JP6618565B2 - マスク吸着装置 - Google Patents
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Description
マスク吸着部11が下側に移動するにつれて、マスク吸着部11の磁石7と磁性体ピン8の一体物の先端に配置された磁石7は、マスク1との距離を拡大する。磁石7とマスク1の距離が拡大し続けると、磁石7の吸着力が徐々に解除されるが、マスク1はポスト15
を介して基板2に密着したままであるので、マスク1には撓みが発生しない。
1a…開口
2…基板
3…スキージ
4…基板受けプレート
4a…穴部
5…基板受けプレート支持部材
6…基板載置テーブル
7,7a…(永久)磁石
8…磁性体ピン(磁性体部材)
8a…磁性体バー(磁性体部材)
8b…支柱
9…磁性体板
9a…支持板
10…マスク吸着部用シリンダ(第2の上下動駆動手段)
11…マスク吸着部
12…印刷テーブル
13…XYθステージ
14…印刷テーブル用シリンダ(第1の上下動駆動手段)
15…ポスト
16…マスク吸着部下端ストッパ
17…真空吸着流路
18…ハンダボール
19…パッド(電極部)
20…ハンダボール印刷機
Claims (4)
- マスクに対向するよう基板を搭載し、背面側に複数の有底穴部が形成された基板受けプレートと、
前記基板受けプレートの背面側に形成された複数の有底穴部の各々に嵌合可能な柱状の永久磁石を含む部材を複数有し、当該複数の永久磁石を含む部材を取り付けた磁性体板を有するマスク吸着部と、
当該マスク吸着部の前記磁性体板を駆動することにより、前記マスク吸着部の柱状の永久磁石を含む部材の少なくとも上端部が、前記基板受けプレートの対応する前記複数の有底穴部の底面と当該有底穴部の開口との間で、前記有底穴部の底面へ接近移動及び前記有底穴部の底面より離間移動する駆動手段と、
前記基板受けプレートの背面側に形成された複数の有底穴部から前記柱状の永久磁石を含む部材が抜け出ることを防止するため前記マスク吸着部の前記磁性体板の前記離間移動を制限するマスク吸着部下端ストッパと、
を備えることを特徴とするマスク吸着装置。 - 請求項1に記載のマスク吸着装置において、
前記マスク吸着部は、前記柱状の永久磁石の下側に柱状の軸方向に延在する磁性体ピンを有することを特徴とするマスク吸着装置。 - 請求項2に記載のマスク吸着装置において、
前記柱状の永久磁石と前記柱状の磁性体ピンとは、吸着により一体化されていることを特徴とするマスク吸着装置。 - 請求項3に記載のマスク吸着装置において、
前記柱状の永久磁石及び磁性体ピンは円柱状であって、
前記基板受けプレートの背面側に形成された複数の有底穴部は、円柱をくり抜いた形状を有することを特徴とするマスク吸着装置。
Priority Applications (1)
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JP2018072055A JP6618565B2 (ja) | 2018-04-04 | 2018-04-04 | マスク吸着装置 |
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JP2018072055A JP6618565B2 (ja) | 2018-04-04 | 2018-04-04 | マスク吸着装置 |
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JP2017043562A Division JP6321248B2 (ja) | 2017-03-08 | 2017-03-08 | マスク吸着装置及びそれを有するハンダボール印刷機 |
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Family Cites Families (3)
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JP4375232B2 (ja) * | 2005-01-06 | 2009-12-02 | セイコーエプソン株式会社 | マスク成膜方法 |
JP4428285B2 (ja) * | 2005-05-16 | 2010-03-10 | セイコーエプソン株式会社 | マスク保持構造、成膜方法、及び電気光学装置の製造方法 |
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2018
- 2018-04-04 JP JP2018072055A patent/JP6618565B2/ja active Active
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