JP4860597B2 - ステージおよびこれを用いた基板搬送方法 - Google Patents
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Description
10a ウエハの上面(基板の一方の面)
10b ウエハの下面(基板の他方の面)
11 マスク、 12 マスクの開口
20 ボール充填装置、 30 アライメント装置
25 ボール供給装置、 40 ステージ
41 基板支持面、 42 上端面
43 基板支持台(支持体)、 44 フレーム
49 移動機構、 50 マスク保持部
B ボール
Claims (3)
- 基板を搭載して移送可能なステージであって、
前記基板を支持する基板支持面を備えた基板支持台と、
前記基板支持台を上下に移動する第1のアクチュエータと、
前記基板支持面の周囲に位置する上端面を備えたフレームと、
前記フレームを上下に移動する第2のアクチュエータと、
前記基板支持面に対して上下方向に突没可能な複数の押上ピンであって、上下の動きが固定された複数の押上ピンとを有し、
前記基板支持面は前記基板と実質的に同じサイズであり、前記基板支持台は前記基板とともに前記フレームの内側に沿って上下に移動し、前記フレームの上端面の内側に隣接する前記基板の表面が前記上端面と同じ高さになるように前記基板を支持し、
移動先上方のマスク保持部に固定された多数の開口を備えた薄板状のマスクに対し、前記第2のアクチュエータにより前記フレームを上方へ移動することにより前記上端面を前記マスクの下面に接しさせ、前記第1のアクチュエータにより前記基板支持台を上方へ移動することにより、前記複数の押上ピンに代わり前記基板支持面により前記基板を支持し、前記マスクの下面に前記基板の上面を合わせ、
移動先の基板の取り外し位置では、第1のアクチュエータにより前記基板支持台を降下させることにより、前記基板支持面に代わり前記複数の押上ピンにより前記基板を支持させ、前記基板を前記基板支持台より離す、ステージ。 - 請求項1において、前記基板支持台は、さらに、反り矯正治具により反り矯正された前記基板を前記基板支持面に吸着によって支持するための複数の吸着孔を備えている、ステージ。
- ステージにより基板を搬送する方法であって、
前記ステージは、
前記基板を支持する基板支持面を備えた基板支持台と、
前記基板支持台を上下に移動する第1のアクチュエータと、
前記基板支持面の周囲に位置する上端面を備えたフレームと、
前記フレームを上下に移動する第2のアクチュエータと、
前記基板支持面に対して上下方向に突没可能な複数の押上ピンであって、上下の動きが固定された複数の押上ピンとを有し、
前記基板支持面は前記基板と実質的に同じサイズであり、
当該方法は、
移動先上方のマスク保持部に固定された多数の開口を備えた薄板状のマスクに対し、前記第2のアクチュエータにより前記フレームを上方へ移動することにより前記上端面を前記マスクの下面に接しさせ、前記第1のアクチュエータにより前記基板支持台を上方へ移動することにより、前記複数の押上ピンに代わり前記基板支持面により前記基板を支持し、前記マスクの下面に前記基板の上面を合わせることと、
前記基板支持台を前記基板とともに前記フレームの内側に沿って上下に移動し、前記フレームの上端面の内側に隣接する前記基板の表面が前記上端面と同じ高さになるように支持することと、
移動先の基板の取り外し位置では、第1のアクチュエータにより前記基板支持台を降下させることにより、前記基板支持面に代わり前記複数の押上ピンにより前記基板を支持させ、前記基板を前記基板支持台より離すこととを有する、方法。
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