致していない。各図において、実質的に同一の構成に対しては同一の符号を付しており、重複する説明は省略又は簡略化する。
また、本明細書および図面において、X軸、Y軸およびZ軸は、三次元直交座標系の三軸を表している。
図1は、本発明の一実施の形態に係る慣性力センサ100の回路構成を示すブロック図である。
図1に示すように、慣性力センサ100は、加速度検出素子20と、温度センサ44と、第1のブリッジ回路41と、第2のブリッジ回路42と、第1のΔΣAD変換器(デルタシグマAD変換器)47と、第2のΔΣAD変換器48と、演算回路49と、記憶手段50とを備える。
本実施の形態における慣性力センサ100は、さらに、第3のΔΣAD変換器51と、デジタルローパスフィルタ52と、温度信号オフセット調整手段53と、セレクタ54と、温度補正演算手段55とを備える。
図2は、慣性力センサ100における加速度検出素子20の上面図である。
加速度検出素子20は、検出素子の一例であり、図2に示すように、内部に中空領域21が形成された枠部22と、枠部22にそれぞれ一端が接続され、中空領域21に延伸するように設けられた梁部23、24、25、26とを有する。また、加速度検出素子20は、梁部23、24、25、26の他端にそれぞれ接続された錘部27、28、29、30と、梁部23、24、25、26の上にそれぞれ設けられたX軸方向の加速度を検出する第1の加速度検出部31、32およびY軸方向の加速度を検出する第2の加速度検出部33、34とを有する。錘部27と錘部28とが対向し、錘部29と錘部30とが対向している。第1の加速度検出部31、32および第2の加速度検出部33、34としては、歪抵抗方式や静電容量方式などの検出デバイスを用いることができる。この場合、歪抵抗方式の検出デバイスとしてピエゾ抵抗を用いることにより、加速度検出素子20の感度を向上させることができる。また、歪抵抗方式の検出デバイスとして酸化膜歪み抵抗体を用いた薄膜抵抗を用いることにより、加速度検出素子20の温度特性を向上させることができる。
図3は、加速度検出素子20の上面図であり、加速度の検出方法を説明するための回路例を示している。図3では、第1の加速度検出部31、32および第2の加速度検出部33、34として、歪抵抗方式の検出デバイスを用いた場合の当該検出デバイスの配置を示している。
図3に示すように、第1の加速度検出部31として歪抵抗R2、R4を配置し、第1の加速度検出部32として歪抵抗R1、R3を配置し、第2の加速度検出部33として歪抵抗R5、R7を配置し、第2の加速度検出部34として歪抵抗R6、R8を配置している。
第1のブリッジ回路41および第2のブリッジ回路42は、加速度検出素子20からの出力信号を処理する。本実施の形態において、第1のブリッジ回路41および第2のブリッジ回路42から出力される信号は、アナログ信号である。
図4Aは、慣性力センサ100におけるX軸方向の加速度を検出する第1のブリッジ回路41の回路図である。
図4Aに示すように、第1のブリッジ回路41では、抵抗R1、R2、R3、R4がブリッジ接続されており、対向する一対の接続点VddとGNDとの間に電圧を印加して他の一対の接続点Vx1とVx2との間の電圧を検出することにより、X軸方向の加速度を検出する。具体的には、第1のブリッジ回路41は、加速度検出素子20における第1の加速度検出部31、32からの出力信号を処理してX軸方向の加速度を検出し、検出した加速度を第1のΔΣAD変換器47に出力する。
図4Bは、慣性力センサ100におけるY軸方向の加速度を検出する第2のブリッジ回路42の回路図である。
図4Bに示すように、第2のブリッジ回路42では、抵抗R5、R6、R7、R8がブリッジ接続されており、対向する一対の接続点VddとGNDとの間に電圧を印加して他の一対の接続点Vy1とVy2との間の電圧を検出することにより、Y軸方向の加速度を検出する。具体的には、第2のブリッジ回路42は、加速度検出素子20における第2の加速度検出部33、34からの出力信号を処理してY軸方向の加速度を検出し、検出した加速度を第2のΔΣAD変換器48に出力する。
温度センサ44は、加速度検出素子20の周囲の温度を検出する。つまり、温度センサ44は、加速度検出素子20の周囲の温度を検出可能な位置に配置されている。温度センサ44は、検出した温度情報を第3のΔΣAD変換器51に出力する。なお、温度センサ44から出力される温度情報に関する信号は、例えばアナログ信号である。
第1のΔΣAD変換器47は、AD変換器の一例であって、第1のブリッジ回路41から出力信号として出力されるアナログ信号をデジタル信号に変換して出力する。具体的には、第1のΔΣAD変換器47は、第1のブリッジ回路41で検出したX軸方向の加速度をアナログ信号からデジタル信号に変換する。
第2のΔΣAD変換器48は、AD変換器の一例であって、第2のブリッジ回路42から出力信号として出力されるアナログ信号をデジタル信号に変換して出力する。具体的には、第2のΔΣAD変換器48は、第2のブリッジ回路42で検出したY軸方向の加速度をアナログ信号からデジタル信号に変換する。
演算回路49は、第1のΔΣAD変換器47および第2のΔΣAD変換器48から出力される出力信号を演算処理する。本実施の形態において、演算回路49は、第1のΔΣAD変換器47からのX軸方向の加速度信号および第2のΔΣAD変換器48からのY軸方向の加速度信号を、温度センサ44からの温度情報を基に補正して出力する。具体的には、演算回路49は、温度補正演算手段55によって算出された補正値により第1のΔΣAD変換器47および第2のΔΣAD変換器48からの出力信号を補正する。
記憶手段50は、第1のΔΣAD変換器47および第2のΔΣAD変換器48からの出力信号の温度変化による変動量を補正するための補正データを記憶する。記憶手段50に記憶される補正データは、少なくとも2次曲線以上の較正曲線である。また、記憶手段50には、所定の温度以上と所定の温度未満とで異なる複数パターンの較正曲線の係数が記憶されている。
較正曲線は、単項式又は多項式の数式で表された近似曲線である。較正曲線が2次曲線である場合、例えば、較正曲線は、y=a×t2+b×t+cで表される。較正曲線の係数は、その数式における係数(a、b、c)である。なお、較正曲線は、2次曲線(2次関数)に限るものではなく、3次曲線以上の高次の曲線であってもよい。例えば、較正曲線が3次曲線である場合、較正曲線は、例えば、y=a×t3+b×t2+c×t+dまたはy=a×t3+b×t2+c×t等で表され、その係数は、a、b、c、d、または、a、b、cである。本実施の形態では、較正曲線をy=a×t3+b×t2+c×tの3次曲線としている。
記憶手段50は、例えばROMなど不揮発性メモリである。なお、記憶手段50は、不揮発性メモリに限るものではなく、RAMなどの揮発性メモリなどのその他のメモリであってもよい。また、記憶手段50には、補正データ(較正曲線)および較正曲線の係数以外に、その他の情報が記憶されていてもよい。
第3のΔΣAD変換器51は、温度センサ44の後段に設けられている。第3のΔΣAD変換器51は、温度センサ44から出力信号として出力される温度情報に関するアナログ信号をデジタル信号に変換して出力する。
デジタルローパスフィルタ52は、第3のΔΣAD変換器51の後段に設けられている。デジタルローパスフィルタ52は、第3のΔΣAD変換器51から出力される温度情報に関するデジタル信号からノイズ信号を除去する。
温度信号オフセット調整手段53は、デジタルローパスフィルタ52の後段に設けられている。温度信号オフセット調整手段53は、温度センサ44から出力される温度情報に関する信号のオフセット調整を行う。本実施の形態において、温度信号オフセット調整手段53は、デジタルローパスフィルタ52によってノイズ信号が除去され、かつ、第3のΔΣAD変換器51によってデジタル信号に変換された、温度センサ44からの温度情報に関する信号のオフセット調整を行う。
セレクタ54は、記憶手段50の後段に設けられている。セレクタ54は、温度センサ44によって検出された温度に応じて、記憶手段50に記憶された複数パターンの較正曲線の係数の中から特定の係数を選択する。
温度補正演算手段55は、セレクタ54および温度信号オフセット調整手段53の後段に設けられている。温度補正演算手段55は、温度センサ44からの温度情報とセレクタ54で選択された特定の係数とによって、第1のΔΣAD変換器47および第2のΔΣAD変換器48からの出力信号を補正するための補正値を算出する。
次に、以上のように構成された慣性力センサ100の動作を説明する。
まず、最初に、X軸方向の加速度を検出する場合について説明する。
加速度検出素子20にX軸方向の正方向に加速度が加わった場合、錘部28が下方に移動し、錘部27が上方に移動する。そうすると、梁部24の上面には引張応力が加わり第1の加速度検出部32の抵抗値が増加する。また、この場合、梁部23の上面には圧縮応力が加わり、第1の加速度検出部31の抵抗値が減少する。したがって、図4Aに示すように、第1のブリッジ回路41からはX軸方向に加わる加速度に応じた出力信号が出力する。
次に、Y軸方向の加速度を検出する場合について説明する。
加速度検出素子20にY軸方向の正方向に加速度が加わった場合、錘部29が下方に移動し、錘部30が上方に移動する。そうすると、梁部25の上面には引張応力が加わり第2の加速度検出部33の抵抗値が増加する。また、この場合、梁部26の上面には圧縮応力が加わり、第2の加速度検出部34の抵抗値が減少する。したがって、図4Bに示すように、第2のブリッジ回路42からはY軸方向に加わる加速度に応じた出力信号が出力する。
実際にはX軸方向およびY軸方向の2軸の加速度が加速度検出素子20(慣性力センサ100)に加わっている。そして、第1のブリッジ回路41から出力されるX軸方向の加速度の出力信号は第1のΔΣAD変換器47によりデジタル信号に変換される。同様に、第2のブリッジ回路42から出力されるY軸方向の加速度(加速度信号)は、第2のΔΣAD変換器48によりデジタル信号に変換される。
演算回路49は、デジタル信号として第1のΔΣAD変換器47から出力されるX軸方向の加速度出力信号と、第2のΔΣAD変換器48から出力されるY軸方向の加速度信号を、温度センサ44から出力される温度情報を基に補正して出力する。
ここで、慣性力センサ100の周囲の温度が変動する場合を考える。
まず、慣性力センサ100を温度槽(図示せず)に入れて、周囲温度を−50℃から150℃まで変化させて、加速度を付加しない状態で、演算回路49から出力される出力信号がゼロ値になる温度を見極めて、このときの温度を基準温度とする。
次に、この基準温度を中心にして、温度を増減したときの出力信号の変化量を計測して、その変化量を補正する補正データを例えば記憶手段50に予め格納させておく。
例えば、温度を増減したときの各温度(例えば1℃毎)における出力信号をプロットして近似し、補正データとして較正曲線を算出して較正曲線の係数とともに記憶手段50に記憶させる。この場合、所定の温度(例えば25℃)を境界として、所定の温度以上と所定の温度未満とで異なる複数のパターンの較正曲線を算出し、較正曲線とその係数とを記憶手段50に記憶させる。
本実施の形態では、補正データである較正曲線をy=a×t3+b×t2+c×tの3次曲線とし、複数パターンの3次曲線を算出する。また、複数パターンの3次曲線の各々の係数a、b、cも記憶手段50に記憶する。例えば、記憶手段50には、第1パターンの較正曲線としてy=a1×t3+b1×t2+c2×tが記憶されるとともに、第2パターンの較正曲線としてy=a2×t3+b2×t2+c2×tが記憶される。さらに、これらの較正曲線の係数として、第1のパターンの係数(a1、b1、c1)および第2のパターンの係数(a2、b2、c2)も記憶手段50に記憶される。
そして、慣性力センサ100の動作状態においては、温度センサ44によって慣性力センサ100(加速度検出素子20)の周囲の温度を検出する。温度センサ44によって検出された温度情報に関する信号は、第3のΔΣAD変換器51でデジタル出力信号に変換され、さらに、デジタルローパスフィルタ52によりノイズ信号が除去されて、温度信号オフセット調整手段53に入力される。
温度信号オフセット調整手段53は、第3のΔΣAD変換器51およびデジタルローパスフィルタ52を介して入力された温度センサ44からの温度情報に関する信号について、オフセット調整を行う。その後、オフセット調整された温度情報に関する信号を基に、その温度情報に関する信号に応じた補正データとして、記憶手段50から較正曲線の係数を抽出する。
この場合、加速度検出素子20の周囲の温度の変化に応じて、較正曲線の係数を切り替える。具体的には、セレクタ54によって、加速度検出素子20の周囲の温度に応じて、記憶手段50に記憶された複数パターンの較正曲線の中から特定の較正曲線が選択されるとともに、記憶手段50に記憶された複数パターンの較正曲線の係数の中から特定の係数が選択される。つまり、加速度検出素子20の周囲の温度の変化に応じて、セレクタ54により較正曲線の係数が切り替えられる。
例えば、加速度検出素子20の周囲の温度が25℃未満の場合、セレクタ54によって、補正データとして第1のパターンの較正曲線(y=a1×t3+b1×t2+c1×t)が選択されるとともに、第1のパターンの較正曲線の係数(a1、b1、c1)が選択される。一方、加速度検出素子20の周囲の温度が25℃以上の場合、セレクタ54によって、補正データとして第2のパターンの較正曲線(y=a2×t3+b2×t2+c2×t)が選択されるとともに、第2のパターンの較正曲線の係数(a2、b2、c2)が選択される。
その後、温度補正演算手段55により、デジタルローパスフィルタ52を介した温度信号オフセット調整手段53からの出力信号である温度情報と、セレクタ54で選択された特定の係数とを基に、第1のΔΣAD変換器47および第2のΔΣAD変換器48からの出力信号を補正するための補正値を算出する。
温度補正演算手段55によって算出された補正値は、演算回路49に加算される。そして、演算回路49は、温度補正演算手段55によって算出された補正値を基に、図5に示すように、第1のΔΣAD変換器47および第2のΔΣAD変換器48から出力される出力信号を補正する。図5は、慣性力センサ100の温度変動によって出力信号を補正するときの補正前後の出力信号を示す図である。なお、図5には、従来の慣性力センサ100Aの補正後の出力信号も示している。
以上のとおり、本実施の形態における慣性力センサ100においては、第1のΔΣAD変換器47からの出力信号および第2のΔΣAD変換器48からの出力信号の各々の温度変化による変動量を補正するための補正データを3次曲線の較正曲線で構成するとともに、この較正曲線の係数を、所定の温度以上(例えば25℃以上)と所定の温度未満(例えば25℃未満)とで異なる複数のパターンの較正曲線の係数から選択している。つまり、所定の温度を境界として、補正データである較正曲線の係数を変更している。そして、異なる複数パターンの較正曲線の係数は、記憶手段50に予め記憶されている。
そして、慣性力センサ100(加速度検出素子20)の周囲の温度の変化に応じて、記憶手段50から複数パターンの較正曲線(3次曲線)の係数の中から特定の係数を選択して、この係数を基にして第1のΔΣAD変換器47からの出力信号および第2のΔΣAD変換器48からの出力信号を補正している。
このように、3次曲線の較正曲線の係数を用いて温度変化に応じて第1のΔΣAD変換器47からの出力信号および第2のΔΣAD変換器48からの出力信号を補正することで、擬似的に6次に相当する補正を行うことができる。これにより、回路規模が小さく演算量が少ないにも関わらず、高精度で6次の補正をすることができる。
以上、本発明に係る慣性力センサ100について、一実施の形態に基づいて説明したが、本発明は、上記の実施の形態に限定されるものではない。
例えば、上記実施の形態において、較正曲線は3次曲線としたが、2次曲線であってもよい。これにより、従来のように補正データとして2次曲線を用いながらも、擬似的に4次に相当する補正を行うことができる。したがって、回路規模が小さく演算量が少ないにも関わらず、高精度で4次の補正をすることができる。
また、上記実施の形態では、X軸方向およびY軸方向の2軸方向の加速度を検出するために、2つの加速度検出部(第1の加速度検出部31および32、第2の加速度検出部33および34)を用いるともに、2つのブリッジ回路(第1のブリッジ回路41、第2のブリッジ回路42)と2つのΔΣAD変換器(第1のΔΣAD変換器47、第2のΔΣAD変換器48)とを用いたが、これに限るものではなく、1軸方向の加速度のみの検出を行ってもよい。この場合、加速度検出部、ブリッジ回路及びΔΣAD変換器は、1つずつでよい。
また、上記実施の形態において、慣性力センサ100は、加速度を検出したが、これに限るものではない。
その他、上記実施の形態に対して当業者が思いつく各種変形を施して得られる形態、又は、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で上記の実施の形態における構成要素及び機能を任意に組み合わせることで実現される形態も本発明に含まれる。
また、上記の慣性力センサ100において、温度信号オフセット調整手段53および温度補正演算手段55等の処理手段は、回路によって実現することができる。この場合、回路は、全体として1つの回路を構成してもよいし、それぞれ別々の回路でもよい。
また、温度信号オフセット調整手段53および温度補正演算手段55等の処理手段において動作として説明した処理は、コンピュータが実行してもよい。例えば、コンピュータが、プロセッサ(CPU)、メモリ及び入出力回路等のハードウェア資源を用いてプログラムを実行することによって、上記の各処理を実行することができる。具体的には、プロセッサが処理対象のデータをメモリ又は入出力回路等から取得してデータを演算したり、演算結果をメモリ又は入出力回路等に出力したりすることによって、各処理を実行する。
また、上記の各処理を実行するためのプログラムは、記憶手段50に記憶されていてもよいし、記憶手段50とは異なる記録媒体に記録されていてもよい。
本発明に係る慣性力センサは、回路規模を大きくすることなくかつ演算量が少なくても高精度な高次の補正を行うことができるという効果を有し、車両や携帯端末等に用いられる慣性力センサとして有用である。
20 加速度検出素子
31、32 第1の加速度検出部
33、34 第2の加速度検出部
41 第1のブリッジ回路
42 第2のブリッジ回路
44 温度センサ
47 第1のΔΣAD変換器
48 第2のΔΣAD変換器
49 演算回路
50 記憶手段
51 第3のΔΣAD変換器
52 デジタルローパスフィルタ
53 温度信号オフセット調整手段
54 セレクタ
55 温度補正演算手段
100 慣性力センサ
31、32 第1の加速度検出部
33、34 第2の加速度検出部
41 第1のブリッジ回路
42 第2のブリッジ回路
44 温度センサ
47 第1のΔΣAD変換器
48 第2のΔΣAD変換器
49 演算回路
50 記憶手段
51 第3のΔΣAD変換器
52 デジタルローパスフィルタ
53 温度信号オフセット調整手段
54 セレクタ
55 温度補正演算手段
100 慣性力センサ
Claims (4)
- 検出素子と、
前記検出素子の周囲の温度を検出する温度センサと、
前記検出素子からの出力信号を処理するブリッジ回路と、
前記ブリッジ回路から出力されるアナログ信号をデジタル信号に変換して出力するAD変換器と、
前記AD変換器から出力される出力信号を演算処理する演算回路と、
前記AD変換器からの出力信号の温度変化による変動量を補正するための補正データを記憶する記憶手段とを備え、
前記補正データは、少なくとも2次曲線以上の較正曲線であり、
前記記憶手段には、所定の温度以上と前記所定の温度未満とで異なる複数パターンの較正曲線の係数が記憶されている慣性力センサ。 - さらに、前記記憶手段の後段に設けられたセレクタを備え、
前記セレクタは、前記温度センサによって検出された温度に応じて、前記記憶手段に記憶された前記複数パターンの較正曲線の係数の中から特定の係数を選択する請求項1記載の慣性力センサ。 - さらに、前記セレクタの後段に設けられた温度補正演算手段を備え、
前記温度補正演算手段は、前記温度センサからの温度情報と前記セレクタで選択された前記特定の係数とによって、前記AD変換器からの出力信号を補正するための補正値を算出する請求項2に記載の慣性力センサ。 - 前記演算回路は、前記温度補正演算手段によって算出された補正値を基に、前記AD変換器からの出力信号を補正する請求項3に記載の慣性力センサ。
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