JP6645457B2 - ウェブ加工装置 - Google Patents

Description

本発明は、ウェブ加工装置、特に長尺なウェブに対して停止状態で加工を行う加工ステージを備えた加工装置に関する。なお、この明細書において、ウェブとは、シート、フィルムなどの長尺な薄肉部材を一般に指しており、その材質は問わない。

長尺なキャリアフィルム上に形成された薄膜状のセラミックグリーンシートに対して、印刷、積層、打抜きなどの精密な加工を行う場合には、フィルムを一旦停止させる必要がある。そのため、セラミックグリーンシートの製造過程では、連続搬送ステージの間に、間欠搬送される加工ステージを設けた製造装置が用いられている。

特許文献１には、高精細パターンを転写する装置が開示されている。この装置では、表面に高精細パターンが形成されたフィルム状の転写基材を被転写基材に密着させ仮固定するときの該転写基材の張力を、パターン形成時の転写基材の張力と同一もしくは略同一に調整し、その後、熱および圧力を加えることにより高精細パターンを転写基材から被転写基材へ転写している。

特許文献１では、図９に示すように、転写基材１００を仮固定する加工ステージ１０１の両側に、転写基材１００の上下に接触し転写基材１００を固定する２組のニップローラ１０２を配設するとともに、２組のニップローラ１０２の間に張力検出ローラ１０３、ダンサローラ１０４およびガイドローラ１０５を配設し、ダンサローラ１０４を一軸用精密駆動モータ１０６により駆動されるボールネジ機構１０７に連結している。この構造においては、ダンサローラ１０４をミクロン単位で下へ移動させることにより、張力を２０ｇ／ｍ単位で制御することが可能となるとされている。

特開２０００―２４６８６８号公報

ところが、加工ステージ１０１と張力検出ローラ１０３の間の転写基材１００を支持していないため、転写基材１００の自重により転写基材に張力がかかる。また、ダンサローラ１０４を下へ移動させた場合、ダンサローラ１０４による転写基材１００への下方向の張力がかかる。そのため、加工ステージ１０１上の転写基材１００の張力を十分に解除できず、加工精度にばらつきが生じるという問題がある。

本発明の目的は、加工テーブル上のウェブの張力を十分に解除できるウェブ加工装置を提供することにある。

前記目的を達成するため、本発明のウェブ加工装置は、長尺なウェブを加工ステージを経由して搬送するウェブ送り手段と、前記加工ステージに設けられ、前記ウェブの下面を支持する支持面を有し、停止状態の前記ウェブに対して所定の加工を行う加工テーブルと、前記加工ステージの上流側又は下流側のうちの少なくとも一方に配置され、前記ウェブを仮固定するウェブ固定手段と、前記加工ステージにおいて前記ウェブを加工する前に、前記ウェブ固定手段により前記ウェブを仮固定した状態で、前記加工ステージ上に位置するウェブの張力を低減する方向に前記ウェブ送り手段又は前記ウェブ固定手段を作動させるウェブ張力制御手段と、前記加工テーブルと前記ウェブ送り手段との間に配置され、前記ウェブの下面を支える支持手段と、を備える。

本発明では、加工時におけるウェブの張力をできるだけ低くするために、加工ステージの上流側又は下流側のうちウェブ送り手段とは逆側に、ウェブを一時的に固定できるウェブ固定手段を設け、加工ステージにおいてウェブを加工する前に、ウェブ固定手段によりウェブを固定した状態で、ウェブ送り手段とウェブ固定手段との間に位置するウェブの張力を低減する方向にウェブ送り手段又はウェブ固定手段を作動させる。そのため、加工ステージ上に配置されたウェブには殆ど張力が作用しておらず、そのウェブに対して加工を行うことで、ウェブの伸びによる歪みの問題を解消できる。なお、ウェブの張力を低減する方向にウェブ送り手段又はウェブ固定手段を作動させる際の作動量は、ウェブに作用している張力を解放すればよいので、微少量でよい。さらに、本発明では加工テーブルとウェブ送り手段との間にウェブの下面を支える支持手段を設けたので、ウェブの自重による加工テーブル上のウェブの張力を十分に解除できる。

本発明において、ウェブ送り手段とはウェブを間欠的に送り出す手段、換言するとウェブを停止状態と送り状態とに切り替え可能な機構のことであり、供給ステージと加工ステージとの間、又は加工ステージと排出ステージとの間に設けられる。ウェブ送り手段としては、例えばサクションロール、ニップロール、ウェブを挟着又は吸引して上流側と下流側とに往復移動する可動テーブル、ウェブをチャックして上流側と下流側とに往復移動するチャック機構などがある。特にサクションロールは、ウェブの裏面を吸引保持して回転するものであるから、ウェブの表面にセラミックグリーンシート等が形成されている場合でも、そのセラミックグリーンシートを損傷せずに搬送できる。しかも、可動テーブルやチャック機構に比べて構造が簡単であり、停止と起動の制御性が優れている。

一方、加工ステージの上流側に設けられる供給ステージは、例えば巻き出しロールを備えた連続搬送ステージであってもよく、加工ステージの下流側に設けられる排出ステージは、例えば巻き取りロールを備えた連続搬送ステージであってもよい。ウェブ送り手段の駆動時の送り速度は、その上下両側に設けられる供給ステージと排出ステージの搬送速度より大きく、望ましくは１０倍以上大きい。ウェブ送り手段の送り速度と供給ステージ／排出ステージの搬送速度との差を吸収するため、コンペンセータロールなどの公知のバッファ機構を設けることができる。また、ウェブの張力変動を吸収するため、ダンサロールを設けてもよい。加工ステージとは、印刷、積層、打抜きなどの加工工程や検査工程などのように、停止状態のウェブに対して種々の作業を行うステージのことである。

支持手段の支持面の摩擦係数を加工テーブルの支持面の摩擦係数よりも小さいものとするのが望ましい。この場合には、支持部材上でウェブが滑りやすくなることから、ウェブの支持部材上でのひっかかり等による余計な張力がかからず、張力をよりゼロに近づけることができる

支持手段の支持面がウェブ搬送方向と平行な凸状である構造としてもよい。この場合には、支持手段の支持面とウェブとの接触面が小さくなるので、その間の摩擦係数を低くでき、ウェブが滑りやすくなる。

支持手段がウェブ搬送方向と平行に延びる棒状部材で形成されている構造としてもよい。この場合には、棒状部材の隙間を介してエアーブローできる。エアーブローによる圧力影響が少ないため、エアーブローより安定した低張力状態を構築できる。

支持手段が支持テーブルであり、少なくともウェブ張力制御手段によりウェブの張力を低減させる期間に、支持テーブル上のウェブに対して支持テーブルとの間の摩擦抵抗を軽減する方向にエアーブローするエアーブロー手段が設けられている構造としてもよい。このように、摩擦軽減ために支持テーブルにエアーブロー手段が設けられている場合、加工テーブルはエアーブローせずに、支持テーブルでエアーブローすれば、支持テーブルの摩擦係数を加工テーブルより確実に小さくできる。この構造は。極めて剛性の低いウェブ、極めて高い摩擦係数のウェブの低張力構築には有効である。

以上のように、本発明によれば、加工ステージの上流側又は下流側のうちウェブ送り手段とは逆側に、ウェブを一時的に固定できるウェブ固定手段を配置し、加工ステージにおいてウェブを加工する直前に、ウェブ固定手段によりウェブを一時的に固定した状態で、ウェブ送り手段とウェブ固定手段との間に位置するウェブの張力を低減するよう、ウェブ送り手段又はウェブ固定手段を作動させるようにしたので、加工段階のウェブには殆ど張力が作用しておらず、ウェブの伸びによる加工歪みの問題を解消できる。さらに、加工テーブルとウェブ送り手段との間にウェブの下面を支える支持手段を設けたので、ウェブの自重による加工テーブル上のウェブの張力を十分に解除できる。その結果、張力による伸びの影響が大きなウェブであっても、高精度な加工が可能になる。

本発明に係るウェブ加工装置の一例を示す概略構造図である。 支持手段の一例である支持テーブルの幾つかの例の斜視図である。 本発明の作動原理の一例を説明する工程図である。 （ａ）は従来の各工程における張力変化を示す図、（ｂ）は本発明の各工程における張力変化を示す図である。 本発明の第２実施例の作動原理を示す要部の工程図である。 本発明の第３実施例の作動原理を示す要部の工程図である。 本発明の第４実施例の作動原理を示す要部の工程図である。 本発明の第５実施例の加工装置を示す概略図である。 従来技術に係るパターンを転写する装置の概略図である。

図１は本発明に係るウェブ加工装置の一例を示す。この実施形態で使用されるウェブＵは、例えば長尺なキャリアフィルム上に薄膜状のセラミックグリーンシートを形成したものである。本搬送装置は、その上流側に供給ステージＳ１、中間部に加工ステージＳ２、下流側に排出ステージＳ３を備えている。供給ステージＳ１には、モータによって一定の送り速度で連続回転され、加工前のウェブを供給する巻き出しロール１が設けられている。加工ステージＳ２には、ウェブを停止させた状態で印刷、積層、打抜き、検査などの所定の作業を行う加工機２が設けられている。排出ステージＳ３には、モータによって一定の送り速度で連続回転され、加工済みのウェブを巻き取る巻き取りロール３が設けられている。

加工機２は、ウェブを吸引／ブローできる加工テーブル２０を備えており、その上方には所定の加工を行う昇降可能な加工ヘッド２１を備えている。加工ステージ２０及び加工ヘッド２１による加工としては、停止状態のウェブＵに対して行う加工であれば任意であり、打抜き、印刷、レーザー穴あけなどが含まれる。加工機２の内部には、加工テーブル２０の上流側に近接して、ウェブＵを一時的に固定できる吸引テーブル２２が設けられている。なお、吸引テーブル２２は加工機２の外部に設けられていてもよいが、加工テーブル２０と吸引テーブル２２との間には別のロールが存在しない。吸引テーブル２２は、ウェブＵの一部を吸引保持できればよく、加工テーブル２０より小形に形成されている。吸引テーブル２２は、吸引以外に、ウェブを掴んで固定する機構も含む。ウェブの間欠搬送中、張力制御あるいは復帰中はエアーブローしてもよい。

また、加工機２の内部には、加工テーブル２０の下流側に近接して、ウェブＵの下面を支える支持テーブル２３が設けられている。なお、支持テーブル２３は加工機２の外部に設けられていてもよい。支持テーブル２３は、ウェブが垂れ下がらないように支える機能を有し、加工時張力が制御されるウェブが存在する領域のウェブ下方（パスライン高さより僅かに下方）に設置するのが望ましい。支持テーブル２３は加工テーブル２０とウェブを駆動させるロール７間に設置する場合が多く、ウェブ搬送方向への長さは、ウェブが支持テーブル２３以下に垂れ下がることがない様になっている。支持テーブル２３の幅はウェブの幅より狭くても良い。支持テーブル２３の支持面（上面）の摩擦係数は、加工テーブル２０の支持面（上面）の摩擦係数より低いことが望ましい。

摩擦軽減のため、ウェブＵと支持テーブル２３とが非接触あるいは接触面積を小さくする工夫を施してある。例えば、図２に示すような各種の構造がある。
（１）図２の（ａ）で示すように、支持テーブル２３に複数個のブロー孔２３ａを設け、これらブロー孔２３ａから、少なくとも戻し動作（後述する低張力化）の際にエアーブローする。ブロー孔２３ａには図示しないエアーブロー装置からエアーが供給される。
（２）図２の（ｂ）に示すように、ウェブ接触側の支持テーブル２３の支持面をシート搬送方向と平行な凸形状２３ｂとする。この場合、凸部２３ｂの幅は、〜１０ｍｍ程度の線接触となる幅とするのが望ましく、凸部２３ｂの本数は、ウェブ幅内に２本以上であればよい。加工テーブルに対して単位長さ当たり０．１〜６０％の接触面積を有するものが望ましい。なお、凸部２３ｂの間の溝２３ｃからエアーブローを行うことも可能である。
（３）図２の（ｃ）で示すように、支持テーブル２３を糸状あるいはパイプ形状、棒状とする。図２の（ｃ）では、複数の断面円形の棒状部材２３ｄをシート搬送方向に平行となるように支持板２３ｅ上に固定してある。棒状部材２３ｃの直径は、例えばφ０．１〜１０ｍｍが望ましく、棒状部材２３ｄの本数は、シート幅内に２本以上であればよい。棒状部材２３ｄが複数のブロー孔を有するパイプで構成されている場合には、そのパイプの中にエアーを送りこむことで、ブロー孔からエアーを吹き出し、ウェブとの摩擦をさらに軽減することも可能である。

巻き出しロール１から供給されたウェブＵは、ガイドロール４、ダンサロール５、コンペンセータロール６を順次経由して加工機２へ送られる。加工機２を通過したウェブＵは、サクションロール７、コンペンセータロール８、ダンサロール９、ガイドロール１０を経て巻き取りロール３に巻き取られる。図１では、上流側のコンペンセータロール６及びダンサロール５は水平方向に移動可能であり、下流側のコンペンセータロール８及びダンサロール９は上下方向に移動可能である。

ダンサロール５、９は、ウェブに張力変動が発生した場合にそれを吸収するため、エアーシリンダ５ａ、９ａによって押し圧を決定して、ウェブＵに一定の張力を付与する装置である。

サクションロール７は、ウェブを間欠送りするウェブ送り手段を構成している。サクションロール７は、その外周面にウェブＵを吸引保持する機能を有し、サーボモータによって間欠的に回転駆動される。この実施例のサクションロール７は、加工ステージＳ２の下流側、すなわち加工ステージＳ２を間にして吸引テーブル２２とは反対側に設けられている。

コンペンセータロール６、８は、サクションロール７の間欠回転に伴うウェブＵの弛みや緊張を吸収するバッファ装置である。サクションロール７の駆動時の送り速度は、例えば２００ｍｍ／ｓ〜２０００ｍｍ／ｓであり、供給ステージＳ１と排出ステージＳ３の搬送速度よりかなり大きい（望ましくは１０倍以上大きい）ので、コンペンセータロール６、８がサクションロール７の送り速度と供給ステージ／排出ステージの搬送速度との差を吸収している。コンペンセータロール６はモータ６ａとボールねじ６ｂとを備え、モータ６ａを駆動することによりコンペンセータロール６を水平方向に移動させることができる。一方、コンペンセータロール８もモータ８ａとボールねじ８ｂとを備え、モータ８ａを駆動することによりコンペンセータロール８を上下方向に移動させることができる。

図１に示すウェブ加工装置には、ウェブを搬送するための各駆動装置を統合的に制御する制御回路１１が設けられている。すなわち、この制御回路１１は、巻き出しロール１、コンペンセータロール６、サクションロール７、コンペンセータロール８、巻き取りロール３をそれぞれ制御している。さらに、制御回路１１は、加工機２の加工テーブル２０の吸引／ブローの切替、加工ヘッド２１の昇降、吸引テーブル２２の吸引／ブローの切替などの各制御を行うことができる。この制御回路１１が本発明のウェブ張力制御手段を構成している。

次に、図３を参照しながら本発明にかかる搬送装置の作動を説明する。図３（ａ）は、サクションロール７を急速正転させてウェブＵを間欠搬送（例えば１５０ｍｓの間に１５０ｍｍ搬送）している状態を示す。この段階では、加工ヘッド２１は上方に退避しており、加工テーブル２０、吸引テーブル２２及び支持テーブル２３からのブローが停止されているか、又はブローが行われ、ウェブＵは加工テーブル２０、吸引テーブル２２、支持テーブル２３から解放されている。ブローを停止して搬送する場合には、各テーブル２０、２２、２３がパスライン高さより下方に位置しているのが望ましい。そのため、サクションロール７を急速回転させてもウェブＵと加工テーブル２０、吸引テーブル２２、支持テーブル２３との擦れによる損傷は発生しない。なお、サクションロール７の急速正転によりウェブＵが右方向に引っ張られるため、コンペンセータロール６もそれに追随して右方へ高速移動する。搬送時のウェブＵの張力は５〜５０Ｎ程度が好ましい。

図３（ｂ）は、サクションロール７を停止させた状態を示す。この時点では、加工テーブル２０、吸引テーブル２２、及び支持テーブル２３のブローは停止され、ウェブＵは加工テーブル２０及び吸引テーブル２２から解放されている。ウェブＵには、ダンサロール５、９による張力が作用している。

図３（ｃ）は、低張力化の段階を示す。まず吸引テーブル２２が吸引を開始してウェブを固定する。次に、サクションロール７を微少距離だけ逆転させる。この動作は、ウェブＵに作用している張力を解放するためであり、その戻し量は加工テーブル２０とサクションロール７間の距離の２％以下程度の微少長さでよい。ウェブの張力は０〜５Ｎ程度が望ましい。逆転の際、支持テーブル２３からブローを行うことで、支持テーブル２３とウェブＵとの間の摩擦抵抗をなくし、加工テーブル２０上のウェブの張力をより効果的に低下させてもよい。逆転の際、加工テーブル２０からブローを行うことで、加工テーブル２０とウェブＵとの間の摩擦抵抗をなくしてもよい。なお、支持テーブル２３からブローを行うことに代えて、支持テーブル２３を図２（ｂ）又は（ｃ）のような構造とすることで、支持テーブル２３とウェブＵとの摩擦抵抗を減らし、加工テーブル２０上のウェブの張力を小さくしてもよい。サクションロール７を微少逆転させた後、加工テーブル２０の吸引を開始し、ウェブを加工テーブル２０上に保持する。この段階で、加工テーブル２０のＹ方向／θ方向の位置決めを行っても良い。このようにして、加工テーブル２０に吸引されたウェブには張力が殆ど作用していない状態となる。

図３（ｄ）は加工段階であり、加工テーブル２０及び吸引テーブル２２を吸引しながら、加工ヘッド２１を下降させ、ウェブに対して所望の加工を行う。このように、張力が殆ど作用しないウェブに対して加工が実施されるので、伸びの発生を抑制でき、高精度な加工が可能になる。加工中、吸引テーブル２２が吸引を継続する理由は、コンペンセータロール６が供給ステージＳ１における連続搬送に伴って上流側へ低速移動するので、それによる張力変動が加工中のウェブに作用するのを防止するためである。

図３（ｅ）は、吸引解除段階であり、加工ヘッド２１を上昇させた後、加工テーブル２０及び吸引テーブル２２からブローを行うと共に、支持テーブル２３からもブローを行い、ウェブを解放する。その後、サクションロール７を微少長さ（例えば０〜０．２ｍｍ）だけ正転させる。このサクションロール７の微少正転は任意の操作である。この操作は、加工テーブル２０上のウェブに予め張力を与え、その後のサクションロール７の急速正転（図３（ａ）参照）によるウェブの振動を抑制するためである。その後、１番目の工程（図３（ａ））に戻り、以後同様の工程を繰り返す。

図４は、従来の搬送装置と本発明の搬送装置とによるウェブの張力変化を示す。図４の（ａ）に示すように、従来の搬送装置では、加工中もダンサロールによる張力Ｔ１が作用しており、時刻ｔ７で加工を終了して間欠搬送を開始する。間欠搬送時にはウェブに一時的に大きな張力Ｔ２が作用するが、その張力はウェブの弾性限界以下である。間欠搬送が終了した時刻ｔ８で、ウェブの張力は張力Ｔ１に戻るだけで、０にはならない。張力Ｔ１が作用した状態で加工される。

本発明では、図４の（ｂ）に示すように、時刻ｔ１で吸引解除を開始し、ウェブには張力Ｔ１が作用する。時刻ｔ２で間欠搬送を開始することで、ウェブには張力Ｔ２が作用する。時刻ｔ３で間欠搬送を終了すると、張力は張力Ｔ１まで戻る。次に、時刻ｔ４で低張力化の操作を行うと、張力はほぼゼロまで低下し、時刻ｔ５からｔ６まで加工を実施する。低張力化を行うことで、加工テーブル上におけるウェブの張力はほぼ０となる。この状態のウェブに対して加工を実施することで、高精度な加工が可能になる。それ以後は同様の操作を繰り返す。

なお、図４の（ｂ）では本発明と従来との違いを明確にするために、吸引解除、停止、低張力化の各期間を比較的長く表したが、実際には吸引解除、停止、低張力化の各期間は加工時間よりもかなり短いので、吸引解除、停止、低張力化の各操作により加工時間が影響を受ける恐れはない。

図５は、本発明の第２実施例の搬送工程を示す。図５の（ａ）と（ｂ）は、図３の（ａ）と（ｃ）に対応している。図５では、ウェブ搬送段階は図３と同じであるが、低張力化段階においてサクションロール７自体を微少距離だけ後退（上流側へ移動）させる点で異なる。なお、加工後の吸引解除段階ではサクションロール７自体を微少距離だけ前進（下流側へ移動）させ、元の位置に戻す必要がある。この場合には、サクションロール７を前後に移動させる機構が設けられる。この実施例では、サクションロール７を逆転させずに、停止状態のまま微少距離だけ後退させることで、加工テーブル２０上のウェブの張力を解放することができる。この場合も、低張力化の際に、支持テーブル２３からブローを行うか、又は支持テーブル２３として図２（ｂ）又は（ｃ）のような構造を用いることで、支持テーブル２３とウェブＵとの摩擦抵抗を減らし、加工テーブル２０上のウェブの張力を小さくできる。

図６は、本発明の第３実施例の搬送工程を示す。図６の（ａ）と（ｂ）は、図３の（ａ）と（ｃ）に対応している。この実施例では、吸引テーブル２２を加工テーブル２０に対して前後移動（上流側と下流側とに往復移動）させる機構を設ける。ウェブ搬送時には吸引テーブル２２を加工テーブル２０から離れた位置としておく。このとき、吸引テーブル２２からブローを行っても良い。低張力化の段階では、まずサクションロール７を停止させ、吸引テーブル２２でウェブを吸引しながら微少前進させる。低張力化の際に、加工テーブル２０及び支持テーブル２３からブローを行ってもよい。その後で、加工テーブル２０を吸引する。これにより、加工テーブル２０上のウェブの張力を解放することができる。この場合も、吸引テーブル２２と加工テーブル２０との間に摩擦抵抗の小さい支持テーブル２３が配置されているので、加工テーブル２０上のウェブの張力をほぼ０にできる。

図７は、本発明の第４実施例の搬送工程を示す。図７の（ａ）と（ｂ）は、図３の（ａ）と（ｃ）に対応している。この実施例では、加工ステージの上流側と下流側の双方にサクションロール７、１２を設け、加工テーブル２０の下流側に吸引テーブル２２を設け、加工テーブル２０の上流側に支持テーブル２３を設けた点を特徴としている。ウェブ搬送時には、両方のサクションロール７、１２を同期させて正転させ、間欠搬送する。ウェブ搬送の際に、加工テーブル２０、吸引テーブル２２、支持テーブル２３からブローを行う。低張力化の段階では、下流側のサクションロール７を停止させ、吸引テーブル２２を吸引した状態で、上流側のサクションロール１２を微少正転させる。これにより、加工テーブル２０上のウェブの張力が解放される。なお、低張力化の間、加工テーブル２０と支持テーブル２３とからブローを行ってもよい。上流側のサクションロール１２と加工テーブル２０との間のウェブの自重による張力を、支持テーブル２３が支えるので、加工テーブル２０上のウェブの張力を小さくできる。その後、加工テーブル２０の吸引を行い、加工を実施すればよい。なお、この実施例では、下流側のサクションロール７が吸引テーブル２２（ウェブ固定手段）としての役割を果たすことが可能であるため、吸引テーブル２２を省略することも可能である。

図８は、本発明の第５実施例の加工装置を示す。図８において、加工テーブル２０に対して上下流側にダンサロール３０、３１が設けられ、加工テーブル２０の下流側にウェブを挟んで固定するニップ機構３２が設けられている。さらに、加工テーブル２０の上下流、特に加工テーブル２０の直前と直後に摩擦抵抗の小さい支持テーブル３３、３４がそれぞれ配置されている。ダンサロール３０、３１には、その前後にガイドロール３５ａ，３５ｂ、３６ａ，３６ｂが対で設けられている。上流側のダンサロール３０には、ウェブを挟むためのニップロール３７が設けられている。

この搬送装置の加工動作は以下の通りである。すなわち、間欠搬送時にはニップ機構３２が解放されており、ウェブは図示しない送り手段によって上流側から下流側へと高速搬送される。搬送が停止すると、ニップ機構３２がウェブを挟み、次いで上流側ダンサロール３０とニップロール３７とによってウェブを挟み、ダンサロール３０はウェブを挟んだまま上昇する。次に、加工テーブル２０がウェブを吸引し、加工ヘッド２１が降下してウェブに対して加工を行う。加工後、加工テーブル２０の吸引を解除し、ダンサロール３０が下降し、ダンサロール３０とニップロール３７とによる固定を解除し、ニップ機構３２もウェブを解放することにより、張力が復帰する。以後、同様の動作を繰り返す。

上記実施例では、ウェブ送り手段としてサクションロールを使用した例を説明したが、それ以外にも、ウェブを挟んで送り駆動するニップロール、ウェブを挟着又は吸引して前後に往復移動する可動テーブル、ウェブをチャックして前後に往復移動するチャック装置等を使用することができる。さらに、ある実施例の要素を他の実施例に適用することにより、別の実施例を構成することもできる。

本発明は上述の実施例に限定されるものではない。本発明が対象とするウェブとしては、キャリアフィルムの上にセラミックグリーンシートを形成したものに限らず、電子部品や基板の材料となるウェブ等であってもよく、長尺なシート状材料又はフィルムであれば適用可能である。本発明は、図１に示すように巻き出しロールと巻き取りロールとの間に加工ステージを設けたものに限らず、複数の製造段階の途中に加工ステージを設けたものでもよい。すなわち、供給ステージ及び／又は排出ステージがウェブを連続搬送せず、加工ステージと同様に間欠搬送するステージであってもよい。

Ｕ ウェブ
Ｓ１ 供給ステージ
Ｓ２ 加工ステージ
Ｓ３ 排出ステージ
１ 巻き出しロール
２ 加工機
２０ 加工テーブル
２１ 加工ヘッド
２２ 吸引テーブル（ウェブ固定手段）
２３ 支持テーブル（支持手段）
３ 巻き取りロール
５、９ ダンサロール
６、８ コンペンセータロール
７ サクションロール（ウェブ送り手段）
１１ 制御回路（張力制御手段）
１２ サクションロール
１３、１４ ニップロール（ウェブ送り手段）

Claims (7)

1. 長尺なウェブを加工ステージを経由して搬送するウェブ送り手段と、
   前記加工ステージに設けられ、前記ウェブの下面を支持する支持面を有し、前記支持面に前記ウェブを吸引保持する機能及びエアーブローする機能を有し、保持状態の前記ウェブに対して所定の加工を行う加工テーブルと、
   前記加工ステージの上流側又は下流側のうちの少なくとも一方に配置され、前記ウェブを仮固定するウェブ固定手段と、
   前記加工ステージにおいて前記ウェブを加工する前に、前記ウェブ固定手段により前記ウェブを仮固定した状態で、前記加工ステージ上に位置するウェブの張力を低減する方向に前記ウェブ送り手段又は前記ウェブ固定手段を作動させるウェブ張力制御手段と、
   前記加工テーブルと前記ウェブ送り手段との間に配置され、前記ウェブの下面を支える支持手段と、
   を備え、
   前記加工テーブルは、前記ウェブ張力制御手段によって前記ウェブの張力を低減する低張力化の段階において、エアーブローを行う、
   ウェブ加工装置。
2. 前記ウェブ送り手段は、所定位置で回転しながら前記ウェブを搬送する回転型のウェブ送り手段である、請求項１に記載のウェブ加工装置。
3. 前記ウェブ送り手段は、前記ウェブの下面を吸引保持して回転駆動するサクションロールである、請求項２に記載のウェブ加工装置。
4. 前記支持手段の支持面の前記ウェブとの摩擦係数が前記加工テーブルの支持面の前記ウェブとの摩擦係数よりも小さい、請求項１乃至３の何れか一項に記載のウェブ加工装置。
5. 前記支持手段はウェブ搬送方向と平行に延びる上向き凸状の凸部を有し、前記凸部の上面が支持面を形成している、請求項１乃至４の何れか一項に記載のウェブ加工装置。
6. 前記支持手段がウェブ搬送方向と平行に延びる棒状部材で形成されている、請求項１乃至４の何れか一項に記載のウェブ加工装置。
7. 前記支持手段が支持テーブルであり、少なくとも前記ウェブ張力制御手段により前記ウェブの張力を低減させる期間に、前記支持テーブル上のウェブに対して前記支持テーブルとの間の摩擦抵抗を軽減するようにエアーブローするエアーブロー手段が設けられている、請求項１乃至６の何れか一項に記載のウェブ加工装置。

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